KR20100068202A

KR20100068202A - 기판을 보관 및 공급하는 시스템

Info

Publication number: KR20100068202A
Application number: KR1020090122348A
Authority: KR
Inventors: 겐스케 히라타
Original assignee: 가부시키가이샤 아이에이치아이
Priority date: 2008-12-12
Filing date: 2009-12-10
Publication date: 2010-06-22
Also published as: KR101183043B1; JP2010137975A; JP5218000B2; CN101746605B; TW201111256A; TWI430933B; CN101746605A

Abstract

본 발명은 기판을 보관 및 공급하는 시스템에 관한 것으로서, 용기에 수납된 복수의 대상물을 보관하고, 다음 공정의 장치로 공급하기 위한 시스템은, 상기 장치에 인접하는 제1 스테이션과, 상기 제1 스테이션에 적어도 일부가 인접하는 제2 스테이션을 구비한다. 상기 제1 스테이션은, 상기 용기를 지지하면서 승강할 수 있도록 구성된 제1 지지체와, 상기 제1 지지체와 엇갈림 가능하게 승강할 수 있도록 구성되며 상기 제1 지지체와의 엇갈림에 의해 상기 제1 지지체로부터 상기 용기를 수취하도록 구성된 제2 지지체와, 상기 제2 지지체를 승강시켜서 상기 복수의 대상물을 특정한 위치에 순차적으로 위치맞춤할 수 있도록 구성된 승강 기구와, 상기 복수의 대상물 중 상기 특정한 위치에 있는 대상물을 상기 용기로부터 상기 장치를 향해 송출하는 송출 기구를 구비한다. 상기 제2 스테이션은, 상기 용기를 지지하면서 승강할 수 있도록 구성된 제3 지지체와, 상기 용기를 상기 제1 지지체에 수수하기 위해 상기 제3 지지체를 수평 방향으로 이동시키는 제1 이동 장치를 구비한다.

Description

기판을 보관 및 공급하는 시스템{SYSTEM FOR KEEPING AND SUPPLYING SUBSTRATE}

본 발명은, 일련의 제조 공정에 흐르게 되는 복수의 유리 기판 등의 대상물을 일시적으로 보관하고, 다음 공정의 장치로 공급하기 위한 시스템에 관한 것이다.

반도체 디바이스나 액정 패널의 제조에는, 유리제의 기판이 많이 이용된다. 제조 공정의 과정에 있어서, 복수의 유리 기판은 일시적으로 보관되고, 그 후에 순차적으로, 다음 공정을 위한 장치로 공급된다. 이 보관 공정에 있어서, 유리 기판의 보관이나 반송의 편의를 위하여, 복수의 유리 기판을 수납 가능하도록 구성된 카세트가 이용된다. 유리 기판은 카세트에 수납된 상태로 보관되므로, 손상이나 변형이 방지되고, 또한 반입을 위한 편의가 도모된다. 관련 기술이, 일본 특허출원 공개번호 2005-60110호에 개시되어 있다.

보관 공정에 있어서, 복수의 카세트를 평면적으로 배열하면, 그로 인해 넓은 면적을 확보할 필요가 있다. 본 발명은, 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 기판을 보관 및 공급하기 위한, 면적 절약 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 일측면에 의하면, 용기에 수납된 복수의 대상물을 보관하고, 다음 공정의 장치로 공급하기 위한 시스템은, 상기 장치에 인접하는 제1 스테이션으로서, 상기 용기를 지지하면서 승강할 수 있도록 구성된 제1 지지체와; 상기 제1 지지체와 엇갈림 가능하게 승강할 수 있도록 구성되며, 상기 제1 지지체와의 엇갈림에 의해 상기 제1 지지체로부터 상기 용기를 수취하도록 구성된 제2 지지체와; 상기 제2 지지체를 승강시켜서 상기 복수의 대상물을 특정한 위치에 차례로 위치맞춤할 수 있도록 구성된 승강 기구와; 상기 복수의 대상물 중 상기 특정한 위치에 있는 대상물을 상기 용기로부터 상기 장치를 향해 송출하는 송출 기구를 구비한 제1 스테이션과; 상기 제1 스테이션에 적어도 일부가 인접하는 제2 스테이션으로서, 상기 용기를 지지하면서 승강할 수 있도록 구성된 제3 지지체와; 상기 용기를 상기 제1 지지체에 수수(授受)하기 위해 상기 제3 지지체를 수평 방향으로 이동하는 제1 이동 장치와; 상기 제3 지지체를 승강시키는 승강 장치를 구비한 제2 스테이션을 구비한다.

