CN111996584A

CN111996584A - 一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置

Info

Publication number: CN111996584A
Application number: CN202010669534.9A
Authority: CN
Inventors: 陈永贵; 张培林; 武建军; 柴利春; 张作文; 王志辉
Original assignee: Datong Xincheng New Material Co Ltd
Current assignee: Datong Xincheng New Material Co Ltd
Priority date: 2020-07-13
Filing date: 2020-07-13
Publication date: 2020-11-27

Abstract

本发明公开了一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，包括底座，所述底座顶部一侧的中间位置处设置有坩埚座，所述坩埚座内底部设置有坩埚，所述底座顶部远离坩埚座一侧的中间位置处设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部设置有电机，所述电机的输出端设置有转轴，所述转轴的顶部设置有固定板C，所述固定板C底部的边缘处均匀设置有多组电动气缸A，所述电动气缸A的输出端设置有固定板B；本发明装置通过在钳子上加盖子，使用石墨坩埚时，加工结束后，即使状态可能是液体，钳子在夹取的时候上面的盖板会将坩埚口给盖住，工作人员在取出的时候，就会安全一些，液体也不会洒落，减少了对工作人员的伤害。

Description

一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置

技术领域

本发明涉及石墨坩埚技术领域，具体为一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置。

背景技术

拉晶结束后取出石墨坩埚时，如果是小型的热场，即使采用人力也不算费力，但是近年热场正在越来越大型化，用人力来对应就变得越来越难，另外，为了能够让包围在石墨坩埚外周的加热器高效加热溶解石墨坩埚内盛放的原料硅，在加热时尽量将石墨坩埚放置在加热器内部，此外，通常坩埚轴的行程范围只能满足拉晶的最低需要，即确保到达拉晶用的装料位置和化料位置等；

现有装置具有以下几点不足之处：

1.加工开始向石墨坩埚内注入材料，工作人员在进行装料时，需要转动着来将石墨坩埚一个一个的装满，这样消耗了大量的人力，耗时耗力；

2.加工结束后取出石墨坩埚时，如果是小型的热场，即使采用人力也不算费力，但是近年热场正在越来越大型化，用人力来对应就变得越来越难；

3.使用石墨坩埚时，在加工完成结束后，状态可能是液体，如果坩埚不加盖子，工作人员在取出的时候，会很不安全，会由于液体洒落，烫伤工作人员。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，以解决上述背景技术中提出1.加工开始向石墨坩埚内注入材料，工作人员在进行装料时，需要转动着来将石墨坩埚一个一个的装满，这样消耗了大量的人力，耗时耗力；2.加工结束后取出石墨坩埚时，如果是小型的热场，即使采用人力也不算费力，但是近年热场正在越来越大型化，用人力来对应就变得越来越难；3.使用石墨坩埚时，在加工完成结束后，状态可能是液体，如果坩埚不加盖子，工作人员在取出的时候，会很不安全，会由于液体洒落，烫伤工作人员的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，包括底座，所述底座顶部一侧的中间位置处设置有坩埚座，所述坩埚座内底部设置有坩埚，所述底座顶部远离坩埚座一侧的中间位置处设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部设置有电机，所述电机的输出端设置有转轴，所述转轴的顶部设置有固定板C，所述固定板C底部的边缘处均匀设置有多组电动气缸A，所述电动气缸A的输出端设置有固定板B，所述固定板B内部的一端设置有固定板A，所述固定板A内部的一端设置有夹持板A，所述固定板A内部远离夹持板A一端的中间位置处设置有电动气缸B，所述电动气缸B的输出端设置有夹持板B，所述夹持板B与夹持板A相互铰接，所述底座一端一侧的中间位置处设置有控制面板，所述控制面板通过导线分别与电动气缸A、电机、电动气缸B电连接。

优选的，所述底座的底部设置有多组支撑腿。

优选的，所述支撑柱外侧的底部均匀设置有支撑板。

优选的，所述电机的外部设置有安装仓，并且安装仓的一端设置有仓盖。

优选的，所述夹持板A与相互连接，所述夹持板A远离固定板B一侧的底部与所述夹持板B远离电动气缸B一侧的底部分别设置有盖板。

优选的，所述电机与转轴之间通过轴承连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该单晶炉半导体石墨坩埚提升装置；

1、通过在装置上设置有多组转轴，在进行装材料时，工作人员只需要在远离加热处的一边进行装入材料，装好材料的坩埚使用转轴上的钳子夹住，通过转动放置在坩埚座上进行加热；

2、通过在装置上设置有多组转轴，加工结束后取出石墨坩埚时，使转轴反向转动，将加工好的坩埚取出，即使是大型化热场，也会省时省力；

3、通过在钳子上加盖子，使用石墨坩埚时，加工结束后，即使状态可能是液体，钳子在夹取的时候上面的盖板会将坩埚口给盖住，工作人员在取出的时候，就会安全一些，液体也不会洒落，减少了对工作人员的伤害。

