KR100871821B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다수의 약액들을 공정 처리 후 회수하는 적어도 하나의 약액 포집 장치를 구비하는 기판 처리 장치 및 그의 약액 포집 방법에 관한 것이다. 기판 처리 장치는 세정 및 건조 공정을 처리하기 위하여 서로 다른 약액들을 공급받는다. 기판 처리 장치는 공정 처리 시, 사용된 약액들을 회수하기 위하여 약액들에 대응하는 적어도 하나의 약액 포집 장치들을 구비한다. 이러한 기판 처리 장치는 공정 처리 시, 스핀 헤드에 기판이 로딩되고, 공정 위치로 이동되면, 스핀 헤드와 해당 약액 포집 장치를 동일한 방향으로 회전시킨다. 따라서 본 발명에 의하면, 약액 회수 시, 스핀 헤드와 약액 포집 장치를 동시에 동일한 방향으로 회전시킴으로써, 약액이 리바운드되어 공정에 영향을 끼치는 현상을 방지할 수 있다.
Figure R1020070030777
기판 처리 장치, 약액 포집 장치, 약액 회수, 스핀 헤드, 회전

Description

기판 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE}
도 1은 종래기술의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성을 도시한 도면;
도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성을 도시한 도면;
도 3은 도 2에 도시된 약액 포집 장치의 구성을 도시한 사시도; 그리고
도 4는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 약액 포집 수순을 나타내는 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 기판 처리 장치 102 : 제어부
104, 140 : 구동부 106 : 공정 챔버
110, 112 ~ 116 : 약액 포집 장치 120 : 회전부재
130 : 스핀 헤드 150 : 배출 배관
160 : 노즐부 170 : 약액 공급부
180 : 동력 전달 부재
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 매엽식 기판 처리 장치 및 그의 약액 포집 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 장치는 증착, 포토리소그래피, 식각, 화학적 기계적 연마, 세정, 건조 등과 같은 단위 공정들의 반복적인 수행에 의해 제조된다. 이러한 단위 공정들 중 세정 및 건조 공정은 각각의 단위 공정들을 수행하는 동안 반도체 기판 표면에 잔류하는 이물질 또는 불필요한 막을 제거하는 공정이다.
세정 및 건조 공정을 수행하는 장치는 다수의 기판을 동시에 세정하는 배치식 세정 장치와 낱장 단위로 기판을 세정하는 매엽식 세정 장치로 구분된다. 이 중 매엽식 세정 장치는 낱장의 기판을 지지하는 척과 기판 처리면에 처리 유체들을 공급하는 적어도 하나의 노즐을 포함한다. 매엽식 세정 장치의 공정이 개시되면, 척에 기판이 안착되고 노즐은 세정액, 린스액 및 건조 가스를 순차적으로 분사하여 기판을 세정 및 건조시킨다.
도 1을 참조하면, 세정 및 건조 공정을 처리하는 기판 처리 장치(2)는 예컨대, 매엽식 세정 장치로, 상부가 개방된 원통형으로 구비되어 내부에 공정 처리를 위한 공간이 형성된 공정 챔버(4)와, 공정 챔버(4) 내부에 구비되어 기판(W)을 안착하고, 세정 공정을 위해 공급되는 약액에 대응하여 상하 이동 및 회전하는 스핀 헤드(6)와, 공정 챔버(4)로 다수의 약액들을 공급하는 약액 공급부(50)와 연결되어 기판 표면으로 약액을 분사하는 노즐부(60)와, 공정 챔버(4)에 구비되어 다수의 약액들을 회수하는 다수의 약액 포집 장치(10)들 및, 약액 포집 장치(10)들로부터 회수된 약액들을 각각 배출하는 배출 배관(20)들을 포함한다. 또 스핀 헤드(6)와 노 즐부(60)에 연결되어 각각 상하 이동 또는 회전 이동시키는 구동부(8, 40) 및, 공정 진행에 따라 스핀 헤드(6) 및 노즐부(60)의 위치를 이동하거나 회전시키도록 구동부(8, 40)를 제어하는 제어부(30)를 포함한다.
