CN101746605B - 保管及供给基板的系统 - Google Patents

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Abstract

本发明的用于保管容纳于容器中的多个对象物并向下一个工序的装置供给的系统，具备与上述装置邻接的第一工位和至少一部分与上述第一工位邻接的第二工位。上述第一工位具备：在支撑上述容器的同时进行升降的第一支撑体；可与上述第一支撑体交错地进行升降，且通过与上述第一支撑体的交错从上述第一支撑体接受上述容器的第二支撑体；使上述第二支撑体升降并使上述多个对象物在特定位置依次对位的升降机构；以及将上述多个对象物中位于上述特定位置的对象物从上述容器向上述装置送出的送出机构。上述第二工位具备：在支撑上述容器的同时进行升降的第三支撑体；以及为了将上述容器交接到上述第一支撑体将上述第三支撑体沿水平方向移动的第一移动装置。

Description

保管及供给基板的系统
技术领域
本发明涉及用于将流动于一系列制造工序中的多个玻璃基板等对象物暂时保管，并向下一个工序的装置供给的系统。
背景技术
在半导体器件或液晶面板的制造中，经常使用玻璃制的基板。在制造工序的过程中，多个玻璃基板被暂时保管，然后依次向下一个工序用的装置供给。在该保管工序中，为了便于玻璃基板的保管和搬送，利用构成为能够容纳多个玻璃基板的盒。由于玻璃基板以容纳在盒中的状态保管，因此可防止损伤和变形，而且便于搬入。相关技术公开于日本国特开2005-60110号公报中。
发明内容
在保管工序中，若平面地排列多个盒，则为此需要确保较大的面积。本发明是鉴于该问题而做出的，目的在于提供一种用于保管及供给基板的节省面积的系统。
根据本发明的第一方案，用于保管容纳于容器中的多个对象物并向下一个工序的装置供给的系统的特征在于，具备与上述装置邻接的第一工位和至少一部分与上述第一工位邻接的第二工位，上述第一工位具备：构成为在支撑上述容器的同时进行升降的第一支撑体；构成为可与上述第一支撑体交错地进行升降，且构成为通过与上述第一支撑体的交错而从上述第一支撑体接受上述容器的第二支撑体；构成为使上述第二支撑体升降并使上述多个对象物在特定位置依次对位的升降机构；以及将上述多个对象物中位于上述特定位置的对象物从上述容器向上述装置送出的送出机构，上述第二工位具备：构成为在支撑上述容器的同时进行升降的第三支撑体；为了将上述容器交接到上述第一支撑体上而将上述第三支撑体沿水平方向移动的第一移动装置；以及使上述第三支撑体升降的升降装置。
优选上述第一工位还具备将上述容器从上述第二支撑体向上述第二工位移动的第二移动装置，上述第二工位还具备构成为接受并保管利用上述第二移动装置移动的上述容器的支撑机构。更优选上述第二工位的上述支撑机构构成为在上述第三支撑体升降时可与上述第三支撑体交错，且构成为通过与上述第三支撑体的交错而从上述第三支撑体接受上述容器。进一步优选上述第二工位的上述支撑机构构成为，具备可在第一位置和第二位置之间伸缩的臂，上述臂在上述第一位置不妨碍上述第三支撑体的升降，上述臂在上述第二位置通过与上述第三支撑体的交错而从上述第三支撑体接受上述容器。
或者优选上述第一工位的上述送出机构具备以驱动的方式与位于上述特定位置的上述对象物的下面接触的滚子。
或者优选上述第二工位具备移动体，该移动体构成为使上述第三支撑体沿水平方向移动并与上述第一工位邻接。
或者优选上述第一移动装置具备可沿水平方向移动的第一滑块和相对于上述第一滑块可进一步沿水平方向移动的第二滑块，上述第三支撑体构成为能够与上述第二滑块一起移动。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式的保管及供给基板的系统的正视图。
图2是沿着图1中的II-II线的上述系统的侧视图。
图3是沿着图1中的III-III线的上述系统的侧视图。
图4是放大图3中用箭头IV所示的部分的放大侧视图。
图5是表示动作过程中的一个状态的上述系统的正视图。
图6是表示动作过程中的另一个状态的上述系统的正视图。
图7是表示动作过程中的其他状态的上述系统的正视图。
图8是用于上述系统的盒的纵剖视图。
具体实施方式
以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。为了便于说明，如各图所示，在水平方向定义X、Y方向。该定义是为了便于说明，本发明不必限定于此。