바람직하게는, 상기 제1 스테이션은, 상기 용기를 상기 제2 지지체로부터 상기 제2 스테이션을 향해 이동하는 제2 이동 장치를 더 구비하고, 상기 제2 스테이션은, 상기 제2 이동 장치에 의해 이동된 상기 용기를 받아서 보관할 수 있도록 구성된 지지 기구를 더 구비한다. 보다 바람직하게는, 상기 제2 스테이션의 상기 지지 기구는, 상기 제3 지지체의 승강 시에 상기 제3 지지체와 엇갈림 가능하게 구성되며, 상기 제3 지지체와의 엇갈림에 의해 상기 제3 지지체로부터 상기 용기를 수취하도록 구성되어 있다. 또한 더욱 바람직하게는, 상기 제2 스테이션의 상기 지지 기구는, 제1 위치와 제2 위치 사이에 신축 가능한 암을 구비하고, 상기 제1 위치에 있어서 상기 암은 상기 제3 지지체의 승강을 방해하지 않고, 상기 제2 위치에 있어서 상기 암은 상기 제3 지지체와의 엇갈림에 의해 상기 제3 지지체로부터 상기 용기를 수취하도록 구성되어 있다.

혹은 더욱 바람직하게는, 상기 제1 스테이션의 상기 송출 기구는, 상기 특정한 위치에 있는 상기 대상물의 하면에 구동적으로 접하는 롤러를 구비한다.

또한 바람직하게는, 상기 제2 스테이션은, 상기 제3 지지체를 수평 방향으로 이동하게 하여 상기 제1 스테이션에 인접할 수 있도록 구성된 이동체를 구비한다.

또한 바람직하게는, 상기 제1 이동 장치는, 수평 방향으로 이동 가능한 제1 슬라이더(slider)와, 상기 제1 슬라이더에 대하여 수평 방향으로 또한 이동 가능한 제2 슬라이더를 구비하고, 상기 제3 지지체는 상기 제2 슬라이더와 함께 이동하도록 구성되어 있다.

본 발명은, 기판을 보관 및 공급하기 위한 면적 절약 시스템을 제공한다.

본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 이하에 설명한다. 설명의 편의를 위해, 각 도면에 도시한 바와 같이 수평 방향으로 X, Y 방향을 정의한다. 이 정의는 설명의 편의를 위한 것이며, 본 발명은 반드시 이에 한정되지는 않는다.

본 명세서와 첨부한 청구의 범위를 통하여, 「엇갈림」의 용어를, 「하나의 요소가 다른 요소를 간섭하지 않고, 이 다른 요소를 통과하는 것」으로 정의하여 사용한다. 예를 들면, 구(球)가 그보다 직경이 큰 프레임을 통과하는 것이나, 하나의 요소가 다른 요소의 옆을 통과하는 것은, 「엇갈림」의 예이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 시스템(1)은, 액정 패널 등의 제조에 제공되는 유리 기판 등의 대상물 W가 수납된 용기(3)를 일시적으로 보관하고, 다음 공정의 장치(5)로 공급하기 위한 시스템이다. 이러한 시스템(1)은, 필요에 따라 클린룸 내 등에 설치되어 사용된다. 대상물 W로서는, 전체적으로 평면형인 비교적 얇은 물체, 예를 들면 액정 패널용 유리 기판 등의 박판이 매우 적합하다.

