JP4018232B2 - スピン処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は回転テ−ブルによって基板を回転させて処理するスピン処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば液晶表示装置の製造過程においては、ワ−クとしてのガラス製の基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスでは、上記基板の処理と洗浄とが繰り返し行われる。洗浄された基板を乾燥させたり、基板にレジストを均一に塗布するためには、上記基板を回転テ−ブルに保持し、この回転テ−ブルとともに回転させ、それによって生じる遠心力を利用する、スピン処理装置が用いられている。
【0003】
一般に、スピン処理装置は、図5に示すようにカップ1を有する。このカップ1は下カップ2aと上カップ2bとから構成されている。上記下カップ2aは上面が開放したお椀状に形成され、その底部中心部分には通孔3が形成され、上端縁には受けフランジ4が形成されている。
【0004】
上記上カップ2bは外周面が凸曲面をなしたリング状に形成されていて、その外周面には取付け部材5を介して連結フランジ6が設けられている。そして、上カップ2bはその連結フランジ6を上記受けフランジ4にパッキング7を介して接合させ、それらを複数の蝶ナット8で結合することで一体化されている。
【0005】
上記下カップ2aに形成された通孔3からそのカップ1の内部へはモ−タ9の駆動軸11が挿通されている。この駆動軸11の上端には回転テ−ブル12が取付けられている。この回転テ−ブル12の上面には支持ピン13および支持ピン13よりも径方向外方にガイドピン14がそれぞれ周方向に所定間隔で突設されている。上記支持ピン13は回転テ−ブル12の上面に供給される基板15の下面を支持し、上記ガイドピン14は上記基板15の外周面に係合してその基板15が回転テ−ブル12上で動くのを阻止している。
【0006】
上記下カップ2aの底壁には複数の排水口体17が設けられ、この排水口体17は図示しないタンクに配管接続されている。また、下カップ2aの周壁には、上カップ2bの下端よりも上部に周方向に所定間隔で複数の排気口体16が接続され、これらは図示しない排気ポンプに配管接続されている。
【0007】
このような構成のスピン処理装置によれば、上記基板15を乾燥させたり、基板15に図示しない供給ノズルから滴下されたレジストを均一に分布させる場合などには、上記モ−タ9に通電し、その駆動軸11に取付けられた回転テ−ブル12を回転させる。
【0008】
回転テ−ブル12を回転させて遠心力を発生させれば、その遠心力によって基板15の上面に付着した洗浄液を乾燥させたり、その上面に滴下させられたレジストを均一に分布せるなどのことができる。
【0009】
ところで、回転テ−ブル12を回転させると、その回転によって遠心力が発生するだけでなく、カップ1内には回転テ−ブル12の回転にともない空気の流れが生じることが避けられない。その空気流は図6に矢印Aで示すように回転テ−ブル12の外周面から排気口体16へ吸引される流れとなる。
【0010】
上記空気流Aが乱れのない状態であればよいのだが、その空気流Aは回転テ−ブル12の外周面から下方へ向かって流れ、上カップ2bの下端を通ったのち、上方へ向かって流れ方向を変えて排気口体16から流出するという、屈曲した経路となる。
【0011】
そのため、回転テ−ブル11の回転によって生じる空気流Aは、排気口体16へ円滑に流れずらいため、その空気流Aの一部は同図に矢印Bで示すような空気流となる。つまり、乱気流となる。乱気流Bの発生によって空気の一部が回転テ−ブ12上に保持された基板15の上面や下面に向かう流れとなるから、空気中に含まれた微粒子やミストが上記基板15の上面や下面に付着し、基板15を汚染するということがある。
【0012】
そこで、本件出願人は特開平7−66099号公報に示されるスピン処理装置を提案した。つまり、この先行技術は、図6に示すようにカップ体の内底部に整流板aが設けられている。この整流板aには導入口bが開口形成され、この導入口bよりも矢印Xで示す空気の流れ方向下流側にはほぼ45度の角度で屈曲されたガイド板cを固着する。それによって、回転テーブルの回転によって生じる空気流を矢印Yで示すように上記ガイド板cによって導入口bへ導入するようにしている。
【0013】
このような構成によれば、回転テーブルの回転によって生じる空気が上記ガイド板cにガイドされて上記導入口bに導入されるから、整流板aがない場合に比べてカップ内に生じる乱気流を抑制することができる。
【0014】
しかしながら、上記先行技術においては、回転テーブルの回転によって生じる空気流がガイド板cに衝突してその流れ方向が変換されて導入口bに導入される。そのため、空気流はガイド板cに衝突したときに、その一部が乱気流となって導入口bに円滑に導入されずに基板15の上面や下面に向かう空気流となることがあるから、それによって基板の汚染を招くということがある。
