KR20060051407A

KR20060051407A - 전기 광학 장치용 기판 및 전기 광학 장치, 그리고 검사방법

Info

Publication number: KR20060051407A
Application number: KR1020050087037A
Authority: KR
Inventors: 히로타카 가와타
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2004-09-22
Filing date: 2005-09-16
Publication date: 2006-05-19
Also published as: CN100433086C; CN1753060A; JP2006091239A; US20060060851A1; KR100719820B1; TW200612143A; US7633469B2

Abstract

(과제) 전기 광학 장치 제조용의 기판 장치에 있어서, 결함 검출에 관련된 검사를 간이하게 실행한다.

(해결수단)

전기 광학 장치용 기판의 기판면 상에서의 각 형성 영역에, 하이브리드형의 전기 광학 장치의 일부가 되는 기판 장치 (100) 가 형성된다. 각 형성 영역 외의 영역 (200) 에는, 기판 장치의 검사용의 검사 신호가 공급되는 검사용 배선 (501) 이 화상 신호 단자 (2a) 의 2 개 이상을 전기적으로 공통으로 접속 하도록 형성되어 있다. 전기 광학 장치용 기판은, 그 기판 장치를 분리하기 위해서, 기판 장치가 형성되는 각 형성 영역의 기판면 상에서의 경계 (500) 에 따라 분할된다.

전기광학 패널, 화상 표시 영역, 검사용 배선, 프로브, 멀티플렉스 신호

Description

전기 광학 장치용 기판 및 전기 광학 장치, 그리고 검사 방법{ELECTRO-OPTICAL DEVICE SUBSTRATE, ELECTRO-OPTICAL DEVICE, AND TESTING METHOD}

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 전기 광학 패널의 전체 구성을 나타내는 평면도.

도 2 는 도 1 의 H-H' 단면도.

도 3 은 제 1 실시형태에 관련된 전기 광학 장치의 구성을 나타내는 블록도.

도 4 는 제 1 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 구성을 개략적으로 나타내는 평면도.

도 5 는 도 4 에 있어서의 주요 부분의 구성을 확대하여 나타내는 부분 평면도.

도 6 은 제 1 실시형태에 관련된 전기 광학 패널의 검사 방법을 나타내는 플로우차트.

도 7 은 제 2 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 주요 부분의 구성을 나타내는 부분 평면도.

도 8 은 제 3 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 주요 부분의 구성을 나타내는 부분 평면도.

도 9 는 제 4 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 주요 부분의 구성 을 나타내는 부분 평면도.

도 10 은 제 5 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 구성을 개략적으로 나타내는 평면도.

도 11 은 본 발명의 전기 광학 장치를 적용한 전자기기의 실시형태로서의 PC를 나타내는 사시도.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

Y1∼Ym : 주사선 X1∼Xk : 데이터선,

2 : 외부 회로 접속 단자 2a : 화상 신호 단자

2b : 선택 신호 단자 2c : 구동 신호 단자

9a : 화소 전극 10 : TFT 어레이 기판

10a : 화상 표시 영역 20 : 대향 기판

50 : 액정층 84 : 디멀티플렉서

85 : 스위칭 소자 81 : 데이터선 구동 회로

104 : 주사선 구동 회로 100 : 전기 광학 패널

Z1∼Zn : 화상 신호선 200 : 스크라이브 공간

500 : 스크라이브선 501, 505 : 검사용 배선

511,511A,511B,506 : 검사용 공통 단자

502 : 가드 링 1000 : 전기 광학 장치용 기판

VD1∼VDn : 멀티플렉스 신호 SEL1, SEL2, SEL3 : 선택 신호

[특허문헌 1] 일본 공개특허공보 평10-260391호

본 발명은, 예를 들어, 액정 장치 등의 전기 광학 장치의 제조에 사용되는 전기 광학 장치용 기판 및 그 전기 광학 장치용 기판을 사용하여 제조되는 전기 광학 장치의 기술 분야에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 이러한 전기 광학 장치의 검사에 적용되는 검사 방법의 기술 분야에 관한 것이다.

이 종류의 전기 광학 장치는, 화상 표시를 실시하는 전기 광학 패널과 그 구동 회로에 의해서 구성된다. 구동 회로는, 전기 광학 패널이 구축된 기판 상에 내장 또는 후(後) 부착 된다.

전기 광학 장치 (구동 회로 내장형의 경우에서는 구동 회로도 포함한다) 는 일반적으로, 제조 도중, 제조 완료시, 출하시, 사용 후의 점검시나 고장시 등에 결함을 검출하기 위한 검사를 실시하는 경우가 있다. 예를 들어, 전기 광학 장치를, 그 구동 회로가 형성되기 이전의, 미완성 단계 또는 전기 광학 패널의 단계에서 구동시켜 검사 화상을 표시시키고, 검사 화상의 적부 (適否) 에 기초하여 검사가 이루어진다. 또는, 전기 광학 장치에 검사 회로를 형성하고, 검사용에 구동시켰을 때에 검사 회로 내의 신호를 모니터링하여 검사가 이루어진다 (특허문헌 1 을 참조).

그러나, 예를 들어, 하이브리드형이라고 불리우는 멀티플렉스 방식을 채용한 전기 광학 장치 등에 있어서는, 최근의 고정세화 등에 따라 이러한 검사가 곤란해지고 있다.

보다 구체적으로는, 이 종류의 하이브리드형의 전기 광학 장치에서는, 전기 광학 패널 내의 다수의 데이터선에 대한 다수의 화상 신호가 외부 부착의 구동 회로로부터 공급된다. 그리고, 전기 광학 장치는 이하와 같은 멀티플렉스 방식으로 구동된다. 즉, 전기 광학 패널에는 회소(繪素) 단위의 화상 신호가 입력되고, 입력된 화상 신호는 디멀티플렉서에 의해서 R (빨강), G (초록) 및 B (파랑) 의 각 성분으로 시분할되어, 1 회소를 구성하는 3 화소에 대응한 3 개의 데이터선에 각각 입력된다.

이 경우, 화상 신호가 외부 입력되는 화상 신호 단자의 수는, 적어도 데이터선의 개수 (즉, 수평 방향의 화소수) 의 3 분의 1 은 필요하다. 즉, 하이브리드형의 전기 광학 패널에 있어서의 화상 신호 단자의 수는 통상, 수백개나 된다.

이것은, 이른바 시리얼-패럴렐 전개 (즉, 상전개(相展開)) 에 의해 구동되는 경우에 비교하면, 화상 신호 단자가 현저히 많은 계산이 된다. 시리얼-패럴렐 전개에서는, L 개 (예를 들어, 6개, 12개, 24개 등) 의 화상 신호선으로부터 공급되는 화상 신호에 의해 데이터선을 L 개마다 동시 구동시키기 때문에, 화상 신호 단자도 L 개, 요컨대 겨우 수 개 또는 수십 개로 되는 것이다.

이와 같이 하이브리드형의 전기 광학 장치에서는, 화상 신호 단자가 비교적 많고, 또한 화상 신호 단자끼리의 간격도 비교적 좁게 되어 있다. 그 때문에, 상기 기술한 검사를 화상 신호 단자에 프로브를 접촉시켜서 실시함에 있어서, 프로브에 높은 위치 정밀도가 요구된다는 기술적 문제점이 있다. 그 결과, 검사가 곤란화하여 제조 효율이 저하하거나, 검사 비용의 상승 등을 초래하기도 하는 우려가 있다.