약액 공급부(50)는 각각의 공급 라인을 통해 노즐부(60)로 다양한 약액들을 공급한다. 여기서는 약액 공급부(50)는 세정 및 건조 공정을 처리하기 위하여 제 1 내지 제 3 약액을 공급하며, 제 1 및 제 2 약액은 불산(HF) 용액, SC-1(Standard Clean-1) 용액이고, 제 3 약액은 초순수(DIW) 및 건조 가스 예컨대, 이소프로필 알코올(IPA : Isopropyl Alcohol)이다.
노즐부(60)는 복수 개의 약액 공급부(50)로부터 서로 다른 약액들 예를 들어, 식각액, 세정액 등을 공급받아서 기판(W)으로 약액을 분사하는 복수 개의 노즐(66)들과, 노즐(66)들과 구동부(64)를 체결하는 복수 개의 노즐 지지용 아암(62, 64)들을 포함한다.
구동부(8, 40)는 제 1 및 제 2 구동부를 포함하며, 제어부(30)의 제어를 받아서 스핀 헤드(6) 및 노즐부(60)를 구동한다. 즉, 제 1 구동부(8)는 공정 진행 중에 분사되는 약액에 대응하여 공정 챔버(4) 내부에서 스핀 헤드(6)의 위치를 상하로 이동시키고, 스핀 헤드(6)를 회전시킨다. 제 2 구동부(40)는 노즐부(60)를 회전 및 상하 이동시켜서 공정 위치 및 대기 위치 상호간에 노즐부(60)를 구동시킨다.
약액 포집 장치(10)는 공정 챔버(4)에 고정 설치된 복수 개의 바울(bowl)(12 ~ 16)들을 구비하여 공정시 사용되는 약액들을 각각 회수한다. 예를 들어, 약액 포집 장치(10)는 복수 개의 약액 공급부(50)들에 대응하여 제 1 내지 제 3 바울(12 ~ 16)을 포함한다. 제 1 내지 제 3 바울(12 ~ 16)은 각각 상부가 개방되고 스핀 헤드(6)의 측부에서 상하로 적층된다. 제 1 바울(16)은 내부에 공정시 사용된 제 1 약액이 수용되는 공간(S1)이 제공된다. 제 2 바울(14)은 내부에 공정시 사용된 제 2 약액이 수용되는 공간(S2)이 제공되며, 그리고, 제 3 바울(12)은 내부에 공정시 사용된 제 3 약액이 수용되는 공간(S3)이 제공된다. 이러한 제 1 내지 제 3 바울(12 ~ 16)은 배출 배관(20 : 22 ~ 26)을 통해 공간에 포집된 약액들이 각각 회수된다.
그리고 제어부(30)는 기판 처리 장치(2)의 세정 및 건조 공정을 처리하는 제반 동작을 제어한다. 즉, 제어부(30)는 제 1 구동부(8)를 제어하여 공정시 스핀 헤드(6)의 위치 및 회전 속도를 제어한다. 그리고, 제어부(30)는 제 2 구동부(40)를 제어하여 노즐부(60)를 동작시킨다. 또한, 제어부(30)는 약액 공급부(50)를 제어하여 공정시 제 1 내지 제 3 약액의 공급하도록 제어한다.
따라서 기판 처리 장치(2)는 세정 및 건조 공정 시, 스핀 헤드(6)를 각각의 약액에 대응하는 위치로 이동하고, 스핀 헤드(6)를 회전시킨다. 이어서 노즐부(60)를 통해 해당 약액 공급부(50)로부터 공급되는 약액을 기판(W)으로 분사시켜서 기판을 세정한다. 이 때, 약액 포집 장치(10)의 해당 바울(12, 14 또는 16)로 처리된 약액을 포집한다.
그러나 이러한 약액 포집 장치(10)는 각각의 바울(12 ~ 16)이 공정 챔버(4)에 고정 설치되어 있으므로 약액 회수 시, 처리된 약액이 스핀 헤드(6)의 회전력과 원심력에 의해 약액 포집 장치(10)과 충돌하게 된다. 이로 인하여 처리된 약액이 리바운드(rebound)되어 공정에 약영향을 끼치게 된다. 또 약액 포집 장치(10)는 각각의 바울(12 ~ 16) 내측면에 해당 약액이 잔존하여 파티클 발생의 원인이 된다.
