KR20090091008A - 전기 광학 장치 및 전자 기기 - Google Patents

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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

과제
전기 광학 장치의 검사시에 적확한 검사를 실시한다.
해결 수단
전기 광학 장치에 있어서 기판 (10) 상에 복수의 검사 단자 (103) 는 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx8, YEPR 및 YEPL) 가 출력되는 일부의 검사 단자 (103o 및 103y) 에 대하여 각각 소정 주파수의 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB), 그리고 전송 개시 펄스 (DX) 가 각각 입력되는 다른 검사 단자 (103i) 의 각각과 서로 이웃하지 않도록 배열된다.
전기 광학 장치, 검사 단자, 클록 신호, 반전 클록 신호, 전송 개시 펄스

Description

전기 광학 장치 및 전자 기기{ELECTRO-OPTICAL DEVICE AND ELECTRONIC APPARATUS}
본 발명은 예를 들어 액정 장치 등의 전기 광학 장치 및 그 전기 광학 장치를 구비한, 예를 들어 액정 프로젝터 등의 전자 기기의 기술 분야에 관한 것이다.
이와 같은 종류의 전기 광학 장치에서는, 기판 상에 복수의 화소부가 형성됨과 함께 복수의 화소부를 구동시키기 위한 구동 회로, 당해 전기 광학 장치의 검사에 사용되는 검사 회로 등이 형성된다. 또한, 기판 상에는 구동 회로 등에 있어서의 각종 신호를 입출력하기 위한 복수의 단자가 형성된다 (예를 들어 특허 문헌 1 참조). 복수의 단자에는 전기 광학 장치의 검사시에 구동 회로나 검사 회로에 있어서의 입출력 신호가 입출력되는 검사 단자가 포함되고, 검사 단자로부터 출력되는 출력 신호에 기초하여 검사가 이루어진다.
[특허 문헌 1] 일본 공개특허공보 2007-79541호
상기 서술한 바와 같은 전기 광학 장치에 있어서 소형화에 수반하여 복수의 단자 특히 검사 단자의 배열 피치가 협피치화되면, 검사시에 검사 단자에 대하여 입출력 신호를 입출력하기 위한 프로브의 바늘이, 서로 이웃하는 검사 단자에서 근접하거나 또는 근접하여 접촉할 우려가 있다. 이 경우, 출력 신호가 출력된 하나의 검사 단자에, 비교적 고주파수의 입출력 신호가 입출력되는 다른 검사 단자가 서로 이웃하여 배치되면, 상기 서술한 바늘의 접촉 또는 근접에 의해, 고주파수의 신호의 파형이 출력 신호의 파형에 혼입되는 문제가 발생하여 적확하게 검사를 실시하는 것이 곤란해지는 문제점이 발생한다.
본 발명은 예를 들어 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 검사시에 적확한 검사를 실시함과 함께 용이하게 소형화할 수 있는 전기 광학 장치 및 그와 같은 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지는 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 전기 광학 장치는 상기 과제를 해결하기 위해서, 기판과, 그 기판 상에 배열된 복수의 화소부와, 상기 복수의 화소부를 구동시키는 구동 회로와, 상기 기판 상에 형성되고, 상기 구동 회로에 의한 상기 복수의 화소부의 구동에 대한 검사를 실시하는 검사 회로와, 상기 기판 상에 형성되고, 상기 검사시, 상기 검사 회로 및 상기 구동 회로에 있어서의 입출력 신호가 각각 입출력되는 복수의 검사 단자를 구비하고, 상기 복수의 검사 단자는, 상기 입출력 신호로서 상기 검사를 위한 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자와, 상기 입출력 신호로서 소정 주파수의 입출력 신호가 입출력되는 다른 검사 단자가 서로 이웃하지 않도록 배열된다.
본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 그 구동시에 구동 회로에 의해 복수의 화소부가 구동됨으로써 화상 표시 동작이 전형적으로는 액티브 매트릭스 구동 방식에 의해 이루어진다.
본 발명의 전기 광학 장치는 이와 같은 구동 회로에 의한 화소부의 구동에 대하여 검사하기 위한 검사 회로가 형성되고, 복수의 검사 단자에 당해 검사를 실시하기 위한 각종의 입출력 신호가 입출력된다. 예를 들어, 복수의 검사 단자에는, 입력 신호로서 검사 회로를 구동시키기 위한 신호 (후술하는 클록 신호나 스타트 신호 등) 가 입력되거나, 출력 신호로서 검사 회로나 구동 회로로부터 검사를 위해서 생성되는 신호가 출력된다. 검사 회로나 구동 회로로부터 검사 단자에 출력된 신호에 기초하여, 구동 회로에 의한 화소부의 구동에 관련된 검사가 이루어진다. 또한, 검사 회로 및 복수의 검사 단자는 복수의 화소부와 동일한 기판 상에 형성되고, 이들과 동일한 기판 상에 구동 회로는 적어도 부분적으로 형성된다.
복수의 검사 단자는 기판 상에서 기판의 적어도 한 변을 따라 배열된다. 본 발명에서는 복수의 검사 단자 중, 상기 서술한 바와 같이 검사를 위한 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자는 각각 소정 주파수의 입출력 신호가 입출력되는 다른 검사 단자와는 이웃하지 않도록 배열된다. 여기에, 「소정 주파수의 입출 력 신호」란, 검사 단자에 입력되는 입력 신호 및 출력 신호로서, 고전위 레벨 (「H 레벨」) 및 고전위 레벨보다 낮은 저전위 레벨 (「L 레벨」) 의 2 값적인 레벨을 취하는, 즉 H 레벨 및 L 레벨 중 어느 것으로 주기적으로 전위가 변동되는 신호를 말한다.
구체적으로는 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자는 각각 소정 주파수의 입력 신호가 입력되는 다른 검사 단자와는 이웃하지 않도록 배열된다. 따라서, 일부의 검사 단자를 각각 다른 검사 단자와는 이간시켜 배치할 수 있다.
여기에, 「소정 주파수의 입력 신호」가 예를 들어 검사 회로를 구동시키기 위한 클록 신호 등의 고주파수의 신호인 경우에는, 일부의 검사 단자에 대하여 당해 클록 신호가 입력되는 다른 검사 단자가 서로 이웃하는 경우에는, 단자 간 또는 검사 프로브 간의 전기적 또는 전자적인 상호 작용 등에 의해, 일부의 검사 단자에 있어서 검사 프로브에 의해 검출되는 신호에 고주파수의 클록 신호 등의 파형이 노이즈로서 혼입되기 쉬워지는 경향이 있다.
본 발명에서는, 일부의 검사 단자와 다른 검사 단자를 이간시켜 배치시켜, 일부의 검사 단자로부터의 출력 신호를 검출하기 위한 검사 프로브와, 다른 검사 단자에 소정 주파수의 입력 신호를 입력하기 위한 검사 프로브가 근접하거나 또는 근접하여 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 일부의 검사 단자에 있어서 검출되는 출력 신호에, 다른 검사 단자에 입력되는 소정 주파수의 입력 신호의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 방지할 수 있게 된다.
마찬가지로 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자는 각각 소정 주파수의 출력 신호가 출력되는 다른 검사 단자와는 이웃하지 않도록 배열된다. 이 경우에 있어서, 일부의 검사 단자에 대하여, 하나의 검사 단자의 출력 신호와 다른 검사 단자의 소정 주파수의 출력 신호를 각각 검출하기 위한 검사 프로브가 서로 근접하거나 또는 근접하여 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 일부의 검사 단자 각각에 대하여, 검출되는 출력 신호에 다른 검사 단자로부터 출력되는 소정 주파수의 출력 신호의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 방지할 수 있게 된다.
따라서, 이상에서 설명한 전기 광학 장치에 의하면, 소형화에 수반하여 복수의 검사 단자의 배열 피치가 협피치화되어도, 일부의 검사 단자로부터의 출력 신호에 기초하여 적확하게 검사를 실시할 수 있게 된다.
본 발명의 전기 광학 장치의 일 양태에서는, 상기 일부의 검사 단자는 각각 상기 입출력 신호로서 클록 신호가 입력되는 상기 다른 검사 단자와는 이웃하지 않도록 배열된다.