在本说明书和附加的权利要求的保护范围中，将“交错(行き違い)”之词定义为“一个要素不干涉另一个要素且通过该另一个要素”来使用。例如球通过直径比它大的框或一个要素通过另一个要素的旁边就是“交错”的例子。
参照图1，本发明的一个实施方式的系统1是用于暂时保管容纳有供液晶面板等的制造的玻璃基板等对象物W，并向下一个工序的装置5供给的系统。该系统1根据需要设置在净化间内等来使用。作为对象物W，整体为平面状的比较薄的物体、例如液晶面板用的玻璃基板等薄板较为合适。
对象物W沿垂直方向排列并容纳于容器3中。作为容器3，可利用公知的适当的容器，但是优选利用如下所述的容器。参照图8，优选的容器3具备具有长方体状的外形的主体7，其X方向的两端敞开以用于对象物W的插入及搬出。主体7的内部具备沿水平方向突出的多个支撑销9，构成为分别支撑对象物W。这些多个支撑销9沿垂直方向排列，支撑销9之间的空间3s分别容纳对象物W。也可以取代支撑销而利用水平架设的隔板或线。主体7的下面具有适当的开口，以便允许用于送出对象物W的送出机构(后述)接近对象物W。上面以及侧面也可以具有开口。主体7的侧面具备向外侧突出的托架11，在托架11和侧面之间可旋转地支撑有多个滚子13，且沿X方向排列。
参照图1、3、4，系统1具备：在X方向与装置5邻接的第一工位MS；以及，至少一部分在X方向与第一工位MS邻接的第二工位ES。
以下首先对第二工位ES进行说明。第二工位ES用于搬送容纳有对象物W的容器3并暂时保管，进而将该容器3向第一工位MS供给。最好还具有从第一工位MS接受取出了对象物W后的容器3的作用。
第二工位ES具备支撑机构15，支撑机构15具备：如台车之类的移动体17；设置在移动体17上的支撑体21；用于使支撑体21升降的升降装置23；以及用于将支撑体沿水平方向移动的移动装置25。容器3由支撑体21支撑。
移动体17可沿着Y方向的轨道19移动。移动体17能够取代台车而利用可水平移动的适当的构造体。另外，第二工位ES为了沿Y方向驱动移动体17而具备适当的驱动装置。或者，也可以将驱动装置设置在外部，并从外部驱动移动体17。作为驱动装置，可利用马达、线性马达、液压装置、气压装置等。若适当地移动，则如图1所示，支撑体21与第一工位MS邻接。或者，移动体17也可以固定成与第一工位MS邻接。
升降装置23具备连杆机构和驱动连杆机构的驱动装置(省略图示)。若驱动装置驱动连杆机构的一端，则如图5所示，由驱动装置进行的运动转换成上下方向的运动，支撑体21进行升降。也可以取代连杆机构而利用适当的伸缩机构或滚珠螺杆等。
移动装置25具备：可沿X方向滑动的第一滑块(slider)27；以及相对于第一滑块27可进一步沿X方向滑动的第二滑块29。第二滑块29也可以兼作支撑容器3的支撑体21，也可以与第二滑块29分体设置支撑体21。在滑块27、29如图1所示相互成为嵌套状的状态下，容器3位于第二工位ES的正上方。在滑块27、29沿X方向移动的状态下，容器3如图5所示，沿X方向向第一工位MS伸出。虽然未图示，但是移动装置25具备驱动滑块27、29的马达等适当的驱动装置。或者，驱动装置设置在外部也可以。
以下，接着对第一工位MS进行说明。第一工位MS用于从第二工位ES接受容器3并暂时保管，进而将该容器3向装置5供给。最好还具有将取出了对象物W后的容器3向第二工位ES交接的作用。
第一工位MS具备：用于支撑容器3的第一支撑体33；用于从第一支撑体33接受容器3的第二支撑体43；用于使这些支撑体分别升降的升降机构37、45；以及将位于特定位置F的对象物W从容器3送出的送出机构51。
为了支撑第一支撑体33和第二支撑体43，第一工位MS具备框架31。最好是框架31如图3所示，沿Y方向分离地设有一对。支撑体33、43与一对框架31对应而分别设有一对。以下，以框架31、第一支撑体33、第二支撑体43分别设有一对的结构进行说明。
如图3、4所示，一对第一支撑体33分别具备螺母部41，框架31具备滚珠螺杆39。螺母41的内表面切割有螺旋以与滚珠螺杆39对应，两者螺纹结合。通过这样构成，第一支撑体33伴随着滚珠螺杆39的旋转而升降。或者，也可以取代滚珠螺杆和螺母的组合而利用线或带形成的悬架等其他机构实现升降。升降机构37通过驱动滚珠螺杆39而使其旋转，从而使第一支撑体33升降。不言而喻，一对升降机构37构成为同步工作。
第一支撑体33分别具备爪35，爪35在比位置33f更突出的前进位置(在图4中用实线表示)和后退位置(在图4中用双点划线表示)之间可以伸缩。位于前进位置时，爪35可以与容器3的托架11卡合，因而可以支撑容器3。位于后退位置时，爪35不与托架11卡合，因而容器3成为自由状。爪35与托架11的卡合及其解除也可以取代前进以及后退而通过旋转运动或上下运动等的适当的位置变化来实现。
