KR101268773B1 - 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 - Google Patents

기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

장치 치수를 길게 하는 일 없이, 효율적으로 기판의 반송 속도를 도중에 변경할 수 있는 반송 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
직렬 배치된 2개의 반송 기구의 경계를 넘어 기판을 반송할 때에, 기판(90)이 이 경계 상을 이동하여 수도(受渡)되고 있는 수도 기간(시간 T15~시간 T16)을 포함한 시간대(시간 T11~시간 T12)에서, 2개의 반송 기구의 반송 속도를 정합시키면서 감속시키는 동기 제어를 행한다. 이 감속 과정에 있어서의 시간-속도의 관계를 S자 곡선으로 함으로써, 기판(90)에 가해지는 가속도의 급격한 변화를 방지할 수 있다. 또, 수도 기간을 감속 기간으로서 이용함으로써, 그 이전에 감속을 완료시키거나, 기판의 수도 후에 감속을 개시시키거나 하는 경우와 비교하여 반송이 효율적이 된다.

Description

기판 반송 장치 및 기판 처리 장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정용 표시 장치용 유리 기판, PDP용 유리 기판, 자기/광디스크용의 유리/세라믹 기판 등의 각종 피처리 기판(이하, 간단히 「기판」이라고 칭한다)를 반송하는 기술에 관한 것이다.
액정 표시 장치용 유리 기판의 제조 공정의 하나로, 노광 처리한 기판을 현상 처리하는 공정이 알려져 있다. 도 10은, 종래의 현상 장치(100)에 있어서의 기판(190)의 반송을 설명하기 위한 도면이다. 이 현상 장치(100)는, 서로 평행하게 배열된 복수의 반송 롤러(131, 141)에 의해, 기판(190)을 소정의 수평 방향(＋X방향)으로 반송하면서, 기판(190) 상에 현상액을 형성함으로써 현상 처리(패들 현상 처리)하는 기능을 가진다.
구체적으로는, 도 10(A)에 나타낸 바와 같이 종래의 현상 장치(100)에서는, 액층 형성실(130) 내에서 수평 자세로 고속 반송되는 기판(190) 상에 현상액을 액층 형성(液盛)하고, 그리고 액층 형성한 기판(190)을 액층 형성실(130)로부터 자세 변환실(140)까지 반송한 후, 자세 변환실(140) 내에서 일단 기판(190)의 반송을 정 지시킨다. 그리고, 자세 변환실(140) 내에서 기판(190)의 자세가 수평 자세에서 경사 자세로 변환되어(도시하지 않음), 기판(190) 상의 현상액이 제거된다. 또한, 이러한 현상 장치(100)는, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시되어 있다.
현상 장치(100)에 있어서, 처리 진행실 내의 복수의 반송 롤러(131)와, 자세 변환실 내의 복수의 반송 롤러(141)는, 각각 구동원인 모터(132, 142)를 구비하고, 모터(132, 142)는 각각 독립적으로 제어된다. 이것에 의해, 자세 변환실(140)에서의 처리 시간에 율속되는 일 없이, 외부로부터 액층 형성실(130)로 기판(190)을 효율적으로 반입할 수 있기 때문에 현상 장치(100)의 스루풋이 향상된다.
이와 같이 각각 독립적으로 제어된 반송 롤러(131, 141) 사이에서, 기판(190)의 수도를 행할 때에는, 예를 들면 특허 문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 각 반송 롤러(131, 141) 사이에서 기판(190)의 반송 속도를 일치시킬 필요가 있다. 그래서, 반송 롤러(131, 141)의 반송 속도를 일치시키기 위해, 일정 속도로 기판(190)을 이동시키는(수도하는) 동작이 이루어진다.
도 10(B) 및 도 10(C)의 각각은, 현상 장치(100)에 있어서의 기판(190)의 전방단의 위치와 그 때의 기판(90)의 반송 속도의 관계를 나타내는 도면이다. 또한, (B) 및 (C)의 가로축(위치)은, (A)에 나타낸 현상 장치(100)의 반송 방향의 각 위치와 일치하고 있으며, 도 10 중, 굵은 점선으로 나타내는 위치 L100은, 액층 형성실(130)과 자세 변환실(140) 사이의 중심 위치를 나타내고 있다.