이 양태에 의하면, 클록 신호는 검사 회로나 구동 회로에 있어서의 검사시의 구동 주파수를 규정하고, 비교적 고주파수의 신호로서 다른 검사 단자에 입력된다.
이 양태에서는, 검사를 위한 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자와, 클록 신호가 입력되는 다른 검사 단자를 이간시켜 배치시켜, 일부의 검사 단자에 있어서의 검사 프로브와, 다른 검사 단자에 있어서의 검사 프로브가 근접하거나 또는 근접하여 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 일부의 검사 단자에 있어서 검출되는 출력 신호에, 다른 검사 단자에 입력되는 비교적 고주파수의 클록 신호의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 방지할 수 있게 된다.
이와 같은, 다른 검사 단자에 클록 신호가 입력되는 양태에서는 또한, 상기 검사 회로는 상기 입출력 신호로서 입력되는 스타트 신호를 상기 클록 신호에 기초하여 순차적으로 전송하고, 상기 일부의 검사 단자는 각각 상기 스타트 신호가 입력되는 상기 다른 검사 단자와는 서로 이웃하지 않도록 배열된다.
이 양태에서는, 검사 회로를 구동시키기 위한 신호로서, 다른 검사 단자에는 클록 신호 및 스타트 신호가 입력된다. 스타트 신호는 주기적으로 (예를 들어 하기에 상세히 서술하는 바와 같이 1 수평 기간마다) L 레벨에서 H 레벨로 전위가 변동되는 신호로서, 클록 신호보다는 저주파수의 신호로서 입력된다.
이 양태에서는, 클록 신호에 더하여 스타트 신호가 입력되는 다른 검사 단자에 대해서도, 검사를 위한 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자에 대하여 이간시켜 배치시킬 수 있다. 따라서, 상기 서술한 클록 신호에 대한 것과 마찬가지로, 일부의 검사 단자에 있어서 검출되는 출력 신호에 스타트 신호의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 전기 광학 장치의 다른 양태에서는, 상기 일부의 검사 단자는 각각 상기 다른 검사 단자와의 사이에, 상기 복수의 검사 단자 중 소정 전위의 상기 입출력 신호가 입출력되는 상기 검사 단자를 사이에 두고 배열된다.
이 양태에 의하면, 소정 전위의 입출력 신호로서, 예를 들어 검사 회로나 구동 회로를 구동시키기 위한 전원 등이 검사시에 검사 단자에 입력된다. 이와 같은 검사 단자를 사이에 두고 검사를 위한 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자가 각각 소정 주파수의 신호가 입출력되는 다른 검사 단자에 대하여 배열됨으로 써 일부의 검사 단자 각각에 대하여 다른 검사 단자와의 사이의 전자적 또는 전기적인 상호 작용을 당해 검사 단자 (즉 전원 등이 공급되는 검사 단자) 에 의해 시일드할 수 있게 된다.
따라서, 이 양태에 의하면, 보다 확실히 일부의 검사 단자에 있어서 검출되는 출력 신호에, 다른 검사 단자에 입출력되는 소정 주파수의 신호의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 전기 광학 장치의 다른 양태에서는, 상기 기판을 복수 포함하는 대형 기판을 절단함으로써 제조됨과 함께, 상기 대형 기판에 있어서 서로 인접하는 상기 기판에서는, 일방에 있어서의 상기 일부의 검사 단자 각각이 타방에 있어서의 상기 다른 검사 단자와 서로 이웃하지 않도록 배치된다.
이 양태에 의하면, 전기 광학 장치의 제조시에 대형 기판에 있어서의 각 기판 상에 복수의 화소부, 구동 회로의 적어도 일부 및 검사 회로와 검사 단자를 형성하고, 검사를 실시한 후에 개개의 기판을 절단한다.
따라서, 대형 기판 상에서의 검사에 있어서도, 상기 서술한 전기 광학 장치의 검사와 마찬가지로, 대형 기판에 있어서 인접하는 기판에서, 일방의 기판 상의 일부의 검사 단자에 있어서 검출되는 출력 신호에, 타방의 기판 상의 다른 검사 단자에 입출력되는 소정 주파수의 신호의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 전자 기기는 상기 과제를 해결하기 위해서 상기 서술한 본 발명의 전기 광학 장치 (단, 그 각종 양태도 포함한다) 를 구비한다.
본 발명의 전자 기기에 의하면, 전기 광학 장치의 적확한 검사가 가능해지기 때문에, 고품질의 표시를 실시함과 함께 신뢰성을 향상시키고, 나아가서는 용이하게 소형화할 수 있는 투사형 표시 장치, 텔레비젼, 휴대 전화, 전자 수첩, 워드 프로세서, 뷰 파인더형 또는 모니터 직시형 비디오 테잎 레코더, 워크스테이션, 화상 전화, POS 단말, 터치 패널 등의 각종 전자 기기를 실현할 수 있다. 또, 본 발명의 전자 기기로서, 예를 들어 전자 페이퍼 등의 전기 영동 장치 등도 실현할 수도 있다.
본 발명의 작용 및 다른 이득은 다음에 설명하는 실시하기 위한 최선의 형태로부터 분명해진다.
본 발명에 따르면, 검사시에 적확한 검사를 실시함과 함께 용이하게 소형화할 수 있는 전기 광학 장치 및 그와 같은 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지는 전자 기기를 제공할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 이하의 실시형태에서는, 본 발명의 전기 광학 장치의 일례인 액티브 매트릭스 구동 방식의 액정 장치를 예로 든다.
먼저, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전체 구성에 대하여 도 1 및 도 2 를 참조하여 설명한다. 여기에 도 1 은 대향 기판측에서 본 액정 장치의 평면도이며, 도 2 는 도 1 의 H-H＇단면도이다.
도 1 및 도 2 에 있어서, 본 실시형태에 관련된 액정 장치 (100) 는 대향 배치된 소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 을 구비하고 있다. 소자 기판 (10) 은 대향 기판 (20) 및 소자 기판 (10) 을 대향 배치한 상태에서, 평면적으로 보아 (즉, 도 1 에 있어서) 소자 기판 (10) 의 적어도 한 변이, 대응하는 대향 기판 (20) 의 한 변으로부터 튀어 나오도록 또는 노출되도록, 대향 기판 (20) 과 비교하여 큰 평면 사이즈로 형성되어 있다.
소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 사이에는 액정층 (50) 이 봉입되어 있고, 소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 은 화상 표시 영역 (10a) 주위에 위치하는 시일 영역 (52a) 에 형성된 시일재 (52) 에 의해 서로 접착되어 있다. 이로써 소자 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 사이에 있어서 시일재 (52) 에 의해 둘러싸인 화상 표시 영역 (10a) 에 액정층 (50) 이 봉입된다.
시일재 (52) 는 양 기판을 부착시키기 위한, 예를 들어 자외선 경화 수지, 열경화 수지 등으로 이루어지고, 제조 프로세스에 있어서 소자 기판 (10) 상에 도포된 후, 자외선 조사, 가열 등에 의해 경화된 것이다. 또, 시일재 (52) 중에는 소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 의 간격 (기판간 갭) 을 소정값으로 하기 위한 글라스 파이버 또는 유리 비드 등의 갭재가 산포되어 있다.
도 1 에 있어서, 시일재 (52) 가 배치된 시일 영역 (52a) 의 내측에 병행하여, 화상 표시 영역 (10a) 의 프레임 영역을 규정하는 차광성의 프레임 차광막 (53) 이 대향 기판 (20) 측에 형성되어 있다. 단, 이와 같은 프레임 차광막 (53) 의 일부 또는 전부는 소자 기판 (10) 측에 내장 차광막으로서 형성되어도 된 다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 화상 표시 영역 (10a) 의 주변을 규정하는 주변 영역이 존재한다. 바꿔 말하면, 본 실시형태에서는 소자 기판 (10) 의 중심에서 보아 프레임 차광막 (53) 보다 먼 쪽이 주변 영역으로서 규정되어 있다.