대상물 W는 용기(3)에 수직 방향으로 배열되어 수납된다. 용기(3)로서는, 공지된 적절한 용기를 이용할 수 있지만, 바람직하게는 하기와 같은 용기를 이용한다. 도 8을 참조하면, 바람직한 용기(3)는, 직육면체형의 외형을 가지는 본체(7)를 가지고, 그 X 방향의 양단(兩端)은 대상물 W의 삽입 및 반출을 위해 개방되어 있다. 본체(7)의 내부는, 수평 방향으로 돌출하는 복수의 지지핀(9)을 구비하고 있고, 각각 대상물 W를 지지하도록 구성되어 있다. 이들 복수의 지지핀(9)은 수직 방향으로 배열되어 있고, 지지핀(9) 사이의 공간(3s)은, 각각 대상물 W를 수납한다. 지지핀 대신, 수평으로 걸쳐진 선반용 판자나 와이어를 이용해도 된다. 본체(7)의 하면은, 대상물 W를 송출하기 위한 송출 기구(후술함)가 대상물 W에 접근하는 것을 허용하도록, 적절한 개구를 가진다. 상면 및 측면도 개구를 가져도 된다. 본체(7)의 측면은, 외측으로 돌출된 브래킷(11)을 구비하고, 브래킷(11)과 측면 사이에 복수의 롤러(13)가 회전 가능하게 지지되고, X 방향으로 배열되어 있다.

도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 시스템(1)은, 장치(5)에 X 방향으로 인접한 제1 스테이션 MS와, 제1 스테이션 MS에 적어도 일부가 X 방향으로 인접한 제2 스테이션 ES를 구비한다.

먼저 제2 스테이션 ES에 대하여 이하에 설명한다. 제2 스테이션 ES는, 대상물 W가 수납된 용기(3)를 반송하여, 일시적으로 보관하고, 또한 용기(3)를 제1 스테이션 MS에 공급하기 위해 사용된다. 바람직하게는, 대상물 W가 꺼내진 후의 용기(3)를 제1 스테이션 MS로부터 수취하는 역할도 행한다.

제2 스테이션 ES는, 지지 기구(15)를 구비하고, 지지 기구(15)는, 대차(臺車)와 같은 이동체(17)와, 이동체(17) 상에 설치된 지지체(21)와, 지지체(21)를 승강시키기 위한 승강 장치(23)와, 지지체를 수평 방향으로 이동시키기 위한 이동 장치(25)를 구비한다. 용기(3)는 지지체(21)에 의해 지지된다.

이동체(17)는, Y 방향으로 설치된 궤도(19)를 따라 이동 가능하다. 이동체(17)에는, 대차 대신 수평 이동 가능한 적절한 구조체를 이용할 수 있다. 또 제 2 스테이션 ES는, 이동체(17)를 Y 방향으로 구동시킬 수 있도록 적절한 구동 장치를 구비한다. 또는, 구동 장치를 외부에 설치하여, 외부로부터 이동체(17)를 구동시켜도 된다. 구동 장치로서는, 모터, 리니어 모터, 유압 장치, 공압(空壓) 장치 등을 이용할 수 있다. 적절하게 이동하면, 도 1과 같이, 지지체(21)는 제1 스테이션 MS에 인접한다. 또는, 이동체(17)는 제1 스테이션 MS에 인접하도록 고정되어 있어도 된다.

승강 장치(23)는, 링크 기구와, 링크 기구를 구동시키는 구동 장치(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 구동 장치가 링크 기구의 일단을 구동시키면, 도 5에 나타낸 바와 같이 구동 장치에 의한 운동이 상하 방향의 운동으로 변환되어, 지지체(21)가 승강한다. 링크 기구 대신, 적절한 신축 기구나, 볼 나사 등을 이용해도 된다.