예를 들면 (B)에 나타낸 바와 같이, 액층 형성실(130) 내에서 기판(190)의 반송 속도를 고속(속도 V101)에서 저속도(속도 V102)로 변경한 후, 일정한 저속도 로 구동되는 자세 변환실(140)의 반송 롤러(141)에 기판(190)을 이동시킨다는 반송 동작이 행해진다. 혹은, (C)에 나타낸 바와 같이, 액층 형성실(130)로부터 자세 변환실(140)까지, 일정한 고속(속도 V101a)으로 반송 롤러(131, 141) 사이에서 기판을 수도한 후, 자세 변환실(140)에서 반송 속도를 고속(속도 V101a)에서 저속(속도 V102a)으로 변경한다. 이와 같이 반송 롤러(131, 141)의 동작을 제어함으로써, 기판(190)을 수도할 때의 반송 속도를 용이하게 일치시킬 수 있다.
[특허 문헌 1 : 일본 공개 특허 공보 2005－197325호]
[특허 문헌 2 : 일본 공개 특허 공보 평6－239440호]
그런데, 도 10(B)에 나타낸 예에서는, 액층 형성실(130)이나 자세 변환실(140) 내에 있어서, 저속도(속도 V102)에서의 기판 반송 시간(현상 처리를 위한 시간이 포함된다.)이 필요 이상으로 길어지기 때문에 현상 장치(100)의 스루풋이 저하되어 버린다는 문제가 있었다. 한편, 도 10(C)에 나타낸 예에서는, 기판(90)의 고속(속도 V101a) 이동하는 영역이 비교적 길어져, 저속(속도 V102a)으로 이행할 때까지의 시간이 짧아지기 때문에 현상의 처리 시간을 확보할 필요가 있다. 이 점은, 기판(190)의 반송 거리를 길게 함으로써 해소할 수 있지만, 현상 장치(100)의 장치 치수가 길어진다는 문제가 있었다.
또한 최근 액정 표시기의 대형화에 수반되어 처리하는 기판 사이즈도 커지고 있다. 그 때문에, 기판(190) 상에 형성되는 현상액의 액량도 다량이 되기 때문에 기판(190)의 속도 변화(예를 들면, 고속에서 저속으로의 감속)에 의해 현상액에 작용하는 관성력의 영향도 커지고 있다. 그래서, 기판(190)의 반송 속도를 보다 완만하게 변화시키기 위해, 기판(190)의 반송 거리도 길어지고, 장치 치수가 길어지는 경향이 있다.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 장치 치수를 길게 하는 일 없이, 또한 효율적으로 기판의 반송 속도를 도중에 변경할 수 있는 반송 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 1의 발명은, 기판을 컨베이어 반송하면서 기판의 반송 속도를 변경하는 기판 반송 장치로서, 기판을 소정의 방향으로 컨베이어 반송하는 제1 컨베이어와, 상기 제1 컨베이어에 대해서 상기 소정의 방향으로 직렬 배치되어, 기판을 컨베이어 반송하는 제2 컨베이어와, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 각각 독립적으로 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 제1 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 전방단이 상기 제2 컨베이어에 도달한 때부터 당해 기판의 후방단이 상기 제1 컨베이어를 이간할 때까지의 기판의 수도 기간의 적어도 일부를 포함한 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 제1 속도에서 제2 속도로 시계열적으로 변화시킴과 함께, 적어도 상기 수도 기간에 있어서, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 동기 제어를 행하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명과 관련된 기판 반송 장치로서, 상기 제어 수단은, 상기 수도 기간을 포함하는 상기 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선을 가지도록 상기 제1 속도에서 상기 제2 속도로 변화시키는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 3의 발명은, 청구항 2의 발명과 관련된 기판 반송 장치로서, 상기 제어 수단은, 상기 제1 속도와 상기 제2 속도 사이의 속도를 중간 속도로 했을 때, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 속도에서 상기 중간 속도까지 시간-속도의 관계가 제1의 대략 S자 곡선이 되도록 변화시키고, 상기 수 도 기간의 개시 시점보다도 빠른 시점에서 시작되는 소정의 시간 동안에, 상기 중간 속도로 한 후, 상기 중간 속도에서 상기 제2 속도까지 시간-속도의 관계가 제2의 대략 S자 곡선이 되도록 변화시킴과 함께, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 적어도 상기 소정의 시간 동안에 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 4의 발명은, 그 상면에 처리액이 형성된 기판을 반송하면서 처리하는 기판 처리 장치로서, 기판의 상면에 처리액을 액층 형성하는 액층 형성 수단과, 상기 액층 형성 수단에 의해 액층 형성된 기판을 수평 반송하는 기판 반송 장치를 구비하고, 상기 기판 반송 장치는, 기판을 소정의 방향으로 컨베이어 반송하는 제1 컨베이어와, 상기 제1 컨베이어에 대해서 상기 소정의 방향으로 직렬 배치되어, 기판을 컨베이어 반송하는 제2 컨베이어와, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 각각 독립적으로 제어하는 제어 수단을 포함하고, 상기 제어 수단은, 상기 제1 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 전방단이 상기 제2 컨베이어에 도달한 때부터 당해 기판의 후방단이 상기 제1 컨베이어를 이간할 때까지의 기판의 수도 기간의 적어도 일부를 포함한 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 제1 속도에서 제2 속도로 시계열적으로 변화시킴과 함께, 적어도 상기 수도 기간에 있어서, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 동기 제어를 행하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 5의 발명은, 청구항 4의 발명과 관련된 기판 처리 장치로서, 상 기 제2 컨베이어 상에서 정지시킨 기판의 자세를 경사 자세로 변경하는 자세 변경 수단을 더 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 제2 컨베이어에 의해 반송되는 기판을, 상기 자세 변경 수단에 의해 상기 기판의 자세를 변경할 때에 일단 정지시키는 것을 특징으로 한다.