본 발명은, 예를 들어, 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 결함 검출에 관련된 검사를 간단히 실행 가능한 전기 광학 장치용 기판 및 전기 광학 장치 및 그러한 전기 광학 장치용 기판에 적용되는 간단한 검사 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

본 발명의 전기 광학 장치용 기판은, 상기 과제를 해결하기 위해서, 기판면에, 화상 표시 영역을 갖는 전기 광학 장치의 적어도 일부가 되는 기판 장치가 형성되고, 그 기판 장치를 분리하기 위해서 상기 기판 장치가 형성되는 각 형성 영역의 상기 기판면 상에서의 경계를 따라 분할되는 전기 광학 장치용 기판으로서, 상기 각 형성 영역 내에는, 상기 화상 표시 영역에, n 개 (단, n 은 2 이상의 자연수) 의 데이터선을 각각 포함하여 이루어지는 데이터선 군을 복수 구비함과 함께, 상기 화상 표시 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에, 상기 복수의 데이터선 군의 각각에 대응하여 형성되어, n 종류의 화상 신호가 시간축 상에서 멀티플렉스되어 이루어지는 상기 데이터선 군별의 멀티플렉스 신호가 각각 공급되는 복수의 화상 신호 단자와, 그 복수의 화상 신호 단자로부터 입력되는 상기 멀티플렉스 신호를 선택 신호에 따라 디멀티플렉스함으로써 상기 n 종류의 화상 신호를 생성하여 상기 n 개 의 데이터선에 각각 출력하는 디멀티플렉서와, 상기 선택 신호를 포함하는 구동 신호가 공급되는 구동 신호 단자를 구비하도록 상기 기판 장치가 형성되어 있고, 상기 기판면 상에서의 상기 각 형성 영역 외의 영역에는, 상기 기판 장치의 검사용의 검사 신호가 공급되는 검사용 배선이 상기 화상 신호 단자의 2 개 이상을 전기적으로 공통으로 접속하도록 형성되어 있다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판에 의하면, 그 각 형성 영역에는 하이브리드형의 멀티플렉스 방식을 채용한 전기 광학 장치용의 기판 장치가 형성된다. 즉, 기판 장치에는 화상 표시 영역의 주변에 데이터선 군의 각각에 대응하여 형성된 복수의 화상 신호 단자, 화상 신호 단자로부터 공급되는 신호를 디멀티플렉스하여 데이터선에 출력하는 디멀티플렉서, 및 디멀티플렉서에 공급해야할 선택 신호를 포함하는 구동 신호를 공급하기 위한 하나 또는 복수의 구동 신호 단자가 형성되어 있다. 덧붙여서, 디멀티플렉서는 기판 장치로부터 제조되는 전기 광학 패널 내지 전기 광학 장치에 있어서 n 종류의 화상 신호가 시간축 상에서 다중화 (즉, 멀티플렉스) 되어 이루어지는 멀티플렉스 신호를 시분할 (즉, 디멀티플렉스) 하여 n 종류 (통상, R (빨강), G (초록) 및 B (파랑) 의 3 종류) 의 화상 신호로 나누어, 각각을 n 개의 데이터선에 출력하는 기능을 갖는 회로 요소이다. 멀티플렉스 신호는, 디멀티플렉서에 대하여 n 종류의 화상 신호를 멀티플렉스하여 멀티플렉스 신호를 생성하고 출력하는 외부 회로로부터 공급된다.

한편, 본 발명에서의 「기판 장치」 란, 좁은 의미로는 전기 광학 패널에 대 하여 구동 회로의 적어도 일부가 내장 또는 외부 부착된 것을 의미하고, 넓은 의미로는 구동 회로를 제외한 제조 도중 또는 완성 후의 전기 광학 패널 자체를 의미한다. 이러한 기판 장치는, 예를 들어, 마더 기판인 전기 광학 장치용 기판상의 화상 표시 영역 내에 화소 회로 등이 형성되었을 뿐인 편기판의 상태일 수도 있고, 그 위에 대향 기판이 부착된 상태일 수도 있다. 본 발명에서는, 이러한 좁은 의미 및 넓은 의미에 의하지 않고, 검사 신호의 공급에 의한 어떠한 검사가 가능한 단계에 있는 한, 어느 것도 기판 장치로 간주된다.

이러한 기판 장치는, 전형적으로는, 이른바 마더 기판인 비교적 대형의 전기 광학 장치용 기판 상에 다수 형성되고, 전기 광학 장치용 기판을 그 형성 영역마다 분할함으로써 제조된다. 예를 들어, 석영 유리 등으로 이루어지는 전기 광학 장치용 기판에 대하여, 우선, 형성 영역의 경계를 따라 노치 (notch) 를 형성한다 (스크라이브). 이어서, 그때 형성된 노치에 칼끝을 바짝 대어 응력을 가함으로써 기판을 할단(割斷)시킨다. 즉, 여기서 말하는 「형성 영역」 이란, 기판 장치의 구성 요소가 형성되는 영역이라고 하기보다는, 기판 장치 내지 전기 광학 패널로서 기판으로부터 분리 내지 분할되어야 하는 영역을 의미한다. 상기 예에서는, 기판 중에서, 스크라이브 위치를 경계로 하는 기판 장치측의 영역을 가리킨다. 또는, 이러한 기판 장치는 한 장의 기판 상에 하나씩 형성되어도 된다.

또한 본 발명에서의 「각 형성 영역 이외의 영역」 이란, 하나의 기판 장치에 관련된 형성 영역 외의 의미이며, 그 영역은 동일 기판 상에서의 다른 기판 장치에 관련된 형성 영역 내이어도 되고, 또는, 어떠한 기판 장치도 형성되지 않은 영역, 예를 들어, 마더 기판에서의 주변 영역 등이여도 된다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판에서는, 그때의 스크라이브 공간 (scribe space) 에 상당하는 영역에 화상 신호 단자 중의 2 개 이상을 전기적으로 공통으로 접속하는 검사용 배선이 형성된다. 또는, 하나의 기판 장치에 대하여, 이에 인접하는 기판 장치에 관련된 형성 영역 내에 검사용 배선이 형성된다. 후자의 경우에는, 스크라이브 공간은 없어도 된다. 어떠한 경우에도, 검사용 배선은, 예를 들어, 화상 신호 단자의 배열 방향으로 연재하고, 형성 영역의 경계에 걸쳐 형성되는 배선에 의해 각 화상 신호 단자에 접속된다.

이 때문에, 기판 장치의 검사에 있어서, 종래는 각각의 화상 신호 단자에 프로브를 접촉시켜 실시하였던 검사 신호의 공급을, 여기서는 검사용 배선으로부터 일괄해서 실시할 수 있다. 이러한 검사용 배선은, 예를 들어, 한 개만 형성되어도 되고, 그 경우에 모든 화상 신호 단자가 공통으로 접속되어도 된다. 또는, 다수의 화상용 단자를 몇 개의 그룹으로 나누어, 그룹마다 접속되도록 복수 개 형성되어도 된다.

따라서, 본 발명에서는, 검사시에 프로브에 요구되는 위치 정밀도를 낮출 수 있어, 검사 비용의 상승을 억제하는 것이 가능함과 함께, 간편하고 또한 정확하게 검사를 실시하는 것이 가능해진다. 상기 기술한 바와 같이, 이 전기 광학 장치용 기판에 형성되는 하이브리드형의 기판 장치에는, 화상 신호 단자가 비교적 많다. 그 때문에, 이러한 이점은, 제조 효율상, 다른 형과는 비교가 되지 않을 만큼 유효하다.