이동 장치(25)는, X 방향으로 슬라이드 이동 가능한 제1 슬라이더(slider)(27)와, 제1 슬라이더(27)에 대하여 또한 X 방향으로 슬라이드 이동 가능한 제2 슬라이더(29)를 구비한다. 제2 슬라이더(29)는, 용기(3)를 지지하는 지지체(21)를 겸해도 되고, 제2 슬라이더(29)와는 별체로 지지체(21)가 설치되어 있어도 된다. 슬라이더(27, 29)가 도 1과 같이 서로 포개진 상태에서는, 용기(3)는 제2 스테이션 ES의 바로 위에 있다. 슬라이더(27, 29)가 X 방향으로 이동한 상태에서는, 용기(3)는, 도 5와 같이 X 방향으로 제1 스테이션 MS 측을 향하여 보내진다. 도시하지 않지만, 이동 장치(25)는 슬라이더(27, 29)를 구동시키는 모터 등의 적절한 구동 장치를 구비한다. 또는, 구동 장치는 외부에 설치되어 있어도 된다.

다음으로, 제1 스테이션 MS에 대하여 이하에 설명한다. 제1 스테이션 MS는, 제2 스테이션 ES로부터 용기(3)를 수취하여, 일시적으로 보관하고, 또한 용기(3)를 장치(5)에 공급하기 위해 사용된다. 바람직하게는, 대상물 W가 꺼내진 후의 용기(3)를 제2 스테이션 ES에 수수하는 역할도 한다.

제1 스테이션 MS는, 용기(3)를 지지하기 위한 제1 지지체(33)와, 제1 지지체(33)로부터 용기(3)를 수취하기 위한 제2 지지체(43)와, 이들을 각각 승강시키기 위한 승강 기구(37, 45)와, 특정한 위치 F에 있는 대상물 W를 용기(3)로부터 송출하는 송출 기구(51)를 구비한다.

제1 지지체(33)와 제2 지지체(43)를 지지하기 위하여, 제1 스테이션 MS는 프레임(31)을 구비한다. 바람직하게는 프레임(31)은, 도 3에 나타낸 바와 같이 Y 방향으로 이격되어 한쌍 설치된다. 지지체(33, 43)는, 한쌍의 프레임(31)에 대응하여, 각각 한쌍 설치된다. 이하에서는 프레임(31), 제1 지지체(33) 및 제2 지지체(43)는, 각각 한쌍 설치되는 것으로서 설명한다.

도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 한쌍의 제1 지지체(33)는 각각 너트부(41)를 구비하고, 프레임(31)은 볼 나사(39)를 구비한다. 너트부(41)의 내면은, 볼 나사(39)와 대응하도록 나사선이 형성되어 있고, 양자는 나사 결합되어 있다. 이와 같이 구성됨으로써, 볼 나사(39)의 회전에 따라 제1 지지체(33)가 승강한다. 또는, 볼 나사와 너트의 조합 대신, 와이어나 벨트에 의한 현가(懸架; suspension) 등의 다른 수단에 의해 승강을 가능하도록 해도 된다. 승강 기구(37)는, 볼 나사(39)를 구동하여 회전시킴으로써, 제1 지지체(33)를 승강시킨다. 한쌍의 승강 기구(37)는, 물론 동기하여 동작하도록 구성되어 있다.

제1 지지체(33)는 각각 클릭(35)을 구비한다. 클릭(35)은, 위치 33f보다 돌출된 전진 위치(도 4에 있어서 실선으로 나타냄)와, 후퇴 위치(도 4에 있어서 2점 쇄선으로 나타냄) 사이에서 신축 가능하다. 전진 위치에 있을 때, 클릭(35)은 용기(3)의 브래킷(11)과 걸어맞춤 가능하며, 이로써 용기(3)를 지지할 수 있다. 후퇴 위치에 있을 때, 클릭(35)은 브래킷(11)에 걸어맞추어지지 않으며, 이로써 용기(3)를 자유롭게 한다. 클릭(35)과 브래킷(11)과의 걸어맞춤 및 그 해제는, 전진 및 후퇴 대신, 회전 운동이나 상하 운동 등의 적절한 위치 변화에 의해 실현해도 된다.