주변 영역 중, 시일재 (52) 가 배치된 시일 영역 (52a) 의 외측에 위치하는 영역에는, 화상 신호가 공급되는 화상 신호 단자 등을 포함하는 외부 회로 접속 단자 (102) 가 소자 기판 (10) 의, 대향 기판 (20) 으로부터 튀어 나온 한 변을 따라 형성되어 있다. 즉, 도 1 중에서 소자 기판 (10) 의 하측 가장자리를 따라 가로로 길게 연장되어 튀어 나온 영역에 복수의 외부 회로 접속 단자 (102) 가 배열되어 있다.
이 한 변 (즉, 소자 기판 (10) 에 있어서의 복수의 외부 회로 접속 단자 (102) 가 배열된 한 변) 을 따른 시일 영역 (52a) 보다 내측에, 디멀티플렉서 (7) 가 프레임 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 형성되어 있다. 또, 주사선 구동 회로 (104) 는 이 한 변에 인접하는 두 변을 따른 시일 영역 (52a) 의 내측에, 프레임 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 형성되어 있다. 또한, 검사 회로 (160) 는 이 한 변에 대향하는 변을 따른 시일 영역 (52a) 보다 내측에, 프레임 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 형성되어 있다. 덧붙여, 검사 회로 (160) 와 전기적으로 접속된 검사 단자 (103) 가, 주사선 구동 회로 (104) 가 배치된 소자 기판 (10) 의 두 변의 양방을 따라 그 두 변의 각각을 따른 시일 영역 (52a) 보다 외측에 형성되어 있다. 즉, 도 1 중에서 소자 기판 (10) 의 우측 가장자리 및 좌측 테두리의 각각을 따라 세로로 연장되는 띠 형상 영역에 복수의 검사 단자 (103) 가 배열되어 있다.
소자 기판 (10) 상에는, 대향 기판 (20) 의 4 개의 코너부에 대향하는 영역에, 양 기판간을 상하 도통재 (107) 로 접속시키기 위한 상하 도통 단자 (106) 가 배치되어 있다. 이들에 의해, 소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 사이에서 전기적인 도통을 취할 수 있다. 소자 기판 (10) 상에는, 외부 회로 접속 단자 (102) 와, 디멀티플렉서 (7), 주사선 구동 회로 (104), 상하 도통 단자 (106) 등을 전기적으로 접속시키기 위한 인회 배선 (90), 및 검사 단자 (103) 와, 검사 회로 (160), 주사선 구동 회로 (104) 등을 전기적으로 접속시키기 위한 인회 배선 (91) 이 형성되어 있다.
도 2 에 있어서, 소자 기판 (10) 상에는 구동 소자인 화소 스위칭용 TFT 나 주사선, 데이터선 등의 배선이 형성된 T 적층 구조가 형성되어 있다. 화상 표시 영역 (10a) 에는 화소 스위칭용 TFT 나 주사선, 데이터선 등의 배선의 상층에 화소 전극 (9a) 이 형성되어 있다. 화소 전극 (9a) 상에는 배향막이 형성되어 있다. 한편, 대향 기판 (20) 에 있어서의 소자 기판 (10) 과의 대향면 상에 차광막 (23) 이 형성되어 있다. 차광막 (23) 상에, ITO (Indium Tin Oxide) 등의 투명 재료로 이루어지는 대향 전극 (21) 이 복수의 화소 전극 (9a) 과 대향하여 형성되어 있다. 대향 전극 (21) 상에는 배향막이 형성되어 있다. 액정층 (50) 은 예를 들어 1 종 또는 여러 종류의 네마틱 액정을 혼합한 액정으로 이루어지고, 이들 한 쌍의 배향막 사이에서 소정의 배향 상태를 취한다.
또한, 대향 기판 (20) 의 투사광이 입사되는 측 및 소자 기판 (10) 의 출사 광이 출사되는 측에는 각각 예를 들어 TN (트위스티드 네마틱) 모드, STN (슈퍼 TN) 모드, D-STN (더블-STN) 모드 등의 동작 모드나, 노멀리 화이트 모드/노멀리 블랙 모드 각각에 따라 편광 필름, 위상차 필름, 편광판 등이 소정의 방향으로 배치된다.
다음으로, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전기적인 구성에 대하여, 도 3 및 도 4 를 참조하여 설명한다. 여기에 도 3 은 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전기적인 구성을 나타내는 블록도이다. 도 4 는 본 실시형태에 관련된 액정 장치 화소부의 등가 회로도이다.
도 3 에 있어서, 액정 장치 (100) 는 소자 기판 (10) 상에 디멀티플렉서 (7), 주사선 구동 회로 (104) 및 검사 회로 (160) 를 구비하고 있다. 소자 기판 (10) 상의 외부 회로 접속 단자 (102) 중 화상 신호 단자 (102v) 에 외부 회로로서의 화상 신호 공급 회로 (400) 가 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 본 발명에 관련된「구동 회로」는 일례로서 디멀티플렉서 (7) 및 주사선 구동 회로 (104), 나아가서는 화상 신호 공급 회로 (400) 를 포함하여 이루어진다.
소자 기판 (10) 상의 화상 표시 영역 (10a) 에는, 1088 행의 주사선 (11a) 이 가로 방향 (즉, X 방향) 으로 연장되도록 형성되고, 또, 8 개씩 그룹화된 1984 (=248×8) 열의 데이터선 (6a) 이, 열 방향 (즉, Y 방향) 으로 연장되도록, 또한 각 주사선 (11a) 과 서로 전기적인 절연을 유지하도록 형성되어 있다. 또한, 주사선 (11a) 및 데이터선 (6a) 의 개수는 각각 1088 개 및 1984 개로 한정되는 것은 아니다. 1 그룹을 구성하는 데이터선 수는 본 실시형태에서는「8」로 하였 는데,「2」이상이면 된다.
화소부 (600) 는 1088 개의 주사선 (11a) 과 1984 개의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하여 각각 배열되어 있다. 따라서, 본 실시형태에서는 화소부 (600) 는 세로 1088 행 × 가로 1984 이고, 소정의 화소 피치로 매트릭스상으로 배열되게 된다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 화소부 (600) 는 화소 스위칭용 TFT (30), 액정 소자 (72) 및 축적 용량 (70) 을 구비하고 있다.
화소 스위칭용 TFT (30) 는 소스가 데이터선 (6a) 에 전기적으로 접속되고, 게이트가 주사선 (11a) 에 전기적으로 접속되며, 드레인이 후술하는 액정 소자 (72) 의 화소 전극 (9a) 에 전기적으로 접속되어 있다. 화소 스위칭용 TFT (30) 는 주사선 구동 회로 (104) 로부터 공급되는 주사 신호에 의해 온 오프가 전환된다.
액정 소자 (72) 는 화소 전극 (9a), 대향 전극 (21) 그리고 화소 전극 (9a) 및 대향 전극 (21) 사이에 협지된 액정으로 구성되어 있다. 액정 소자 (72) 에 있어서, 데이터선 (6a) 및 화소 전극 (9a) 을 통해 액정에 기록된 소정 레벨의 데이터 신호는, 대향 전극 (21) 과의 사이에서 일정 기간 유지된다. 액정은 인가되는 전압 레벨에 의해 분자 집합의 배향이나 질서가 변화됨으로써 광을 변조하여 계조 표시를 가능하게 한다. 노멀리 화이트 모드이면 각 화소 단위로 인가된 전압에 따라 입사광에 대한 투과율이 감소되고, 노멀리 블랙 모드이면 각 화소 단위로 인가된 전압에 따라 입사광에 대한 투과율이 증가되어, 전체적으로 액정 장치 (100) 로부터는 화상 신호에 따른 콘트라스트를 갖는 광이 출사된다.
축적 용량 (70) 은 유지된 화상 신호가 리크되는 것을 방지하기 위해서 화소 전극 (9a) 과 대향 전극 사이에 형성되는 액정 용량과 병렬로 부가되어 있다.
이상과 같은 화소부 (600) 가 화상 표시 영역 (10a) 에 매트릭스상으로 배열되어 있기 때문에 액티브 매트릭스 구동이 가능해져 있다.
