TWI430933B - Storage and supply of the substrate system - Google Patents

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TWI430933B
TWI430933B TW098141370A TW98141370A TWI430933B TW I430933 B TWI430933 B TW I430933B TW 098141370 A TW098141370 A TW 098141370A TW 98141370 A TW98141370 A TW 98141370A TW I430933 B TWI430933 B TW I430933B
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Description

保管及供應基板之系統
本發明是關於可暫時保管一連貫製造作業流程的複數玻璃基板等對象物往下一個作業裝置供應的系統。
半導體元件或液晶面板的製造，總是利用玻璃製基板。製造作業過程中，複數玻璃基板是暫時受到保管，然後依順序供應往下一個作業用的裝置。該保管作業中，為了玻璃基板保管或搬運的方便，利用構成為可收納複數玻璃基板的匣盒。玻璃基板因是以收納在匣盒內的狀態受到保管，所以就能夠防止其損傷或變形，又能夠達到搬運方便。相關的技術是揭示在日本專利特開2005-60110號。
保管作業中，複數匣盒若呈平面排列，則需確保有該排列用的廣大面積。本發明是有鑑於上述問題所硏創的發明，目的為提供一種可保管及供應基板又節省面積的系統。
根據本發明之一形態時，做為保管容器中所收納的複數對象物往下一個作業裝置供應的系統，具備：鄰接上述裝置的第1站；及至少局部鄰接上述第1站的第2站，上述第1站，具備：構成為支撐著上述容器的同時昇降的第1支撐體；構成為可與上述第1支撐體交叉移動成昇降，又構成可利用與上述第1支撐體的交叉移動從上述第1支撐體承接上述容器的第2支撐體；構成為可使上述第2支撐體昇降將上述複數對象物依順序定位在特定位置的昇降機構；及可將上述複數對象物當中位於上述特定位置的對象物從上述容器朝上述裝置送出的送出機構，上述第2站，具備：構成為支撐著上述容器的同時昇降的第3支撐體；可使將上述容器交接至上述第1支撐體的上述第3支撐體朝水平方向移動的第1移動裝置；及可使上述第3支撐體昇降的昇降裝置。
最好是，上述第1站，又具備有可使上述容器從第2支撐體朝上述第2站移動的第2移動裝置，上述第2站，又具備有支撐機構，該支撐機構是構成為可承接保管上述第2移動裝置所移動的上述容器。更好是，上述第2站的上述支撐機構是構成在上述第3支撐體昇降時可與上述第3支撐體交叉移動，又構成為利用其與上述第3支撐體的交叉移動從上述第3支撐體承接上述容器。又更好是，上述第2站的上述支撐機構，具備可伸縮於第1位置和第2位置之間的腕，構成為上述腕位於上述第1位置時不會妨礙上述第3支撐體的昇降，上述腕位於第2位置時利用其與上述第3支撐體交叉移動從上述第3支撐體承接上述容器。
或者最好是，上述第1站的上述送出機構，具備有可驅動性接觸位於上述特定位置之上述對象物下面的滾輪。
或者最好是，上述第2站，具備有移動體，該移動體是構成可使上述第3支撐體水平方向移動成鄰接上述第1站。
此外更好是，上述第1移動裝置，具備有：可水平方向移動的第1滑件(slider)；及相對於上述第1滑件可更加水平方向移動的第2滑件，上述第3支撐體是構成與上述第2滑件一起移動。
 [發明之最佳實施形態]
以下是參照圖面對本發明實施形態進行說明。為了方便說明，如各圖所示對於水平方向是定義成X、Y方向。該定義是為了方便說明，本發明並不限於該定義。
本說明書和添附的申請專利範圍的內容，是將「交叉移動」的用語定義成「一個元件是以不干涉另一個元件的狀態通過該另一個元件」使用。例如球通過比球還大徑的框，或一個元件通過另一個元件旁，都是「交叉移動」的例子。