제2 지지체(43)는, 각각 너트부(49)를 구비하고, 프레임(31)의 볼 나사(47)와 나사결합함으로써, 제1 지지체(33)와 마찬가지로 승강 가능하다. 승강 기구(45)는, 볼 나사(47)를 구동하여 회전시킴으로써, 제2 지지체(43)를 승강시킨다. 한 조의 승강 기구(45)는, 물론 동기하여 동작하도록 구성되어 있다. 볼 나사(47)와 너트부(49)의 조합 대신, 다른 현가 등의 적절한 수단을 사용할 수도 있다.

도 1로부터 이해할 수 있는 바와 같이, 제2 지지체(43)가 승강하는 범위는, 제1 지지체(33)가 승강하는 범위보다 하방(下方)이지만, 부분적으로 중복되어 있다. 도 4를 참조하면, 제2 지지체로부터 용기(3)를 향해 돌출된 행거(hanger)는, 제1 지지체(33)의 클릭(35)과 서로 간섭하지 않도록 치수가 설정되어 있다. 그러므로, 제2 지지체(43)는 제1 지지체(33)와 엇갈림 가능하도록 승강할 수 있다. 제2 지지체(43)가 상승하거나 또는 제1 지지체가 하강하여 서로 엇갈릴 때, 제2 지지 체(43)의 행거는, 용기(3)의 일부에 맞닿는다. 그러므로, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제2 지지체(43)는, 제1 지지체(33)와의 엇갈림에 의해, 제1 지지체(33)로부터 용기(3)를 수취하고 지지한다.

승강 기구(45)는, 특히 우수한 제어성으로 제2 지지체(43)를 승강시킨다. 그러므로, 용기(3) 내의 특정한 대상물 W를 특정한 위치 F에 위치맞춤할 수 있다. 송출 기구(51)는, 특정한 위치 F에 있는 대상물 W를 용기(3)로부터 송출할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 송출 기구(51)는 받침대(53) 상에 설치된 복수의 롤러(55)를 구비한다. 복수의 롤러(55)는 위치 F와 실질적으로 동일한 높이로 맞추어지고, 모터에 의해 구동되어 X 방향으로 회전 가능하다. 승강 기구(45)에 의해 위치 F에 위치맞춤된 대상물 W는, 롤러(55)에 접하고, 구동력을 받는 것에 의해, X 방향으로 인접한 장치(5)를 향해 송출된다. 또는, 이와 같은 구성 대신, 대상물 W의 양단을 파지하여 구동시키는 클램퍼나, 실린더, 초음파 반송 장치, 리니어 모터 등, 다른 송출 기구를 이용해도 된다. 또한, 공기압을 이용한 부상 장치와 조합시켜도 되고, 또한 공기압 만에 의해 대상물 W를 송출하도록 송출 기구(51)를 구성해도 된다.

제1 스테이션 MS는, 대상물 W를 송출한 후의 용기(3)를 이동시키는 제2 이동 장치(57)를 더 구비해도 된다. 바람직하게는 공지의 로드레스 실린더(59)를 이용한다. 또는 공지의 로드 실린더나 반송 롤러 등의 적절한 구동 장치를 이용한다. 로드레스 실린더(59)의 가동자(61)는 X 방향으로 왕복 운동 가능하다. 가동자(61)는, 위쪽으로 돌출하는 돌기(63)를 구비하고 있고, 돌기(63)가 용기(3)의 본체(7) 에 걸어맞추어진다. 걸어맞춤에 의해 용기(3)는 제2 이동 장치(57)에 의해 구동되고, 바람직하게는 제2 스테이션 ES를 향해 이동한다.