附图说明

图1为本发明的主视剖视图；

图2为本发明的主视图；

图3为本发明的仰视图。

图中：1、底座；2、坩埚座；3、坩埚；4、夹持板A；5、固定板A；6、固定板B；7、电动气缸A；8、固定板C；9、转轴；10、电机；11、支撑柱；12、控制面板；13、夹持板B；14、电动气缸B。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3，本发明提供的实施例：一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，包括底座1，底座1顶部一侧的中间位置处设置有坩埚座2，坩埚座2内底部设置有坩埚3，底座1顶部远离坩埚座2一侧的中间位置处设置有支撑柱11，支撑柱11的顶部设置有电机10，电机10的输出端设置有转轴9，转轴9的顶部设置有固定板C8，固定板C8底部的边缘处均匀设置有多组电动气缸A7，电动气缸A7的输出端设置有固定板B6，固定板B6内部的一端设置有固定板A5，固定板A5内部的一端设置有夹持板A4，固定板A5内部远离夹持板A4一端的中间位置处设置有电动气缸B14，电动气缸B14的输出端设置有夹持板B13，夹持板B13与夹持板A4相互铰接，底座1一端一侧的中间位置处设置有控制面板12，控制面板12通过导线分别与电动气缸A7、电机10、电动气缸B14电连接。

装置中的控制面板12和电动气缸A7、电机10、电动气缸B14为现有技术，其组成结构和连接方式与现有装置完全相同。

进一步的，底座1的底部设置有多组支撑腿，对工作台进行支撑。

进一步的，支撑柱11外侧的底部均匀设置有支撑板，装置更加稳定。

进一步的，电机10的外部设置有安装仓，并且安装仓的一端设置有仓盖，便于检测与维修。

进一步的，夹持板A4与15相互连接，夹持板A4远离固定板B6一侧的底部与夹持板B13远离电动气缸B14一侧的底部分别设置有盖板，操作更加稳定。

进一步的，电机10与转轴9之间通过轴承连接，便于操作。

工作原理：该装置用电部件皆通过外接电源进行供电，首先将装置移动到使用的位置处，工作人员往坩埚3里装入材料，打开控制面板12，通过电动气缸A7向下推动固定板A5延伸到适合的位置处，夹持板B13的一端与电动气缸B14远离固定板A5的一端连接，夹持板B13通过电动气缸B14的伸缩进行闭合与张开，工作人员将装满材料的坩埚3放置到夹持板A4与夹持板B13中间进行夹持，通过电机10带动转轴9，转轴9带动固定板C8，进行转动，将坩埚3放置到坩埚座2上进行加工，这样旋转式的上料，有多组坩埚3，工作人员也不需要移动来装料，省时省力，加工完成后，在使用夹持板A4与夹持板B13将加工完成后的坩埚3取出来，加工结束的材料可能是液体状，这时夹持板A4与夹持板B13上的将坩埚3的顶部盖住，工作人员在取出的时候，就会安全一些，液体也不会洒落，减少了对工作人员的伤害，通过电机10带动转轴9，转轴9带动固定板C8进行转动，将加工完成的坩埚3放置到指定位置处，省时省力。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

Claims

1.一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶部一侧的中间位置处设置有坩埚座（2），所述坩埚座（2）内底部设置有坩埚（3），所述底座（1）顶部远离坩埚座（2）一侧的中间位置处设置有支撑柱（11），所述支撑柱（11）的顶部设置有电机（10），所述电机（10）的输出端设置有转轴（9），所述转轴（9）的顶部设置有固定板C（8），所述固定板C（8）底部的边缘处均匀设置有多组电动气缸A（7），所述电动气缸A（7）的输出端设置有固定板B（6），所述固定板B（6）内部的一端设置有固定板A（5），所述固定板A（5）内部的一端设置有夹持板A（4），所述固定板A（5）内部远离夹持板A（4）一端的中间位置处设置有电动气缸B（14），所述电动气缸B（14）的输出端设置有夹持板B（13），所述夹持板B（13）与夹持板A（4）相互铰接，所述底座（1）一端一侧的中间位置处设置有控制面板（12），所述控制面板（12）通过导线分别与电动气缸A（7）、电机（10）、电动气缸B（14）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，其特征在于：所述底座（1）的底部设置有多组支撑腿。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，其特征在于：所述支撑柱（11）外侧的底部均匀设置有支撑板。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，其特征在于：所述电机（10）的外部设置有安装仓，并且安装仓的一端设置有仓盖。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，其特征在于：所述夹持板A（4）与（15）相互连接，所述夹持板A（4）远离固定板B（6）一侧的底部与所述夹持板B（13）远离电动气缸B（14）一侧的底部分别设置有盖板。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，其特征在于：所述电机（10）与转轴（9）之间通过轴承连接。