다시 도 3 에 있어서, 본 실시형태에서는 1 그룹을 구성하는 8 열의 데이터선 (6a) 을 구별하기 위해서 오른쪽으로부터 순서대로 각각 a, b, c, d, e, f, g, h 계열로 부르는 경우가 있다. 상세하게는, a 계열이란 1, 9, 17, …, 1977 째열 데이터선 (6a) 이고, b 계열이란 2, 10, 18, …, 1978 째열 데이터선 (6a) 이고, c 계열이란 3, 11, 19, …, 1979 째열 데이터선 (6a) 이고, d 계열이란 4, 12, 20, …, 1980 째열 데이터선 (6a) 이고, e 계열이란 5, 13, 21, …, 1981 째열 데이터선 (6a) 이고, f 계열이란 6, 14, 22, …, 1982 째열 데이터선 (6a) 이며, g 계열이란 7, 15, 23, …, 1983 째열 데이터선 (6a) 이며, h 계열이란 8, 16, 24, …, 1984 째열 데이터선 (6a) 이다.
주사선 구동 회로 (104) 는 시프트 레지스터를 갖고 있고, 1, 2, 3, …, 1088 째행 주사선 (11a) 에 주사 신호 (G1, G2, G3, …, G1088) 를 공급한다. 상세하게는, 주사선 구동 회로 (104) 는 1 프레임의 기간에 걸쳐 1, 2, 3, …, 1088 째행 주사선 (11a) 을 순서대로 선택함과 함께 선택한 주사선에 대한 주사 신호를 선택 전압에 상당하는 H 레벨로 하고, 그 이외의 주사선에 대한 주사 신호를 비선택 전압에 상당하는 L 레벨로 한다.
화상 신호 공급 회로 (400) 는 소자 기판 (10) 과는 별체 구성으로서, 표시 동작시에는 화상 신호 단자 (102v) 를 통해 소자 기판 (10) 과 접속된다. 화상 신호 공급 회로 (400) 는 주사선 구동 회로 (104) 에 의해 선택된 주사선 (11a) 과, 각 그룹에 속하는 8 열의 데이터선 (6a) 중 디멀티플렉서 (7) 에 의해 선택되는 데이터선 (6a) 에 대응하는 화소 전극 (9a) 에 대하여, 당해 화소 전극 (9a) 이 포함되는 화소의 계조에 따른 전압의 화상 신호를 출력한다. 화상 신호 공급 회로 (400) 로부터 화상 신호 단자 (102v) 에 공급된 화상 신호는 인회 배선 (90) (도 1 참조) 에 포함되는 화상 신호선 (300) 을 통해 디멀티플렉서 (7) 에 공급된다. 본 실시형태에서는, 화상 신호선 (300) 은 바람직하게는 저저항부 (310) 와, 저저항부 (310) 보다 고저항인 고저항부 (320) 를 갖고 있어 디멀티플렉서 (7) 가 정전 파괴되어 버리는 것을 저감 또는 방지할 수 있다.
한편, 검사시에 있어서는 화상 신호 단자 (102v) 에는 화상 신호 공급 회로 (400) 대신에 검사용 화상 신호 공급 회로가 접속되어, 검사 동작에 맞춘 검사용 화상 신호가 공급된다.
또한, 본 실시형태에서는 상기 서술한 바와 같이 데이터선 (6a) 의 열수는 「1984」이며, 이들이 8 열씩 그룹화되어 있기 때문에 화상 신호 단자 (102v) 의 개수는 「248」이다.
디멀티플렉서 (7) 는 데이터선 (6a) 마다 형성된 트랜지스터 (71) 를 포함하여 구성되어 있다. 여기에서, 트랜지스터 (71) 는 n 채널형이며, 각 드레인은 데이터선 (6a) 의 일단에 전기적으로 접속되어 있다. 동일 그룹에 속하는 데이 터선 (6a) 에 대응하는 8 개의 트랜지스터 (71) 소스는 당해 그룹에 대응하는 화상 신호선 (300) 과 전기적으로 공통 접속되어 있다.
즉, m 번째 (단, m 은 1 이상 248 이하의 정수) 그룹은 a 계열의 (8m-7) 째열, b 계열의 (8m-6) 째열, c 계열의 (8m-5) 째열, d 계열의 (8m-4) 째열, e 계열의 (8m-3) 째열, f 계열의 (8m-2) 째열, g 계열의 (8m-1) 째열 및 h 계열의 (8m) 째열 데이터선 (6a) 으로 구성되기 때문에, 이들 8 열의 데이터선 (6a) 에 대응하는 트랜지스터 (71) 의 소스는 전기적으로 공통 접속되어 화상 신호 (VID (m)) 가 공급된다. (8m-7) 째열 데이터선 (6a) 에 대응하는 트랜지스터 (71) 의 게이트에는 제어 신호선 (700) 을 통해 제어 신호 (Sel1) 가 공급되고, 마찬가지로 (8m-6) 째열, (8m-5) 째열, (8m-4) 째열, (8m-3) 째열, (8m-2) 째열, (8m-1) 째열 및 (8m) 째열 데이터선 (6a) 에 대응하는 트랜지스터 (71) 의 게이트에는 인회 배선 (90) (도 1 참조) 에 포함되는 제어 신호선 (700) 을 통해 제어 신호 (Sel2, Sel3, Sel4, Sel5, Sel6, Sel7 및 Sel8) 가 공급된다. 제어 신호 (Sel1, Sel2, …, Sel8) 는 도시하지 않은 외부 회로로서의 타이밍 제어 회로로부터 외부 회로 접속 단자 (102) 중 제어 신호 단자 (102s) 를 통해 제어 신호선 (700) 에 공급된다. 본 실시형태에서는, 제어 신호선 (700) 은 바람직하게는 화상 신호선 (300) 과 대체로 동일하게, 저저항부 (710) 와 저저항부 (710) 보다 고저항인 고저항부 (720) 를 갖고 있어 디멀티플렉서 (7) 가 정전 파괴되어 버리는 것을 저감 또는 방지할 수 있다.
도 3 에 있어서, 검사 회로 (160) 는 제어 회로 (162) 및 데이터선 (6a) 마 다 형성된 트랜지스터인 TFT (164) 를 포함하여 구성되어 있다.
제어 회로 (162) 는 시프트 레지스터를 포함하여 구성되어 있다. 제어 회로 (162) 에는, 검사시에 있어서 본 발명에 관련된 「스타트 신호」의 일례인 전송 개시 펄스 (DX), 본 발명에 관련된 「클록 신호」의 일례인 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB), 전송 방향 제어 신호 (DIRX), 전원 전위 (VDDX) 가, 외부에 형성된 검사 제어 회로 (도시 생략) 로부터 검사 단자 (103) (도 1 참조) 중 검사 단자 (103i) 및 인회 배선 (91) (도 1 참조) 에 포함되는 검사용 신호선 (810) 을 통해 공급된다. 제어 회로 (162) 는 검사시에 있어서 전송 개시 펄스 (DX) 를, 전송 방향 제어 신호 (DIRX) 그리고 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 에 따라 순차적으로 시프트하여, 전송 펄스 (X1, X2, …, X248) 를 후술하는 TFT (164) 의 각 그룹에 대응하여 출력한다. 본 실시형태에서는, 검사용 신호선 (810) 은 바람직하게는 저저항부 (811) 와 저저항부 (811) 보다 고저항인 고저항부 (812) 를 갖고 있어, 검사 회로 (160) (보다 구체적으로는, 제어 회로 (162) 에 포함되는 TFT) 가 정전 파괴되어 버리는 것을 저감 또는 방지할 수 있다.
TFT (164) 는 n 채널형의 TFT 이며, 각 소스는 데이터선 (6a) 의 타단 (즉, 데이터선 (6a) 에 있어서의 디멀티플렉서 (7) 가 전기적으로 접속된 일단과는 반대측인 타단) 에 전기적으로 접속되어 있다. 동일 그룹에 속하는 데이터선 (6a) 에 대응하는 8 개의 TFT (164) 의 게이트는 전기적으로 공통 접속되어 있어, 제어 회로 (162) 로부터 당해 그룹에 대응하는 전송 펄스 (Xm) 가 공급된다.