參照第1圖，本發明一實施形態相關的系統1是可暫時保管已收納有供液晶面板等製造之玻璃基板等對象物W的容器3，將容器3往下一個作業裝置5供應的系統。該系統1是根據需求設置在無塵室內等使用。對象物W是全體平面狀的較薄物體，例如：適合為液晶面板用的玻璃基板等薄板。
對象物W是垂直方向排列收納在容器3。容器3是可利用習知適當的容器，但以利用以下所述的容器為佳。參照第8圖，適當的容器3是具有長方體形之外形的本體7，其X方向兩端為了插入及搬出對象物W是形成為開放。本體7的內部具備有朝水平方向突出的複數支撐銷9，構成為分別支撐著對象物W。該等複數支撐銷9是排列在垂直方向，支撐銷9之間的空間3s，可分別收納對象物W。也可取代支撐銷，利用架設成水平的棚板或鋼索。本體7的下面，具有適當的開口，形成為可容許對象物W送出用的送出機構(將於下述說明)接近對象物W。也可構成為上面及側面也具有開口。本體7的側面，具備突出至外方的托座11，托座11和側面之間支撐著可旋轉的複數滾輪13排列在X方向。
參照第1圖、第3圖、第4圖，系統1，具備有：X方向鄰接在裝置5的第1站MS；及至少局部X方向鄰接在第1站MS的第2站ES。
首先，針對第2站ES進行以下說明。第2站ES是做為搬運收納有對象物W的容器3，暫時保管該容器3，又將該容器3往第1站MS供應時使用。第2站ES最好是，其功能又可從第1站MS承接已取出對象物W的容器3。
第2站ES具備支撐機構15，支撐機構15，具備有：以台車為例的移動體17；設置在移動體17上的支撐體21；支撐體21昇降用的昇降裝置23；及支撐體水平方向移動用的移動裝置25。容器3是由支撐體21支撐著。
移動體17，可沿著Y方向走向的軌道19移動。對於移動體17，可取代台車利用可水平移動的適當構造體。此外，第2站ES，又具備有可朝Y方向驅動移動體17的適當驅動裝置。或者是，也可將驅動裝置設置在外部，從外部驅動移動體17。驅動裝置可利用馬達、線性馬達、油壓裝置、空壓裝置等。適當移動時，如第1圖所示，支撐體21會鄰接第1站MS。或者，移動體17也可固定成鄰接第1站MS。
昇降裝置23具備連桿機構和連桿機構驅動用的驅動裝置(省略圖示)。當驅動裝置驅動連桿機構的一端時，如第5圖所示，驅動裝置造成的運動會轉換成上下方向的運動，支撐體21會形成昇降。也可取代連桿機構，利用適當的伸縮機構或滾珠螺桿等。
移動裝置25，具備：可X方向滑動的第1滑件(slider) 27；及相對於第1滑件27可更在X方向滑動的第2滑件29。第2滑件29，也可兼為容器3支撐用的支撐體21，也可有別於第2滑件29另外設置支撐體21。滑件27、29如第1圖所示彼此為套匣的狀態時，容器3是位於第2站ES的正上方。滑件27、29為朝X方向移動後的狀態時，容器3是如第5圖所示，往X方向朝第1站MS伸出。雖然未圖示，但移動裝置25具備滑件27、29驅動用的馬達等適當驅動裝置。或者，驅動裝置也可設置在外部。
其次，針對第1站MS進行以下說明。第1站MS是做為從第2站ES承接容器3，暫時性保管該容器3，又將該容器3往裝置5供應時使用。第1站MS是以其功能又可將已取出對象物W的容器3交接至第2站ES。
第1站MS，具備：容器3支撐用的第1支撐體33；可從第1支撐體33承接容器3的第2支撐體43；分別昇降第1支撐體33、第2支撐體43用的昇降機構37、45；及可將位於特定位置F的對象物W從容器3送出的送出機構51。
為了支撐第1支撐體33及第2支撐體43，第1站MS具備有框架31。以框架31，如第3圖所示隔著間隔在Y方向設有一對為佳。支撐體33、43是對應一對框架31，分別設有一對。以下，框架31、第1支撐體33、第2支撐體43是以分別設有一對的例子進行說明。