【0015】
また、洗浄された基板を乾燥処理する場合には、基板から洗浄液が滴下する。そのため、その洗浄液を円滑に排出処理することで、カップ内で発生する乱気流などによって上記洗浄液がミストとなって上記基板に再付着するのを防止する必要がある。
【0016】
しかしながら、上述した先行技術においては、整流板aの上面が水平面となっているばかりか、空気流Yが衝突するガイド板cを有するから、この上面に滴下した洗浄液が円滑に排出されず、カップ内で発生する乱気流によってミスト化したり、空気流Yに含まれる洗浄液がガイド板cに衝突してミスト化し、基板に付着するということがあった。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のスピン処理装置においては、回転テ−ブルを回転させることで発生する空気流の一部が乱気流となり、上記回転テ−ブルの上面に保持された基板に向かう流れとなるから、空気中に含まれた微粒子が上記基板に付着し易いということがあったり、基板から滴下した液体が円滑に排出されず、ミストとなって基板に付着するということがあった。
【0018】
この発明は、回転テ−ブルを回転させることで空気流が生じても、その空気流が基板に向かう乱気流となって、基板に微粒子が付着し易いということがないようにしたスピン処理装置を提供することにある。
この発明は、回転テーブルを回転させることで基板から滴下する液体を円滑に排出することができるようにしたスピン処理装置を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項1の発明は、基板を回転させることで、この基板に所定の処理を行うスピン処理装置において、
カップと、
このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動される駆動軸と、
この駆動軸に連結されて回転させられるとともに上面に上記基板が保持される回転テ−ブルと、
上記カップの底部に設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を排出する排出手段と、
上記カップの内底部に設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を整流して上記排出手段へ導く整流体とを具備し、
上記整流体は、上面が上記カップ内の空気の流れ方向に沿って漸次低く傾斜した傾斜面に形成されているとともに先端部に上記空気流を導入する導入口が開口形成された中空状をなし上記カップの周方向に沿って設けられた複数の風洞部およびこの風洞部内に導入された空気流を上記排出手段へ導く流通部とを有することを特徴とする。
【0020】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、上記カップの内底部の周辺部には、径方向外方から内方に向かって低く傾斜した傾斜面を有し、この傾斜面によって上記基板から滴下する液体を上記排出手段へ導くガイド部材が設けられていることを特徴とする。
【0021】
請求項1の発明によれば、回転テーブルの回転によってカップ内で発生する空気流は、整流体の風洞部の傾斜面に沿って円滑に流れ、周方向において隣り合う風洞部の除気傾斜面に沿う空気の流れ方向に向かって開口した導入口からその風洞部内に円滑に流入して排出されるから、衝突による乱気流の発生をくということがほとんどない。
【0022】
請求項2の発明によれば、カップの内底部に径方向外方から内方へ向かって低く傾斜した傾斜面を有するガイド部材を設けたことで、基板から滴下した液体は上記傾斜面に沿って円滑に排出されるため、カップ内の気流によってミストが発生するのを防止できる。
【0023】
【実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図1乃至図4を参照して説明する。図1に示すスピン処理装置は、たとえば液晶表示装置の基板や半導体ウエハなどの基板20を乾燥処理するためのもので、その装置はカップ21を備えている。このカップ21は下カップ22a、上カップ22bおよび内カップ22cから構成されている。下カップ22aは上面が開放したお椀状をなしていて、その上端縁にはシ−ルパッキング23が取着され、底壁中心部には径方向外方に向かって低く傾斜した円錐状の第1の傾斜面24aが形成されている。この第1の傾斜面24aの中心部(頂部)には通孔24が形成されている。
【0024】
上記通孔24には、モ−タ25の駆動軸26が挿通され、カップ21内に突出した上記駆動軸26の上端は回転テ−ブル27の下面に設けられた円盤状の連結部材28に連結されている。この連結部材28の下面周辺部には円周溝29が形成され、この円周溝29には上記通孔24の周縁部を形成する周壁24bの上端部が挿入されている。
【0025】
上記下カップ22aの底壁の上記通孔24の周辺部には遮蔽リング31が上記連結部材28の外周面を覆う状態で設けられている。それによって、基板20を後述するごとく乾燥処理する際にカップ1内に飛散する液体が上記通孔24を通ってモ−タ25を濡らすのを防止できるようになっている。
