CN219581290U - 一种单晶炉副室清理器 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于单晶硅生产制造技术领域，涉及一种单晶炉副室清理器，包括钢缆以及与所述钢缆活动连接的清洁装置，驱动所述钢缆可带动所述清洁装置位移，以清理副室内壁。本实用新型的有益效果是，设置将重锤固定在固定座上的锁紧机构，通过重锤的位移进而带动清洁装置沿副室内壁位移，达到清洁副室内壁的作用，降低了操作工人的劳动强度，实用性强；设置导向套，使清理器进入副室时更加安全、稳定。

Description

一种单晶炉副室清理器

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产制造技术领域，涉及一种单晶炉副室清理器。

背景技术

目前，单晶炉副室清理内壁的工具主要通过手持一根长操作杆，另一端固定与单晶炉副室直径一致的环形清理器绑着无尘纸等，再蘸上无水乙醇来擦拭副炉室的内壁达到清洁的目的。由于在清洁过程中清洁材料与副室内壁全程接触，在上升的过程中因副室高度较高，举升过程中需手动增加操作杆长度，操作繁琐，且需举升高度较高，增大了操作工人的劳动强度，因此操作性较差。因此，需要一种单晶炉副室清理器来解决上述技术问题。

实用新型内容

为解决上述存在的技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉副室清理器，能够快速清理副室内壁，降低了操作工人的劳动强度，提升工时有效利用率。

本实用新型采用的技术方案是：一种单晶炉副室清理器，其特征在于：包括与钢缆连接的清洁装置，且所述清洁装置的外围与副室内壁接触，驱动所述钢缆可带动所述清洁装置上下位移，以清理所述副室内壁。

进一步的，所述钢缆通过重锤与所述清洁装置连接。

进一步的，所述重锤通过锁紧机构与固定座活动连接，所述清洁装置设在所述固定座上。

进一步的，所述锁紧机构包括第一固定件、第二固定件、第一凸起部和第二凸起部，所述第一固定件和所述第二固定件围设成供所述重锤穿过的空间，所述第一固定件通过所述第一凸起部与所述重锤连接，所述第二固定件通过所述第二凸起部与所述重锤连接。

进一步的，所述第一固定件和所述第二固定件的一端通过转轴连接，另一端通过连接螺栓连接。

进一步的，所述第一固定件、所述第二固定件均可绕所述转轴转动。

进一步的，所述重锤上设有可同时放置所述第一凸起部和所述第二凸起部的通孔。

进一步的，所述固定座靠近所述副室的侧面设有导向套。

进一步的，所述导向套为锥形，其锥形面的内径向靠近所述重锤的方向逐渐缩小。

进一步的，所述清洁装置为环形设置，其直径与所述副室内径相匹配。

本实用新型设计的一种单晶炉副室清理器，设置将重锤固定在固定座上的锁紧机构，通过钢缆牵引重锤位移进而带动固定座和清洁装置沿副室内壁上下位移，使清洁装置与副室内壁紧密贴合，达到清洁副室内壁的作用，自动化程度高，降低了操作工人的劳动强度，实用性强；在固定座上设置导向套，使清理器进入副室时更加安全、稳定。

附图说明

图1是本实用新型提供的实施例的结构示意图；

图2是本实用新型提供的实施例在使用时的结构示意图。

图中：

1、固定座；2、重锤；3、清洁装置；4、锁紧机构；41、第一固定件；42、第二固定件；43、第一凸起部；44、第二凸起部；45、转轴；46、连接螺栓；5、导向套；6、副室；7、钢缆；8、台车。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明。

参照图1所示，一种单晶炉副室清理器，其特征在于：一种单晶炉副室清理器，其特征在于：包括与钢缆7连接的清洁装置3，且清洁装置3的外围与副室6内壁接触，驱动钢缆7可带动清洁装置3上下位移，以清理副室6内壁。

优选的，钢缆7通过重锤2与清洁装置3连接。

优选的，重锤2通过锁紧机构4与固定座1活动连接，清洁装置3设在固定座1上。

优选的，如图2所示，锁紧机构4包括第一固定件41、第二固定件42、第一凸起部43和第二凸起部44，第一固定件41和第二固定件42围设成供重锤2穿过的空间，第一固定件41通过第一凸起部43、第二固定件42通过第二凸起部44与重锤2连接。

优选的，第一固定件41和第二固定件42的一端通过转轴45连接，另一端通过连接螺栓46连接。在本实施例中，第一固定件41和第二固定件42均为弧形结构且采用榫卯结构，两个固定件的一端通过转轴45连接，另一端通过连接螺栓46，以实现两个固定件之间的开合与关闭，防止清理器在上升或者下降的过程中与重锤2分离，提高了设备使用过程中的稳定性和安全性，当使用时，连接螺栓46同时穿过第一固定件41和第二固定件42，两个固定件围成供重锤2穿过的圆形空间，连接螺栓46配合蝶形螺母，实现了第一固定件41和第二固定件42之间的相互固定，连接更加牢固稳定。

优选的，第一固定件41、第二固定件42均可绕转轴45转动。在本实施例中，第一固定件41远离转轴45的端部设有第三凸起部，第二固定件42远离转轴45的端部设有第四凸起部，第三凸起部和第四凸起部上下配合，以使第一固定件41和第二固定件42围成圆环形状，第三凸起部和第四凸起部上均设有供连接螺栓46插入的孔。需要注意的是，本实用新型对第一固定件41、第二固定件42的形状和材质不做具体限定，只要能实现相同功能即可。

优选的，重锤2上设有可同时放置第一凸起部43和第二凸起部44的通孔。在本实施例中，当第一固定件41和第二固定件42闭合时，第一凸起部43和第二凸起部44插入重锤2顶部的通孔中，以实现固定座1和重锤2之间的牢牢固定。需要注意的是，本实用新型对重锤2的形状及通孔的位置不作具体限定。