즉, m 번째 그룹을 구성하는 (8m-7) 째열, (8m-6) 째열, (8m-5) 째열, (8m- 4) 째열, (8m-3) 째열, (8m-2) 째열, (8m-1) 째열 및 (8m) 째열 데이터선 (6a) 에 대응하는 TFT (164) 의 게이트에는 제어 회로 (162) 에 의한 전송 펄스 (Xm) 가 공통적으로 공급된다.
1 번째에서 248 번째까지의 그룹에 있어서 a 계열의 데이터선 (6a) 에 대응하는 TFT (164) 의 드레인은, 그룹을 구성하는 데이터선 (6a) 의 수와 동일한 개수인 8 개의 검사용 신호선 (820) 중 검사 신호 (Cx1) 로서 판독하는 검사용 신호선 (820) 에 전기적으로 공통 접속되어 있다. 마찬가지로 각 그룹에 있어서 b, c, d, e, f, g 및 h 계열의 데이터선 (6a) 에 대응하는 TFT (164) 의 드레인은, 8 개의 검사용 신호선 (820) 중 검사 신호 (Cx2, Cx3, Cx4, Cx5, Cx6, Cx7 및 Cx8) 로서 판독하는 검사용 신호선 (820) 에 전기적으로 공통 접속되어 있다. 검사용 신호선 (820) 은 인회 배선 (91) (도 1 참조) 에 포함되고, 검사 단자 (103) (도 1 참조) 중 검사 단자 (103o) 에 전기적으로 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 검사용 신호선 (820) 은 바람직하게는 검사용 신호선 (810) 과 대체로 동일하게 저저항부 (821) 와, 저저항부 (821) 보다 고저항인 고저항부 (822) 를 갖고 있어, 검사 회로 (160) (보다 구체적으로는 TFT (164)) 가 정전 파괴되어 버리는 것을 저감 또는 방지할 수 있다.
상기 서술한 검사 회로 (160) 에 의해, 검사시에는 예를 들어 데이터선 (6a) 의 그룹마다 제어 회로 (162) 로부터 전송 펄스 (X1, X2, …, X248) 를 출력하여 각 그룹에 대응하는 TFT (164) 를 온 상태로 함으로써 미리 소정 전압의 검사용 화상 신호가 공급된 데이터선 (6a) 의 전위를, 8 개의 검사용 신호선 (820) 을 통해 8 개의 검사 단자 (103o) 에 출력한다. 그리고, 8 개의 검사 단자 (103o) 에 전기적으로 접속된 외부의 판정 수단에 의해 8 개의 검사용 신호선 (820) 이 소정의 전위인지 아닌지를 판정함으로써 디멀티플렉서 (7) 나 각 데이터선 (6a) 의 양부 (良否) 를 판정하는 검사가 이루어진다. 또한, 이와 같은 검사는 하기에 설명하는데, 마더 기판 상에 소자 기판 (10) 측에 있어서의 각종 구성 요소가 형성된 상태에서 (즉, 마더 기판이 액정 장치 (100) 마다 분단되기 전에) 이루어진다.
검사용 단자 (103) (도 1 참조) 중 검사 단자 (103y) 는, 검사시에 있어서 주사선 구동 회로 (104) 로부터 출력되는 검사용 출력 신호를 검사 신호 (YEPL 또는 YEPR) 로서 판독하기 위한 검사용 단자로서, 인회 배선 (91) (도 1 참조) 에 포함되는 검사용 신호선 (830) 을 통해 주사선 구동 회로 (104) (보다 구체적으로는 주사선 구동 회로 (104) 가 갖는 시프트 레지스터의 최종단의 출력선) 와 전기적으로 접속되어 있다. 검사시에 있어서 검사 단자 (103y) 를 프로브함으로써 주사선 구동 회로 (104) 를 검사할 수 있다. 본 실시형태에서는, 검사용 신호선 (830) 은 바람직하게는 저저항부 (831) 와 저저항부 (831) 보다 고저항인 고저항부 (832) 를 갖고 있어, 주사선 구동 회로 (104) (보다 구체적으로는 주사선 구동 회로 (104) 에 포함되는 TFT) 가 정전 파괴되어 버리는 것을 저감 또는 방지할 수 있다.
또한, 검사 단자 (103) (도 1 참조) 중 검사 단자 (103nc) 는 미사용 단자이다. 검사 단자 (103nc) 는 검사 단자 (103i) 와 마찬가지로 검사용 신호선 (810) 을 통해 제어 회로 (162) 와 전기적으로 접속되어 있다.
여기에서, 상기 서술한 바와 같이 구성된 액정 장치의 동작에 대하여 도 3 을 참조하여 설명한다.
주사선 구동 회로 (104) 는 어느 1 프레임 (제 n 프레임) 기간에 걸쳐 주사 신호 (G1, G2, …, G1088) 를 1 수평 기간마다 순차 배타적으로 H 레벨 (즉, 선택 전압) 로 한다.
여기에서, 1 수평 기간에서는 타이밍 제어 회로로부터 공급되는 제어 신호 (Sel1, Sel2, …, Sel8) 는 이 순서대로 배타적으로 H 레벨이 되고, 이 공급에 맞춰 화상 신호 공급 회로 (400) 는 화상 신호 (VID1, VID2, VID3, …, VID248) 를 공급한다.
상세하게는, 화상 신호 공급 회로 (400) 는 i 째행의 주사 신호 (Gi) 가 H 레벨이 되는 기간에 있어서, 제어 신호 (Sel1) 가 H 레벨이 되었을 때, i 째행의 주사선 (11a) 과 a 계열의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하는 화소의 계조에 따른 전압만큼 대향 전극 전위 (LCCOM) 에 대하여 고위 또는 저위의 화상 신호 (VID1, VID2, VID3, …, VID248) 를 1, 2, 3, …, 248 번째 그룹에 대응시켜 일제히 출력한다. 이 때, 제어 신호 (Sel1) 만이 H 레벨이기 때문에 a 계열의 데이터선 (6a) 이 선택되는 (즉, a 계열의 데이터선 (6a) 에 대응하는 트랜지스터 (71) 만이 온하는) 결과, 화상 신호 (VID1, VID2, VID3, …, VID248) 는 각각 a 계열 (1, 9, 17, …, 1977 번째) 의 데이터선 (6a) 에 공급된다. 한편, 주사 신호 (Gi) 가 H 레벨이면 i 째행에 위치하는 화소 전부에 있어서 화소 스위칭용 TFT (30) 가 온 (도통) 상태로 되기 때문에, a 계열의 데이터선 (6a) 에 공급된 화상 신호 (VID1, VID2, VID3, …, VID248) 는 각각 i 행 1 열, i 행 9 열, i 행 17 열, …, i 행 1977 열의 화소 전극 (9a) 에 인가되게 된다.
다음으로, 화상 신호 공급 회로 (400) 는 제어 신호 (Sel2) 가 H 레벨이 되었을 때, 이번에는 i 째행 주사선 (11a) 과 b 계열의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하는 화소의 계조에 따른 전압의 화상 신호 (VID1, VID2, VID3, …, VID248) 를, 1, 2, 3, …, 248 번째 그룹에 대응시켜 일제히 출력한다. 이 때, 제어 신호 (Sel2) 만이 H 레벨이기 때문에 b 계열의 데이터선 (6a) 이 선택되는 결과, 화상 신호 (VID1, VID2, VID3, …, VID248) 는 각각 b 계열 (2, 10, 18, …, 1978 번째) 의 데이터선 (6a) 에 공급되어, 각각 i 행 2 열, i 행 10 열, i 행 18 열, …, i 행 1978 열의 화소 전극 (9a) 에 인가되게 된다.