본 발명의 목적은 회수되는 약액의 포집을 용이하게 하기 위한 기판 처리 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 회전형 약액 포집 장치를 구비하는 기판 처리 장치 및 그의 약액 포집 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 약액 포집 장치의 파티클 발생을 방지하기 위한 기판 처리 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 기판 처리 장치는 스핀 헤드의 회전 방향으로 회전 가능한 적어도 하나의 약액 포집 장치를 구비하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 기판 처리 장치는 공정 처리 시, 약액의 회수를 용이하게 하기 위하여, 스핀 헤드와 약액 포집 장치를 동일한 방향으로 약액 포집 장치를 회전하여 공정 불량 및 파티클 발생을 방지하게 한다.
본 발명의 기판 처리 장치는, 기판으로 적어도 하나의 약액을 공급하는 노즐부와; 기판이 안착되고, 회전 가능하며 상기 노즐부로부터 공급되는 상기 약액들에 대응하여 적어도 하나의 공정 위치로 상하 이동하는 스핀 헤드와; 상기 스핀 헤드와 동일한 방향으로 회전하여 상기 노즐부로부터 공급된 약액들을 회수하는 적어도 하나의 약액 포집 장치 및; 상기 약액들에 대응하여 상기 스핀 헤드를 상하로 이동 시키고, 상기 스핀 헤드와 상기 적어도 하나의 약액 포집 장치를 동시에 회전시키는 구동부를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 구동부는; 상기 약액 포집 장치들을 개별적으로 회전시킨다.
다른 실시예에 있어서, 상기 구동부는; 상기 스핀 헤드를 상하 이동 및 회전시키는 제 1 구동 장치와; 상기 약액 포집 장치들을 회전시키는 적어도 하나의 제 2 구동 장치를 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는; 상기 약액 포집 장치들을 회전시키는 회전부재를 더 포함하되; 상기 제 2 구동 장치는 상기 회전부재를 구동하여 상기 약액 포집 장치를 회전시킨다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 2 구동 장치는 모터로 구비되고; 상기 회전부재는; 상기 약액 포집 장치들 각각에 체결되는 공압 베어링과, 상기 모터의 동력을 상기 공압 베이링으로 전달하는 동력 전달 부재를 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 구동부는; 상기 스핀 헤드와 상기 약액 포집 장치를 동일한 방향으로 회전시킨다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 포집 장치는; 약액의 흐름을 용이하도록 내부면에 나선형 홈이 형성된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 적어도 하나의 약액을 공급하고, 상기 약액에 대응하여 적어도 하나의 약액 포집 장치를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 포집 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 스핀 헤드로 기판을 로딩한다. 상기 스핀 헤드를 공정 위치로 이동한다. 상기 스핀 헤드와, 상기 공정 위치에 대응하는 상기 약액 포집 장치를 회전시킨다. 로딩된 상기 기판으로 상기 공정 위치에 대응하는 약액을 공급한다. 이어서 상기 약액 포집 장치로부터 포집된 약액을 회수한다.
일 실시예에 있어서, 상기 회전시키는 것은; 상기 스핀 헤드와 상기 약액 포집 장치를 동일한 방향으로 회전시킨다.
다른 실시예에 있어서, 상기 회전시키는 것은; 상기 스핀 헤드와 상기 약액 포집 장치를 동시에 또는 따로 회전시킨다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 2 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 예를 들어, 기판의 세정 및 건조 공정을 처리하는 매엽식 세정 장치로서, 복수 개의 약액들을 회수하기 위하여 회전 가능한 복수 개의 약액 포집 장치(110 : 112 ~ 116)들을 포함한다.
구체적으로, 기판 처리 장치(100)는 상부가 개방된 원통형으로 구비되어 내부에 공정 처리를 위한 공간이 형성된 공정 챔버(106)와, 공정 챔버(106) 내부에 구비되어 기판을 안착하고, 세정 공정을 위해 공급되는 약액에 대응하여 상하 이동 및 회전하는 스핀 헤드(130)와, 공정 챔버(106)로 다수의 약액들을 공급하는 약액 공급부(170)와 연결되어 기판 표면으로 약액을 분사하는 노즐부(160)와, 공정 챔버(110)에 구비되어 다수의 약액들을 회수하는 다수의 약액 포집 장치(110)들 및, 약액 포집 장치(110)들로부터 회수된 약액들을 배출하는 배출 배관(150)을 포함한다. 또 기판 처리 장치(100)는 스핀 헤드(130)와 노즐부(160)에 연결되어 각각 상하 이동 및/또는 회전 이동시키는 구동부(104, 140)와, 구동부(104, 140)를 제어하는 제어부(102)를 포함한다.
