JP2002329705A - スピン処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は基板を処理する複数種の処理液を
確実に分離回収できるようにしたスピン処理装置を提供
することにある。 【解決手段】 基板を保持して回転駆動される回転体２
７と、周方向に沿って回転可能に設けられるとともに内
部に上記回転体を収容したカップ体１と、上記回転体に
保持された基板に向けて異なる種類の処理液を選択的に
供給するノズル体２９〜３１と、上記カップ体の底部に
設けられ上記供給手段から上記基板に供給された処理液
を排出する短管３と、上記カップ体の回転方向に沿って
配置された複数の分配管２１〜２３を有し、上記カップ
体を回転させることで上記排液部が上記分配部のうちの
１つに対向可能な排液切換え部１７と、使用する処理液
の種類に応じて上記カップ体を回転させ上記排液部を所
定の分配部に対向位置決めする駆動モータ１６とを具備
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は回転駆動される基
板を複数種の処理液で順次処理するスピン処理装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置や半導体装置の
製造過程においては、スピン処理装置を用いて矩形状の
ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パターンを
形成するということが行われている。

【０００３】上記スピン処理装置はカップ体を有し、こ
のカップ体内には回転駆動される回転体が設けられてい
る。この回転体は上記基板を着脱可能に保持できるよう
になっている。

【０００４】上記基板に回路パターンを形成する場合、
基板にエッチング処理を行ない、ついでレジストの剥離
処理が行われる。つまり、レジストが塗布された基板を
回転体に保持したならば、この回転体を回転させながら
基板にエッチング液を供給してエッチング処理を行な
い、その後、純水を供給してエッチング液を洗浄除去す
る。

【０００５】次に、基板に剥離液を供給して基板に付着
残留したレジストを除去した後、基板に純水を供給し、
基板上から剥離液を洗浄除去する。その後、基板を高速
回転させることで、基板を乾燥処理するようにしてい
る。

【０００６】エッチング液や剥離液などの処理液は高価
であるため、繰り返して使用するということが行われて
いる。複数の処理液のうち、少なくとも１つを繰り返し
て使用する場合、これらの処理液を混合させずに回収し
なければならない。

【０００７】各処理液の混合を避けるためには、基板に
供給されたそれぞれの処理液を別々の経路で回収しなけ
ればならない。このような先行技術は特開平８−２６２
７４１号公報に示されている。

【０００８】上記公報に示された構成は、第１の容器内
に基板を保持する回転チャックが設けられ、この回転チ
ャックの下面側には上記第１の容器側に固定されてカバ
ーが設けられている。このカバーは上記回転チャックよ
りも大きく形成されている。

【０００９】さらに、第１の容器内には第２の容器が上
下駆動されるように設けられている。この第２の容器が
上昇した状態で、回転駆動される基板に第１の処理液を
供給すると、この第１の処理液はカバーの上面に滴下す
るとともに第２の容器の内周面に衝突するから、第２の
容器内に回収される。

【００１０】上記第２の容器を、その上端が上記カバー
の上面に接合するまで下降させれば、基板に供給されて
滴下する第２の処理液の一部は、カバーの上面から第２
の容器の外周面を伝わって第１の容器内に流れ、また基
板から周囲に飛散した処理液は第１の容器の内周面に衝
突するから、この第１の容器内に回収される。

【００１１】つまり、第２の容器を上昇あるいは下降さ
せることで、第１の処理液と第２の処理液とを分離回収
することができるようになっている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成によると、第１の容器内に第２の容器を上下動
可能に設けなければならないため、装置が大型化、とく
に第１の容器の大径化を招いたり、全体の構成が複雑化
するということがある。

【００１３】しかも、第１の容器と第２の容器とでは内
径寸法が異なる。そのため、回転駆動される基板から飛
散する処理液が各容器の内周面で反射する反射方向が異
なったり、基板の回転によって容器内で生じる気流の状
態が異なるから、どちらの容器を使用するかによって容
器内での気流が円滑に排出されなくなり、容器内で発生
するミストが基板に再付着することもある。

