CN110552055A - 一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置。本发明单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,包括:环形卡板、气缸、气缸连板、第一拨销、拨板、第二拨销及副室定位销;所述环形卡板用于安装于副室下法兰端面;所述气缸用于安装于副室上,所述气缸与所述气缸连板连接,所述气缸连板与所述第一拨销连接,所述拨板设置于环形卡板上,两个第二拨销设置于所述拨板上,所述第一拨销设置于所述两个第二拨销之间;所述副室定位销用于安装于隔离阀上法兰上。本发明克服了现有技术中采用手动操作,耗时长,操作繁琐的问题。
Description
技术领域
本发明涉及单晶硅生产技术领域,尤其涉及一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉长晶时,需将副室旋转至固定位置落下,并与隔离阀进行锁紧。在取晶环节需要使副室与隔离阀先进行分离。目前,对于隔离阀的锁紧和分离还采用手动操作,耗时长,操作繁琐。
发明内容
本发明提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,以克服现有技术中采用手动操作,耗时长,操作繁琐的问题。
本发明提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,包括:
环形卡板、气缸、气缸连板、第一拨销、拨板、第二拨销及副室定位销;
所述环形卡板用于安装于副室下法兰端面;
所述气缸用于安装于副室上,所述气缸与所述气缸连板连接,所述气缸连板与所述第一拨销连接,所述拨板设置于环形卡板上,两个第二拨销设置于所述拨板上,所述第一拨销设置于所述两个第二拨销之间;
所述副室定位销用于安装于隔离阀上法兰上。
进一步地,所述副室定位销为锥销。
进一步地,所述环形卡板包括:两个半圆环卡板,所述两个半圆环卡板通过两个连接板连接。
进一步地,所述装置还包括副室提升旋转机构。
进一步地,所述装置还包括手柄,所述手柄设置于环形卡板上。
进一步地,所述拨板通过螺钉与环形卡板连接。
进一步地,所述装置还包括轴肩螺钉:所述轴肩螺钉用于安装于副室下法兰上,穿过环形卡板。
本发明一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,通过气缸带动拨销驱动环形卡板上的拨销运动,从而驱动拨板带动环形卡板旋转,使得副室定位销卡紧或脱出,实现隔离阀的自动挂接和分离,解决现有技术中手动操作耗时长,操作繁琐的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置实施例一的俯视图;
图2为本发明一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置实施例一的整体结构示意图。
其中,1-副室;2-隔离阀;3-环形卡板;4-气缸;5-拨板;6-气缸连板;7-第一拨销;8-副室定位销;9-轴肩螺钉;10-手柄;11-连接板。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本发明的实施例例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元,而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
图1为本发明一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置实施例一的俯视图;图2为本发明一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置实施例一的整体结构示意图。参考图1、图2所示,
本实施例一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,包括:
环形卡板3、气缸4、气缸连板6、第一拨销7、拨板5、第二拨销(图中未示出)及副室定位销8;
所述环形卡板3用于安装于副室1下法兰端面;
所述气缸4用于安装于副室1上,所述气缸4与所述气缸连板6连接,所述气缸连板6与所述第一拨销7连接,所述拨板5设置于环形卡板3上,两个第二拨销设置于所述拨板5上,所述第一拨销7设置于所述两个第二拨销之间;
所述副室定位销8用于安装于隔离阀2上法兰上;
可选的,还包括:轴肩螺钉9,所述轴肩螺钉9用于安装于副室1下法兰上,穿过环形卡板3。
本实施例中,所述第一拨销设置于所述两个第二拨销之间,当第一拨销运动时,带动第二拨销及拨板旋转。
本实施例中,气缸用于提供动力,通过气缸连板为第一拨销提供动力。
本实施例中,副室定位销8安装于隔离阀2的上法兰上,用于卡进环形卡板的卡槽内,将副室1与隔离阀2进行锁紧。
可选地,所述副室定位销8为锥销。
可选的,所述所述副室定位销可以为四个。
可选的,所述轴肩螺钉可以为四个。
可选地,所述环形卡板包括:两个半圆环卡板,所述两个半圆环卡板通过两个连接板11连接。
本实施例中,可由两个半圆环卡板通过连接板连接,形成环形卡板。
可选地,所述装置还包括副室提升旋转机构。
本实施例中,副室提升旋转机构可控制副室自动旋转至固定位置落下。
可选地,所述装置还包括手柄10,所述手柄10设置于环形卡板3上。
本实施例中,可手动拨动手柄10,带动环形卡板3在四个轴肩螺钉9的定向下旋转,完成副室1与隔离阀2之间挂接锁紧与分离动作。
可选地,所述拨板5通过螺钉与环形卡板3连接。
本实施例中,具体的,副室1与隔离阀2自动挂接锁紧动作:副室1在副室提升旋转机构动作下,自动旋转至固定位置落下,使得安装在隔离阀上法兰上的四个副室定位销8穿过副室1下法兰及环形卡板3。安装于副室1上的气缸4带动气缸连板6动作,气缸连板6上的第一拨销7拨动拨板5上的两个第二拨销,使得拨板5带动环形卡板3在四个轴肩螺钉9的定向下旋转,四个固定不动的副室定位销8卡进环形卡板3卡槽内,将副室1与隔离阀2进行锁紧。
副室1与隔离阀2自动分离动作:副室1上的气缸4带动气缸连板6动作,气缸连板6上的第一拨销7拨动拨板5上的两个第二拨销7,使得拨板5带动环形卡板3在四个轴肩螺钉9的定向下旋转,四个固定不动的副室定位销8从环形卡板3卡槽内脱出,然后副室1在副室提升旋转机构动作下进行提升旋转动作,完成副室及副室与隔离阀之间的分离动作。
本实施例中,提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,实现单晶炉中,隔离阀与副室的挂接和分离,挂接及连接锁紧,分离即拆开,通过气缸带动拨销驱动环形卡板上的拨销运动,从而驱动拨板带动环形卡板旋转,使得副室定位销卡紧或脱出,实现隔离阀的自动挂接和分离,解决现有技术中手动操作耗时长,操作繁琐的问题。
本领域普通技术人员可以理解:实现上述各方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成。前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中。该程序在执行时,执行包括上述各方法实施例的步骤;而前述的存储介质包括:ROM、RAM、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (7)
1.一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,其特征在于,包括:环形卡板、气缸、气缸连板、第一拨销、拨板、第二拨销及副室定位销;
所述环形卡板用于安装于副室下法兰端面;
所述气缸用于安装于副室上,所述气缸与所述气缸连板连接,所述气缸连板与所述第一拨销连接,所述拨板设置于环形卡板上,两个所述第二拨销设置于所述拨板上,所述第一拨销设置于所述两个第二拨销之间;
所述副室定位销用于安装于隔离阀上法兰上。
2.根据权利要求1所述的单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,其特征在于,所述副室定位销为锥销。
3.根据权利要求1所述的单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,其特征在于,
所述环形卡板包括:两个半圆环卡板,所述两个半圆环卡板通过两个连接板连接。
4.根据权利要求1所述的单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,其特征在于,所述装置还包括副室提升旋转机构。
5.根据权利要求4所述的单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,其特征在于,所述装置还包括手柄,所述手柄设置于环形卡板上。
6.根据权利要求1所述的单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,其特征在于,所述拨板通过螺钉与环形卡板连接。
7.根据权利要求1所述的单晶炉隔离阀自动挂接分离装置,其特征在于,所述装置还包括轴肩螺钉:所述轴肩螺钉用于安装于副室下法兰上,穿过环形卡板。
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2019
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