또한, 검사용 배선이 스크라이브 공간측에 형성되어 있기 때문에, 이러한 검사는 전기 광학 장치용 기판을 분할하는 전단계에서 실시된다. 검사용 배선은, 검사 후에는 기판 장치로부터 분단되기 때문에 검사시에만 기능하고, 그 후의 기판 장치 내지 전기 광학 패널에 영향을 주는 경우는 없다. 또한, 기판 장치측에 배선용의 공간을 확보하거나, 레이아웃을 변경하거나 할 필요가 없다는 이점도 있다. 또한, 하나의 기판 장치에 대하여, 이에 인접하는 기판 장치에 관련된 형성 영역 내에 검사용 배선을 형성한 경우에도, 동일하게 하여, 검사용 배선은 검사 후에는 하나의 기판 장치로부터 분단된다. 이 경우에는, 각 기판 장치에서의 화상 신호 단자가 배열된 측의 변에 대향하는 변 등, 기판면 상에서의 빈 공간을 이용하여 검사용 배선을 배선하면 된다.

덧붙여서, 여기서 기판 장치에 대하여 실시하는 검사는, 검사 신호에 기초하여 검사 화상을 표시시켜 검사 화상의 적부에 따라서 실시하도록 해도 된다. 또는, 기판면 상에 기판 장치에 접속되는 검사 회로를 형성해두거나 하여, 검사 신호에 기초하여 구동시켰을 때의 기판 장치내 내지 검사 회로 내의 소정 부위의 신호를 모니터링하여 실시하도록 해도 된다. 통상, 검사용 회로는 기판 장치에 내장되기 때문에, 전자에서는 기판 장치 내에 그것을 위한 공간을 확보하거나, 레이아웃을 변경하거나 할 필요가 없다는 이점이 있다고 할 수 있다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판의 한 양태에서는, 상기 주변 영역에 상기 검사용 배선과 전기적으로 접속되어, 상기 검사 신호가 공급되는 검사용 공통 단자가 형성되어 있다.

이 양태에 의하면, 검사용 배선에 검사용 공통 단자가 전기적으로 접속되어 있다. 그 때문에, 검사시에는 프로브를 검사용 공통 단자에 접촉시킴으로써 안정적으로 또한 확실하게 검사 신호를 공급할 수 있다.

이 검사용 공통 단자는, 주변 영역에, 예를 들어, 화상 신호 단자와 병렬하도록 형성되어 있다. 그 때문에, 전기 광학 패널이 분할되어 화상 신호 단자와 검사용 배선의 전기적 접속이 끊어질 때에는, 검사용 공통 단자와 검사용 배선의 전기적 접속도 또한 동일하게 끊어지게 된다. 한편, 검사용 공통 단자는 검사시 이후에는 사용할 수 없어도 상관없는 점에서, 형성 위치에 특별히 구애될 필요는 없고, 빈 공간을 이용하여 형성되면 된다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판의 다른 양태에서는, 상기 형성 영역 외의 영역에 상기 검사용 배선과 전기적으로 접속되어, 상기 검사 신호가 공급되는 검사용 공통 단자가 형성되어 있다.

이 양태에 의하면, 검사용 배선에 검사용 공통 단자가 전기적으로 접속되어 있기 때문에, 검사시에는 프로브를 검사용 공통 단자에 접촉시킴으로써, 안정적으로 또한 확실하게 검사 신호를 공급 가능하다.

이 검사용 공통 단자는, 검사용 배선과 동일하게 전기 광학 패널의 형성 영역 외, 즉, 스크라이브 공간측에 형성되어 있다. 그 때문에, 전기 광학 패널이 분할될 때에는, 검사용 배선과 함께 이 검사용 공통 단자도 화상 신호 단자와의 전기적 접속이 끊어지게 된다.

특히, 본 양태에서는, 검사용 공통 단자를 위한 공간을 기판 장치의 형성 영 역에서 구하지 않아도 되고, 검사용 공통 단자를 전혀 고려하지 않고 기판 장치의 레이아웃 설계를 할 수 있다는 이점이 있다. 예를 들어, 마더 기판에 있어서, 최종적으로 잘려나가는 주변부의 영역에 검사용 공통 단자를 형성하면, 기판면 상의 공간을 유효하게 이용할 수 있다. 나아가, 한 장의 마더 기판 상에, 매트릭스상으로 복수의 기판 장치를 형성한 경우에, 이들에 공통으로 접속된 검사용 배선을 통해, 이러한 검사용 공통 단자를 형성하면, 더욱더 공간을 유효하게 이용할 수 있다.

이들 검사용 공통 단자가 형성되는 양태에 있어서는, 상기 검사용 공통 단자는 상기 화상 신호 단자보다 상기 기판면 상에서의 사이즈가 커도 된다.

이 경우, 검사용 공통 단자가, 예를 들어, 화상용 단자를 공통화한 만큼 크게 형성됨으로써, 프로브에 요구되는 위치 정밀도는 더욱 저감된다. 따라서, 더욱 안정적으로 또한 확실하게 검사용 화상 신호를 공급할 수 있다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판의 다른 양태에서는, 상기 형성 영역 외의 영역에 상기 검사용 배선과 1MΩ 이상의 고저항 배선을 통해 전기적으로 접속된 가드 링이 형성되어 있다.

이 양태에 의하면, 검사용 배선이 가드 링과, 예를 들어, 검사용 공통 단자를 통해 또는 직접 전기적으로 접속됨으로써, 검사용 배선에 의해서 공통으로 접속된 화상용 단자는 모두 가드 링과 전기적으로 접속된다. 여기서 말하는 가드 링이란, 기판 장치 제조 중에 전기 광학 장치용 기판 상에 형성된 트랜지스터 등의 소자가 전계 집중 등에 의해 정전 파괴되는 것을 방지하기 위해서 형성되는 배선 내지 부재를 가리키고 있다. 이에 의해, 전기 광학 장치용 기판을 분할하는 전단계까지의 각 공정에서 발생하는 정전기에 의한 화상용 단자와 전기적으로 접속된 트랜지스터의 정전 파괴를 효율적으로 방지할 수 있게 된다.

한편, 이 가드 링도, 검사용 배선과 같이 스크라이브 공간측에 형성되어 있어도 되지만, 검사용 배선과 화상용 단자와의 전기적 접속이 끊어지면, 예를 들어, 검사용 공통 단자와 화상용 단자와의 전기적 접속도 끊어지게 되기 때문에, 기판 장치측, 구체적으로는 그 주변 영역에 형성되어 있어도 된다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판의 다른 양태에서는, 상기 구동 신호 단자는 1MΩ 이상의 고저항 배선을 통해 상기 검사용 배선과 전기적으로 접속되어 있다.

이 양태에 의하면, 구동용 단자가 고저항 배선을 통해 전기적으로 접속됨으로써, 검사용 배선이 가드 링으로서도 기능한다. 따라서, 전기 광학 장치용 기판을 분할하는 전단계까지의 각 공정에서 발생하는 정전기에 의한, 구동용 단자와 전기적으로 접속된 트랜지스터의 정전 파괴를 효율적으로 방지할 수 있게 된다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판의 다른 양태에서는, 상기 복수의 화상 신호 단자는 복수의 그룹으로 나누어져 있어, 상기 검사용 배선은 상기 그룹마다 상기 화상 신호 단자를 전기적으로 공통으로 접속하도록 복수 계열로 이루어진다.