【００１４】この発明は、装置の大型化や構成の複雑化
を招くことなく、異なる種類の処理液を分離回収するこ
とができ、しかも気流の乱れにより基板が汚染されるこ
とがないようにしたスピン処理装置を提供することにあ
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、回転
駆動される基板を複数種類の処理液で順次処理するスピ
ン処理装置において、上記基板を保持して回転駆動され
る回転体と、周方向に沿って回転可能に設けられるとと
もに内部に上記回転体を収容したカップ体と、上記回転
体に保持された基板に向けて異なる種類の処理液を選択
的に供給する供給手段と、上記カップ体の底部に設けら
れ上記供給手段から上記基板に供給された処理液を排出
する排液部と、上記カップ体の回転方向に沿って配置さ
れた複数の分配部を有し、上記カップ体を回転させるこ
とで上記排液部が上記分配部のうちの１つに対向可能な
液分離手段と、使用する処理液の種類に応じて上記カッ
プ体を回転させ上記排液部を所定の分配部に対向位置決
めする駆動手段とを具備したことを特徴とするスピン処
理装置にある。

【００１６】請求項２の発明は、上記カップ体は下カッ
プと、この下カップに対して独立して移動可能に設けら
れた上カップとに分離され、上記駆動手段は上記下カッ
プを回転駆動することを特徴とする請求項１記載のスピ
ン処理装置にある。

【００１７】請求項３の発明は、上記カップ体の周壁に
は、このカップ体内の雰囲気を吸引排出する排気部が形
成されていることを特徴とする請求項１記載のスピン処
理装置にある。

【００１８】請求項４の発明は、上記液分離手段は、上
面に上記排液部が対向する開口部が形成され内部が複数
の部屋に隔別されていて、上記カップ体を回転させるこ
とで上記排液部が所定の部屋に対向可能に設けられた気
液分離容器と、この気液分離容器の底部に上記各部屋に
それぞれ連通するよう設けられ上記排液部から各部屋に
滴下した処理液を排出する上記分配部と、上記気液分離
容器に設けられ上記排液部を通じて上記カップ体内の雰
囲気を吸引排出する排気部とを備えていることを特徴と
する請求項１記載のスピン処理装置にある。

【００１９】この発明によれば、カップ体を回転させて
このカップ体に設けられた排液部を所定の分配管に対向
位置決めできるから、排液部から排出される処理液を、
その種類に応じて異なる分配管に流すことで、分離回収
することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。

【００２１】図１と図２はこの発明の第１の実施の形態
を示し、図１はスピン処理装置の概略的構成を示す断面
図で、このスピン処理装置はカップ体１を備えている。
このカップ体１は底部に第１の通孔１ａを有するリング
状の下カップ２ａ及びこの下カップ２ａを覆う同じくリ
ング状の上カップ２ｂとから構成されている。

【００２２】上記下カップ２は断面形状がほぼＶ字状を
なしていて、底部には周方向に所定間隔で排液部を形成
する複数の短管３が接続されている。この実施の形態で
は、周方向に９０度間隔で４本の短管３が設けられてい
る。上記上カップ２ｂは内周面が凹曲面２ｃに形成さ
れ、後述するごとく基板Ｗから飛散する処理液を下カッ
プ２ａに向けて反射するようになっているとともに、図
示しないシリンダなどによって上下駆動されるようにな
っている。

【００２３】上記下カップ２ａはベース板４上に周方向
に沿って回転可能に設けられている。すなわち、ベース
板４上には円弧状ガイド５が設けられ、上記下カップ２
の内周部には上記円弧状ガイド５に転動可能に係合した
ローラ６が設けられている。

【００２４】上記下カップ２の外周面には係合ピン７が
垂設されている。この係合ピン７はベース板４に穿設さ
れた貫通孔８からベース板４の下面側に突出し、その突
出端にはフック９が係合している。このフック９は矩形
板状をなしていて、長手方向に沿う係合溝１１が一端に
開放して形成されている。そして、この係合溝１１に上
記係合ピン７が係合している。

【００２５】上記フック９はスライダ１２ａに取付けら
れている。つまり、上記ベース板４の下面には、上記下
カップ２の接線方向に沿ってリニアガイド１２ｂが設け
られている。このリニアガイド１２ｂには上記フック９
が取付けられた上記スライダ１３がスライド可能に設け
られている。