第二支撑体43分别具备螺母部49，通过与框架31的滚珠螺杆47螺纹结合，从而可以与第一支撑体33同样地升降。升降机构45通过驱动滚珠螺杆47而使其旋转，从而使第二支撑体43升降。不言而喻，一组升降机构45构成为同步工作。也可以取代滚珠螺杆47与螺母部49的组合而使用其它悬架等的适当的机构。
如从图1理解的那样，第二支撑体43升降的范围比第一支撑体33升降的范围靠下方，但部分重复。参照图4，从第二支撑体向容器3突出的吊架(hanger)的尺寸设置成不与第一支撑体33的爪35干涉。因此，第二支撑体43能够与第一支撑体33可交错地升降。第二支撑体43上升或第一支撑体下降而相互交错时，第二支撑体43的吊架与容器3的一部分抵接。因此，如图8所示，第二支撑体43通过与第一支撑体33的交错，从第一支撑体33接受容器3并进行支撑。
升降装置45尤其控制性良好地使第二支撑体43升降。因此，可以使容器3中的特定的对象物W在特定位置F对位。送出机构51构成为将位于特定位置F的对象物W从容器3送出。即、如图1、3所示，送出机构51具备设置在台架53上的多个滚子55。多个滚子55在与位置F大致相同的高度对齐，而且利用马达驱动并可以在X方向旋转。利用升降机构45与位置F对位后的对象物W通过与滚子55接触而受到驱动力，从而沿X方向向邻接的装置5送出。或者，也可以取代这种结构而利用把持对象物W的两端进行驱动的夹紧装置或气缸、超声波搬送装置、线性马达等其它送出机构。或者，也可以与利用了气压的浮起装置组合，并且也可以将送出机构51构成为仅用气压送出对象物W。
第一工位MS还可以具备使送出对象物W后的容器3移动的第二移动装置57。优选利用公知的无杆气缸59。或者利用公知的杆式气缸或搬送滚子等适当的驱动装置。无杆气缸59的可动元件61可沿X方向往复运动。可动元件61具备向上方突出的突起63，突起63与容器3的主体7卡合。通过卡合，容器3被第二移动装置57驱动，优选向第二工位ES移动。
第二工位ES还可以具备支撑机构65，该支撑机构65构成为接受并保管利用第二移动装置57移动的容器3。参照图1、2，支撑机构65具备：从框架67垂下的一对安装部67a；分别安装在安装部67a的下端的气缸71；以及分别固定在从气缸71突出的可动杆71f的前端的臂69。臂69沿X方向延伸，利用气缸71驱动而可沿Y方向移动。在臂69位于图2中用双点划线所示的位置时，不与托架11干涉，在位于图2中用实线所示的位置时可与托架11卡合。也可以取代托架11而与容器3的其它部位卡合。或者也可以取代支撑机构65而变形为利用外部的起重机等接受容器3。
上述的系统1如下发挥作用。
利用第二工位ES的支撑体21搬送容纳有多个对象物W的容器3，如图1所示，使其与第一工位MS邻接，利用升降装置23将容器3上升到适当的位置后，容器3利用移动装置25向第一工位MS伸出。此时，第一工位MS的第一支撑体33在比容器3稍微低的位置待机，爪35位于前进位置。
然后，如图5所示，升降机构37运转而使第一支撑体33上升，或者升降装置23运转而使支撑体21下降。于是，爪35与托架11卡合，从而第一支撑体33接受容器3。移动装置25返回原位置，升降装置23下降。并且，为了搬送下一个容器3，支撑体21连同移动体17一起移动。
支撑容器3的第一支撑体33被升降机构37驱动而下降至适当的位置，第一支撑体33与第二支撑体43交错。或者，第二支撑体43被升降机构45驱动而上升，从而引起交错也可以。并且，如图4所示，第二支撑体43与第一支撑体33交错时，吊架与容器3的一部分抵接，从而第二支撑体43从第一支撑体33接受容器3。
第一支撑体33的爪35后退到后退位置，接着，第一支撑体33利用升降机构37的驱动而上升，并在最初的位置待机。爪35再次前进到前进位置，由此做好接受下一个容器3的准备。第二工位ES和第一支撑体33通过反复进行上述的动作而进行下一个容器3的交接，由此第一支撑体33在暂时保管下一个容器3的同时在第二支撑体43的正上方待机。
与上述的第一支撑体33的动作并行，升降机构45使第二支撑体43下降，使容器3中的最下层的对象物W与位置F对位。最下层的对象物W与送出机构51的滚子接触，受到滚子55的驱动力而向装置5送出。接着，升降装置45使第二支撑体43下降，使剩余的对象物W依次对位，由此对象物W向装置5依次送出。