이 양태에 의하면, 화상용 단자의 그룹에 대응하여 검사용 배선이 복수 계열이 됨으로써, 각각에 공급되는 검사용 화상 신호에 따라 표시되는 검사 화상의 패턴의 자유도를 넓히는 것이 가능해진다.

이 검사용 배선이 복수 계열이 되는 양태에서는, 상기 검사용 배선은 상기 복수의 화상용 단자 중 짝수번째로 위치하는 단자로 이루어지는 그룹과 홀수번째로 위치하는 단자로 이루어지는 그룹의 각각과 전기적으로 접속되는 2 계열로 이루어지도록 해도 된다.

이 경우, 화상용 단자에 전송할 수 있는 화상 신호가 2 계열이 됨으로써, 표시 패턴의 폭이 2 배가 된다. 예를 들어, 계열마다 백색 표시와 흑색 표시를 실시하도록 하면, 스트라이프 형상의 패턴을 표시할 수 있다. 이러한 패턴을 표시할 수 있는 한편으로, 계열수가 크면, 배선 구조나 검사 신호 패턴이 복잡해지지만, 2 계열이면, 그러한 폐해는 거의 발생하지 않는다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판의 다른 양태에서는, 상기 기판 장치는 상기 기판면 상에 복수 배열되어 있고, 상기 검사용 배선은 그 복수 배열된 기판 장치에 있어서의 상기 화상 신호 단자를 전기적으로 공통으로 접속한다.

이 양태에 의하면, 검사용 배선은 하나의 기판 장치에 그치지 않고, 동일한 전기 광학 장치용 기판에 형성된 복수의 기판 장치에 대하여 전기적으로 접속된다. 그 때문에, 동시에 복수의 기판 장치에 대하여 동일한 검사를 실시할 수 있어, 제조 효율을 높이는 것이 가능해진다. 물론, 복수의 기판 장치는 별개의 칩으로서 각각 물리적으로 분할되기 때문에, 검사용 배선에 의한 공통의 전기적 접속도 끊어지게 되어, 특별히 문제는 없다.

본 발명의 전기 광학 장치용 기판의 다른 양태에서는, 상기 각 형성 영역에는 상기 화상 표시 영역에 추가로, 상기 데이터선과 교차하는 복수의 주사선과, 상 기 데이터선과 상기 주사선의 교점에 대응하여 각각 형성된 복수의 화소부를 구비함과 함께, 상기 주변 영역에 추가로, 상기 복수의 주사선에 주사 신호를 각각 출력하는 주사선 구동 회로를 구비하도록 상기 기판 장치가 형성되어 있다.

이 양태에 의하면, 기판 장치는 그 검사시나 구동시에, 기판 장치에 내장 또는 외부 부착된 주사선 구동 회로에 의해서, 주사 신호가 주사선을 통해 각 화소부에 공급된다. 이것과 병행하여, 검사 장치 또는 데이터선 구동 회로에 의해서 검사 신호 또는 화상 신호가 화상 신호 단자를 통해 공급됨으로써, 화상 신호가 각 화소부에 공급된다. 이들에 의해, 멀티플렉스 방식에 의한 액티브 매트릭스 구동이 검사시 또는 구동시에 실행 가능해진다.

본 발명의 전기 광학 장치는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 상기 기술한 본 발명의 전기 광학 장치용 기판 (단, 그 각종 양태를 포함) 을 상기 각 형성 영역의 상기 기판면 상에서의 경계를 따라 분할하여 얻어지는 상기 전기 광학 장치와, 상기 n 종류의 화상 신호를 시간축 상에서 멀티플렉스함으로써 상기 멀티플렉스 신호를 생성하여 상기 복수의 화상 신호 단자에 공급하는 화상 신호 공급 수단과, 상기 구동 신호를 상기 구동 신호 단자에 공급하는 구동 신호 공급 수단을 구비한다.

본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 상기 기술한 본 발명의 전기 광학 장치용 기판으로부터 분할된 기판 장치에 구동 회로를 외부 부착하여 제조된다. 즉, 본 발명의 전기 광학 장치용 기판과 구동 회로를 조합하여 사용하는 하이브리드형의 전기 광학 장치로 제조되는 점에서, 구동 회로를 외부 부착하는 전단계에서 간편하고 또한 확실하게 동작 검사를 실시할 수 있다.

이러한 전기 광학 장치로는, 예를 들어, 액정 장치, 유기 EL 장치, 전자 페이퍼 등의 전기 영동 장치, 전자 방출 소자를 이용한 표시 장치 (Field Emission Display 및 Surface-Conduction Electron-Emitter Display) 등의 각종 장치를 들 수 있다. 또한, 이러한 전기 광학 장치는, 예를 들어, 투사형 표시 장치, 텔레비전 수상기, 휴대 전화, 전자 수첩, 워드 프로세서, 뷰파인더형 또는 모니터 직시형의 비디오테이프레코더, 워크 스테이션, 화상 전화, POS 단말, 터치 패널, 또한, 노광용 헤드로 사용한 프린터, 복사기, 팩시밀리 등의 화상 형성 장치 등의, 각종의 전자기기에 적용 가능하다.

본 발명의 검사 방법은, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 전기 광학 장치용 기판에 적용되는, 상기 기판 장치를 검사하는 검사 방법으로서, 상기 검사용 배선을 이용하여 상기 검사 신호를 상기 화상 신호 단자의 각각에 공급하여, 상기 기판 장치를 구동시키는 구동 공정과, 상기 기판 장치를 구동 상황에 기초하여검사하는 검사 공정을 포함한다.

본 발명의 검사 방법에 의하면, 먼저, 구동 공정에서 본 발명의 전기 광학 장치용 기판 상에서의 검사 대상의 기판 장치를 구동시킨다. 즉, 종래에는 각각의 화상 신호 단자에 프로브를 접촉시켜 실시하고 있던 검사 신호의 공급을 여기서는 검사용 배선으로부터 일괄해서 실시한다.

이와 같이 검사용 배선을 이용함으로써, 검사용의 프로브에 요구되는 위치 정밀도를 인하할 수 있어, 간편하고 또한 정확하게 화상 신호 단자에 검사 신호를 공급하는 것이 가능하다.

다음의 검사 공정에서는, 예를 들어, 검사 화상이나 모니터된 신호 파형 등에 반영되는 구동 상황에 기초하여, 기판 장치에서의 결함이 검사된다.

따라서, 본 발명의 검사 방법에서는, 기판 상에 형성된 기판 장치가 하이브리드형인 경우라도, 프로브에 요구되는 위치 정밀도가 그 만큼 높지 않아도 되기 때문에 검사 비용의 상승을 억제하는 것이 가능함과 함께, 간편하고 또한 정확한 검사를 실행하는 것이 가능하다.

본 발명의 이러한 작용 및 다른 이득은 다음에 설명하는 실시형태로부터 명백해진다.

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

이하에서는, 본 발명의 실시형태에 관해서 도면을 참조하면서 설명한다. 이하의 실시형태는 본 발명의 전기 광학 장치를 액정 장치에 적용한 것이다.

<1 : 제 1 실시형태>

본 발명의 제 1 실시 형태에 관해서, 도 1 내지 도 6 을 참조하여 설명한다.

