KR20210128519A - 기판 처리용 분리배출장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리용 분리배출장치에 관한 것으로, 기판을 처리하는 처리부와, 처리부에 연결되고 기판에 분사되는 약액을 성분별로 분리 배출하는 액체배출부와, 복수개의 액체배출부에 각각 연결되고 액체수거부로 약액을 안내하는 액체안내부와, 처리부에 연결되고, 처리부에 존재하는 기체를 배출하는 기체배출부를 포함하여, 기판 처리를 위해 사용되는 약액의 성분에 따라 약액과 약액을 포함하는 기체를 분리 배출하여 환경오염을 방지하고 재처리 작업을 삭제할 수 있다.

Description

기판 처리용 분리배출장치{SEPARATION EXHAUSTING DEVICE FOR SUBSTRATE PROCESSING}
본 발명은 기판 처리용 분리배출장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버 내부에 존재하는 유체를 성상별로 신속하게 분리 배출하여 기판 오염 및 환경 오염을 방지하는 기판 처리용 분리배출장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정 중 웨이퍼 가공 공정에는 감광액 도포 공정(Photoresist Coating), 현상 공정(Develop & Bake), 식각 공정(Etching), 화학기상증착 공정(Chemical Vapor Deposition), 애싱 공정(Ashing) 등이 있다.
상술한 여러 단계의 공정을 수행하는 과정에서 기판에 부착된 각종 오염물을 제거하기 위한 공정으로 약액(Chemical) 또는 순수(DI water, Deionized Water)를 이용한 세정 공정(Wet Cleaning Process)이 있다.
또한, 세정 공정을 진행하고 난 후, 반도체 기판 표면에 잔류하는 약액 또는 순수를 건조시키기 위한 건조(Drying) 공정이 있다. 건조 공정을 수행하기 위하여 사용되는 기판 건조 장치는 기계 역학적인 회전력을 이용하여 반도체 기판을 건조시키는 스핀 건조 장치(Spin dry)와, IPA(이소프로필 알코올, isopropyl alcohol)의 화학적 반응을 이용하여 반도체 기판을 건조시키는 IPA 건조 장치가 사용된다.
종래에는 각각의 공정을 수행하면서 유체가 부유하게 되며, 부유하는 유체 중에 포함된 이물질이 기판에 부착되어 기판을 오염시키는 문제점이 있다. 또한, 각각의 공정에서 배출되는 유체를 성분에 따라 분리 배출하지 못하여 환경 오염을 야기하는 문제점이 있다. 따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 제2019-0011472호(2019.02.07. 공개, 발명의 명칭 : 웨이퍼 건조 장치 및 방법)에 게시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 챔버 내부에 존재하는 유체를 성상별로 신속하게 분리 배출하여 기판 오염 및 환경 오염을 방지하는 기판 처리용 분리배출장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 기판 처리용 분리배출장치는: 기판을 처리하는 처리부; 상기 처리부에 연결되고, 상기 기판에 분사되는 약액을 성분별로 분리 배출하는 액체배출부; 복수개의 상기 액체배출부에 각각 연결되고, 액체수거부로 약액을 안내하는 액체안내부; 및 상기 처리부에 연결되고, 상기 처리부에 존재하는 기체를 배출하는 기체배출부; 및 복수개의 상기 기체배출부와 연결되고, 기체를 성분별로 분리하여 기체수거부로 안내하며, 기류 안정을 위해 자연 배기를 유도하는 기체안내부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 처리용 분리배출장치는: 복수개의 상기 기체배출부와 연결되고, 기체를 성분별로 분리하여 기체수거부로 안내하며, 기류 안정을 위해 자연 배기를 유도하는 기체안내부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기체배출부는 상기 처리부에 연결되어 하방으로 기체를 안내하는 제1배출부; 상기 제1배출부에 연통되고, 상기 제1배출부를 통해 이동된 기체를 측방향으로 안내하는 제2배출부; 및 상기 제2배출부의 단부에 형성되고, 상기 기체안내부와 연결되는 제3배출부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기체배출부는 상기 제2배출부의 하부에 형성되고, 기체 중에 포함된 약액을 배출하는 제4배출부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기체안내부는 기체를 성분별로 구획하여 배출하도록 복수개의 내부덕트부가 내장되는 안내덕트부; 상기 