JP4567178B2 - スピン処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は回転テ−ブルによって基板を回転させて処理するスピン処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば半導体装置や液晶表示装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスでは、処理液によって上記基板に対する洗浄処理と乾燥処理とが繰り返し行われる。
【0003】
処理液による基板の洗浄処理及び洗浄された基板の乾燥処理を行うためには、上記基板を回転テ−ブルに保持し、この回転テ−ブルを低速度で回転させながら処理液を供給して処理し、ついで高速度で回転させ、それによって生じる遠心力で基板に付着した処理液を飛散させ、吸引排気される気流で乾燥させる、スピン処理装置が用いられている。
【0004】
一般に、スピン処理装置は処理槽を有し、この処理槽内にカップ体が配置されている。このカップ体は上面が開口した容器状をなしていて、その内部には回転テーブルが設けられ、この回転テーブル上に上記基板が保持される。
【0005】
上記カップ体の底部には排出管が接続され、この排出管は上記処理槽の底壁を貫通して外部に導出され、気液分離器を介して排気ポンプに接続されている。排気ポンプを作動させれば、上記カップ体内のミストを含む気体及び基板から飛散してカップ体の内底部に滴下した処理液が上記排出管を通じて上記気液分離器へ排出される。それによって、乾燥処理時に基板から飛散した処理液がカップ体内で浮遊して上記基板に再付着するのが防止される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来、上記気液分離器はカップ体の底部に排出管を介して接続されている。カップ体の底部に排出管を介して気液分離器を接続する場合、処理槽の下方に気液分離器を設置するスペースを確保しなければならなくなる。
【0007】
しかしながら、スピン処理装置が設置されるクリーンルームにおいては、スピン処理装置の前後に設置される他の処理装置との関係や基板搬送高さの基準設定などによって、処理槽の床からの高さが制限されてしまうことがある。それによって、処理槽の下方に気液分離器を設置するための十分なスペースを確保することが容易でないということがあった。
【0008】
しかも、狭いスペースに気液分離器を設置する場合、この気液分離器と処理槽とを排出管によって接続する作業を容易に行うことができなくなるということもあった。
【0009】
この発明は、処理槽と別体に気液分離器を設けることなく、カップ体から排出される気体と液体とを確実に分離できるようにしたスピン処理装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この発明は、回転駆動される基板に処理液を供給して所定の処理を行うスピン処理装置において、
処理槽と、
この処理槽内に設けられ上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルと、
この回転テーブルの周囲を覆い上記基板の回転によってこの基板から飛散する上記処理液を内周面に衝突させて受けるカップ体と、
上記カップ体の下方となる部分の周方向全長に対応して設けられ上記カップ体の内周面に衝突しこの内周面から滴下する上記処理液を集積する集積部と、
この集積部に集積された処理液を排出する排液管と、
上記処理槽の少なくとも対向する一対の側部のほぼ全長にわたって設けられ一端が上記集積部に連通し他端が互いに連通していて、上記集積部を通じて上記カップ体内の気体を上記処理槽の上方に向かって排出する排気路と
を具備したことを特徴とするスピン処理装置にある。
【0014】
請求項2の発明は、上記排気路は、上記処理槽の3つの側部のほぼ全長にわたって設けられ、これら排気路の他端は連通していることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0016】
この発明によれば、処理槽と別体に気液分離器を設けることなく、基板から飛散する処理液と、処理槽内の気体とを分離して排出できる。
【0017】
【実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【0018】
図1乃至図4はこの発明の第1の実施の形態を示し、図1に示すスピン処理装置は架台1を備えている。この架台1の上面には枠体2が設けられ、この枠体2内には処理槽3が設けられている。
【0019】
上記処理槽3は、図2乃至図4に示すように角筒状の外装体4を有する。この外装体4の内部には仕切壁体5が設けられている。この仕切壁体5は上面が開口した箱形状をなしていて、上記外装体4の対向する一対の側壁4aの内面に、その側壁4aの幅方向全長にわたって所定の間隔で離間対向する一対の側壁部5aと、上記外装体4の内底面に所定の間隔を介して対向する底壁部5bとを有する。それによって、上記側壁部5aと外装体4の側壁4aとの間には、外装体4の上下方向に沿う一対の排気路6が形成されている。