<1-1 : 전기 광학 장치>

본 실시형태에 관련된 전기 광학 장치는 하이브리드형이고, 전기 광학 패널과 패널에 후 부착되는 구동 회로에 의하여 구성된다. 이러한 전기 광학 패널은 본 발명에 있어서의 넓은 의미의 「기판 장치」 의 일례이고, 이하의 실시형태에서는 제조 도중의 기판 장치를 전기 광학 패널, 완성체를 전기 광학 장치로서 구별한다.

먼저, 이 전기 광학 장치의 구성에 관해서, 도 1 내지 도 3 을 참조하여 설 명한다. 도 1 은 TFT 어레이 기판을 그 위에 형성된 각 구성 요소와 함께 대향 기판 측에서 본 전기 광학 패널의 평면도이고, 도 2 는 도 1 의 H-H' 단면도이다. 도 3 은 본 실시형태에 관련된 전기 광학 장치의 구성을 나타내고 있다.

도 1 및 도 2 에서, 전기 광학 패널 (100) 에서는 TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 이 대향 배치되어 있다. TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 사이에는 액정층 (50) 이 봉입되어 있고, TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 은 모두가 석영이나 유리 등으로 이루어지며, 화상 표시 영역 (10a) 의 주변 테두리의 시일 영역에 형성된 시일재 (52) 에 의해 서로 접착되어 있다.

시일재 (52) 는 양 기판을 부착하기 위한, 예를 들어, 자외선 경화 수지, 열경화 수지 등으로 이루어지고, 제조 프로세스에 있어서 TFT 어레이 기판 (10) 상에 도포된 후, 자외선 조사, 가열 등에 의해 경화된 것이다. 시일재 (52) 에 의해 밀봉된 기판 내부에는, 예를 들어, TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 의 간격 (즉, 기판 사이 갭) 을 일정화하기 위한 유리 섬유 또는 유리 비드 등의 갭재가 살포되어 있다.

이 기판 내부의 중앙에, 화상이 표시되는 화상 표시 영역 (10a) 이 형성되어 있다. 그 주변에서는, 화상 표시 영역 (10a) 의 양측 테두리를 따라 2 개의 주사선 구동 회로 (104) 가 형성되고, 아래 테두리를 따라 디멀티플렉서 (84) 가 형성되어 있다.

또한, 시일 영역의 외측에는 외부 회로 접속 단자 (2) 가 TFT 어레이 기판 (10) 의 한 변을 따라 형성되어 있다. 외부 회로 접속 단자 (2) 는 각각, 시일 영역 내에서 인출된 배선과 접속되어 있다. 여기서, 외부 회로 접속 단자 (2) 에는, 화상 신호 공급용의 화상 신호 단자 (2a) 와 선택 신호 공급용의 선택 신호 단자 (2b; 함께 후술한다) 가 포함되어 있다.

또한, 대향 기판 (20) 의 4 개의 코너부에는 양 기판 사이의 상하 도통 단자로서 기능하는 상하 도통재 (106) 가 배치되어 있다. 한편으로, TFT 어레이 기판 (10) 에는 이들의 코너부에 대향하는 영역에 있어서 상하 도통 단자가 형성되어 있다. 이들에 의해, TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 의 사이에서 전기적인 도통을 취할 수 있다.

도 2 에서, TFT 어레이 기판 (10) 상에는 화소 스위칭용 TFT 나 각종 배선 등의 위에 화소 전극 (9a) 이 형성되어 있고, 또한, 그 위에 배향막이 형성되어 있다. 한편으로, 대향 기판 (20) 상에는 대향 전극 (21) 이 형성되어 있고, 또한, 그 위에 배향막이 형성되어 있다. 또한, 액정층 (50) 은, 예를 들어, 일종 또는 여러 종류의 네마틱 액정을 혼합한 액정으로 이루어지고, 이들 한 쌍의 배향막 사이에서 소정의 배향 상태를 취한다.

한편, TFT 어레이 기판 (10) 상에는, 주사선 구동 회로 (104) 및 디멀티플렉서 (84) 에 더하여, 예를 들어, 복수의 데이터선에 소정 전압 레벨의 프리 차지 신호를 화상 신호에 선행하여 각각 공급하는 프리 차지 회로, 제조 도중이나 출하시의 해당 전기 광학 패널 (100) 의 품질, 결함 등을 검사하기 위한 검사 회로 등이 형성되어 있어도 된다.

도 3 에서, 전기 광학 패널 (100) 의 화상 표시 영역 (10a) 에서는, 복수의 주사선 Y1∼Ym 및 복수의 데이터선 X1∼Xk 가 서로 교차하여 배열하고 있고, 그 교차 영역에 대응하도록, 주사선 Y1∼Ym, 데이터선 X1∼Xk 의 각 하나에 의해 선택되는 화소 전극 (9a) 이 형성되어 있다. 또한, 도시는 하지 않지만, 화상 표시 영역 (10a) 에는 액티브 매트릭스 구동용의 화소 스위칭 소자나 축적 용량 등도, 각 화소 전극 (9a) 에 대응하여 형성되어 있다. 주사선 Y1∼Ym 은 주사선 구동 회로 (104) 에 접속되어 있고, 주사선 구동 회로 (104) 로부터 주사 신호 SC1, SC2, …, SCm 이 예를 들어, 선순차(線順次)로 인가된다.

전기 광학 패널 (100) 에는, 데이터선 구동 회로 (81) 가 복수의 화상 신호 단자 (2a) 에 의해서 전기적으로 접속되어 있다. 여기서, 데이터선 구동 회로 (81) 는 화상 신호 단자 2a(1), 2a(2), … 2a(n) 의 각각에 대하여 멀티플렉스 신호 VD1, VD2, … VDn 을 공급하도록 구성되어 있다. 멀티플렉스 신호 VD1, VD2, … VDn 은, 한 회소(繪素)를 구성하는 R, G 및 B 의 3 종류의 화상 신호가 시간축 상에서 멀티플렉스되어 이루어진다.

멀티플렉서 (84) 는, 데이터선 X1∼Xk 의 각각에 대응한 스위칭 소자 (85) 를 구비한다. 각 스위칭 소자 (85) 는 N 형의 FET 로 구성되고, 드레인이 대응하는 화상 신호선과 접속되어, 소스가 데이터선 X1∼Xk 와 접속되어 있다. 여기서는, 데이터선 X1∼Xk 는 3 개 1 조로 되어 있고, 스위칭 소자 (85) 는 이 조마다 (즉, 3 개씩) 화상 신호선 Z1, Z2, …, Zn 의 각각에 접속되어 있다. 그리고, 스위칭 소자 (85) 의 각 조에는, 각각 선택 신호 SEL1, SEL2 및 SEL3 이 게이트 입력되도록 구성되어 있다.

선택 신호 SEL1, SEL2 및 SEL3 은, 선택 신호 단자 (2b) 로부터 외부 입력된다. 이들 선택 신호 SEL1, SEL2 및 SEL3 의 각 파형은, 스위칭 소자 (85) 를 각 조마다 시분할 구동하도록 설정되어 있다.

즉, 이와 같이 구성된 멀티플렉서 (84) 는, 복수의 화상 신호 단자 (2a) 로부터 입력되는 멀티플렉스 신호를 선택 신호 SEL1, SEL2 및 SEL3 에 따라 디멀티플렉스하고, 그 디멀티플렉스에 의해 얻어진 3 종류의 화상 신호를 3 개의 데이터선에 각각 출력하는 기능을 갖고 있다.