제2 스테이션 ES는, 제2 이동 장치(57)에 의해 이동된 용기(3)를 받아서 보관할 수 있도록 구성된 지지 기구(65)를 더 구비해도 된다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 지지 기구(65)는, 프레임(67)으로부터 아래로 늘어진 한쌍의 장착부(67a)와, 장착부(67a)의 하단에 각각 장착된 실린더(71)와, 실린더(71)로부터 돌출된 가동 로드(71f)의 선단에 각각 고정된 암(69)을 구비한다. 암(69)은 X 방향으로 연장되어 있고, 실린더(71)에 의해 구동되어 Y 방향으로 이동 가능하다. 암(69)이 도 2에 있어서 2점 쇄선으로 나타낸 위치에 있을 때, 브래킷(11)과 간섭하지 않고, 도 2에 있어서 실선으로 나타낸 위치에 있을 때, 브래킷(11)에 걸어맞추어질 수 있다. 브래킷(11) 대신, 용기(3)의 다른 부위에 걸어맞추어져도 된다. 또는 지지 기구(65) 대신, 외부의 크레인 등에 의해 용기(3)를 수취하도록 변형되어도 된다.

전술한 시스템(1)은 하기와 같이 작용한다.

제2 스테이션 ES의 지지체(21)에 의해, 복수의 대상물 W를 수납한 용기(3)가 반송되고, 도 1과 같이 제1 스테이션 MS에 인접시킬 수 있다. 승강 장치(23)에 의해 용기(3)가 적절한 위치로 상승한 후, 이동 장치(25)에 의해 용기(3)는 제1 스테이션 MS 측을 향하여 보내진다. 이 때, 제1 스테이션 MS의 제1 지지체(33)는, 용기(3)보다 약간 낮은 위치에 대기하고 있고, 클릭(35)은 전진 위치이다.

이어서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 승강 기구(37)가 가동하여 제1 지지체(33)가 상승하거나, 또는 승강 장치(23)가 가동하여 지지체(21)가 하강한다. 그 러면, 클릭(35)이 브래킷(11)과 걸어맞추어짐으로써, 제1 지지체(33)가 용기(3)를 수취한다. 이동 장치(25)는 원래의 위치로 복귀하고, 승강 장치(23)는 하강한다. 그리고, 다음 용기(3)를 반송할 수 있도록, 지지체(21)는 이동체(17)마다 이동한다.

용기(3)를 지지한 제1 지지체(33)는, 승강 기구(37)에 의해 구동되어, 적절한 위치까지 하강하고, 제1 지지체(33)는 제2 지지체(43)와 엇갈린다. 또는, 제2 지지체(43)가 승강 기구(45)에 의해 구동되어 상승함으로써, 엇갈림이 일어나도 된다. 그리고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제2 지지체(43)가 제1 지지체(33)와 엇갈릴 때, 행거가 용기(3)의 일부에 맞닿는 것에 의해, 제2 지지체(43)는 제1 지지체(33)로부터 용기(3)를 수취한다.

제1 지지체(33)의 클릭(35)은 후퇴 위치로 후퇴되고, 이어서, 승강 기구(37)의 구동에 의해, 제1 지지체(33)는 상승하여, 최초의 위치에 대기한다. 클릭(35)은 다시 전진 위치로 전진되며, 이로써 다음 용기(3)를 수취할 준비가 취해진다. 제2 스테이션 ES와 제1 지지체(33)는, 전술한 동작을 반복함으로써 다음 용기(3)의 수취를 행하며, 이로써 제1 지지체(33)는 다음 용기(3)를 일시적으로 보관하면서 제2 지지체(43)의 바로 위에 대기한다.

