JP2011204933A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SC1処理、ふっ酸処理、IPA蒸気による置換処理の場合、個別排気管のいずれかが開放されているとき、遮蔽板115は開放されている個別排気管に対応する開放口65,75を閉塞するとともに、閉塞されている個別排気管に対応する開放口65,75を開放しているので、この開放口65,75からはエアが導入されている。これにより、1つの処理室における酸系の処理時、アルカリ系の処理時等とでは排気圧が大きく変動することはなく、この排気圧の変動にともなうウエハへのパーティクルの付着を抑制できる。
【選択図】図2
Description
ある。
3 処理室
45 集合排気管
49 選択孔
50 排気切換器
51 気液分離器
54 排気導入室
55 回転板
59 側壁
60 第1個別排気管
61 SC1排気処理設備
62 第1導出接続孔(連通孔)
64 第1分岐管
65 第1開放口
74 第2分岐管
75 第2開放口
70 第2個別排気管
71 ふっ酸排気処理設備
72 第2導出接続孔(連通孔)
80 第3個別排気管
81 IPA排気処理設備
82 第3導出接続孔(連通孔)
109 接合板
110 回転シャフト
112 回転板駆動モータ
115 遮蔽板
C 回転軸線
C1 回転軸線
Claims (4)
- 基板の処理のために複数種の処理流体が内部で使用される処理室と、
前記処理室内からの排気が流通する集合排気管と、
前記集合排気管が接続され、前記集合排気管から排気が導入される排気導入室と、
連通孔を介して前記排気導入室に接続され、前記排気導入室からの排気が流通し、かつ開放口を有している複数の個別排気管と、
前記排気導入室内に所定の回転軸線を中心に回転可能に設けられ、前記連通孔を開放・閉塞させる回転部材と、
前記開放口を開閉・閉塞させる遮蔽部材と、
前記回転部材及び前記遮蔽部材を回転駆動するための駆動手段とを備え、
前記回転部材は、前記複数の個別排気管のうちいずれか一つの連通孔を開放し、
前記遮蔽部材は、前記回転部材により開放された連通孔に対応する前記個別排気管の開放口を閉塞することを特徴とする基板処理装置。 - 前記駆動手段を制御する制御手段をさらに備え、
前記回転部材及び前記遮蔽部材は、前記駆動手段の駆動軸の一端側に連結されることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記個別排気管は、分岐管を有し、
前記開放口は、前記排気導入室側に向けて前記分岐管に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記回転部材には、いずれか一つの連通孔を開放する選択孔が貫通して形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の基板処理装置。
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