如第3圖、第4圖所示，一對第1支撐體33是分別具有螺帽部41，框架31具備滾珠螺桿39。螺帽41的內面是對應滾珠螺桿39切削加工有螺旋，兩者是螺合著。利用上述構成，隨著滾珠螺桿39的旋轉，第1支撐體33會形成昇降。或者，也可取代滾珠螺桿和螺帽的組合，利用鋼索或皮帶構成的懸吊架等另一手段達到能夠昇降。昇降機構37是藉由驅動旋轉滾珠螺桿39，使第1支撐體33昇降。一對的昇降機構37，當然是構成為同步動作。
第1支撐體33分別具備爪35。爪35是可伸縮在比位置33f還突出的前進位置(第4圖中實線所示位置)和後退位置(第4圖中二點虛線所示位置)之間。爪35位於前進位置時，可和容器3的托座11卡合，因此是可支撐著容器3。爪35位於後退位置時，與托座11不卡合，因此可使容器3自由。爪35與托座11的卡合及該卡合的解除，也可取代前進及後退，利用旋轉運動或上下運動等適當的位置變化來實現。
第2支撐體43，分別具備螺帽部49，利用螺帽部49與框架31的滾珠螺桿47的螺合，可和第1支撐體33同樣昇降。昇降機構45是藉由驅動旋轉滾珠螺桿47，使第2支撐體43昇降。一組的昇降機構45，當然是構成為同步動作。也可取代滾珠螺桿47和螺帽部49的組合，利用其他懸吊架等適當手段。
如第1圖中所獲得的理解，第2支撐體43的昇降範圍是比第1支撐體33的昇降範圍還位於下方，但局部性重複。參照第4圖時，從第2支撐體43朝容器3突出的吊架(hanger)是形成為不會與第1支撐體33的爪35彼此干涉的尺寸。因此，第2支撐體43是可和第1支撐體33昇降成交叉移動。第2支撐體43上昇或是第1支撐體下降成彼此交叉移動時，第2支撐體43的吊架會抵接於容器3的一部份。因此，如第8圖所示，第2支撐體43是利用其與第1支撐體33的交叉移動，從第1支撐體33承接容器3並支撐著容器3。
昇降機構45，特別是能夠控制性良好昇降第2支撐體43。因此，能夠使容器3中的特定對象物W定位在特定位置F。送出機構51是構成為可使位於特定位置F的對象物W從容器3送出。即，如第1圖、第3圖所示，送出機構51具備設置在台53上的複數滾輪55。複數滾輪55是位於和位置F大致相同的高度，由馬達驅動成可朝X方向旋轉。由昇降機構45定位在位置F的對象物W是接觸滾輪55，受到驅動力驅動朝鄰接在X方向的裝置5送出。或者是，也可取代上述構成，利用把持著對象物W兩端進行驅動的箝位器或缸筒、超音波搬運裝置、線性馬達等其他的送出機構。或者是，又可與利用空氣壓的浮上裝置組合，再加上，也可構成為只利用空氣壓送出對象物W的送出機構51。
第1站MS，也可又具備有可使送出對象物W後的容器3移動的第2移動裝置57。第2移動裝置57是以利用習知的無桿缸筒59。或者是利用習知的桿缸筒或搬運滾輪等適當的驅動裝置為佳。無桿缸筒59的活動元件61是可X方向往復運動。活動元件61具備朝上方突出的突起63，突起63會和容器3的本體7卡合。透過卡合使容器3受到第2移動裝置57驅動，以使容器3朝第2站ES移動為佳。
第2站ES，也可又具備有支撐機構65，該支撐機構65是構成為可承接保管第2移動裝置57所移動的容器3。參照第1圖、第2圖，支撐機構65，具備有：從框架67垂下的一對安裝部67a；分別安裝在安裝部67a下端的缸筒71；分別固定在從缸筒71突出之活動桿71r前端的腕69。腕69是延伸在X方向，由缸筒71驅動成可朝Y方向移動。當腕69位於第2圖二點虛線所示位置時，不會干涉到托座11，當腕69位於第2圖實線所示位置時，可卡合於托座11。也可取代卡合於托座11，構成為卡合於容器3的其他部位。或者是，也可取代支撐機構65，將形態變形為利用外部起重機等承接容器3。
上述系統1是作用成如以下所述。
利用第2站ES的支撐體21，搬運收納有複數對象物W的容器3，如第1圖所示使容器3鄰接於第1站MS。利用昇降裝置23使容器3上昇至適當位置後，利用移動裝置25使容器3朝第1站MS伸出。此時，第1站MS的第1支撐體33是待機在比容器3還稍微低的位置，爪35是位於前進位置。