전술한 제1 지지체(33)의 동작과 병행하여, 승강 기구(45)는 제2 지지체(43)를 하강시켜, 용기(3) 내의 최하단의 대상물 W를 위치 F에 위치맞춤한다. 최하단의 대상물 W가 송출 기구(51)의 롤러(55)에 접하고, 롤러(55)에 의한 구동력을 받아 장치(5)를 향해 송출된다. 이어서 승강 기구(45)는 제2 지지체(43)를 하강시 켜, 나머지 대상물 W를 차례로 위치맞춤하며, 이로써 대상물 W가 장치(5)를 향해 순차적으로 송출된다.

용기(3) 내의 대상물 W가 송출된 후, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 이동 장치(57)가 가동하여 돌기(63)를 용기(3)에 가압하고, 또한 용기(3)를 제2 스테이션 ES를 향해 이동시킨다.

이 때 이미, 전술한 바와 같이, 제1 지지체(33)는 다음 용기(3)를 지지하여 대기하고 있다. 승강 기구(37)에 의해 구동되어 제1 지지체(33)가 하강하고, 승강 기구(45)에 의해 구동되어 제2 지지체는 상승하여, 제2 지지체(43)가 제1 지지체(33)와 엇갈린다. 이 때, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 지지체(43)는 제1 지지체(33)로부터 용기(3)를 수취한다. 그리고, 전술한 바와 마찬가지의 동작이 반복됨으로써, 대상물 W가 장치(5)에 쉴새없이 공급된다.

전술한 동작과 병행하여, 제2 이동 장치(57)에 의해 용기(3)는 제2 스테이션 ES 상으로 이동하고 있다. 제2 스테이션 ES의 지지 기구(65)는, 암(69)에 의해 용기(3)를 수취한다. 이어서, 승강 장치(23)의 구동에 의해 지지체(21)가 상승하고, 암(69) 대신 지지체(21)가 용기(3)를 지지한다. 실린더(71)의 구동에 의해 암(69)이 끌어 들여지고, 승강 장치(23)의 구동에 의해 지지체(21)가 하강한다. 그 후, 이동체(17)의 이동과 함께 용기(3)는 반송되고, 적절하게 처리된다. 이어서 제2 스테이션 ES는, 그 다음의 용기(3)를 반송하는 동작에 들어간다.

전술한 동작이 반복됨으로써, 반복 대상물 W가 용기(3)로부터 장치(5)에 공급된다. 제2 지지체(43)가 지지하는 용기(3)로부터 대상물 W가 장치(5)에 공급되 고 있는 동안, 제1 지지체(33)는 다음 용기(3)를 준비한 상태로 대기하고 있다. 그리고, 용기(3)로부터의 공급이 종료되면, 이 용기(3)는 제2 지지체(43)로부터 신속하게 제거되고, 제1 지지체(33)로부터 다음 용기(3)가 제2 지지체(43)에 수수된다. 그리고, 다음 용기(3)로부터 대상물 W가 장치(5)에 공급된다. 즉, 장치(5) 측으로는 쉴새없이 대상물 W가 공급된다. 시스템(1)은 다음 용기(3)를 앞의 용기(3)의 바로 위에 지지하여 대기시키고 있으므로, 복수의 용기를 일시적으로 보관하기 위해 추가적인 면적을 필요로 하지 않는다. 즉, 면적 절약 시스템이 제공된다.

본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예로 한정되는 것은 아니다. 전술한 개시 내용에 따라 본 기술 분야의 통상적인 기술을 가지는 사람이, 실시예의 수정 내지 변형에 의해 본 발명을 행할 수 있다..

도 1은, 본 발명의 일실시예에 따른 기판을 보관 및 공급하는 시스템의 입면도이다.

도 2는, 도 1에 있어서의 II-II선을 따라 절단한 상기 시스템의 측면도이다.

도 3은, 도 1에 있어서의 III-III선을 따라 절단한 상기 시스템의 측면도이다.

도 4는, 도 3에 있어서 화살표 IV로 나타낸 부분을 확대한 확대 측면도이다.