이러한 전기 광학 패널 (100) 은, 하이브리드형의 특징으로서, 화상 신호 단자 (2a) 가 비교적 많이 형성된다. 화상 신호 단자 (2a) 의 수는, 적어도 데이터선 X1∼Xk 의 개수 (즉, 수평 방향의 화소수) 의 3 분의 1 은 필요하기 때문에, 실제로는 수백 개나 된다. 이것은, 이른바 시리얼-패럴렐 전개 (즉, 상전개) 에 의해 구동되는 전기 광학 장치의 화상 신호 단자가 수 개 또는 수십 개이면 되는 것과는 대조적이다. 더욱이, 화상 신호 단자 (2a) 는 수가 많기 때문에, 단자 사이의 간격도 비교적 좁아지지 않을 수 없다.

<1-2 : 전기 광학 장치용 기판>

다음으로, 본 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판에 관해서, 도 4 및 도 5 를 참조하여 설명한다. 도 4 는 본 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 개략 구성을 나타내며, 도 5 는 그 중의 주요 부분을 확대 표시하고 있다.

도 4 에서, 마더 기판인 전기 광학 장치용 기판 (1000) 은, 그 기판면 상에 복수의 전기 광학 패널의 형성 영역이 규정되어 있고, 각 형성 영역 내에, 상기 기 술한 전기 광학 패널 (100) 이 형성되어 있다. 즉, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 은 전기 광학 패널 (100) 에서의 TFT 어레이 기판 (10) 에 상당하고 있다.

이들의 전기 광학 패널 (100) 은, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 을 스크라이브선 (500) 을 따라 분할함으로써 열 마다 바 (bar) 로 가공되고, 또한, 각각으로 분할된다. 전기 광학 장치용 기판 (1000) 에 있어서의 전기 광학 패널 (100) 의 열 사이에는 도면 중 사선으로 표시된 스크라이브 공간 (200) 이 형성되어 있다. 스크라이브 공간 (200) 은, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 이 할단될 때에 발생하는 치수 오차를 흡수하는 등의 목적으로, 스크라이브선 (500) 을 경계로 하여서 전기 광학 패널 (100) 의 외측에 형성되어 있고, 바로 분할할 때에는 스크라이브선 (500) 에서 전기 광학 패널 (100) 로부터 분단된다.

전기 광학 장치용 기판 (1000) 에서는, 이들 스크라이브 공간 (200) 에 화상 신호 단자 (2a) 를 공통 접속하는 검사용 배선 (501) (여기서는 도시 생략) 이 형성되어 있다.

도 5 에서, 전기 광학 패널 (100) 의 주변 테두리 근방에는 외부 회로 접속 단자 (2) 가 복수 배열되어 있다. 외부 회로 접속 단자 (2) 에는, 화상 신호 단자 (2a) 와 선택 신호 단자 (2b) 외에도 전원용 단자나 주사선 구동 회로의 타이밍 제어 신호 등의 신호 공급용 단자 등의, 외부 회로로부터 신호 공급을 받는 단자가 포함되어 있다. 그래서, 화상 신호 단자 (2a) 이외의 외부 회로 접속 단자 (2) 를, 이하에서는 구동 신호 단자 (2c) 라고 총칭한다.

화상 신호 단자 (2a) 의 몇 개 또는 모두는, 스크라이브선 (500) 에 걸치는 배선에 의해서, 스크라이브 공간 (200) 내의 검사용 배선 (501) 에 공통으로 접속되어 있다. 즉, 화상 신호 단자 (2a) 는 반드시 모두 검사용 배선 (501) 과 접속되지 않아도 되고, 몇 개의 그룹으로 분할되어 그룹마다 별도의 검사용 배선 (501) 에 접속되어 있어도 된다.

검사용 배선 (501) 은 종단이 검사용 공통 단자 (511) 에 접속되어 있다. 검사용 공통 단자 (511) 는 외부 회로 접속 단자 (2) 옆의 빈 공간에 적절히 형성되어 있다. 여기서는, 검사용 공통 단자 (511) 는 외부 회로 접속 단자 (2) 보다도 크게 형성되어 있다.

또한, 이들 검사용 배선 (501) 및 검사용 공통 단자 (511) 는 외부 회로 접속 단자 (2) 나 화상 신호선 등과 동일 막으로 형성되어도 된다. 그 경우는, 형성 공정수를 증가시키지 않아도 된다. 또한, 전기 광학 패널 (100) 측에 배선용의 공간을 확보하거나, 레이아웃을 변경하거나 할 필요가 없다는 이점도 있다. 이들 검사용 배선 (501) 및 검사용 공통 단자 (511) 의 작용 및 효과에 관해서는 후술한다.

<1-3 : 전기 광학 패널의 검사 방법>

이상으로 설명한 전기 광학 패널 (100) 은, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 으로부터 분할되기 전에, 그때까지의 형성 공정에 기인하는 결함이 검사된다. 이하에, 그와 같은 전기 광학 패널 (100) 의 검사 방법에 관해 도 1 에서 도 5 를 참조하면서, 추가로 도 6 을 참조하여 설명한다. 도 6 은 본 실시형태의 검사 방법의 플로우차트를 나타내고 있다.

도 6 의 플로우차트에서, 먼저, 검사용 공통 단자 (511) 에 프로브로 검사용의 화상 신호를 공급한다 (공정 S11). 여기서는, 검사용의 신호는 검사용 공통 단자 (511) 라는 비교적 큰 하나의 영역에 프로브를 접촉시킴으로써, 공통으로 접속된 복수개의 화상 신호 단자 (2a) 에 대하여 일괄 공급된다. 그 때문에, 검사용의 프로브에 요구되는 위치 정밀도를 낮출 수 있다.

검사용의 신호는 통상, 화상 신호 단자의 각각에 프로브를 접촉시켜 공급된다. 그러나, 상기 기술한 바와 같이 화상 신호 단자 (2a) 는 매우 수가 많고, 단자 피치가 좁기 때문에, 그와 같은 방법으로는 적정한 검사를 할 수 없는 우려가 있어, 프로브에 매우 높은 위치 정밀도가 요구된다. 이에 대하여, 화상 신호 단자 (2a) 를 검사용 배선 (501) 으로 접속함으로써 실질적인 단자 피치가 넓어지고, 또한, 소정 영역에 비교적 큰 검사용 공통 단자 (511) 를 배치함으로써, 프로브의 접촉역이 확대되어, 프로브의 위치 결정이 용이해진다. 이에, 본 실시형태에서는, 간편하고 또한 정확하게 화상 신호 단자 (2a) 에 검사용의 화상 신호를 공급하는 것이 가능하다.

이와 병행하여, 화상 신호 이외에 필요한 검사용의 구동 신호를 전기 광학 패널 (100) 에 공급한다 (공정 S12). 이렇게 해서, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 상에서 검사 대상의 전기 광학 패널 (10O) 을 구동시켜 화상 표시 영역 (10a) 에 검사용의 패턴을 표시시킨다 (공정 S13).

계속해서, 검사용 패턴의 육안, 내지 검사용 패턴 발생시에 전기 광학 패널 (100) 내의 소정 부위의 신호 파형을 모니터링하는 등에 의해, 전기 광학 패널 (100) 에 있어서의 결함이 검사된다 (공정 S14). 즉, 이들이 반영하는 전기 광학 패널 (100) 의 구동 상황에 기초하여 검사가 실시되는 것이다.

또한, 검사 화상을 표시시켜, 그 적부에 따라 결함을 검출하는 경우에는, 전기 광학 패널 (100) 내에 검사용 회로를 형성할 필요가 없고, 예를 들어, 검사원의 육안에 의해서 효율적으로 검사할 수 있다.