【0020】
図2に示すように、上記仕切壁体5の底壁部5bには取付け孔7が形成され、この取付け孔7にはカップ体8が設けられている。このカップ体8は、図2及び図4に示すように、上記取付け孔7に嵌合した周壁部8aと、この周壁部8aの上端に径方向内方に向かって所定の角度で傾斜した傾斜壁部8bとを有する。
【0021】
上記カップ体8内には回転テーブル9が配設されている。この回転テーブル9の下面に設けられた軸体11は外装体4の底部に形成された通孔部12から外部へ突出し、その突出端は駆動源13に連結されている。
【0022】
上記回転テーブル9の上面には、図4に示すように周方向に所定間隔で複数の保持部材14が設けられ、これら保持部材14によって基板としての半導体ウエハ15の周縁部が保持される。
【0023】
なお、処理槽3の排気路6が形成されていない一対の側壁部のうちの一方には、上記回転テーブル9に未処理の半導体ウエハ15を受け渡したり、処理された半導体ウエハ15を取り出すための出し入れ口20が形成されている。この出し入れ口20は図示しないシャッタによって開閉されるようになっている。
【0024】
上記外装体4の底部の、上記カップ体8の下端に対向する位置には、上記取付け孔7の周囲に沿って凹環状の集積部16が形成されている。この集積部16には上記排気路6の下端が連通している。つまり、集積部16はカップ体8の下端の全周に対応して形成されている。
【0025】
上記回転テーブル9に保持された半導体ウエハ15には図示しないノズルによって処理液が供給される。処理液によって半導体ウエハ15を処理する際、回転テーブル9は低速度で回転駆動される。
【0026】
半導体ウエハ15の処理液による処理が終了すると、回転テーブル9は高速度で回転駆動される。それによって、半導体ウエハ15に付着した処理液は遠心力で飛散してカップ体8の内周面に衝突し、その内周面から上記集積部16に滴下するようになっている。
【0027】
上記集積部16の最も低い部分には複数の排液管17が接続され、これら排液管17によって集積部16に滴下した処理液が適所に排出されるようになっている。
【0028】
図4に示すように、上記仕切壁体5の上端の開口にはフランジ18が設けられている。このフランジ18には図1、図2及び図4に示すようにクリーンユニット19が取付けられている。このクリンーユニット19は、スピン処理装置が設置されるクリーンルームの天井から吹き降ろすダウンフローを浄化して処理槽1内に導入するためのもので、具体的にはHEPAなどのフィルタによってクリーンルームの清浄空気をさらに浄化して処理槽3内に導入するようになっている。
【0029】
図3に示すように、上記一対の排気路6の上端にはそれぞれ排気ダクト21の下端が接続されている。この排気ダクト21は下端から上端にゆくにつれて幅寸法が徐々に狭幅に絞られていて、その上端には直管体22の下端が接続されている。
【0030】
各直管体22の上端には集合管体23の両端に形成された第1の接続部23aがそれぞれ接続されている。集合管体23の中途部には第2の接続部23bが形成され、この第2の接続部23bには排気ファン24又は工場の排気ダクト(図示せず)に連通している。
【0031】
それによって、上記クリーンユニット19から処理槽3内に供給された清浄空気は、上記カップ体8内から上記集積部16と底部壁5bとで挟まれた空間部、排気路6、排気ダクト21、直管体22及び集合管体23を通じて装置が設置されている工場や建物の排気に接続されたスクラバ等により処理されてから大気中に放散されるようになっている。
【0032】
なお、排液管17から排出された処理液は図示しない分解槽で無害な状態に分解処理されるようになっている。排液管17は、図4に示すように液溜め部17aを有する屈曲構造になっていて、処理槽1の内圧と、排気管17の内圧との差による排気管17内の雰囲気の吸引を防止している。
【0033】
つぎに、上記構成のスピン処理装置によって半導体ウエハ15を処理する場合について説明する。
【0034】
処理槽3の一側に形成された出し入れ口20を開放して回転テーブル9に未処理の半導体ウエハ15を供給したならば、この半導体ウエハ15に図示しないノズルから薬液や純水などの洗浄用の処理液を供給する。
【0035】
それと同時に駆動源13を作動させて回転テーブル9を数十r.p.mの低速度で回転させるとともに、排気ファン24を作動させてクリーンユニット19を通過した清浄空気をカップ体8内から集積部16及び排気路6を通じて排気する。それによって、上記半導体ウエハ15に処理液によって所定の処理を行うことができる。
【0036】
半導体ウエハ15を処理液によって処理したならば、回転テーブル9を数百~数千r.p.mの高速度で回転させる。それによって、半導体ウエハ15に付着した処理液が遠心力によって除去されるから、その半導体ウエハ15をクリーンユニット19からの清浄空気による流れで乾燥処理することができる。