【００２６】上記フック９の他端にはラック１４が上記
リニアガイド１２ｂと平行に設けられている。このラッ
ク１４にはピニオン１５が噛合している。このピニオン
１５は上記ベース板４の下面に保持された駆動モータ１
６の回転軸１６ａに嵌着されている。

【００２７】したがって、上記駆動モータ１６によって
ピニオン１５が回転されることで、このピニオン１５に
噛合したラック１４及びスライダ１３を介して上記フッ
ク９がリニアガイド１２ｂに沿って移動するから、この
フック９の移動により係合ピン７を介して下カップ２が
周方向に回転駆動されることになる。つまり、図２にお
いて、スライダ１３が矢印Ａ方向に移動すると、下カッ
プ２は時計方向に回転し、矢印Ｂ方向に移動すると、反
時計方向に回転するようになっている。

【００２８】上記ベース板４には、下カップ２に設けら
れた４つの短管３に対応する部位にそれぞれ排出切換え
部１７が設けられている。この排出切換え部１７は、下
カップ２の周方向に沿って上記ベース板４に開口形成さ
れた長孔１８を有し、ベース板４の下面の上記長孔１８
に対応する位置には円孔状の容器１９が設けられてい
る。この容器１９の底部には分配部としての第１乃至第
３の分配管２１〜２３の上端が接続されている。なお、
上記容器１９内には隣り合う分配管２１〜２３の接続端
面を隔別する仕切り板２４が設けられている。

【００２９】各分配管２１〜２３はそれぞれ図示しない
回収タンクに接続され、各分配管２１〜２３を通じて後
述するごとく排出される処理液を回収若しくは排出でき
るようになっている。

【００３０】上記ベース板４の上記下カップ２ａの中心
部分に対応する個所には第２の通孔２５が形成されてい
る。この第２の通孔２５からはベース板４の下面に保持
された回転モータ２６の回転軸２６ａが上面側に突出し
ている。

【００３１】上記回転軸２６ａには回転体２７が取り付
けられている。この回転体２７の上面には半導体ウエハ
などの基板Ｗを着脱可能に保持する保持部材２８が周方
向に所定間隔で設けられている。

【００３２】上記回転体２７の上方には異なる種類の処
理液を上記回転体２７に保持された基板Ｗに向けて供給
する供給手段としての第１乃至第３のノズル体２９〜３
１が配置されている。第１のノズル体２９は第１の処理
液としてのエッチング液を供給し、第２のノズル体３０
は第２の処理液としての基板Ｗに付着したレジストを剥
離する剥離液を供給する。さらに、第３のノズル体３１
は基板Ｗに付着したエッチング液や剥離を洗浄除去する
純水を供給するようになっている。

【００３３】なお、詳細は図示しないが、上記下カップ
２ａの内周壁３２は、上記回転体２７の周壁の内周面に
離間対向しており、それによって回転体２７に保持され
た基板Ｗに供給された処理液が回転体２７の下面側に回
り込むのを防止するようになっている。

【００３４】上記下カップ２ａの外周壁３３には周方向
に所定間隔、たとえば９０度間隔で４つの排気口３４
（２つのみ図示）が形成されている。各排気口３４には
排気ダクト３５が接続されている。これら排気ダクト３
５は図示しない排気ポンプに連通している。したがっ
て、排気ポンプが作動することで、上記カップ体１内の
雰囲気が排出されるようになっている。

【００３５】つぎに、上記構成のスピン処理装置によっ
て基板Ｗをエッチング処理する場合について説明する。

【００３６】まず、駆動モータ１６を作動させて上記下
カップ２ａを回転させ、この下カップ２ａに設けられた
短管３を排液切換え部１７の第１の分配管２１に対向す
るよう、位置決めする。

【００３７】つぎに、上カップ２ｂを下降させ、レジス
トが部分的に塗布された基板Ｗを回転体２７に供給し、
この基板Ｗを保持部材２８によって保持したならば、上
カップ２ｂを所定の位置に上昇させる。ついで、排気ダ
クト３５に接続された排気ポンプを作動させ、カップ体
１内の雰囲気を排気するとともに、回転体２７を回転モ
ータ２６によって数十〜数百ｒ．ｐ．ｍの低速度で回転
させ、第１のノズル体２９から基板Ｗに向けてエッチン
グ液を供給する。それによって、基板Ｗはレジストが塗
布されていない部分がエッチングされることになる。