도 5는, 동작 과정에 있어서의 일상태를 나타낸 상기 시스템의 입면도이다.

도 6은, 동작 과정에 있어서의 다른 상태를 나타낸 상기 시스템의 입면도이다.

도 7은, 동작 과정에 있어서의 또 다른 상태를 나타낸 상기 시스템의 입면도이다.

도 8은, 상기 시스템에 이용되는 카세트의 종단면도이다.

Claims

용기에 수납된 복수의 대상물을 보관하고, 다음 공정의 장치로 공급하기 위한 시스템으로서,

상기 장치에 인접하는 제1 스테이션으로서,

상기 용기를 지지하면서 승강할 수 있도록 구성된 제1 지지체;

상기 제1 지지체와 엇갈림 가능하게 승강할 수 있도록 구성되며, 상기 제1 지지체와의 엇갈림에 의해 상기 제1 지지체로부터 상기 용기를 수취하기 위해 구성된 제2 지지체;

상기 제2 지지체를 승강시켜 상기 복수의 대상물을 특정한 위치에 순차적으로 위치맞춤할 수 있도록 구성된 승강 기구; 및

상기 복수의 대상물 중 상기 특정한 위치에 있는 대상물을 상기 용기로부터 상기 장치를 향해 송출하는 송출 기구;

를 구비한 제1 스테이션과,

상기 제1 스테이션에 적어도 일부가 인접하는 제2 스테이션으로서,

상기 용기를 지지하면서 승강할 수 있도록 구성된 제3 지지체;

상기 용기를 상기 제1 지지체에 수수(授受)하기 위해 상기 제3 지지체를 수평 방향으로 이동시키는 제1 이동 장치; 및

상기 제3 지지체를 승강시키는 승강 장치

를 포함하는 제2 스테이션

을 포함하는 시스템.
제1항에 있어서,

상기 제1 스테이션은, 상기 용기를 상기 제2 지지체로부터 상기 제2 스테이션을 향해 이동시키는 제2 이동 장치를 더 포함하고,

상기 제2 스테이션은, 상기 제2 이동 장치에 의해 이동된 상기 용기를 받아서 보관할 수 있도록 구성된 지지 기구를 더 포함하는, 시스템.
제2항에 있어서,

상기 제2 스테이션의 상기 지지 기구는, 상기 제3 지지체의 승강 시에 상기 제3 지지체와 엇갈림 가능하게 구성되며, 상기 제3 지지체와의 엇갈림에 의해 상기 제3 지지체로부터 상기 용기를 수취하도록 구성되어 있는, 시스템.
제3항에 있어서,

상기 제2 스테이션의 상기 지지 기구는, 제1 위치와 제2 위치 사이에 신축 가능한 암을 구비하고, 상기 제1 위치에 있어서 상기 암은 상기 제3 지지체의 승강을 방해하지 않고, 상기 제2 위치에 있어서 상기 암은 상기 제3 지지체와의 엇갈림에 의해 상기 제3 지지체로부터 상기 용기를 수취하도록 구성되어 있는, 시스템.
제1항에 있어서,

상기 제1 스테이션의 상기 송출 기구는, 상기 특정한 위치에 있는 상기 대상물의 하면에 구동적으로 접하는 롤러를 포함하는, 시스템.
제1항에 있어서,

상기 제2 스테이션은, 상기 제3 지지체를 수평 방향으로 이동시켜서 상기 제1 스테이션에 인접시킬 수 있도록 구성된 이동체를 포함하는, 시스템.
제1항에 있어서,

상기 제1 이동 장치는,

수평 방향으로 이동 가능한 제1 슬라이더(slider); 및

상기 제1 슬라이더에 대하여 또한 수평 방향으로 이동 가능한 제2 슬라이더

를 포함하고,

상기 제3 지지체는 상기 제2 슬라이더와 함께 이동하도록 구성되어 있는, 시스템.