안내덕트부에 연결되고, 기체의 성분에 따라 상기 내부덕트부에 선택적으로 이동되도록 유도하는 안내조절부; 및 상기 안내조절부와 상기 기체배출부를 연결하는 안내연결부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 안내조절부는 상기 안내덕트부에 장착되어 상기 내부덕트부와 연통되고, 상기 안내연결부와 연결되는 조절덮개부; 및 상기 조절덮개부에 내장되고, 상기 내부덕트부를 선택 개폐하는 복수개의 조절밸브부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 안내조절부는 상기 조절덮개부에 형성되고, 기체 중에 포함된 약액을 배출하는 조절드레인부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기체안내부는 상기 안내덕트부와 연통되고, 상기 처리부 사이로 연장되어 상기 처리부 사이 기체를 외부로 배출하는 안내외기부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기체안내부는 상기 안내덕트부의 상단부에 장착되고, 상기 내부덕트부를 개폐하여 외부공기 유입량을 조절하는 안내댐퍼부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 안내댐퍼부는 상기 안내덕트부에 회전 가능하도록 장착되어 상기 내부덕트부를 개폐하는 댐퍼개폐부; 상기 댐퍼개폐부를 회전시키는 댐퍼구동부; 및 상기 안내댐퍼부의 하단부에 배치되어 압력을 측정하는 댐퍼센서부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 처리용 분리배출장치는 기판 처리 과정에서 발생되는 약액의 성분에 따라 기체를 분리 배출함으로써, 배기 물질이 혼합되는 것을 차단하여 환경오염을 방지하고 재처리 작업을 생략할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리용 분리배출장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부배기부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부배기부가 장착되는 컵부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기체배출부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체안내부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체안내부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 안내댐퍼부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판 처리용 분리배출장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리용 분리배출장치를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리용 분리배출장치(1)는 처리부(2)와, 액체배출부(3)와, 액체안내부(4)와, 액체수거부(5)와, 기체배출부(7)를 포함한다. 이러한 기판 처리용 분리배출장치(1)는 기체안내부(8)를 더 포함할 수 있다.
처리부(2)는 기판(100)을 처리한다. 이러한 처리부(2)는 약액을 분사하여 기판(100)에 대한 세정 작업 또는 건조 작업을 실시할 수 있다.
액체배출부(3)는 처리부(2)에 연결되고, 기판(100)에 분사되는 약액을 성분별로 분리 배출한다. 일예로, 액체배출부(3)는 3개의 파이프 라인을 형성하여 처리부(2)에 연결되고, 각각 알칼리성, 산성, 유기성 약액을 배출할 수 있다.
액체안내부(4)는 복수개의 액체배출부(3)에 각각 연결되고, 액체수거부(5)로 약액을 안내한다. 일예로, 액체안내부(3)는 성분별로 약액을 안내하도록 3개의 파이프라인을 형성하고, 각각의 처리부(2)에 연결되는 3개의 액체배출부(3)가 성분별로 액체안내부(4)에 연결될 수 있다.
한편, 액체수거부(5)는 별도의 건물이나 지하에 배치되고, 펌핑작업에 의해 액체안내부(4)에 유입된 약액을 액체수거부(5)로 강제 흡입할 수 있다. 이러한 액체수거부(5)는 약액의 유입량이 일정하도록 펌핑 제어를 실시할 수 있다.
기체배출부(7)는 처리부(2)에 연결되고, 처리부(2)에 존재하는 기체를 배출한다. 일예로, 기체배출부(7)는 처리부(2)에 각각 연결되는 1개의 파이프 라인이 될 수 있다.
기체안내부(8)는 복수개의 기체배출부(6)와 연결되고, 기체를 성분별로 분리하여 기체수거부(9)로 안내하며, 기류 안정을 위해 자연 배기를 유도한다. 일예로, 기체안내부(8)는 성분별로 기체를 안내하도록 3개의 유로가 구획되어 형성될 수 있다.