검사 후, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 은, 스크라이브선 (500) 을 따라 분할된다. 그때, 스크라이브선 (500) 을 경계로, 검사용 배선 (501) 과 화상 신호 단자 (2a) 및 검사용 공통 단자 (511) 와의 접속도 분단된다 (공정 S15). 이에, 검사용 배선 (501) 은, 검사시에만 기능하여, 분할 후의 전기 광학 패널 (100) 에 영향을 주는 경우는 없다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 에 형성된 전기 광학 패널 (100) 이 하이브리드형이더라도, 검사시의 화상 신호 공급용의 프로브에 요구되는 위치 정밀도가 그만큼 높지 않아도 된다. 따라서, 검사 비용의 상승을 억제하는 것이 가능함과 함께, 간편하고 또한 정확한 검사를 실행하는 것이 가능하다.

이하에, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 관해서, 도 7 내지 도 10 을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 실시형태에서는, 제 1 실시형태와 같은 구성 요소에 관해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 적절히 생략한다.

<2 : 제 2 실시형태>

다음으로, 제 2 실시형태에 관해서 도 7 을 참조하여 설명한다. 도 7 은 제 1 실시형태의 도 5 에 대응하여, 본 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 개략 구성 중의 주요 부분을 확대 표시하고 있다.

도 7 에서, 스크라이브 공간 (200) 에는 가드 링 (502) 이 형성되어 있고, 이것에 검사용 공통 단자 (511) 가 고저항 배선 (503) 을 통해 접속되어 있다. 가드 링 (502) 은 전기 광학 패널 (100) 내의 회로 부분에 있어서의 전계 집중을 방지하기 위해서 형성되며, 고저항 배선 (503) 의 저항치는 1MΩ 이상으로 된다.

여기서는, 이와 같이 검사용 공통 단자 (511) 가 접속됨으로써, 공통 접속된 화상 신호 단자 (2a) 전체가 가드 링 (502) 과 접속되게 된다. 그 때문에, 이들 화상 신호 단자 (2a) 에 접속되는 트랜지스터, 구체적으로는, 스위칭 소자 (85) 나 데이터선 X1∼Xk 와 화소 전극 (9a) 사이에 개재하는 화소 스위칭 소자 등이, 전기 광학 패널 (100) 을 형성하는 형성 공정이나 대향 기판 (20) 과 부착하는 조립 공정에서 발생하는 정전기에 의해 정전 파괴되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.

또한, 여기서는, 구동 신호 단자 (2c) 는 검사용 배선 (501) 에 고저항 배선 (504) 을 통해 접속된다. 이 고저항 배선 (504) 도 1MΩ 이상의 고저항이 된다. 즉, 이 경우의 검사용 배선 (501) 도 가드 링으로서 기능한다. 그 결과, 화상 신호 단자 (2a) 이외의 외부 회로 접속 단자 (2) 에 접속되는 트랜지스터가 정전기에 의해 정전 파괴되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다. 또한, 본 실시형태에서의 다른 작용 및 효과는 제 1 실시형태와 동일하다.

<3 : 제 3 실시형태>

다음으로, 제 3 실시형태에 관해서 도 8 을 참조하여 설명한다. 도 8 은 제 1 실시형태의 도 5 에 대응하여, 본 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 개략 구성 중의 주요 부분을 확대 표시하고 있다.

도 8 에서, 검사용 공통 단자가 접속된 검사용 배선은, 2 계열로 이루어진다. 화상 신호 단자 (2a) 는, 홀수번째에 배열된 그룹과 짝수번째에 배열된 그룹으로 나누어져 있고, 각 그룹이 각각, 검사용 배선 (501A) 및 검사용 공통 단자 (511A) 와, 검사용 배선 (501B) 및 검사용 공통 단자 (511B) 에 접속되어 있다.

이와 같이, 화상 신호 단자 (2a) 에 전송되는 검사용의 화상 신호가 2 계열이 됨으로써, 표시 패턴의 자유도를 넓힐 수 있다. 예를 들어, 검사시에 8 상(phase) 의 디멀티플렉스 구동을 실시하는 것이면, 제 1 실시형태의 구성에서는 데이터선 X1∼Xk 의 8 개마다 같은 화상 신호가 인가되어, 그것에 대응한 폭의 패턴이 표시되게 되는데, 본 실시형태에서는 16 개마다의 패턴 표시가 가능하다. 또한, 본 실시형태에서의 기타의 작용 및 효과는, 제 1 실시형태와 동일하다.

<4 : 제 4 실시형태>

다음으로, 제 4 실시형태에 관해서 도 9 를 참조하여 설명한다. 도 9 는 제 1 실시형태의 도 5 에 대응하여, 본 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 개략 구성 중의 주요 부분을 확대 표시하고 있다.

도 9 에서, 본 실시형태의 전기 광학 패널은, 제 2 실시형태 및 제 3 실시형태를 조합한 구성을 취한다. 이 경우에는, 제 2 및 제 3 실시형태의 작용 및 효과에 더하여, 다음의 작용 및 효과가 발생한다. 즉, 서로 인접하는 화상 신 호 단자 (2a) 는 각각, 가드 링 (502) 에 접속됨으로써 고저항화한 검사용 배선 (501A) 및 (501B) 에 접속되어 있다. 그 때문에, 화상 신호 단자 (2a) 사이에 발생하는 정전기의 영향을 경감할 수 있다.

<5 : 제 5 실시형태>

다음으로, 제 5 실시형태에 관해서 도 10 을 참조하여 설명한다. 여기에 도 10 은 본 실시형태에 관련된 전기 광학 장치용 기판의 개략 구성을 나타내고 있다.

도 10 에서, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 상에는, 복수의 전기 광학 패널 (100) 이 스크라이브선 (500) 을 따라 배열되어 있다. 그리고, 스크라이브 공간 (200) 에는 이들 전기 광학 패널 (100) 의 배열에 따라 연재하는 검사용 배선 (505) 이 형성되어 있다.

이 검사용 배선 (505) 에는, 상기 배열된 전기 광학 패널 (100) 의 각각에 있어서의 화상 신호 단자 (2a) 가 공통으로 접속되어 있다. 즉, 검사용 배선 (505) 은 한 개의 전기 광학 패널 (100) 에 그치지 않고, 동일한 전기 광학 장치용 기판 (1000) 에 형성된 복수의 전기 광학 패널 (100) 에 대하여 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 검사용 배선 (505) 의 각각의 종단에는 검사용 공통 단자 (506) 가 형성되어 있다. 또한, 이것들의 구체적인 접속 형태는, 예를 들어 제 1 내지 제 4 실시형태가 적용되어도 된다.

이때문에, 본 실시형태에서는 동시에 복수의 전기 광학 패널 (100) 에 대하여 동일한 검사를 실시할 수 있어, 제조 효율을 높이는 것이 가능해진다. 물 론, 검사 후에는, 복수의 전기 광학 패널 (100) 은 별개의 칩으로서 각각 물리적으로 분할되고, 검사용 배선 (505) 에 의한 공통의 전기적 접속도 끊어지게 되어, 특별히 문제는 없다.

이상 상세히 설명한 전기 광학 장치는, 모바일형 PC, 휴대전화, 디지털카메라 등의 각종의 전자기기에 적용 가능하다. 그 일례로서, PC 를 도 11 에 나타낸다.