스핀 헤드(130)는 공정시 기판(W)을 지지하고, 공정 챔버(106) 내부에서 상하 이동 및 회전한다. 스핀 헤드(130)는 상부에 공정시 기판(W)의 가장자리 일부를 척킹(chucking)하여 기판(W)이 이탈되는 것을 방지하는 복수 개의 척킹 핀(chucking pin)(132)들과, 안착된 기판(W)을 지지하는 복수 개의 리프트 핀(134)들을 구비한다. 따라서 스핀 헤드(130)는 기판(W)이 안착되면, 구동부(104)에 의해 현재 공급되는 약액에 따른 공정 위치(적어도 3 개의 위치 즉, P1, P2 등)로 상하 이동되고, 공정 처리 시 회전된다.
노즐부(160)는 복수 개의 약액 공급부(170)로부터 서로 다른 약액들 예를 들어, 식각액, 세정액 등을 공급받아서 기판(W)으로 약액을 분사하는 복수 개의 노즐(162)들을 구비하고, 적어도 하나의 노즐 지지대(164)에 의해 노즐(162)들과, 노즐(162)들을 공정 위치 및 대기 위치에 따라 상하 이동 및 회전 이동시키는 노즐 구동부(미도시됨)와 체결된다.
약액 공급부(170)는 각각의 공급 라인을 통해 노즐부(160)로 제 1 내지 제 3 약액을 공급한다. 여기서 제 1 및 제 2 약액은 식각액으로서, 불산(HF) 용액, SC-1(Standard Clean-1) 용액 이고, 제 3 약액은 세정액으로서, 초순수(DIW) 및 건조 가스 예컨대, 이소프로필 알코올(IPA : Isopropyl Alcohol)이다.
구동부(104, 140)는 제 1 및 제 2 구동부를 포함하며, 제어부(102)의 제어를 받아서 스핀 헤드(130) 및 약액 포집 장치들(110)를 구동한다. 즉, 제 1 구동부(104)는 공정 진행 중에 노즐부(160)로부터 공급되는 약액에 대응하여 스핀 헤드(130)의 위치를 상하로 구동시키고, 스핀 헤드(130)를 회전시킨다. 제 2 구동부(140)는 예를 들어, 약액 포집 장치들(110 : 112 ~ 116)에 대응하여 복수 개의 모터(142 ~ 146)들을 구비하고, 각각의 모터(142 ~ 146)들은 각각의 약액 포집 장치들(110)을 회전시킨다. 이는 노즐부(160)로부터 공급되는 약액들에 대응하여 스핀 헤드(130)의 공정 위치에서 약액을 회수하는 약액 포집 장치들(110)을 개별적으로 회전시킨다. 이 때, 약액 포집 장치(110) 각각에는 공압 베어링(120 : 122 ~ 126)이 장착되고, 모터(142 ~ 146)들의 동력을 공압 베어링(120)에 전달하는 동력 전달 부재(180)에 의해 약액 포집 장치(110)를 회전시킨다. 물론, 여기서는 설명되지 않았지만, 다른 실시예로서 스핀 헤드와 약액 포집 장치를 같이 회전시키는 구조로 체결하고, 하나의 구동부를 이용하여 스핀 헤드와 약액 포집 장치를 동시에 회전시키거나, 또는 하나의 모터를 이용하여 각각의 약액 포집 장치들을 회전시킬 수도 있음은 자명하다 하겠다.
계속해서, 약액 포집 장치(110)는 공정 챔버(106)에 복수 개의 바 울(bowl)(112 ~ 116)들을 구비하여 공정시 사용되는 약액들을 각각 회수한다. 예를 들어, 약액 포집 장치(110)는 복수 개의 약액 공급부(170)들에 대응하여 제 1 내지 제 3 바울(112 ~ 116)을 포함한다. 제 1 내지 제 3 바울(112 ~ 116)은 각각 상부가 개방되고 스핀 헤드(130)의 측부에서 상하로 적층된다. 제 1 바울 내지 제 3 바울(112 ~ 116)은 각각 내부에 공정시 사용된 제 1 내지 제 3 약액이 수용되는 공간이 제공된다. 이러한 제 1 내지 제 3 바울(112 ~ 116)은 각각 배출 배관(150 : 152 ~ 156)들을 통해 공간에 포집된 약액들을 회수한다. 또 약액 포집 장치(110 : 112 ~ 116)는 도 3에 도시된 바와 같이, 각각 내부면에 나선형 홈(118)이 형성되어 회전력에 의해 약액의 포집을 용이하게 한다.
