CN210085618U - 单晶炉石墨坩埚提升机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种单晶炉石墨坩埚提升机构。包括提升架；提升架为环形，沿周向均布若干通孔；旋转机构包括旋转轴及锁紧块；旋转轴有多根，顶部设于提升架上的通孔内，并通过垫环与锁紧块固定；每个旋转轴底端均设有提升块；锁紧块上端面上设有腰型槽；转盘设于提升架上方，转盘周向均布多个腰型孔，旋转轴顶端设于腰型孔内；转盘下端面设有若干导向件，导向件下端设于锁紧件的腰型孔内，并能沿着腰型槽移动。本实用新型与手工装卸相比，本实用新型不会对坩埚表面造成材料污染，也不必将坩埚切成三瓣，既节省人力又节省物力。
Description
技术领域
本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种单晶炉石墨坩埚提升机构。
背景技术
在直拉法单晶炉生产硅单晶的过程中，会涉及更换石墨坩埚。位于加热器内的石墨坩埚在更换过程中，由于坩埚外壁与加热器内壁距离较近，现有的安装方式为将石墨坩埚切成三瓣，人工装卸。本专利涉及的吊装机构可以实现装夹，安放和保护石墨坩埚，并且无需将坩埚做成三瓣，既节省人力又节省物力，还能做到不让其表面被其它材质污染，能更方便快捷地安装、拆卸石墨坩埚。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉石墨坩埚提升机构。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：
提供一种单晶炉石墨坩埚提升机构，包括提升架、旋转机构、转盘与提升块；
提升架为环形，沿周向均布若干通孔；
旋转机构包括旋转轴及锁紧块；旋转轴有多根，顶部设于提升架上的通孔内，并通过垫环与锁紧块固定；每个旋转轴底端均设有提升块；锁紧块上端面上设有腰型槽；
转盘设于提升架上方，转盘周向均布多个腰型孔，旋转轴顶端设于腰型孔内；转盘下端面设有若干导向件，导向件下端设于锁紧件的腰型孔内，并能沿着腰型槽移动。
作为一种改进，旋转轴顶部开有多边形径向定位台阶，用于定位锁紧块。
作为一种改进，转盘下端面设有垫块。
作为一种改进，导向件为圆柱形，通过挡圈与转盘相连。
作为一种改进，提升架顶端设有吊环。
导向件材质为耐磨材料；旋转轴为碳碳复合材料，能在保证强度的情况下保护石墨坩埚外表面不与加热器接触，从而起到不被其他材料污染的作用；提升块材质为碳碳复合材料，通过螺母锁紧，提升块上设有安装斜面，工作时与石墨坩埚下方的斜面贴合，从而实行很好的径向受力平衡，以此来更稳地承受石墨坩埚的重力。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
与手工装卸相比，本实用新型不会对坩埚表面造成材料污染，也不必将坩埚切成三瓣，既节省人力又节省物力。
附图说明
图1为本实用新型的上视图。
图2为本实用新型热场内部工作状态剖视图。
图3为本实用新型的等轴侧图。
图中：1-提升架、2-旋转机构、3-转盘、4-提升块、5-垫块、6-热场、7-石墨坩埚。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明：
如图1、图2、图3所示的一种单晶炉石墨坩埚提升机构，包括提升架1、旋转机构 2、转盘3与提升块4；
提升架1为环形，沿周向均布若干通孔；
旋转机构2包括旋转轴及锁紧块；旋转轴有多根，顶部设于提升架1上的通孔内，旋转轴顶部开有多边形径向定位台阶，用于定位锁紧块。并通过垫环与锁紧块固定；每个旋转轴底端均设有提升块4；锁紧块上端面上设有腰型槽；
转盘3设于提升架1上方，转盘3周向均布多个腰型孔，旋转轴顶端设于腰型孔内；转盘3下端面设有垫块5和若干导向件，导向件下端设于锁紧件的腰型孔内，并能沿着腰型槽移动。导向件为圆柱形，通过挡圈与转盘3相连。
本实用新型的工作过程为：
1、通过旋转转盘3，带动导向件旋转到合适位置，导向件位于锁紧块3的腰型槽内，带动锁紧块作旋转，使整个旋转机构2到达旋开位置。
2、装置通过吊环螺钉吊至坩埚上方，下降到夹持位置，此时石墨坩埚7与装置之间通过垫块5接触，再反向旋转转盘3相应角度，带动导向件旋转相同角度，导向件位于锁紧块的腰型槽内，带动旋转机构2作旋转运动，使提升块4到达夹持位置。
3、当提升块4与石墨坩埚7下接触面接触时，石墨坩埚7下方锥面与提升块4圆周固定，平衡了径向的分力，整个装置只受到竖直的力，从而能够更稳定地移动安装。
4、将该装置吊至热场内，坩埚落在坩埚轴上，下方提升块4与石墨坩埚7分离，整个装置通过垫块5垫在石墨坩埚上。此时通过将转盘3旋转相应角度，带动导向件旋转相同角度，导向件位于锁紧块的腰型槽内，带动旋转机构2作旋转运动，使提升块4 到达旋开位置，此时可以吊出装置从而完成一次作业。
最后，需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种单晶炉石墨坩埚提升机构，其特征在于，包括提升架、旋转机构、转盘与提升块；
所述提升架为环形，沿周向均布若干通孔；
所述旋转机构包括旋转轴及锁紧块；旋转轴有多根，顶部设于提升架上的通孔内，并通过垫环与锁紧块固定；每个旋转轴底端均设有提升块；所述锁紧块上端面上设有腰型槽；
所述转盘设于提升架上方，转盘周向均布多个腰型孔，旋转轴顶端设于腰型孔内；转盘下端面设有若干导向件，导向件下端设于锁紧件的腰型孔内，并能沿着腰型槽移动。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构，其特征在于，所述旋转轴顶部开有多边形径向定位台阶，用于定位锁紧块。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构，其特征在于，所述转盘下端面设有垫块。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构，其特征在于，所述导向件为圆柱形，通过挡圈与转盘相连。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构，其特征在于，所述提升架顶端设有吊环。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920294725.4U CN210085618U (zh) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 单晶炉石墨坩埚提升机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920294725.4U CN210085618U (zh) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 单晶炉石墨坩埚提升机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210085618U true CN210085618U (zh) | 2020-02-18 |
Family
ID=69471427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920294725.4U Active CN210085618U (zh) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 单晶炉石墨坩埚提升机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210085618U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111996584A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-11-27 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置 |
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2019
- 2019-03-08 CN CN201920294725.4U patent/CN210085618U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111996584A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-11-27 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置 |
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