【0037】
半導体ウエハ15を乾燥処理する際、この半導体ウエハ15から遠心力によって飛散した処理液はカップ体8の内周面に衝突して集積部16に滴下し、その集積部16に接続された排液管17を通じて排出される。
【0038】
一方、クリーンルーム内の清浄空気はクリ−ンユニット19でさらに清浄化されてカップ体8内に流入し、このカップ体8内に浮遊するミストを含んで集積部16及びこの集積部16に下端を連通させた一対の排気路6を通過して直管体22及び集合管体23を通じて排気ファン24又は工場排気ダクトを通じて処理される。
【0039】
なお、工場ダクトは酸、アルカリ排気のため、スクラバを通して液ミストを除去してから大気中に放出される。
【0040】
このように、処理槽3の底部に集積部16を形成する一方、処理槽3の対向する一対の側部に、下端が上記集積部16に連通する排気路6を形成したから、処理液は上記集積部16に集積して排液管17によって排出され、気体は排気路6、直管体22及び集合管体23を通じて排気ファン24又はダクトにより集められ、集中処理されることになる。
【0041】
すなわち、処理槽3の下方に比較的大きな設置スペースを必要とする気液分離器を設けることなく、カップ体8内から排出される処理液と気体とを分離して排出することができる。
【0042】
換言すれば、処理槽3の設置高さが制限されることで、処理槽3の下方に気液分離器を設置するための十分なスペースを確保できない場合であっても、処理槽3(カップ体8)から排出される処理液と気体とを分離して排出することができる。
【0043】
一対の排気路6は1つの集合管体23によって連通しているから、排気ファン24の吸引力又は工場ダクト内圧力による吸引力は上記集合管体23を介して一対の排気路6に均等に作用する。
【0044】
さらに、一対の排気路6は、処理槽3の対向する一対の側壁の幅方向ほぼ全長にわたって形成されており、その下端は集積部16に連通している。この集積部16はカップ体8の下端の全周に対応して形成されている。
【0045】
そのため、カップ体8内における排気ファン24の吸引力は、集合管体23、排気ダクト21及び集積部16を介してカップ体8の周方向に対してほぼ均一に作用するから、半導体ウエハ15の乾燥処理時にカップ体8内の気体を、その周方向全長からほぼ均一に排出することができる。
【0046】
カップ体8内における気体の流れが周方向全長にわたってほぼ均一になると、カップ体8内において気体の流れに乱れが生じ難くなる。つまり、カップ体8内で乱流が発生しにくくなる。
【0047】
そのため、半導体ウエハ15から飛散した処理液がカップ体8の内周面に衝突することでミストが発生しても、そのミストはカップ体8内の円滑な気流に乗って排出されるから、ミストがカップ体8内で浮遊し、半導体ウエハ15に再付着するのを防止できる。
【0048】
図5乃至図7はそれぞれこの発明の第2乃至第4の実施の形態を示す処理槽の変形例である。なお、図1乃至図4に示す第1の実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。
【0049】
図5に示す第2の実施の形態は、処理槽3Aの出し入れ口20が形成された一側壁(この側壁を第1の側壁とする)を除く三側壁に排気路6a,6b,6cが形成されている。上記第1の側壁の両端の側壁(この側壁を第2、第3の側壁とする)に形成された一対の排気路6b,6cの一端部は、上記第1の側壁と対向する側壁(この側壁を第4の側壁とする)に形成された排気路6aの両端部に連通している。
【0050】
上記排気路6b、6cは、第1の側壁から第4の側壁に向かって高さ寸法が次第に高くなるように形成されている。上記第4の側壁に形成された排気路6aは高さ方向上端部が下端部よりも断面積が大きい集合部31に形成されている。なお、下端部は他の排気路6b、6cとほぼ同じ断面積に形成されている。
【0051】
上記集合部31は山形状に形成されていて、その頂部には真直ぐな接続管32の下端が接続されている。この接続管32の上端には第1の実施の形態と同様、排気ファン24又は工場ダクト(図示せず)が連通している。
【0052】
なお、上記各排気路6a〜6cの下端は、上記第1の実施の形態と同様、処理槽の内底部に形成された集積部16(図示せず)に連通している。
【0053】
このような構成によれば、第1の実施の形態と同様、気液分離器を用いずに、集積部16と排気路6a〜6cとによって液体と気体を分離して排出することができるとともに、排気ファン24の吸引力を処理槽3の3つの側壁に沿って設けられた3つの排気路6a〜6cを通じてカップ体8内に作用させることができる。
【0054】
そのため、処理槽3の対向する一対の側壁に排気路6を設けた第1の実施の形態に比べ、3つの排気路6a〜6cによってカップ体8内の排気をより一層、均一に行うことが可能となる。