마찬가지로 화상 신호 공급 회로 (400) 는, i 째행 주사 신호 (Gi) 가 H 레벨이 되는 기간에 있어서, 제어 신호 (Sel3) 가 H 레벨이 되었을 때에는, i 째행 주사선 (11a) 과 c 계열의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하는 화소, 제어 신호 (Sel4) 가 H 레벨이 되었을 때에는 i 째행 주사선 (11a) 과 d 계열의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하는 화소, 제어 신호 (Sel5) 가 H 레벨이 되었을 때에는 i 째행 주사선 (11a) 과 e 계열의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하는 화소, 제어 신호 (Sel6) 가 H 레벨이 되었을 때에는 i 째행 주사선 (11a) 과 f 계열의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하는 화소, 제어 신호 (Sel7) 가 H 레벨이 되었을 때에는 i 째행 주사선 (11a) 과 g 계열의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하는 화소, 제어 신호 (Sel8) 가 H 레벨이 되었을 때에는 i 째행 주사선 (11a) 과 h 계열의 데이터선 (6a) 의 교차에 대응하는 화소의 계조에 따른 전압의 화상 신호 (VID1, VID2, VID3, …, VID248) 를 각각 1, 2, 3, …, 248 번째 그룹에 대응시켜 일제히 출력한다. 이로써, i 째행의 각 화소의 계조에 따른 화상 신호 (VID1, VID2, VID3, …, VID248) 가 c 계열 (3, 11, 19, …, 1979 째열) 의 데이터선 (6a) 에 공급되어, 각각 i 행 3 열, i 행 11 열, i 행 19 열, …, i 행 1979 열의 화소 전극 (9a) 에 인가되고, 계속해서 d 계열 (4, 12, 20, …, 1980 째열) 의 데이터선 (6a) 에 공급되어 각각 i 행 4 열, i 행 12 열, i 행 20 열, …, i 행 1980 열의 화소 전극 (9a) 에 인가되고, 계속해서 e 계열 (5, 13, 21, …, 1981 째열) 의 데이터선 (6a) 에 공급되어 각각 i 행 5 열, i 행 13 열, i 행 21 열, …, i 행 1981 열의 화소 전극 (9a) 에 인가되고, 계속해서 f 계열 (6, 14, 22, …, 1982 째열) 의 데이터선 (6a) 에 공급되어 각각 i 행 6 열, i 행 14 열, i 행 22 열, …, i 행 1982 열의 화소 전극 (9a) 에 인가되고, 계속해서 g 계열 (7, 15, 23, …, 1983 째열) 의 데이터선 (6a) 에 공급되어 각각 i 행 7 열, i 행 15 열, i 행 23 열, …, i 행 1983 열의 화소 전극 (9a) 에 인가되고, 계속해서 h 계열 (8, 16, 24, …, 1984 째열) 의 데이터선 (6a) 에 공급되어 각각 i 행 8 열, i 행 16 열, i 행 24 열, …, i 행 1984 열의 화소 전극 (9a) 에 인가된다.
이로써, i 째행 화소에 대하여 계조에 따른 화상 신호의 전압을 기록하는 동작이 완료된다. 또한, 화소 전극 (9a) 에 인가된 전압은 주사 신호 (Gi) 가 L 레벨이 되어도 액정 용량에 의해 다음의 제 (n＋1) 프레임의 기록까지 유지되게 된다.
다음으로, 도 1 또는 도 3 에 있어서의 검사 단자 (103) 의 배치에 대하여 도 5 및 도 6 을 참조하여 설명한다. 여기에 도 5 는 본 실시형태에 관련된 액정 장치가 마더 기판 상에서 제조되는 것을 설명하기 위한 부분 평면도이다. 도 6 은 도 5 의 점선 A0 에 의해 둘러싸이는 일부의 구성을 나타내는 부분 확대 평면도이다.
도 5 에 나타내는 바와 같이 본 실시형태에 관련된 액정 장치 (100) 는 제조 프로세스에 있어서, 본 발명에 관련된 「대형 기판」의 일례인 마더 기판 (S) 상에서 한번에 복수 형성되는 형태가 취해지는 것으로 한다. 즉, 마더 기판 (S) 상에서, 액정 장치 (100) 가 종횡 각각에 매트릭스상으로 배열되도록 형성되고, 각 액정 장치 (100) 에 있어서는 각각 도 1 내지 도 4 를 참조하여 설명한 바와 같은 각종 구성 요소 (화소 스위칭용 TFT (30) 나 주사선 (11a), 데이터선 (6a) 등, 또는 주사선 구동 회로 (104) 나 디멀티플렉서 (7), 검사 회로 (160) 등) 가 형성되게 된다.
또한, 도 5 에 있어서 나타내는 마더 기판 (S) 은 도 1 및 도 2 에 나타내는 소자 기판 (10) 을 복수 포함하여 이루어진다. 즉, 도 5 에 나타내는 마더 기판 (S) 상에는 소자 기판 (10) 측에 있어서의 각종 구성 요소가 형성되고, 이것과는 별도로, 도 5 에는 도시하지 않은 석영 기판 또는 유리 기판 상에 대향 전극 (21), 배향막 등등이 형성되고, 대향 기판 (20) 이 복수 형성되며, 각 대향 기판 (20) 은 개별적으로 분단된다. 그리고, 마더 기판 (S) 에 형성된 소자 기판 (10) 각각에 대향 기판 (20) 을 개별적으로 대향시켜, 한 쌍의 소자 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 에 대하여 개별적으로 시일재 (52) 에 의해 부착하여 부착시킨 후, 소자 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 사이에 액정을 봉입한다. 그 후, 마더 기판 (S) 을 분단함으로써 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같은 각 개별의 액정 장치 (100) 가 제조되게 된다.
여기에서, 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이 마더 기판 (S) 에 있어서 각 소자 기판 (10) 의 외주를 따라 절단 영역 (Ct) 이 형성된다. 그리고, 마더 기판 (S) 은 절단 영역 (Ct) 에 대하여 다이싱 또는 스크라이빙이 실시됨으로써 분단된다.
도 6 에 있어서 복수의 검사 단자 (103) (즉, 검사 단자 (103i, 103o, 103nc 및 103y)) 는 소자 기판 (10) 상의 주변 영역 중 시일 영역 (52a) 보다 외측에 소자 기판 (10) 의 한 변을 따라 배열되어 있다. 검사 단자 (103) 는 일례로서 도 1 을 참조하여 상기 서술한 바와 같이 소자 기판 (10) 에 있어서의 화상 표시 영역 (10a) 의 양측 각각에 배치되기 때문에 마더 기판 (S) 에 있어서 서로 이웃하는 소자 기판 (10) 의 각각에 형성된 검사 단자 (103) 는 절단 영역 (Ct) 을 사이에 두고 서로 이웃하게 된다.
또한, 도 6 중에서는 좌측 소자 기판 (10) 에 있어서의 화상 표시 영역 (10a) 측에 배치된 8 개의 검사 단자 (103) 와, 우측 소자 기판 (10) 에 있어서의 화상 표시 영역 (10a) 의 좌측에 배치된 8 개의 검사 단자 (103) 가 절단 영역 (Ct) 을 사이에 두고 서로 이웃하고 있다.
본 실시형태에서는 특히 도 3 또는 도 6 에 나타내는 바와 같이 소자 기판 (10) 상에 있어서, 복수의 검사 단자 (103) 는 이미 설명한 바와 같이 검사를 위한 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자 (103o) 가 각각 소정 주파수의 신호, 본 실시형태에서는 제어 회로 (162) 에 있어서의 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB), 그리고 전송 개시 펄스 (DX) 가 입력되는 다른 검사 단자 (103i) 의 각각과는 이웃하지 않도록 배열된다.
예를 들어 도 1 또는 도 3 에 있어서, 소자 기판 (10) 의 2 변 중 일방을 따라 배열된 검사 단자 (103) (도 6 에 있어서는 좌측 소자 기판 (10) 에 있어서의 8 개의 검사 단자 (103)) 에 대하여, 상기 서술한 바와 같이 검사시에 a 계열, b 계열, c 계열 및 d 계열의 데이터선 (6a) 의 전위가 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx4) 로서 검사용 신호선 (820) 을 통해 출력되는 4 개의 검사 단자 (103o) 와, 주사선 구동 회로 (104) 로부터 검사 신호 (YEPR) 가 출력되는 검사 단자 (103y) 는, 각각, 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와는 서로 이웃하지 않도록 배치된다. 요컨대, 4 개의 검사 단자 (103o) 및 검사 단자 (103i) 모두가 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 에 이웃하지 않도록 배치된다.