한편, 처리부(2)는 복수개가 수직 또는 수평으로 배치되고, 액체안내부(4)는 처리부(2) 사이에 배치되며, 기체안내부(8)는 처리부(2)의 외측에 배치된다. 일예로, 각각 3개가 수직으로 적층되어 마주보도록 총 6개의 처리부(2)가 배치되고, 3개로 적층된 처리부(2) 사이에 액체안내부(4)가 배치되며, 3개로 적층된 처리부(2) 외측에 기체안내부(8)가 배치될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리부를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 처리부(2)는 챔버부(10)와, 베이스부(20)와, 스핀들부(30)와, 테이블부(40)와, 컵부(50)와, 내부배기부(60)를 포함한다.
챔버부(10)는 내부에 작업 공간을 형성하고, 도어가 개폐되어 기판(100)의 출입이 가능하다. 챔버부(10)에는 베이스부(20)가 장착된다. 이러한 베이스부(20)는 챔버부(20)의 내부에 배치될 수 있다.
스핀들부(30)는 베이스부(20)에 장착되고, 테이블부(40)는 스핀들부(30)에 장착되어 회전 가능하다. 이러한 테이블부(40)는 스핀들부(30)가 구동됨에 따라 회전되면서 안착된 기판(100)을 회전시킬 수 있다.
컵부(50)는 베이스부(20)에 장착되고, 기판(100)에 분사되는 약액을 성분별로 분리하여 수거하도록 유도한다. 일예로, 컵부(50)는 3개의 컵 중 어느 하나가 상방 이동되면서 기판(100)을 감싸고, 알칼리성 약액, 산성 약액, 유기성 약액이 분리 배출되도록 유도할 수 있다.
내부배기부(60)는 스핀들부(30)와 컵부(50) 사이에 배치되어 유체를 배출한다. 일예로, 내부배기부(60)는 스핀들부(30)와 컵부(50) 사이에 존재하는 기체 및 기체에 함유된 물질을 강제로 외부에 배출할 수 있다. 이러한 내부배기부(60)는 스핀들부(30)와 컵부(50) 사이를 떠도는 내부 물질을 균일하고 신속하게 흡입함으로써, 오염 물질로 인한 기판(100) 손상을 방지할 수 있다.
그 외, 처리부(2)는 외부배기부(70)를 더 포함할 수 있다. 외부배기부(70)는 컵부(50)의 외측에 배치되어 유체를 배출한다. 일예로, 외부배기부(70)는 컵부(50)와 챔버부(10) 사이에 존재하는 기체 및 기체에 함유된 물질을 강제로 외부에 배출할 수 있다. 이러한 외부배기부(70)는 챔버부(10)의 내부 물질을 균일하고 신속하게 흡입함으로써, 오염 물질로 인한 기판(100) 손상을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 챔버부(10)는 하부챔버부(11)와 상부챔버부(12)를 포함한다. 하부챔버부(11)는 베이스부(20)의 하부를 커버하고, 상부챔버부(12)는 베이스부(20)의 상부를 커버할 수 있다. 이때, 하부챔버부(11)는 기판(100)을 처리하기 위한 각종 기계 설비들이 배치되는 기계실(90)을 커버할 수 있다. 그리고, 상부챔버부(12)는 스핀들부(30)와, 테이블부(40)와, 컵부(50)를 감싸고 필요에 따라 이들이 내장되도록 밀폐시켜 기판(100)의 작업 환경을 일정하게 유지시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 베이스부(20)는 베이스하판부(21)와 베이스상판부(22)를 포함한다.
베이스하판부(21)는 챔버부(10)에 결합되고, 내부배기부(60)가 장착된다. 일예로, 베이스하판부(21)는 스핀들부(30)가 장착되는 하판받침부(211)와, 하판받침부(211)에서 상방으로 연장되는 하판지지부(212)를 포함할 수 있다. 하판받침부(211)는 하부챔버부(11)에 결합되고, 별도의 구조물에 의해 지지될 수 있으며, 하방에는 기계실(90)이 형성될 수 있다.
베이스상판부(22)는 챔버부(10)에 결합되고, 외부배기부(70)가 장착된다. 일예로, 베이스상판부(22)는 하판받침부(211)의 상방에 배치되고, 하판지지부(212)에 의해 지지될 수 있다. 이러한 베이스상판부(22)의 측면부는 상부챔버부(12)에 의해 커버될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부배기부를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부배기부가 장착되는 컵부를 개략적으로 나타내는 사시도이다. 도 3과 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부배기부(60)는 내부흡입부(61)와, 내부안내부(62)와, 내부배출부(63)를 포함한다.