【0055】
また、処理槽3の底部と、天井に設置されることが多い工場ダクトとの高さの差を大きく取れるため、処理槽3Aの底部間での流路を多分岐しても、排気の均一化が可能であり、かつ処理槽Aの周辺のスペースを広くせずに組み込むことができる。
【0056】
第4の側壁に形成された排気路6aは、高さ方向上部が下部よりも大きな断面積の集合部31に形成されている。そのため、排気ファン24の吸引力によってカップ体8内から集積部16を通じて3つの側壁部6a〜6cに吸引される気体を、上記集合部31で円滑に合流させて排出することができる。
【0057】
図6はこの発明の第3の実施の形態で、この実施の形態は第1の実施の形態とほぼ同じであるが、処理槽3Bに形成されたカップ体8が収容される空間部33が円柱状であるという点で相違している。つまり、仕切壁体5Aの内周の断面形状を円形状とすることで、円柱状の上記空間部33が形成されている。
【0058】
図7はこの発明の第4の実施の形態で、この実施の形態は処理槽3Cの外装体4B及び仕切壁体5Bがほぼ円筒状をなしている。外装体4Bと仕切壁体5Bとの間には、出し入れ口20が形成された部分を除く周囲のほぼ全長にわたって排気路6Aが形成されている。
【0059】
上記排気路6Aの下端は外装体4Bの底部に形成された集積部16に連通し、上端には周方向の約180度の範囲にわたって排気ダクト21Aが接続されている。なお、排気路6Aの上端の排気ダクト21Aが接続された以外の部分は閉塞されている。この排気ダクト21Aは、平面形状が排気路6Aに対応する円弧状で、高さ寸法は両端部から中央部に行くにつれて高くなっている。つまり、排気ダクト21Aの上面は斜面になっている。
【0060】
上記排気ダクト21Aの上面の中央部には真直ぐな接続管32の下端が接続され、この接続管32の上端は第1の実施の形態と同様、排気ファン24又は工場ダクト(図示せず)に連通している。
【0061】
このように、処理槽3Cの形状を円柱状とすることで、第1の実施の形態に示された角柱状の場合に比べ、カップ体8の形状を小さくすることなく、処理槽3Cの外形状を小さくすることができる。つまり、カップ体8が収容された空間部に無駄な部分が生じるのを防止できるから、その分、スピン処理装置を小型化することができる。
【0062】
この第4の実施の形態において、排気ファン24の吸引力をカップ体8の周方向の全長にわたって均等に作用させるためには、排気路6Aが処理槽3Cの周方向のほぼ全長にわたって設けられることが望ましいが、上記排気路6Aは処理槽3Cの周方向に所定の長さ、例えば180度以上の範囲で設けるようにしてもよい。
【0063】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、集積部で処理液を集積し、この集積部に一端が連通した排気路を通じてカップ体内の気体を処理槽の上方に向かって排出するようにした。
【0064】
そのため、処理槽と別体に気液分離器を設けなくとも、カップ体内から排出される処理液と気体とを分離して排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態のスピン処理装置の全体構成を示す斜視図。
【図2】枠体を取り除いたスピン処理装置の斜視図。
【図3】処理槽の斜視図。
【図4】同じく縦断面図。
【図5】この発明の第2の実施の形態を示す処理槽の斜視図。
【図6】この発明の第3の実施の形態を示す処理槽の斜視図。
【図7】この発明の第4の実施の形態を示す処理槽の斜視図。
【符号の説明】
3…処理槽
9…回転テーブル
15…半導体ウエハ(基板)
16…集積部
17…排液管
Claims (2)
- 回転駆動される基板に処理液を供給して所定の処理を行うスピン処理装置において、
処理槽と、
この処理槽内に設けられ上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルと、
この回転テーブルの周囲を覆い上記基板の回転によってこの基板から飛散する上記処理液を内周面に衝突させて受けるカップ体と、
上記カップ体の下方となる部分の周方向全長に対応して設けられ上記カップ体の内周面に衝突しこの内周面から滴下する上記処理液を集積する集積部と、
この集積部に集積された処理液を排出する排液管と、
上記処理槽の少なくとも対向する一対の側部のほぼ全長にわたって設けられ一端が上記集積部に連通し他端が互いに連通していて、上記集積部を通じて上記カップ体内の気体を上記処理槽の上方に向かって排出する排気路と
を具備したことを特徴とするスピン処理装置。 - 上記排気路は、上記処理槽の3つの側部のほぼ全長にわたって設けられ、これら排気路の他端は連通していることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
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