【００３８】基板Ｗをエッチングしたエッチング液は、
この基板Ｗの周縁部から飛散し、上カップ２ｂの凹曲面
２ｃで下方に向かって反射し、短管３を通じて第１の分
配管２１から排出される。したがって、エッチング液は
第１の分配管２１に接続された図示しない回収タンクに
回収される。

【００３９】基板Ｗのエッチングが終了したならば、駆
動モータ１６を作動させて下カップ２ａを回転させ、そ
の短管３を第２の分配管２２に対向位置決めする。つい
で、第２のノズル体３０から基板Ｗに向けて純水を供給
する。

【００４０】それによって、基板Ｗに付着したエッチン
グ液は純水によって洗浄除去され、そのエッチング液が
混入した純水は第２の分配管２２を通じて排出される。

【００４１】基板Ｗを洗浄したならば、駆動モータ１６
によって下カップ２ａを回転させ、短管３を第３の分配
管２３に対向位置決めする。ついで、基板Ｗには第３の
ノズル体３１から剥離液を供給することで、基板Ｗに付
着したレジストを除去する。

【００４２】基板Ｗからレジストを除去した剥離液は上
記短管３から第３の分配管２３を通じてエッチング液と
は異なる回収タンクに回収される。

【００４３】剥離液によるレジストの除去が終了したな
らば、駆動モータ１６を作動して下カップ２ａを回転さ
せ、その短管３を第２の分配管２２に対向位置決めす
る。そして、基板Ｗに第２のノズル体３０から純水を供
給すれば、基板Ｗに付着した剥離液を洗浄除去すること
ができ、基板Ｗを洗浄した剥離液を含む純水は短管３か
ら第２の分配管２２を通じて排出される。

【００４４】剥離液が除去された基板Ｗを洗浄したなら
ば、回転体２７を回転モータ２６によって１０００ｒ．
ｐ．ｍ以上の高速度で回転させる。それによって、基板
Ｗに付着した処理液が遠心力によって飛散し、基板Ｗが
乾燥処理されることになる。

【００４５】基板Ｗの処理時にこの基板Ｗから飛散する
エッチング液、剥離液及び純水は常に上カップ２ｂの凹
曲面２ｃで下方に向かって反射する。上カップ２ｂは基
板Ｗを処理する間は常に同じ高さにあり、処理液の種類
によって高さが変化するようなことがない。

【００４６】そのため、上カップ２ｂの凹曲面２ｃで反
射するエッチング液、剥離液及び純水の反射方向はほぼ
同じ方向になるから、これらの処理液を上方へ反射させ
ることなく、下カップ２ａに接続された短管３から確実
に排出することができる。

【００４７】各処理液が上カップ２ｂの凹曲面２ｃで反
射することで、ミストの発生を招くことが避けられな
い。しかしながら、カップ体１内の雰囲気は、下カップ
２ａの排気口３４に接続された排気ダクト３５を通じて
排出されるため、カップ体１内で発生したミストも一緒
に排出されるから、カップ体１内で発生したミストがそ
のカップ体１内を浮遊して基板Ｗに再付着し、基板Ｗの
汚染の原因になるのを防止することができる。

【００４８】すなわち、上記構成のスピン処理装置によ
れば、カップ体１の下カップ２ａを基板Ｗに供給する処
理液の種類に応じて所定方向に所定角度回転させ、下カ
ップ２ａに接続された短管３から排出される処理液を第
１乃至第３の分配管２１〜２３のいずれかに選択的に流
すようにした。そのため、複数の処理液を分離して回収
することができるから、それら処理液を再使用すること
ができる。

【００４９】しかも、下カップ２ａを回転させること
で、複数の処理液を分離回収できるため、従来のように
複数の容器を同心的に設けて処理液を分離回収する場合
に比べて装置全体の径方向の寸法を小さくすることがで
きるばかりか、構成も簡略化することができる。

【００５０】図３と図４はこの発明の第２の実施の形態
を示す。なお、第１の実施の形態と同一部分には同一記
号を付して説明を省略する。

【００５１】この第２の実施の形態は、ベース板４の下
面の、このベース板４に形成された長孔１８と対応する
箇所に上記第１の実施の形態の容器１９に代わり、気液
分離容器４１が設けられている。この気液分離容器４１
の内部は仕切り板４２によって３つの部屋４３ａ〜４３
ｃに区画されている。なお、３つの部屋４３ａ〜４３ｃ
は、気液分離容器４１の一側面に対応する部分で互いに
連通するよう、仕切り板４２の一部が切除されている。