구체적으로, 약액 포집 장치(110)는 노즐부(160)로부터 공급되는 약액들을 각각 포집하여 약액의 재사용이 가능하도록 한다. 약액 포집 장치(110)는 내부에 스핀 헤드(130)가 배치되고, 스핀 헤드(130)의 복수 개의 공정 위치(P1, P2 등)에 대응하여 서로 다른 약액들을 포집하는 공간이 형성된다. 그러므로 약액 포집 장치(110)는 공정 수행시 약액 공급부(170)로부터 공급되는 다양한 약액들의 수와 동일하게 제공되며, 여기서는 제 1 내지 제 3 약액에 대응하여 제 1 내지 제 3 약액 포집 장치(112 ~ 116)가 구비된다.
각각의 약액 포집 장치(110 : 112 ~ 116)는 중앙에 포집 공간이 형성된 원통 형상을 가진다. 예를 들어, 복수 개의 식각액을 포집하는 제 1 및 제 2 약액 포집 장치(114 ~ 116)는 공정 챔버(106)의 안쪽에 순차적으로 배치되고, 세정액을 포집하는 제 3 약액 포집 장치(112)는 공정 챔버(106)의 외곽에 배치된다. 이러한 약액 포집 장치들(110)은 내부에 약액이 포집되는 공간이 스핀 헤드(130)를 감싸도록 배치되고, 각각의 약액 포집 장치들(110)은 순차적으로 외곽으로 적층된다. 또 각각의 약액 포집 장치들(110)은 하부에 약액들이 회수되도록 배출하는 배출 배관(150 : 152 ~ 156)과 연결된다.
또 각각의 약액 포집 장치(112 ~ 116)는 일정 크기의 원통형 측벽(112b, 114b, 116b)과, 스핀 헤드(130)로부터 기판 처리된 약액들의 포집이 용이하도록 측벽(112b, 114b, 116b)의 상단으로부터 스핀 헤드(130) 방향으로부터 일정 길이가 연장된 상부벽(112a, 114a, 116a)을 가지며, 측벽(112b, 114b, 116b) 하부에 약액이 포집되는 공간이 배치된다. 따라서 각각의 약액 포집 장치(112 ~ 116)는 공정 챔버(106)의 외측으로 갈수록 측벽(112b, 114b, 116b)과 상부벽(112a, 114a, 116a)이 높게 위치되도록 배치된다.
또 각각의 약액 포집 장치(112 ~ 116)는 개별적으로 회전 가능하도록 측벽(112b, 114b, 116b) 하단부에 회전부재(120 : 122 ~ 126)가 각각 구비된다. 각각의 회전부재(122 ~ 126)는 동력 전달 부재(180)에 의해 제 2 구동부(140)의 각 모터(142 ~ 146)들로부터 동력을 전달받는다. 예컨대, 회전부재(120)는 공압 베어링으로 구비되며, 동력 전달 부재(180)는 밸트, 기어 등으로 구비된다.
그리고 제어부(102)는 기판 처리 장치(100)의 세정 및 건조 공정을 처리하는 제반 동작을 제어한다. 즉, 제어부(102)는 제 1 구동부(104)를 제어하여 공정 처리시 스핀 헤드(130)의 위치 및 회전 속도를 제어한다. 그리고, 제어부(102)는 제 2 구동부(140)를 제어하여 각각의 약액 포집 장치들(110)을 동작시킨다. 따라서 제어 부(102)는 공정 처리시, 스핀 헤드(130)의 공정 위치(P1, P2 등)에 대응되는 약액 포집 장치(110)를 스핀 헤드(130)와 동시에 또는 따로 동일한 방향으로 회전시켜서 약액을 포집하도록 제어한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 공정 처리 시, 스핀 헤드(130)와 약액 포집 장치(110)를 동시에 동일한 방향으로 회전시킴으로써, 약액이 원심력에 의해 약액 포집 장치(110) 내측면과 충돌되는 충격량을 감소시킬 수 있어 리바운드에 의한 약액이 공정 챔버 내부의 주변으로 튀어서 공정에 영향을 끼치는 현상을 방지할 수 있다. 또한, 또 약액 포집 장치(110) 내측면에 나선형의 홈(118)을 형성함으로써, 회전력에 의해 약액의 포집을 용이하게 하고, 이를 통해 약액 포집 장치(110) 내부에 잔존하는 약액을 최소화하여 파티클 발생을 방지할 수 있다.