优选的，第一凸起部43和第二凸起部44对称设在通孔两侧。

优选的，固定座1靠近副室6的侧面设有导向套5。

优选的，导向套5为锥形，其锥形面的内径向靠近重锤2的方向逐渐缩小。

优选的，清洁装置3为环形设置，其直径与副室6内径相匹配。在本实施例中，导向套5为上窄下宽的锥形，上述锥形的底部最大直径尺寸略小于清洁装置3的外径尺寸，使清理器进入副室6时更加安全、稳定。

优选的，清洁装置3沿固定座1周向分布，且设在导向套5远离副室6的侧面。在本实施例中，清洁装置3为弹力棉，其沿固定座1的外围周向设置，用于清理副室6内壁，导向套5和清洁装置3上下设置且均与固定座1连接，可以上下移动反复位移进行清理，清理效率更高也更干净。需要注意的是，清洁装置3可以是清洁刷、清洁棉或者其他清洁结构，本实用新型对清洁装置3的结构和尺寸不做具体限定，使用者可根据实际应用进行灵活调整。

复投操作之后，将多个清理器放置在台车8上并拖动至靠近副室6底部的地方，使锁紧机构4的第一固定件41和第二固定件42处于打开状态停在指定位置；驱动提拉头电机，带动钢缆7和重锤2下降，当重锤2的通孔与第一凸起部43和第二凸起部44对齐时停止下降，通过连接螺栓46关闭两个固定件，此时第一凸起部43和第二凸起部44同时插入通孔内；提拉头电机收紧，带动钢缆7和重锤2上升，以清理副室6内壁，当清理器达到副室6内壁的上限位后停止，随即提拉头电机反转，使得钢缆7在固定座1和重锤2的重力作用下缓慢下降，再次进行清理，可以多次上下往复实现更好的清理效果。清理结束后，将清理器下降至台车8的指定位置后停止，取出连接螺栓46，打开第一固定件41和第二固定件42，重锤2与固定座1分离，提拉头电机正转带动钢缆7和重锤2上升到指定位置后停止操作；将台车8放置到指定位置，完成整个副室6清洁工步。

当然，使用者还可以在现有单晶炉控制程序基础上，新增副室清洁程序，通过该程序控制提拉头电机转动，进而控制钢缆7和重锤2的上升和下降，通过重锤2的上下位移，进而带动清洁装置3对副室6内壁进行清理，可以反复清理，降低操作工人的劳动强度，提升自动化程度。

实施例一：

一种单晶炉副室清理器，包括钢缆7、固定座1、重锤2、清洁装置3和锁紧机构4，固定座1的中心设有供重锤2穿过的通孔，以使重锤2贯穿固定座1后能放置在台座8的指定位置上，固定座1的顶部设有锁紧机构4，重锤2通过锁紧机构4与固定座1活动连接，通过第一固定件41和第二固定件42之间的打开和关闭实现对重锤2的固定，重锤2的顶部设有横向贯通的孔，以容纳第一凸起部43和第二凸起部44，使重锤2与固定座1之间的固定更加牢固，保证操作过程中的稳定性和安全性。

固定座1的外侧设有清洁装置3，清洁装置3的上方设有导向套5，导向套5和清洁装置3设在固定座1的两侧且均与固定座1连接，导向套5的最大直径略小于清洁装置3的直径，通过清洁装置3的上下位移对副室6内壁进行清理。

通过重锤2的位移进而带动固定座1和清洁装置3一起沿副室6内壁位移，使清洁装置3与副室6内壁紧密贴合，达到清洁副室内壁的作用，降低了操作工人的劳动强度，实用性强，自动化程度高，提升了工时有效利用率。

本实用新型设计的一种单晶炉副室清理器，设置将重锤固定在固定座上的锁紧机构，通过钢缆牵引重锤位移进而带动固定座和清洁装置沿副室内壁上下位移，使清洁装置与副室内壁紧密贴合，达到清洁副室内壁的作用，自动化程度高，降低了操作工人的劳动强度，实用性强；在固定座上设置导向套，使清理器进入副室时更加安全、稳定。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种单晶炉副室清理器，其特征在于：包括与钢缆连接的清洁装置，且所述清洁装置的外围与副室内壁接触，驱动所述钢缆可带动所述清洁装置上下位移，以清理所述副室内壁。

2.根据权利要求1所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述钢缆通过重锤与所述清洁装置连接。

3.根据权利要求2所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述重锤通过锁紧机构与固定座活动连接，所述清洁装置设在所述固定座上。

4.根据权利要求3所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述锁紧机构包括第一固定件、第二固定件、第一凸起部和第二凸起部，所述第一固定件和所述第二固定件围设成供所述重锤穿过的空间，所述第一固定件通过所述第一凸起部与所述重锤连接，所述第二固定件通过所述第二凸起部与所述重锤连接。

5.根据权利要求4所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述第一固定件和所述第二固定件的一端通过转轴连接，另一端通过连接螺栓连接。

6.根据权利要求5所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述第一固定件、所述第二固定件均可绕所述转轴转动。

7.根据权利要求4所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述重锤上设有可同时放置所述第一凸起部和所述第二凸起部的通孔。

8.根据权利要求3至7任一项所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述固定座靠近所述副室的侧面设有导向套。

9.根据权利要求8所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述导向套为锥形，其锥形面的内径向靠近所述重锤的方向逐渐缩小。

10.根据权利要求3所述的单晶炉副室清理器，其特征在于：所述清洁装置为环形设置，其直径与所述副室内径相匹配。