【００５２】上記気液分離容器４１の下面には、各部屋
４３ａ〜４３ｃにそれぞれ連通する第１乃至第３の分配
管２１〜２３が接続されている。さらに、気液分離容器
４１の一側面には排気口４４が形成されている。この排
気口４４には排気ダクト３５が接続され、この排気ダク
ト３５は図示しない排気ポンプに接続されている。した
がって、気液分離容器４１の各部屋４３ａ〜４３ｃから
下カップ２ａに接続された短管３を通じてカップ体１内
の雰囲気を吸引できるようになっている。

【００５３】なお、詳細は図示しないが、下カップ２ａ
には周方向に９０度間隔で４本の短管３が接続され、ベ
ース板４には短管３の数に対応して４つの気液分離容器
４１が設けられている。

【００５４】このような構成によれば、下カップ２ａを
回転させて短管３を気液分離容器４１の３つの部屋４３
ａ〜４３ｃのいずれかに対向位置決めすれば、基板Ｗに
供給された処理液を、その部屋に接続された第１乃至第
３の分配管２１〜２３のいずれかに排出することができ
る。つまり、基板Ｗに供給される種類の異なる複数種の
処理液を、上記第１の実施の形態と同様、分離回収する
ことができる。

【００５５】しかも、気液分離容器４１を用いて処理液
を分離回収するようにした。つまり、通常のスピン処理
装置は気液分離容器４１を備えているから、その気液分
離容器４１を利用することによって、構成の簡略化や部
品点数の低減を図ることが可能となる。

【００５６】図５はこの発明の第３の実施の形態を示
す。この第３の実施の形態はカップ体１Ａが下カップと
上カップとに分割されておらず、単一構成となってい
る。このカップ体１Ａの下面には中空軸５１が突設され
ていて、この中空軸５１によって上記カップ体１Ａは図
示しない軸受により周方向に回転可能に支持されてい
る。上記中空軸５１には従動プーリ５２が嵌着されてい
る。

【００５７】カップ体１Ａの側方には駆動モータ５３が
配置され、この駆動モータ５３の回転軸５４には駆動プ
ーリ５５が嵌着されている。この駆動プーリ５５と上記
従動プーリ５２とにはベルト５６が張設されている。し
たがって、上記駆動モータ５３によって上記カップ体１
Ａを回転させることができる。

【００５８】上記中空軸５１には上下軸６１が挿通され
ている。この上下軸６１の上端は上記カップ体１Ａ内に
突出し、その上端には基板Ｗを着脱可能に保持できる回
転体６２が設けられている。

【００５９】上記上下軸６１の下端は例えばシリンダな
どの上下駆動源６３に連結されている。それによって上
記回転体６２をカップ体１Ａ内に位置する下降状態と、
カップ体１Ａから突出する上昇状態に位置決めできるよ
うになっている。つまり、回転体６２に基板Ｗを着脱す
るときには回転体６２は上昇状態に位置決めされ、基板
を処理液で処理する場合には下降状態に位置決めされ
る。

【００６０】上記カップ体１Ａの底部は所定方向に向か
って傾斜していて、その最下端部には排液部を形成する
短管６４が接続されている。この短管６４は、カップ体
１Ａを回転させることで、第２の実施の形態と同様、気
液分離容器４１内に仕切り板４２によって隔別形成され
た３つの部屋４３ａ〜４３ｃのいずれかに選択的に対向
位置決めできる。

【００６１】したがって、基板Ｗに供給される処理液の
種類に応じてカップ体１Ａを回転させて上記短管６４ガ
対向する部屋４３ａ〜４３ｃを選択すれば、処理液を各
部屋に接続された第１乃至第３の分配管２１〜２３を通
じて分離回収することができる。

【００６２】この第３の実施の形態において、図示しな
いが、カップ体１Ａの下方に設けられる気液分離容器４
１をリング形状とし、この内部を周方向に沿って複数の
部屋に分割し、各部屋の底部に分配管を接続する構成と
してもよい。