내부흡입부(61)는 스핀들부(30)의 외측을 둘러싸도록 형성되고, 컵부(50)와 스핀들부(30) 사이에 존재하는 유체가 유입된다. 일예로, 내부흡입부(61)는 컵부(50)에 장착될 수 있다.
보다 구체적으로, 컵부(50)는 하판받침부(211)에 장착되는 컵베이스부(51)와, 컵베이스부(51)에 장착되고 상하 이동 가능한 3개의 컵커버부(52)를 포함할 수 있다.
그리고, 컵베이스부(51)는 하판받침부(211)에 안착되는 제1컵베이스부(511)와, 제1컵베이스부(511)의 내주면에서 상방으로 연장되고 스핀들부(30)가 관통되는 제2컵베이스부(512)와, 제1컵베이스부(511)의 외주면에서 상방으로 연장되어 컵커버부(52)를 감싸는 제3컵베이스부(513)를 포함할 수 있다. 이때, 내부흡입부(61)는 제2컵베이스부(512)를 감싸도록 배치되며, 제1컵베이스부(511)에는 내부흡입부(61)의 내측으로 돌출되는 제4컵베이스부(514)가 형성될 수 있다. 그 외, 제1컵베이스부(511)에는 스핀들부(30)와 3개의 컵커버부(52) 사이에 각각 배치되는 3개의 제6컵베이스부(516)가 형성되고, 제6컵베이스부(516)는 3개의 액체배출부(3)와 각각 연결될 수 있다. 이로 인해 각각의 컵커버부(52)가 작동되면서 사용되는 약액은 제6컵베이스부(516)를 통해 성분별로 분리 배출될 수 있다.
내부흡입부(61)는 제1내부흡입부(611)와, 제2내부흡입부(612)와, 제3내부흡입부(613)를 포함할 수 있다.
제1내부흡입부(611)는 하단부가 하판받침부(211)에 밀착되고, 내측면에 제4컵베이스부(514)가 접촉되도록 제2컵베이스부(512)를 감쌀 수 있다.
제2내부흡입부(612)는 제1내부흡입부(611)의 상단부에서 내측 방향으로 연장되어 제2컵베이스부(512)의 외주면과 밀착될 수 있다.
제3내부흡입부(613)는 제1내부흡입부(611)의 원주방향으로 복수개가 형성되고, 유체가 통과 가능한 홀을 형성할 수 있다. 이러한 제3내부흡입부(613)는 균일한 이격거리를 갖도록 배치될 수 있으며, 필요에 따라 복수개가 집중 배치되거나 홀의 크기가 다르게 설계될 수 있다.
내부안내부(62)는 내부흡입부(62)에 연결되고, 내부흡입부(61)에 유입된 유체를 안내한다. 일예로, 내부안내부(62)는 제1내부흡입부(611)의 외주면 일부에서 연장되고, 제1컵베이스부(511)에 형성되어 유체를 외부로 배출하는 홀 형상을 하는 제5컵베이스부(515)로 유체를 안내할 수 있다. 이러한 내부안내부(62)는 제1컵베이스부(511)에 하단부가 밀착되고, 내측면에는 제4컵베이스부(514)가 마주보도록 배치될 수 있다.
내부배출부(63)는 내부안내부(62)와 연통되고, 내부안내부(62)에 의해 이동된 유체를 외부로 배출한다. 일예로, 내부배출부(63)는 제1컵베이스부(511)의 저면과 연결되고, 제5컵베이스부(515)와 연통되어 유체의 하방 이동을 유도할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기체배출부를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기체배출부(7)는 제1배출부(71)와, 제2배출부(72)와, 제3배출부(73)를 포함한다.
제1배출부(71)는 처리부(2)에 연결되어 하방으로 기체를 안내한다. 일예로, 제1배출부(71)는 내부배출부(63)와 연결되고, 베이스부(20)의 수직 방향으로 연장되어 기체를 하방으로 안내할 수 있다.
제2배출부(72)는 제1배출부(71)에 연통되고, 제1배출부(71)를 통해 이동된 기체를 측방향으로 안내한다. 일예로, 제2배출부(72)는 제1배출부(71) 보다 큰 내부 공간이 형성될 수 있다.