其次，如第5圖所示，啟動昇降機構37使第1支撐體33上昇，或者是啟動昇降裝置23使支撐體21下降。如此一來，爪35就會和托座11卡合，使第1支撐體33承接容器3。移動裝置25會回到原來位置，昇降裝置23會下降。接著，搬運下一個容器3，此時支撐體21是移動體17整個移動。
支撐有容器3的第1支撐體33，是由昇降機構37驅動成下降至適當位置，第1支撐體33是和第2支撐體43交叉移動。或者是，也可由昇降機構45驅動第2支撐體43上昇，藉此產生交叉移動。接著如第4圖所示，在第2支撐體43和第1支撐體33交叉移動時，吊架會抵接於容器3的一部份，使第2支撐體43從第1支撐體33承接容器3。
第1支撐體33的爪35是後退至後退位置，接著利用昇降機構37的驅動，使第1支撐體33上昇，待機在最初的位置。然後爪35再度前進至前進位置，藉此做為承接下一個容器3的準備。第2站ES和第1支撐體33，是利用上述動作的重複執行下一個容器3的交接，因此第1支撐體33是暫時性保管下一個容器3的同時待機在第2支撐體43的正上方。
與上述的第1支撐體33的動作並行，昇降機構45是降下第2支撐體43，使容器3中最下段的對象物W定位在位置F。最下段的對象物W會接觸送出機構51的滾輪55，受到滾輪55的驅動力朝裝置5送出。接著昇降機構45是降下第2支撐體43，使剩下的對象物W依順序定位，藉此使對象物W朝裝置5依順序送出。容器3內的對象物W送出後，如第6圖所示，第2移動裝置57會啟動使突起63推壓容器3，使容器3又朝第2站ES移動。
此時，如上述，第1支撐體33是支撐著下一個容器3成為待機狀態。受到昇降機構37的驅動第1支撐體33會下降，受昇降機構45的驅動第2支撐體43會上昇，第2支撐體43會和第1支撐體33交叉移動。於此時，如第7圖所示，第2支撐體43是從第1支撐體33承接容器3。然後利用與上述相同動作的重複，就可使對象物W不斷地供應至裝置5。
與上述的動作並行，利用第2移動裝置57使容器3移動至第2站ES上。第2站ES的支撐機構65是利用其腕69承接容器3。接著利用昇降裝置23的驅動使支撐體21上昇，取代腕69由支撐體21支撐著容器3。利用缸筒71的驅動使腕69縮回，利用昇降裝置23的驅動使支撐體21下降。然後，容器3是與移動體17的移動同時受到搬運，並受到適當的處理。接著，第2站ES是又進入執行搬運下一個容器3的動作。
利用上述動作的重複，不斷地使對象物W從容器3供應至裝置5。從第2支撐體43所支撐的容器3使對象物W供應至裝置5的期間，第1支撐體33是以準備好下一個容器3的狀態成為待機。接著當來自於容器3的供應結束時，該容器3會迅速從第2支撐體43去除，下一個容器3會從第1支撐體33交接至第2支撐體43。接著會從下一個容器3使對象物W供應至裝置5。即，對象物W會不斷地供應至裝置5。系統1因是將下一個容器3支撐待機在先行的容器3正上方，所以不必為了暫時保管複數容器而追加面積。即，可提供節省面積的保管及供應基板之系統。
以上是參照較佳實施形態說明了本發明，但本發明並不限於上述實施形態。根據上述揭示內容，具有本技術領域通常技術之人，只要對實施形態加以修正或變形就可實施本發明。
[產業上之可利用性]
本發明提供一種可節省面積之保管及供應基板用的系統。
1．．．系統
3．．．容器
3s．．．空間
5．．．裝置
7．．．本體
9．．．支撐銷
11．．．托座
13．．．滾輪
15．．．支撐機構
17．．．移動體
19．．．軌道
21．．．支撐體
23．．．昇降裝置
25．．．移動裝置
27．．．第1滑件
29．．．第2滑件
31．．．框架
33．．．第1支撐體
33f．．．位置
35．．．爪
37．．．昇降機構
39．．．滾珠螺桿
41．．．螺帽部
43．．．第2支撐體
45．．．昇降機構
47．．．滾珠螺桿
49．．．螺帽部
51．．．送出機構
53．．．台
55．．．滾輪
57．．．第2移動裝置
59．．．無桿缸筒
61．．．活動元件
63．．．突起
65．．．支撐機構
67．．．框架
67a．．．安裝部