【００６３】上記各実施の形態では３種類の処理液を使
用する場合について説明したが、処理液の種類は４種類
以上であってものよく、その場合は排出管の数を処理液
の種類に応じて増やすようにすればよい。

【００６４】さらに、気液分離器４１の内部仕切り板４
２の一部を削除せずに、仕切り板により隔別形成された
部屋毎に排気ダクトを設け、使用する薬液の種類に応じ
て排気を分けてもよい。

【００６５】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、カップ
体を回転させてこのカップ体に設けられた排液部を、複
数の分配管のうちの、所定の分配管に対向位置決めでき
るようにした。

【００６６】そのため、排液部から排出される処理液
を、その種類に応じて異なる排出管に流すことで、種類
の異なる複数種の処理液を分離回収することができる。

【００６７】また、複数の処理液を分離回収するため、
カップ体を回転させるようにしたから、複数のカップ体
（容器）を同心的に設け、使用する処理液の種類に応じ
て上下動させる従来構造に比べて構成の簡略化や小型化
を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態のスピン処理装置
の概略的構成を示す断面図。

【図２】排液切換え部と排液部との概略的配置状態を示
す説明図。

【図３】この発明の第２の実施の形態のスピン処理装置
の概略的構成を示す断面図。

【図４】気液分離容器の横断面図。

【図５】この発明の第３の実施の形態のスピン処理装置
の概略的構成を示す断面図。

【符号の説明】

１…カップ体 ２ａ…下カップ ２ｂ…上カップ ３…短管（排液部） １６…駆動モータ（駆動手段） ２１〜２３…分配管（液分離手段） ２７…回転体 ２９〜３１…ノズル体（供給手段） Ｗ…基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４３ Ｈ０１Ｌ 21/306 Ｊ ６５１ 21/30 ５７２Ｂ (72)発明者 平川 忠夫 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号 芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 (72)発明者 林 航之介 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号 芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 Ｆターム(参考） 2H096 AA25 GA29 HA17 LA02 LA30 3B201 AA02 AA03 AB33 AB47 BB21 BB92 BB93 CC13 CD11 CD22 CD33 3L113 AA04 AB08 AC45 AC46 AC53 AC63 BA34 CB34 DA13 DA14 DA24 5F043 AA01 BB27 DD13 EE07 EE08 EE33 EE40 GG10 5F046 MA10

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転駆動される基板を複数種類の処理液
   で順次処理するスピン処理装置において、 上記基板を保持して回転駆動される回転体と、 周方向に沿って回転可能に設けられるとともに内部に上
   記回転体を収容したカップ体と、 上記回転体に保持された基板に向けて異なる種類の処理
   液を選択的に供給する供給手段と、 上記カップ体の底部に設けられ上記供給手段から上記基
   板に供給された処理液を排出する排液部と、 上記カップ体の回転方向に沿って配置された複数の分配
   部を有し、上記カップ体を回転させることで上記排液部
   が上記分配部のうちの１つに対向可能な液分離手段と、 使用する処理液の種類に応じて上記カップ体を回転させ
   上記排液部を所定の分配部に対向位置決めする駆動手段
   とを具備したことを特徴とするスピン処理装置。
2. 【請求項２】 上記カップ体は下カップと、この下カッ
   プに対して独立して移動可能に設けられた上カップとに
   分離され、上記駆動手段は上記下カップを回転駆動する
   ことを特徴とする請求項１記載のスピン処理装置。
3. 【請求項３】 上記カップ体の周壁には、このカップ体
   内の雰囲気を吸引排出する排気部が形成されていること
   を特徴とする請求項１記載のスピン処理装置。
4. 【請求項４】 上記液分離手段は、上面に上記排液部が
   対向する開口部が形成され内部が複数の部屋に隔別され
   ていて、上記カップ体を回転させることで上記排液部が
   所定の部屋に対向可能に設けられた気液分離容器と、こ
   の気液分離容器の底部に上記各部屋にそれぞれ連通する
   よう設けられ上記排液部から各部屋に滴下した処理液を
   排出する上記分配部と、上記気液分離容器に設けられ上
   記排液部を通じて上記カップ体内の雰囲気を吸引排出す
   る排気部とを備えていることを特徴とする請求項１記載
   のスピン処理装置。