계속해서 도 4는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 약액 포집 수순을 도시한 흐름도이다.
도 4를 참조하면, 단계 S200에서 기판(W)을 스핀 헤드(130)에 로딩한다. 단계 S202에서 노즐부(160)로부터 공급되는 약액에 대응하는 공정 위치(P1, P2 등)로 스핀 헤드(130)를 상하 이동시킨다. 예를 들어, 스핀 헤드(130)는 공정 처리 시, 복수 개의 약액 공급부(170)로부터 공급되는 제 1 내지 제 3 약액 각각에 대응하여, 제 1 내지 제 3 위치 즉, 공정 위치 P1, P2 및 P3(미도시됨)로 상하 이동된다. 단계 S204에서 스핀 헤드(130)와 공정 위치에 대응되는 약액 포집 장치(110)를 동일한 방향으로 회전시킨다. 이 때, 약액 포집 장치(110)는 스핀 헤드(130)와 동시에 회전시키거나 따로 회전시킨다. 또 약액 포집 장치(110)와 스핀 헤드(130)의 회 전 속도는 약액의 리바운드(rebound)를 줄이기 위해 동일한 크기로 회전시킨다. 단계 S206에서 기판(W)으로 약액을 공급하기 위하여 노즐부(160)를 통해 해당 공정 위치에 대응되는 약액을 분사한다. 이어서 단계 S208에서 회전되는 약액 포집 장치(110)에 포집된 약액을 배출 배관(150)을 통해 회수한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 약액 회수를 위하여 스핀 헤드(130)와 약액 포집 장치(110)를 동일한 방향으로 동시에 또는 따로 회전시킴으로써, 포집되는 약액이 원심력 및 회전력에 의해 약액 포집 장치(110)에 리바운드되는 현상을 감소시킨다.
이상에서, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치는 공정 처리시, 스핀 헤드와 약액 포집 장치를 회전시킴으로써, 약액의 포집시 약액 포집 장치와 리바운드되는 현상을 줄일 수 있다.
따라서 본 발명의 기판 처리 장치는 약액의 리바운드에 따른 공정에 영향을 줄일 수 있다.
또한, 약액 포집 장치의 내부면에 나선형의 홈을 형성함으로써, 약액의 포집이 용이하도록 하여 약액 포집 장치의 내부면에 잔존하는 약액을 최소화할 수 있다.

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 기판 처리 장치에 있어서:
    기판으로 적어도 하나의 약액을 공급하는 노즐부와;
    기판이 안착되고, 회전 가능하며 상기 노즐부로부터 공급되는 상기 약액들에 대응하여 적어도 하나의 공정 위치로 상하 이동하는 스핀 헤드와;
    상기 스핀 헤드와 동일한 방향으로 회전하여 상기 노즐부로부터 공급된 약액들을 회수하는 복수 개의 약액 포집 장치 및;
    상기 약액들에 대응하여 상기 스핀 헤드를 상하로 이동시키고, 상기 스핀 헤드와 각각의 상기 약액 포집 장치들을 회전시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 구동부는;
    상기 스핀 헤드를 상하 이동 및 회전시키는 제 1 구동 장치와;
    상기 약액 포집 장치를 회전시키는 적어도 하나의 제 2 구동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는;
    상기 약액 포집 장치들을 회전시키는 회전부재를 더 포함하되;
    상기 제 2 구동 장치는 상기 회전부재를 구동하여 상기 약액 포집 장치를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 구동 장치는 모터로 구비되고;
    상기 회전부재는;
    상기 약액 포집 장치들 각각에 체결되는 공압 베어링과,
    상기 모터의 동력을 상기 공압 베어링으로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 구동부는;
    상기 스핀 헤드와 상기 약액 포집 장치를 동일한 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 약액 포집 장치는;
    약액의 흐름을 용이하도록 내부면에 나선형 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
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