69．．．腕
71．．．缸筒
71r．．．活動桿
MS．．．第1站
ES．．．第2站
W．．．對象物
F．．．特定位置
第1圖為本發明一實施形態相關的保管及供應基板之系統立面圖。
第2圖為沿著第1圖II-II剖線所獲得的上述系統側面圖。
第3圖為沿著第1圖III-III剖線所獲得的上述系統側面圖。
第4圖為第3圖中箭頭符號IV所示部份放大後的放大側面圖。
第5圖為表示動作過程之一狀態的上述系統立面圖。
第6圖為表示動作過程之另一狀態的上述系統立面圖。
第7圖為表示動作過程之又另一狀態的上述系統立面圖。
第8圖為上述系統所利用的匣盒縱剖面圖。
1．．．系統
3．．．容器
5．．．裝置
15．．．支撐機構
17．．．移動體
19．．．軌道
21．．．支撐體
23．．．昇降裝置
25．．．移動裝置
27．．．第1滑件
29．．．第2滑件
31．．．框架
33．．．第1支撐體
33f．．．位置
35．．．爪
37．．．昇降機構
39．．．滾珠螺桿
43．．．第2支撐體
45．．．昇降機構
47．．．滾珠螺桿
51．．．送出機構
53．．．台
55．．．滾輪
57．．．第2移動裝置
59．．．無桿缸筒
61．．．活動元件
63．．．突起
65．．．支撐機構
67．．．框架
67a．．．安裝部
69．．．腕
71．．．缸筒
MS．．．第1站
ES．．．第2站
W．．．對象物

Claims (7)

  1. 一種保管及供應基板之系統，係保管容器中所收納的複數對象物往下一個作業裝置供應的系統，其特徵為，具備：鄰接上述裝置的第1站；及至少局部鄰接上述第1站的第2站，上述第1站，具備：構成為支撐著上述容器的同時昇降的第1支撐體；構成為可與上述第1支撐體交叉移動成昇降，又構成為利用其與上述第1支撐體的交叉移動從上述第1支撐體承接上述容器的第2支撐體；構成為可使上述第2支撐體昇降將上述複數對象物依順序定位在特定位置的昇降機構；及可將上述複數對象物當中位於上述特定位置的對象物從上述容器朝上述裝置送出的送出機構，上述第2站，具備：構成為支撐著上述容器的同時昇降的第3支撐體；可使將上述容器交接至上述第1支撐體的上述第3支撐體朝水平方向移動的第1移動裝置；及可使上述第3支撐體昇降的昇降裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載的保管及供應基板之系統，其中，上述第1站，又具備有可使上述容器從上述第2支撐體朝上述第2站移動的第2移動裝置，上述第2站，又具備有支撐機構，該支撐機構是構成為可承接保管上述第2移動裝置所移動的上述容器。
  3. 如申請專利範圍第2項所記載的保管及供應基板之系統，其中，上述第2站的上述支撐機構，構成為在上述第3支撐體昇降時可與上述第3支撐體交叉移動，又構成為利用其與上述第3支撐體的交叉移動從上述第3支撐體承接上述容器。
  4. 如申請專利範圍第3項所記載的保管及供應基板之系統，其中，上述第2站的上述支撐機構，具備可伸縮在第1位置和第2位置之間的腕，構成為上述腕位於上述第1位置時不會妨礙上述第3支撐體的昇降，上述腕位於上述第2位置時利用其與上述第3支撐體交叉移動從上述第3支撐體承接上述容器。
  5. 如申請專利範圍第1項所記載的保管及供應基板之系統，其中，上述第1站的上述送出機構，具備有可驅動性接觸位於上述特定位置之上述對象物下面的滾輪。
  6. 如申請專利範圍第1項所記載的保管及供應基板之系統，其中，上述第2站，具備有移動體，該移動體是構成為可使上述第3支撐體水平方向移動成鄰接上述第1站。
  7. 如申請專利範圍第1項所記載的保管及供應基板之系統，其中，上述第1移動裝置，具備有：可水平方向移動的第1滑件(slider)；及相對於上述第1滑件可更加水平方向移動的第2滑件，上述第3支撐體是構成與上述第2滑件一起移動。
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