제3배출부(73)는 제2배출부(72)의 단부에 형성되고, 기체안내부(8)와 연결된다. 일예로, 제3배출부(73)는 제2배출부(72)의 측단부에 연통되고, 제2배출부(72) 보다 작은 내부 공간이 형성될 수 있다. 이러한 제3배출부(73)의 하단부에는 응축수의 저장을 위한 단턱 및 배출을 위한 배관이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기체배출부(7)는 제4배출부(74)를 더 포함할 수 있다. 제4배출부(74)는 제2배출부(72)의 하부에 형성되고, 기체 중에 포함된 약액을 배출한다. 일예로, 제2배출부(72)의 하단부에는 단차가 형성되고, 제4배출부(74)가 제2배출부(72)의 저면과 연통될 수 있다. 이로 인해, 기체 중에 포함된 약액이 제2배출부(72)의 저면에 부착되고, 제4배출부(74)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
그 외, 기체배출부(7)는 제5배출부(75)를 더 포함할 수 있다. 제5배출부(75)는 제3배출부(73)에 장착되고, 제3배출부(73)를 개폐할 수 있다. 이러한 제5배출부(75)는 측정된 챔버부(10)의 내부압력에 따라 구동될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체안내부를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체안내부를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 6과 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기체안내부(8)는 안내덕트부(81)와, 안내조절부(82)와, 안내연결부(83)를 포함한다.
안내덕트부(81)는 기체를 성분별로 구획하여 배출하도록 복수개의 내부덕트부(812)가 내장된다. 일예로, 안내덕트부(81)는 적층된 처리부(2)의 외측에 배치되는 안내케이스부(811)와, 안내케이스부(811)의 내부에 형성되고 3개의 성분을 구획하여 이동시키는 내부덕트부(812)를 포함할 수 있다.
안내조절부(82)는 안내덕트부(81)에 연결되고, 기체의 성분에 따라 내부덕트부(812)에 선택적으로 이동되도록 유도한다. 일예로, 안내조절부(82)는 각각의 내부덕트부(812)와 연통되고, 내부덕트부(812) 중 어느 하나를 개방하여 성분별로 기체를 공급할 수 있다.
안내연결부(83)는 안내조절부(82)와 기체배출부(7)를 연결한다. 일예로, 안내연결부(83)는 제3배출부(73)와 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기체안내부(8)는 안내외기부(84)를 더 포함할 수 있다. 안내외기부(84)는 안내덕트부(81)와 연통되고, 처리부(2) 사이로 연장되어 처리부(2) 사이 기체를 외부로 배출한다. 일예로, 적층된 처리부(2) 사이에는 액체안내부(4)가 배치되고, 안내외기부(84)는 3개의 내부덕트부(812) 중 어느 하나와 연통되고 액체안내부(4)가 배치되는 처리부(2) 사이 공간까지 연장되어 처리부(2) 사이 공간에 존재하는 기체를 외부로 배출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 안내조절부(82)는 조절덮개부(821)와 조절밸브부(822)를 포함한다.
조절덮개부(821)는 안내덕트부(81)에 장착되어 내부덕트부(812)와 연통되고, 안내연결부(83)와 연결된다. 일예로, 조절덮개부(821)는 안내연결부(83) 보다 내부 공간이 더 크게 형성되어 3개의 내부덕트부(812)를 커버할 수 있다.
복수개의 조절밸브부(822)는 조절덮개부(821)에 내장되고, 내부덕트부(812)를 선택 개폐한다. 일예로, 조절밸브부(822)는 연통된 각각의 내부덕트부(812)를 개폐할 수 있으며, 기체 성분별로 3개의 내부덕트부(912) 중 어느 하나로 기체를 안내할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 안내조절부(82)는 조절드레인부(823)를 더 포함할 수 있다. 조절드레인부(823)는 조절덮개부(821)에 형성되고, 기체 중에 포함된 약액을 배출한다. 일예로, 조절덮개부(821)의 하단부는 단차가 형성되고, 조절드레인부(83)가 조절덮개부(821)의 저면과 연통될 수 있다. 이로 인해, 기체 중에 포함된 약액이 조절덮개부(821)의 저면에 부착되고, 조절드레인부(83)를 통해 외부로 배출될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 안내댐퍼부를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 6과 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기체안내부(8)는 안내댐퍼부(85)를 더 포함할 수 있다. 안내댐퍼부(85)는 안내덕트부(81)의 상단부에 장착되고, 내부덕트부(812)를 개폐하여 외부공기 유입량을 조절한다. 이러한 안내댐퍼부(85)를 위해 배기 압력을 균일하게 유지할 수 있으므로, 처리부(2)의 압력 변동을 억제할 수 있다.