【0026】
上記回転テ−ブル27の上面には複数の支持ピン32と、その支持ピン32よりも径方向外方に位置する複数のガイドピン33とが周方向に所定間隔で突設されている。支持ピン32は回転テ−ブル27の上面に供給される上記基板20の下面を支持し、上記ガイドピン33は上記基板20の外周面に係合し、その基板20が回転テ−ブル27上でずれ動くのを阻止するようになっている。
【0027】
上記下カップ22aの内底部には整流体34が配設されている。この整流体34はリング状の基部35を有する。この基部35は、図4に示すように上部壁35a、内壁35b及び外壁35cを有し、それによって三方が囲まれているとともに下面が開放した流通部としての流通路36を形成している。
【0028】
上記上部壁35aには、それぞれ周方向にほぼ90度の範囲にわたる4つの中空状の風洞部37が設けられている。この風洞部37は、上面が上記回転テーブル27の回転方向に沿って漸次低く傾斜した傾斜面37aに形成されているとともに、その内部空間の高さ寸法も上記傾斜面37aに対応して漸次低くなっている。
【0029】
上記風洞部37の高さ寸法が最も高い先端面は導入口38がほぼ垂直に開口形成され、高さ寸法が最も低くなる後端部は上記基部35の上部壁35aに形成された流通部としての連通孔39を介して上記基部35内の流通路36に連通している。
【0030】
図1に示すように、上記下カップ22aの底部壁の上記連通孔39に対応する部位には排出口41が開口形成されている。つまり、下カップ22aには周方向に90度間隔で4つの排出口41が形成されている。各排出口41にはそれぞれ排出管42の一端がが接続されている。各排出管42の他端は気液分離タンク43を介して排出ポンプ44に連通している。
【0031】
したがって、上記カップ21内の雰囲気は上記排出ポンプ44の吸引力により、風洞部37から連通孔39を通って基部35の流通路36に導入され、ここから排出口41を通って上記排出管42へ排出されるようになっている。
【0032】
上記4つの風洞部37の内周側にはリング状のガイド部材45が設けられている。このガイド部材45の板面は径方向内方に向かって低く傾斜した第2の傾斜面45aに形成されている。つまり、第2の傾斜面45aは上記下カップ22aの第1の傾斜面24aと逆方向に傾斜している。
【0033】
上記第2の傾斜面45aの外形寸法は上記回転テーブル27の外径寸法よりも大きく設定されている。それによって、上記回転テーブル27に保持された基板20からの液体、例えば洗浄液は上記第2の傾斜面45aに滴下する。
【0034】
第2の傾斜面45aに滴下した洗浄液はその第2の傾斜面45aによって下カップ22aの内底面へ円滑にガイドされ、そこから図4に示すように上記基部35の内壁35bに周方向に所定間隔で形成された通孔46を通って流通路36へ流入するようになっている。
【0035】
図1に示すように、上記下カップ22aの上端部には上記上カップ22bが着脱自在に取着されている。この上カップ22bは上記回転テ−ブル27と対応する部分が開放したリング状をなしていて、その下端部には上記下カップ22aの上端縁に設けられたパッキング23の部分に液密かつ着脱自在に係合取着される係合部47が形成されている。
【0036】
上記内カップ22cは外周面が凸曲面に形成されたリング状をなしていて、その下端部は上記上カップ22bの内面周辺部に取着された断面クランク状の保持リング48に係合保持されている。つまり、上記内カップ22cは上記回転テ−ブル27の周辺部分を覆う状態で設けられている。
【0037】
つぎに、上記構成のスピン処理装置によって洗浄後の基板20を乾燥させる場合について説明する。回転テ−ブル27に洗浄液によって洗浄処理されて濡れた状態にある基板20が供給されると、モ−タ25に通電されて上記回転テ−ブル27が回転駆動される。それによって、基板20に付着した洗浄液に遠心力が作用し、その遠心力で洗浄液が飛散し、基板20が乾燥させられる。また、カップ21内には上記洗浄液を含む空気流が回転テーブル27の回転方向と同方向に発生する。
【0038】
上記空気流は上記カップ21内の整流体34の風洞部37の上面の傾斜面37aに沿って流れる。この傾斜面37aは回転テーブル27の回転方向に沿って漸次低く形成されているから、上記空気流は傾斜面37aに沿って円滑に流れる。
【0039】
整流体34には基部35の上面に周方向に沿って4つの風洞部37が形成されている。そのため、所定の風洞部37の傾斜面37aに沿って流れた空気流は、その所定の風洞部37の後端に隣接する他の風洞部37の導入口38からその内部空間27bへ流入する。
【0040】
上記導入口38は傾斜面37aの後端部にほぼ垂直に開口形成されているから、傾斜面37bに沿って流れる空気流は衝突などによる乱流となることなく、上記導入口38から上記風洞部37の内部空間へ円滑に流入し、連通孔39、流通路36および排気口41を経て排出管42へ排気される。
【0041】