容器3内的对象物W送出后，如图6所示，第二移动装置57运转并向容器3按压突起63，进而使容器3向第二工位ES移动。
此时，如上所述，第一支撑体33支撑下一个容器3并待机。第一支撑体33被升降机构37驱动而下降，第二支撑体被升降机构45驱动而上升，第二支撑体43与第一支撑体33交错。此时，如图7所示，第二支撑体43从第一支撑体33接受容器3。并且通过反复进行与上述同样的动作，从而不间断地向装置5供给对象物W。
与上述的动作并行，容器3利用第二移动装置57移动到第二工位ES上。第二工位ES的支撑机构65利用其臂69接受容器3。接着，支撑体21通过升降装置23的驱动而上升，支撑体21取代臂69支撑容器3。臂69通过气缸71的驱动被引入，通过升降装置23的驱动，支撑体21下降。然后，容器3随着移动体17的移动而搬送，并进行适当处理。接着，第二工位ES再次进入搬送下一个容器3的动作。
通过反复进行上述的动作，对象物W反复从容器3向装置5供给。在从第二支撑体43支撑的容器3向装置5供给对象物W的期间，第一支撑体33以准备了下一个容器3的状态待机。然后，若自容器3的供给结束，则该容器3从第二支撑体43迅速地被除去，从第一支撑体33向第二支撑体43交接下一个容器3。并且，从下一个容器3向装置5供给对象物W。即、不间断地向装置5供给对象物W。由于系统1将下一个容器3支撑在之前的容器3的正上方并待机，因此不需要为了暂时保管多个容器而追加面积。即、可提供节省面积的系统。
参照优选实施方式对本发明进行了说明，但是本发明并不限定于上述实施方式。具有本领域普通技术的人员基于上述公开内容，可通过实施方式的修改或变形来实施本发明。
产业上的可利用性如下。
提供一种用于保管及供给基板的节省面积的系统。

Claims (7)

1.一种系统，用于保管容纳于容器中的多个对象物并向下一个工序的装置供给，其特征在于，
具备与上述装置邻接的第一工位和至少一部分与上述第一工位邻接的第二工位，
上述第一工位具备：
构成为在支撑上述容器的同时进行升降的第一支撑体；
构成为可与上述第一支撑体交错地进行升降，且构成为通过与上述第一支撑体的交错而从上述第一支撑体接受上述容器的第二支撑体；
构成为使上述第二支撑体升降并使上述多个对象物在特定位置依次对位的升降机构；以及
将上述多个对象物中位于上述特定位置的对象物从上述容器向上述装置送出的送出机构，
上述第二工位具备：
构成为在支撑上述容器的同时进行升降的第三支撑体；
为了将上述容器交接到上述第一支撑体而将上述第三支撑体沿水平方向移动的第一移动装置；以及
使上述第三支撑体升降的升降装置，
将上述交错定义为一个要素不干涉另一个要素且通过该另一个要素。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，
上述第一工位还具备将上述容器从上述第二支撑体向上述第二工位移动的第二移动装置，上述第二工位还具备构成为接受并保管利用上述第二移动装置移动的上述容器的支撑机构。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，
上述第二工位的上述支撑机构构成为在上述第三支撑体升降时可与上述第三支撑体交错，并构成为通过与上述第三支撑体的交错而从上述第三支撑体接受上述容器。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，
上述第二工位的上述支撑机构构成为，具备可在第一位置和第二位置之间伸缩的臂，上述臂在上述第一位置不妨碍上述第三支撑体的升降，上述臂在上述第二位置通过与上述第三支撑体的交错而从上述第三支撑体接受上述容器。
5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，
上述第一工位的上述送出机构具备以驱动的方式与位于上述特定位置的上述对象物的下面接触的滚子。
6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，
上述第二工位具备移动体，该移动体构成为使上述第三支撑体沿水平方向移动并与上述第一工位邻接。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，
上述第一移动装置具备可沿水平方向移动的第一滑块、和相对于上述第一滑块可进一步沿水平方向移动的第二滑块，上述第三支撑体构成为能够与上述第二滑块一起移动。
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