보다 구체적으로, 안내댐퍼부(85)는 댐퍼개폐부(851)와, 댐퍼구동부(852)와, 댐퍼센서부(853)를 포함한다.
댐퍼개폐부(851)는 안내덕트부(81)에 회전 가능하도록 장착되어 내부덕트부(812)를 개폐한다. 일예로, 안내케이스부(811)에 형성되는 내부덕트부(812)는 상단부가 개구되어 외부공기가 유입될 수 있고, 댐퍼개폐부(841)는 안내케이스부(811)의 상단부에 장착되어 내부덕트부(812)를 개폐할 수 있다.
댐퍼구동부(852)는 댐퍼개폐부(841)를 회전시킨다. 그리고, 댐퍼센서부(853)는 안내덕트부(81)의 하단부에 배치되어 압력을 측정한다. 일예로, 안내덕트부(81)의 상하 길이 방향으로 3개의 안내조절부(82)가 배치되어 적층된 각각의 처리부(2)와 연결될 수 있다. 안내덕트부(81)의 하단부에 장착된 댐퍼센서부(853)는 내부덕트부(812) 내부 각각의 압력을 측정하고, 댐퍼센서부(853)의 측정값에 따라 댐퍼구동부(852)가 구동되어 외부 공기 유입량을 조절할 수 있다.
상기한 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리용 분리배출장치를 설명하면 다음과 같다.
스핀들(30)의 구동으로 테이블부(40)가 회전되면, 테이블부(40)에 로딩된 기판(100)이 회전되며, 각종 분사노즐을 통해 기판(100)에 약액이 분사되어 기판(100) 처리 공정이 실시된다.
이때, 기판(100)에 분사되는 약액은 알칼리성 약액, 산성 약액, 유기성 약액으로 구분될 수 있으며, 약액의 성분에 따라 3개의 컵커버부(52)가 선택적으로 기판(100)을 둘러싸도록 높이가 조절된다. 이로 인해, 제6컵베이스부(516)를 통해 약액이 성분별로 배출되고, 액체배출부(3) 및 액체안내부(4)를 통해 이동된 후 액체수거부(5)에 저장된다.
한편, 내부배기부(60)는 스핀들부(30)와 컵부(50) 사이에 배치된다. 이러한 내부배기부(60)는 내부흡입부(61)의 둘레를 따라 복수개의 홀이 형성되므로, 스핀들부(30)와 컵부(50) 사이를 떠다니는 부유물질을 균일하고 신속하게 흡입함으로써, 오염 물질의 부유로 인한 기판(100)의 손상을 방지할 수 있다.
그리고, 약액의 성상별로 진행되는 공정 신호에 따라 알칼리성 약액, 산성 약액, 유기성 약액을 포함하는 부유물질을 구분하여 수거할 수 있다.
즉, 기판(100)을 처리하기 위해 약액이 기판(100)에 분사되면, 내부배기부(60)를 통해 각각의 약액 성분이 포함된 기체가 기체배출부(7) 및 기체안내부(8)를 통해 기체수거부(9)에 저장된다.
이때, 기체배출부(7)를 통과하는 기체 중에 포함된 약액물질은 제2배출부(72)의 바닥면에서 1차 응축되고, 제4배출부(74)를 통해 외부로 배출된다. 그리고, 기체안내부(8)로 유입된 기체 중에 포함된 약액물질은 안내조절부(82)의 바닥면에서 재차 응축되고, 조절드레인부(823)를 통해 외부로 배출된다.
한편, 약액의 성상별로 진행되는 공정 신호에 따라 조절밸브부(822)가 구동되어 각 성분에 대응되는 기체를 안내하는 내부덕트부(812)를 개방한다. 이로 인해 내부덕트부(812)를 통해 성분별로 기체가 이동될 수 있다. 그리고, 안내댐퍼부(85)는 각각의 내부덕트부(812)로 유입되는 외부 공기 유량을 조절하여, 내부덕트부(812) 내부에 균일한 압력이 유지되도록 할 수 있다. 이로 인해 처리부(2) 내부 압력 변동으로 인한 배기물질의 처리 불량을 방지할 수 있다.