そのため、カップ21内には、回転テーブル27に保持された基板20の上面と下面に向かう空気流が生じることがほとんどないから、空気流に含まれる塵埃が上記基板20に付着して基板20を汚染するのが防止される。
【0042】
回転テーブル27を回転させることで、上記基板20からは洗浄液が飛散する。洗浄液の一部は回転テーブル27の回転によって発生する空気流に含まれ、この空気流とともに整流体34の風洞部37の傾斜面37aに沿って流れ、その内部空間37bから基部35の流通路36を経て排出管42へ排出されることになる。
【0043】
また、基板20からの洗浄液の残りの一部は上記整流体34のガイド部材45の第2の傾斜面45aに滴下し、その第2の傾斜面45aから下カップ22aの第1の傾斜面24aを経て基部35の内壁35に形成された通孔46を通り、流通路36を経て排出口41から排出されることになる。
【0044】
このように、基板20から飛散する洗浄液の一部は、風洞部37の傾斜面37aにガイドされて円滑に排出され、残りの一部は上記ガイド部材45の第2の傾斜面45aにガイドされて円滑に排出される。そのため、洗浄液がカップ21内に滞留するのが低減されるから、回転テーブル27の回転によって後述するごとくカップ21内で発生する気流で洗浄液がミスト化し、基板20に付着するのを防止することができる。
【0045】
なお、この発明は上記一実施の形態に限定されず、その発明の要旨の範囲内で種々変形可能である。たとえば、上記一実施の形態では洗浄された基板を乾燥させる場合について説明したが、基板にレジストなどの処理液を均一に散布させる場合にも、この発明の装置を用いれば、その処理液に微粒子が付着するのを防止することができる。
【0046】
また、カップには、整流体の各風洞部の後端部に対応して排出口を形成したがが、風洞部の数と排出口の数は対応していなくてもよく、例えば2つの風洞部に対して1つの排出口を設けるようにしてもよい。さらに、風洞部の数も4つに限られず、3つあるいは5つ以上であっても差し支えない。
【0047】
【発明の効果】
請求項1の発明によれば、カップの内底部に、カップ内に生じる空気の流れ方向に沿って漸次低く傾斜した傾斜面を有するとともに、その先端部にカップ内に生じる空気流を導入する導入口が形成された複数の風洞部が上記カップの周方向に沿って設けられた整流体を配置するようにした。
【0048】
そのため、回転テーブルの回転によってカップ内で発生する空気流は、整流体の風洞部の傾斜面に沿って円滑に流れてその導入口から風洞部内に流入して排出されるから、空気流が整流体に衝突して乱気流の発生を招き、基板を汚染するのを防止することができる。
【0049】
請求項2の発明によれば、カップの内底部に径方向外方から内方へ向かって低く傾斜した傾斜面を有するガイド部材を設けるようにした。
そのため、基板から滴下した液体は上記傾斜面に沿って円滑に排出されるため、カップ内に液体が滞留し、その液体がカップ内の気流によってミストとなって基板に付着するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態を示す装置の縦断面図。
【図2】同じく整流体の斜視図。
【図3】同じく整流板の平面図。
【図4】同じく図3のZ−Z線に沿う整流体の断面図。
【図5】従来の装置の縦断面図。
【図6】従来の整流板の一部分の斜視図。
【符号の説明】
20…基板
21…カップ
25…モ−タ
26…駆動軸
27…回転テ−ブ
34…整流体
36…流通路(流通部)
37…風洞部
37a…傾斜面
39…流通孔(流通部)
42…排出管(排出手段)
45…ガイド部材
Claims (2)
- 基板を回転させることで、この基板に所定の処理を行うスピン処理装置において、
カップと、
このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動される駆動軸と、
この駆動軸に連結されて回転させられるとともに上面に上記基板が保持される回転テ−ブルと、
上記カップの底部に設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を排出する排出手段と、
上記カップの内底部に設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を整流して上記排出手段へ導く整流体とを具備し、
上記整流体は、上面が上記カップ内の空気の流れ方向に沿って漸次低く傾斜した傾斜面に形成されているとともに先端部に上記空気流を導入する導入口が開口形成された中空状をなし上記カップの周方向に沿って設けられた複数の風洞部およびこの風洞部内に導入された空気流を上記排出手段へ導く流通部とを有することを特徴とするスピン処理装置。 - 上記カップの内底部の周辺部には、径方向外方から内方に向かって低く傾斜した傾斜面を有し、この傾斜面によって上記基板から滴下する液体を上記排出手段へ導くガイド部材が設けられていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
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