KR20050107806A - 디스크상 물품의 습식 처리장치 및 처리방법 - Google Patents
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Abstract
Description
스핀 척의 위치 | 상측 배기 레벨 E1 | 중간 배기 레벨 E2 | 하측 배기 레벨 E3 |
상측 수집기 레벨 L1 (도 1) | 100% 개방 | 80% 개방 | 폐쇄 |
중간 수집기 레벨 L2 | 10% 개방 | 100% 개방 | 60% 개방 |
하측 수집기 레벨 L3 | 폐쇄 | 10% 개방 | 100% 개방 |
스핀 척의 위치 | 상측 배기 레벨 E1 | 중간 배기 레벨 E2 | 하측 배기 레벨 E3 |
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하측 수집기 레벨 L3 | 폐쇄 | 10% 개방 | 100% 개방 |
Claims (8)
- 평판상 기판(W)의 습식 처리장치에 있어서,상기 기판을 파지 및 회전시키는 스핀 척(2);상기 기판의 적어도 일면(W) 상에 액체를 공급하는 적어도 하나의 디스펜서(3);상이한 수집기(41, 42) 내에 독립적으로 액체를 수집하기 위해 적어도 2개의 수집기 레벨(L1, L2)을 구비한 상태에서, 기판의 회전 중에 비산된 액체를 수집하는 상기 스핀 척의 둘레부에 설치된 액체 수집기(4);액체 수집기에 대해 스핀 척(2)을 실질적으로 회전축(A)을 따라 상대이동시키는 승강 수단(H);상기 액체 수집기(4)의 내부(40)로부터 독립적으로 가스를 수집하기 위한 적어도 2개의 배기 레벨(E1, E2);상기 적어도 2개의 배기 레벨(E1, E2)의 적어도 하나의 레벨에 있어서의 가스 유동조건을 선택적으로 변화시키기 위해, 상기 적어도 2개의 배기 레벨 중의 적어도 하나의 레벨과 관련되는 적어도 하나의 배기 영향부여 수단(71)을 포함하는 평판상 기판의 습식 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 배기 영향부여 수단(71)은 버터플라이 밸브와 같은 유량 제어 조절밸브인 것을 특징으로 하는 평판상 기판의 습식 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 배기 영향부여 수단은 폐쇄 밸브이고, 이것에 의해 상기 적어도 2개의 배기 레벨 중의 하나가 폐쇄될 수 있는 것을 특징으로 하는 평판상 기판의 습식 처리장치.
- 제1항에 있어서, 액체 수집기에 대한 스핀 척의 상대 위치에 따라 상기 적어도 하나의 배기 영향부여 수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판상 기판의 습식 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 배기 레벨(El, E2) 중의 적어도 하나의 흡인 오리피스(21, 22)는 상기 2개의 수집기 레벨(L1, L2)의 하나에 연결되는 것을 특징으로 하는 평판상 기판의 습식 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 적어도 2개의 배기 레벨(El, E2) 중의 적어도 하나는 수집기 레벨(L1, L2)의 상측 또는 하측에 배치되는 것을 특징으로 하는 평판상 기판의 습식 처리장치.
- 평판상 기판(W)의 습식 처리장치(1) 내의 가스 유동을 제어하는 방법에 있어서, 상기 장치는,상기 기판을 파지 및 회전시키는 스핀 척(2);상기 기판의 적어도 일면 상에 액체를 공급하기 위한 적어도 하나의 디스펜서;상기 기판의 회전중에 그 기판으로부터 비산된 액체를 수집하기 위해, 독립적으로 복수의 액체를 수집하기 위한 적어도 2개의 수집기 레벨이 구비됨과 동시에 상기 스핀 척의 둘레부에 배치된 액체 수집기;스핀 척을 실질적으로 상기 회전축을 따라 상기 액체 수집기에 대해 상대 이동시키기 위한 승강 수단;적어도 2개의 배기 레벨에서 상이한 가스 유동조건을 선택적으로 발생시키는 것에 특징이 있는 상기 액체 수집기의 내부로부터 가스를 독립적으로 수집하기 위한 적어도 2개의 배기 레벨을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판상 기판(W)의 습식 처리장치 내의 가스 유동을 제어하는 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 상이한 가스 유동조건은 상기 기판의 상기 회전하는 기판에 인접한 상하측의 가스압력과 실질적으로 동일한 가스압력을 달성하는 방식으로 선택되는 것을 특징으로 하는 평판상 기판(W)의 습식 처리장치 내의 가스 유동을 제어하는 방법.
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