그 외, 외부배기부(70)는 컵부(50)의 외측에 배치된다. 이러한 외부배기부(70)는 컵부(50)의 둘레를 따라 복수개의 홀이 형성되므로, 챔버부(10)의 내부에서 떠다니는 부유물질을 균일하고 신속하게 흡입함으로써, 오염 물질의 부유로 인한 기판(100)의 손상을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리용 분리배출장치(1)는 기판 처리 과정에서 발생되는 약액의 성분에 따라 기체를 분리 배출함으로써, 배기 물질이 혼합되는 것을 차단하여 환경오염을 방지할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
2 : 처리부 3 : 액체배출부
4 : 액체안내부 5 : 액체수거부
7 : 기체배출부 8 : 기체안내부
9 : 기체수거부 10 : 챔버부
20 : 베이스부 30 : 스핀들부
40 : 테이블부 50 : 컵부
60 : 내부배기부 61 : 내부흡입부
62 : 내부안내부 63 : 내부배출부
71 : 제1배출부 72 : 제2배출부
73 : 제3배출부 74 : 제4배출부
81 : 안내덕트부 82 : 안내조절부
83 : 안내연결부 84 : 안내외기부
85 : 안내댐퍼부 100 : 기판

Claims (10)

  1. 기판을 처리하는 처리부;
    상기 처리부에 연결되고, 상기 기판에 분사되는 약액을 성분별로 분리 배출하는 액체배출부; 및
    복수개의 상기 액체배출부에 각각 연결되고, 액체수거부로 약액을 안내하는 액체안내부; 및
    상기 처리부에 연결되고, 상기 처리부에 존재하는 기체를 배출하는 기체배출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    복수개의 상기 기체배출부와 연결되고, 기체를 성분별로 분리하여 기체수거부로 안내하며, 기류 안정을 위해 자연 배기를 유도하는 기체안내부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 기체배출부는
    상기 처리부에 연결되어 하방으로 기체를 안내하는 제1배출부;
    상기 제1배출부에 연통되고, 상기 제1배출부를 통해 이동된 기체를 측방향으로 안내하는 제2배출부; 및
    상기 제2배출부의 단부에 형성되고, 상기 기체안내부와 연결되는 제3배출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 기체배출부는
    상기 제2배출부의 하부에 형성되고, 기체 중에 포함된 약액을 배출하는 제4배출부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  5. 제 2항에 있어서, 상기 기체안내부는
    기체를 성분별로 구획하여 배출하도록 복수개의 내부덕트부가 내장되는 안내덕트부;
    상기 안내덕트부에 연결되고, 기체의 성분에 따라 상기 내부덕트부에 선택적으로 이동되도록 유도하는 안내조절부; 및
    상기 안내조절부와 상기 기체배출부를 연결하는 안내연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 안내조절부는
    상기 안내덕트부에 장착되어 상기 내부덕트부와 연통되고, 상기 안내연결부와 연결되는 조절덮개부; 및
    상기 조절덮개부에 내장되고, 상기 내부덕트부를 선택 개폐하는 복수개의 조절밸브부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 안내조절부는
    상기 조절덮개부에 형성되고, 기체 중에 포함된 약액을 배출하는 조절드레인부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  8. 제 5항에 있어서, 상기 기체안내부는
    상기 안내덕트부와 연통되고, 상기 처리부 사이로 연장되어 상기 처리부 사이 기체를 외부로 배출하는 안내외기부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  9. 제 5항에 있어서, 상기 기체안내부는
    상기 안내덕트부의 상단부에 장착되고, 상기 내부덕트부를 개폐하여 외부공기 유입량을 조절하는 안내댐퍼부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 안내댐퍼부는
    상기 안내덕트부에 회전 가능하도록 장착되어 상기 내부덕트부를 개폐하는 댐퍼개폐부;
    상기 댐퍼개폐부를 회전시키는 댐퍼구동부; 및
    상기 안내댐퍼부의 하단부에 배치되어 압력을 측정하는 댐퍼센서부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 분리배출장치.

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