따라서, 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx4) 가 출력되는 4 개의 검사 단자 (103o) 및 검사 신호 (YEPR) 가 출력되는 검사 단자 (103y) 의 5 개의 검사 단자를 각각, 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와 이간시켜 배열할 수 있다.
여기에, 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 는 검사 회로 (160) 에 있어서의 제어 회로 (162) 의 구동 주파수를 규정하고, 비교적 고주파수의 신호 (즉, 주기적으로 H 레벨 및 L 레벨 중 어느 것의 전위로 변동된다) 로서 검사 단자 (103i) 에 입력된다. 따라서, 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx4) 가 출력되는 4 개의 검사 단자 (103o) 및 검사 신호 (YEPR) 가 출력되는 검사 단자 (103y) 각각이, 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와 이웃하는 경우에는, 단자 간 또는 검사 프로브 간의 전기적 또는 전자적인 상호 작용 등에 의해, 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 에 있어서 검사 프로브에 의해 검출되는 신호에, 고주파수의 클록 신호 (CLX) 또는 반전 클록 신호 (CLXB) 의 파형이 노이즈로서 혼입되기 쉬워지는 경향이 있다.
따라서, 상기 서술한 바와 같이 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 를, 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 각각과 이간시켜, 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx4 및 YEPR) 를 검출하기 위한 검사 프로브와, 클록 신호 (CLX) 또는 반전 클록 신호 (CLXB) 를 입력하기 위한 검사 프로브가 근접하거나 또는 근접하여 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
또, 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 는, 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와의 사이에서, 제어 회로 (162) 에 있어서의 전송 방향 제어 신호 (DIRX) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 를 사이에 두고 배열된다. 이로써 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 에 대하여 각각, 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 각각과의 사이의 전자적 또는 전기적인 상호 작용을, 제어 신호 (DIRX) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 에 의해 시일드할 수 있게 된다.
따라서, 이상과 같은 구성에 의하면, 검출되는 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx4 및 YEPR) 에 클록 신호 (CLX) 또는 반전 클록 신호 (CLXB) 의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 보다 확실히 방지할 수 있게 된다.
다음으로, 도 1 또는 도 3 에 있어서 소자 기판 (10) 의 2 변 중 타방을 따라 배열된 검사 단자 (103) (도 6 에 있어서는 우측 소자 기판 (10) 에 있어서의 8 개의 검사 단자 (103)) 에 대하여, 상기 서술한 바와 같이 검사시에 e 계열, f 계열, g 계열 및 h 계열의 데이터선 (6a) 의 전위가 검사 신호 (Cx5 ∼ Cx8) 로서 검사용 신호선 (820) 을 통해 출력되는 4 개의 검사 단자 (103o) 와 주사선 구동 회로 (104) 로부터 검사 신호 (YEPL) 가 출력되는 검사 단자 (103y) 는 각각, 전송 개시 펄스 (DX) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와는 이웃하지 않도록 배치된다.
또, 이들 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 는 전송 개시 펄스 (DX) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와의 사이에서 미사용 검사 단자 (103nc) 를 사이에 두고 배열된다.
여기에, 도 3 에 나타내는 검사 회로 (160) 에 있어서 제어 회로 (162) 는 화상 표시 영역 (10a) 을 사이에 두고 반대측 화상 신호 단자 (102v) 에 대한 검사용 화상 신호의 공급에 동기하여 전송 개시 펄스 (DX) 의 전송을 실시한다. 따라서, 전송 개시 펄스 (DX) 는 주기적으로 (1 수평 기간마다) L 레벨에서 H 레벨로 전위가 변동되는 신호이며, 클록 신호 (CLX) 또는 반전 클록 신호 (CLXB) 보다는 저주파수의 신호로서 입력된다.
따라서, 상기 서술한 바와 같이 소자 기판 (10) 의 2 변 중 일방을 따라 배열된 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 와 마찬가지로, 검사 신호 (Cx5 ∼ Cx8) 가 출력되는 4 개의 검사 단자 (103o) 및 검사 신호 (YEPL) 가 출력되는 검사 단자 (103y) 는 각각, 전송 개시 펄스 (DX) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와 이간시켜, 검사 신호 (Cx5 ∼ Cx8 및 YEPL) 를 검출하기 위한 검사 프로브와 전송 개시 펄스 (DX) 를 입력하기 위한 검사 프로브가 근접하거나 또는 근접하여 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
또, 이들 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 에 대하여 각각, 전송 개시 펄스 (DX) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와의 사이의 전자적 또는 전기적인 상호 작용을 미사용 검사 단자 (103nc) 에 의해 시일드할 수 있게 된다. 또한, 도 3 또는 도 6 에 있어서의 전원 전위 (VDDX) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 가 미사용 검사 단자 (103nc) 와 동일하게 배치되는 경우에도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
따라서, 검출되는 검사 신호 (Cx5 ∼ Cx8 및 YEPL) 에 전송 개시 펄스 (DX) 의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 보다 확실히 방지할 수 있게 된다.
한편, 도 6 에 있어서, 마더 기판 (S) 에서의 좌측 소자 기판 (10) 에 주목하면, 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx4 및 YEPR) 가 출력되는 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 는 각각, 우측 소자 기판 (10) 에 있어서의 전송 개시 펄스 (DX) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 와는 이웃하지 않도록 배치된다.
한편, 도 6 에 있어서, 마더 기판 (S) 에 있어서의 우측 소자 기판 (10) 에 주목하면, 검사 신호 (Cx5 ∼ Cx8 및 YEPL) 가 출력되는 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 는 각각, 좌측 소자 기판 (10) 에 있어서의 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 가 입력되는 검사 단자 (103i) 의 각각과는 이웃하지 않도록 배치된다.
따라서, 본 실시형태에서는, 한편에서 마더 기판 (S) 에 있어서의 좌측 소자 기판 (10) 상의 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 로부터 출력되는 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx4 및 YEPR) 에, 우측 소자 기판 (10) 상의 검사 단자 (103i) 에 입력되는 전송 개시 펄스 (DX) 의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 방지할 수 있다. 또, 우측 소자 기판 (10) 에 대해서도 마찬가지로, 5 개의 검사 단자 (103o 및 103y) 로부터 출력되는 검사 신호 (Cx5 ∼ Cx8 및 YEPL) 에, 좌측 소자 기판 (10) 상의 검사 단자 (103i) 에 입력되는 클록 신호 (CLX) 및 반전 클록 신호 (CLXB) 의 파형이 노이즈로서 혼입되는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 이상 설명한 바와 같은 본 실시형태의 액정 장치에서는, 소형화에 수반하여 복수의 검사 단자 (103) 의 배열 피치가 협피치화되어도, 검사 신호 (Cx1 ∼ Cx8, YEPR 및 YEPL) 각각에 기초하여 적확하게 검사를 실시할 수 있게 된다. 따라서, 액정 장치에 있어서 보다 확실히 고품위의 표시를 실시함과 함께 신뢰성을 향상시키고, 또한 용이하게 소형화할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 만일 검사 단자 (103) 에 있어서 소정 주파수의 신호가 검사 신호로서 출력되는 경우에는, 검사 신호가 출력되는 검사 단자 (상기 서술한 검사 단자 (103o) 등) 에 있어서 상기 서술한 설명과 마찬가지로 각각의 검사 단자를 소정 주파수의 검사 신호가 출력되는 검사 단자에 대하여 배치하도록 해 도 된다. 이 경우에 있어서도 상기 서술한 본 실시형태와 마찬가지로 검사 신호에 기초하여 적확한 검사를 실시할 수 있게 된다.
다음으로, 상기 서술한 전기 광학 장치인 액정 장치를 각종 전자 기기에 적용하는 경우에 대하여 설명한다. 여기에서는, 이 액정 장치를 라이트 밸브로서 사용한 프로젝터에 대하여 설명한다. 여기에 도 7 은 프로젝터의 구성예를 나타내는 평면도이다.