도 11 에서, PC (70) 는 키보드 (71) 를 구비한 본체부 (72) 와, 액정 디스플레이에 의한 표시 유닛 (73) 을 구비하고 있다. 표시 유닛 (73) 에는 상기 실시형태에서의 전기 광학 장치가 적용된다.

그 때문에, 전기 광학 장치용 기판 (1000) 의 분할전에 실시하는 전기 광학 패널 (100) 의 검사가 간편하고 또한 정확하게 실행되어, 전체로서의 제조 효율이 향상한다.

본 발명은, 상기 기술한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 청구 범위 및 명세서 전체로부터 알 수 있는 발명의 요지, 또는 사상에 반하지 않은 범위로 적절히 변경 가능하며, 그와 같은 변경을 수반하는 전기 광학 장치용 기판, 및, 이 전기 광학 장치용 기판으로부터 제조되는 전기 광학 장치, 그와 같은 변경을 수반하는 검사 방법도 또 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.

본 발명에 따른 전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치 및 그 전기 광학 장치용 기판에 적용되는 검사 방법은, 각각의 화상 신호 단자에 프로브를 접촉시키 않고, 검사용 배선을 통해 검사 신호의 공급을 일괄적으로 실시할 수 있어 결함 검출에 관련된 검사를 간편하고 정확하게 실행할 수 있는 이점이 있다. 따라서 검사의 곤란에 따른 제조 효율의 저하 또는 검사 비용의 상승 등을 방지할 수 있으며 특히, 검사용 공통 단자에 프로브를 접촉시키는 경우에는 안정적이고 확실한 검사 신호를 공급할 수 있다.

Claims

기판면에, 화상 표시 영역을 갖는 전기 광학 장치의 적어도 일부가 되는 기판 장치가 형성되고, 그 기판 장치를 분리하기 위해서 상기 기판 장치가 형성되는 각 형성 영역의 상기 기판면 상에서의 경계를 따라 분할되는 전기 광학 장치용 기판으로서,

상기 각 형성 영역 내의 상기 화상 표시 영역에, n 개 (단, n 은 2 이상의 자연수) 의 데이터선을 각각 포함하여 이루어지도록 복수 구비된 데이터선 군,

상기 각 형성 영역 내의 상기 화상 표시 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에, 상기 복수의 데이터선 군의 각각에 대응하여 형성되고, n 종류의 화상 신호가 시간축 상에서 멀티플렉스되어 이루어지는 상기 데이터선 군별의 멀티플렉스 신호가 각각 공급되는 복수의 화상 신호 단자,

상기 각 형성 영역 내의 상기 화상 표시 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에, 그 복수의 화상 신호 단자로부터 입력되는 상기 멀티플렉스 신호를 선택 신호에 따라 디멀티플렉스함으로써, 상기 n 종류의 화상 신호를 생성하여 상기 n 개의 데이터선에 각각 출력하는 디멀티플렉서,

상기 각 형성 영역 내의 상기 화상 표시 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에, 상기 선택 신호를 포함하는 구동 신호가 공급되는 구동 신호 단자, 및

상기 기판면 상에서의 상기 각 형성 영역 외의 영역에, 상기 화상 신호 단자의 2 개 이상을 전기적으로 공통으로 접속하도록 형성되어, 상기 기판 장치의 검사 용의 검사 신호가 공급되는 검사용 배선을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 1 항에 있어서,

상기 주변 영역에, 상기 검사용 배선과 전기적으로 접속되어, 상기 검사 신호가 공급되는 검사용 공통 단자가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 1 항에 있어서,

상기 형성 영역 외의 영역에, 상기 검사용 배선과 전기적으로 접속되어, 상기 검사 신호가 공급되는 검사용 공통 단자가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 검사용 공통 단자는, 상기 화상 신호 단자보다 상기 기판면 상에서의 사이즈가 큰 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 형성 영역 외의 영역에, 상기 검사용 배선과 1MΩ 이상의 고저항 배선을 통해 전기적으로 접속된 가드 링이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광 학 장치용 기판.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 구동 신호 단자는, 1MΩ 이상의 고저항 배선을 통해 상기 검사용 배선과 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 복수의 화상 신호 단자는, 복수의 그룹으로 나뉘어 있고, 상기 검사용 배선은, 상기 그룹마다 상기 화상 신호 단자를 전기적으로 공통으로 접속하도록 복수 계열로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 7 항에 있어서,

상기 검사용 배선은, 상기 복수의 화상용 단자 중 짝수번째에 위치하는 단자로 이루어지는 그룹과 홀수번째에 위치하는 단자로 이루어지는 그룹의 각각과 전기적으로 접속되는 2 계열로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판 장치는, 상기 기판면 상에 복수 배열되어 있고, 상기 검사용 배선은, 그 복수 배열된 기판 장치에 있어서의 상기 화상 신호 단자를 전기적으로 공통으로 접속하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 각 형성 영역의 상기 화상 표시 영역에,

상기 데이터선과 교차하는 복수의 주사선, 및

상기 데이터선과 상기 주사선의 교점에 대응하여 각각 형성된 복수의 화소부 를 구비함과 함께,

상기 주변 영역에 상기 복수의 주사선으로 주사 신호를 각각 출력하는 주사선 구동 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치용 기판을, 상기 각 형성 영역의 경계를 따라 분할하여 얻어지는 상기 기판 장치,

상기 n 종류의 화상 신호를 시간축 상에서 멀티플렉스함으로써 상기 멀티플렉스 신호를 생성하여 상기 복수의 화상 신호 단자에 공급하는 화상 신호 공급 수단, 및

상기 구동 신호를 상기 구동 신호 단자에 공급하는 구동 신호 공급 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
기판면에, 화상 표시 영역을 갖는 전기 광학 장치의 적어도 일부가 되는 기판 장치가 형성되고, 그 기판 장치를 분리하기 위해서, 상기 기판 장치가 형성되는 각 형성 영역의 상기 기판면 상에서의 경계를 따라 분할되는 전기 광학 장치용 기 판에 적용되는, 상기 기판 장치를 검사하는 검사 방법으로서,

상기 각 형성 영역 내의 상기 화상 표시 영역에, n 개 (단, n 은 2 이상의 자연수) 의 데이터선을 각각 포함하여 복수 구비된 데이터선 군,

상기 화상 표시 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에, 상기 복수의 데이터선 군의 각각에 대응하여 형성되어, n 종류의 화상 신호가 시간축 상에서 멀티플렉스되어 이루어지는 상기 데이터선 군별의 멀티플렉스 신호가 각각 공급되는 복수의 화상 신호 단자,

상기 화상 표시 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에, 그 복수의 화상 신호 단자로부터 입력되는 상기 멀티플렉스 신호를 선택 신호에 따라 디멀티플렉스함으로써 상기 n 종류의 화상 신호를 생성하여 상기 n 개의 데이터선에 각각 출력하는 디멀티플렉서,

상기 화상 표시 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에, 상기 선택 신호를 포함하는 구동 신호가 공급되는 구동 신호 단자, 및

상기 기판면 상에서의 상기 각 형성 영역 외의 영역에, 상기 화상 신호 단자의 2 개 이상을 전기적으로 공통으로 접속하도록 형성되어 있는 상기 기판 장치의 검사용의 검사 신호가 공급되는 검사용 배선을 구비하고,

상기 검사용 배선을 이용하여 상기 검사 신호를 상기 화상 신호 단자의 각각에 공급하여, 상기 기판 장치를 구동시키는 구동 단계, 및

상기 기판 장치의 구동 상황에 기초하여 검사하는 검사 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.