도 7 에 나타내는 바와 같이 프로젝터 (1100) 내부에는 할로겐 램프 등의 백색 광원으로 이루어지는 램프 유닛 (1102) 이 형성되어 있다. 이 램프 유닛 (1102) 으로부터 사출된 투사광은, 라이트 가이드 (1104) 내에 배치된 4 장의 미러 (1106) 및 2 장의 다이크로익 미러 (1108) 에 의해 RGB 의 3 원색으로 분리되어, 각 원색에 대응하는 라이트 밸브로서의 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에 입사된다.
액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 의 구성은 상기 서술한 액정 장치와 동등하고, 화상 신호 처리 회로로부터 공급되는 R, G, B 의 원색 신호에 의해 각각 구동되는 것이다. 그리고, 이들 액정 패널에 의해 변조된 광은 다이크로익 프리즘 (1112) 에 3 방향으로부터 입사된다. 이 다이크로익 프리즘 (1112) 에 있어서는 R 및 B 의 광이 90 도로 굴절되는 한편 G 의 광이 직진한다. 따라서, 각 색의 화상이 합성되는 결과, 투사 렌즈 (1114) 를 통해 스크린 등에 컬러 화상이 투사되게 된다.
여기에서, 각 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에 의한 표시 이미지에 대 하여 주목하면, 액정 패널 (1110G) 에 의한 표시 이미지는 액정 패널 (1110R, 1110B) 에 의한 표시 이미지에 대하여 좌우 반전시킬 필요가 있다.
또한, 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에는 다이크로익 미러 (1108) 에 의해 R, G, B 의 각 원색에 대응하는 광이 입사되기 때문에 컬러 필터를 형성할 필요는 없다.
또한, 도 7 을 참조하여 설명한 전자 기기 이외에도 모바일형 퍼스널 컴퓨터나, 휴대 전화, 액정 텔레비젼, 뷰 파인더형, 모니터 직시형 비디오 테잎 레코더, 카 내비게이션 장치, 페이저, 전자 수첩, 전자 계산기, 워드프로세서, 워크스테이션, 화상 전화, POS 단말, 터치 패널을 구비한 장치 등을 들 수 있다. 그리고, 이들 각종 전자 기기에 적용 가능한 것은 말할 필요도 없다.
또 본 발명은 상기 서술한 실시형태에서 설명한 액정 장치 이외에도 실리콘 기판 상에 소자를 형성하는 반사형 액정 장치 (LCOS), 플라즈마 디스플레이 (PDP), 전계 방출형 디스플레이 (FED, SED), 유기 EL 디스플레이, 디지털 마이크로 미러 디바이스 (DMD), 전기 영동 장치 등에도 적용할 수 있다.
본 발명은 상기 서술한 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 특허 청구의 범위 및 명세서 전체로부터 판독되는 발명의 요지 또는 사상에 반하지 않는 범위에서 적절히 변경할 수 있고, 그러한 변경을 수반하는 전기 광학 장치 및 그 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지는 전자 기기도 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.
도 1 은 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도.
도 2 는 도 1 의 H-H＇단면도.
도 3 은 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전기적인 구성을 나타내는 블록도.
도 4 는 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 화소부의 등가 회로도.
도 5 는 본 실시형태에 관련된 액정 장치가 마더 기판 상에서 제조되는 것을 설명하기 위한 부분 평면도.
도 6 은 도 5 의 점선 A0 에 의해 둘러싸이는 일부의 구성을 나타내는 부분 확대 평면도.
도 7 은 전기 광학 장치를 적용한 전자 기기의 일례인 프로젝터의 구성을 나타내는 평면도.
부호의 설명
7 … 디멀티플렉서,
10 … 소자 기판,
103, 103i, 103o, 103y, 103nc … 검사 단자,
104 … 주사선 구동 회로,
160 … 검사 회로,
400 … 화상 신호 공급 회로,
600 … 화소부

Claims (6)

  1. 기판과,
    상기 기판 상에 배열된 복수의 화소부와,
    상기 복수의 화소부를 구동시키는 구동 회로와,
    상기 기판 상에 형성되고, 상기 구동 회로에 의한 상기 복수의 화소부의 구동에 대한 검사를 실시하는 검사 회로와,
    상기 기판 상에 형성되고, 상기 검사시에 상기 검사 회로 및 상기 구동 회로에 있어서의 입출력 신호가 각각 입출력되는 복수의 검사 단자를 구비하고,
    상기 복수의 검사 단자는, 상기 입출력 신호로서 상기 검사를 위한 출력 신호가 출력되는 일부의 검사 단자와, 상기 입출력 신호로서 소정 주파수의 입출력 신호가 입출력되는 다른 검사 단자가 서로 이웃하지 않도록 배열되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 일부의 검사 단자는 각각 상기 입출력 신호로서 클록 신호가 입력되는 상기 다른 검사 단자와는 서로 이웃하지 않도록 배열되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 검사 회로는 상기 입출력 신호로서 입력되는 스타트 신호를 상기 클록 신호에 기초하여 순차적으로 전송하고,
    상기 일부의 검사 단자는 각각 상기 스타트 신호가 입력되는 상기 다른 검사 단자와는 서로 이웃하지 않도록 배열되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 일부의 검사 단자는 각각 상기 다른 검사 단자와의 사이에, 상기 복수의 검사 단자 중 소정 전위의 상기 입출력 신호가 입출력되는 상기 검사 단자를 사이에 두고 배열되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판을 복수 포함하는 대형 기판을 절단함으로써 제조됨과 함께, 상기 대형 기판에 있어서 서로 인접하는 상기 기판에서는, 일방에 있어서의 상기 일부의 검사 단자 각각이 타방에 있어서의 상기 다른 검사 단자와 서로 이웃하지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지는 전자 기기.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI414032B (zh) * 2009-06-15 2013-11-01 Au Optronics Corp 驅動電路結構
GB201005875D0 (en) 2010-04-08 2010-05-26 Silicon Sensing Systems Ltd Sensors
KR101733140B1 (ko) * 2010-09-14 2017-05-08 삼성디스플레이 주식회사 터치스크린패널 일체형 영상표시장치 및 그 제조방법
US20130168147A1 (en) * 2010-10-08 2013-07-04 Yasuhiro Kohara Electronic device
KR102047005B1 (ko) * 2013-05-31 2019-11-21 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 패널
CN103676243B (zh) * 2013-12-24 2017-02-15 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板组件及其测量方法和显示装置
JP2015163941A (ja) * 2014-01-29 2015-09-10 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、電子機器
JP2016099491A (ja) * 2014-11-21 2016-05-30 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置および電子機器
CN104656292B (zh) * 2015-03-17 2018-04-17 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及制造方法、显示面板及其测试方法、显示装置
TWI634745B (zh) * 2017-05-16 2018-09-01 友達光電股份有限公司 顯示面板
JP6612294B2 (ja) * 2017-07-20 2019-11-27 住友化学株式会社 切削装置及び偏光板の製造方法
JP6558420B2 (ja) * 2017-09-27 2019-08-14 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器
JP7012548B2 (ja) * 2018-02-07 2022-01-28 シャープ株式会社 表示装置及び表示システム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3312423B2 (ja) 1993-06-21 2002-08-05 ソニー株式会社 平面表示装置、アクティブマトリクス基板および検査方法
JP3900714B2 (ja) * 1997-10-31 2007-04-04 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器
JP3562633B2 (ja) * 2000-01-12 2004-09-08 株式会社岡村研究所 キャパシタ無停電電源装置
JP4276373B2 (ja) * 2000-12-07 2009-06-10 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置の検査用回路、電気光学装置および電子機器
JP2003271067A (ja) * 2002-03-18 2003-09-25 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP4142029B2 (ja) * 2004-05-07 2008-08-27 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置および電子機器
JP2006038988A (ja) * 2004-07-23 2006-02-09 Seiko Epson Corp 電気光学装置、電子機器、および実装構造体
JP2006058337A (ja) * 2004-08-17 2006-03-02 Seiko Epson Corp 電気光学装置および電子機器
JP5194382B2 (ja) * 2005-08-18 2013-05-08 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器
CN100414420C (zh) * 2005-08-18 2008-08-27 精工爱普生株式会社 电光装置及其检查方法以及电子设备

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