청구항 1 내지 5의 발명에 의하면, 제1 컨베이어와 제2 컨베이어의 경계를 기판이 이동하여 양 컨베이어 사이에서 기판이 수도되는 수도 기간을 이용하여 반송 속도의 변경을 행함으로써, 기판 처리 장치의 반송 경로를 길게 하는 일 없이, 효율적인 반송을 행할 수 있다.
청구항 2의 발명에 의하면, S자 곡선을 따른 속도 조정을 행함으로써, 반송물에 급격한 관성력이 작용하는 것을 방지할 수 있다. 이것에 의해, 기판의 파손이나 위치 엇갈림 등을 방지할 수 있다.
청구항 3의 발명에 의하면, 제1 컨베이어의 반송 속도가 일정한 중간 속도에 있는 상태에서, 제2 컨베이어의 반송 속도를 동기시킴으로써, 반송 속도의 동기를 정밀도 좋게 실시할 수 있다.
청구항 5의 발명에 의하면, 기판 상에 형성된 처리액을 효율적으로 폐기할 수 있다.
이하, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대해, 첨부한 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
<1. 제1 실시 형태>
<1. 1. 구성 및 기능>
도 1은, 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)를 나타내는 개략 측면도이다.
또한, 도 1에 있어서, 도시 및 설명의 형편상, Z축 방향이 연직 방향을 나타내고, XY평면이 수평면을 나타내는 것으로서 정의하지만, 그들은 위치 관계를 파악하기 위해 편의상 정의하는 것이며, 이하에 설명하는 각 방향을 한정하는 것은 아니다. 이하의 각 도면에 대해서도 마찬가지이다.
현상 장치(1)는, 주로 액층 형성부(3), 자세 변환부(4) 및 제어부(8)로 구성되며, 각형의 기판(90)을 수평 반송하면서, 현상 처리를 행하는 기판 처리 장치로서 기능한다. 또한, 처리하는 기판(90)은 각형에 한정되는 것은 아니며, 원형(타원형도 포함한다.)이나 사각형 이외의 다각형형의 기판에 대해서도 처리 대상으로 할 수 있다.
[액층 형성부(3)]
액층 형성부(3)는, 주로 복수의 반송 롤러(31), 모터(32), 현상액 공급 노즐(33) 및 기판 검출 센서(34)(34a, 34b, 34c)를 구비한다. 또한, 이러한 구성은, 기판(90)의 반입구와 반출구를 가지는 챔버(도시하지 않음) 내에 설치된다.
반송 롤러(31)는, 기판(90)의 반송 방향(＋X방향)과 수직으로 교차되는 방향(Y방향)으로 길이 방향을 가지고, 축으로 연결되는 복수(본 실시 형태에서는 4개)의 원반 형상을 한 기판 지지부(311)(도 2에 나타내는, 자세 변환부(4)의 기판 지지 부재(411)와 동일한 것)를 가진다. 액층 형성부(3)에서는, 이러한 구성을 가지는 복수(도 1에서는 5개)의 반송 롤러(31)가 반송 방향을 따라 병렬적으로 배치된다. 모터(32)는, 이들 반송 롤러(31)의 각각의 축에 접속되어 있으며, 모터(32)를 구동함으로써 그 동력이 축으로 전달되어 반송 롤러(31)를 소정의 방향으로 회전시킨다. 이것에 의해, 반송 롤러(31)의 기판 지지부의 상단에서 지지된 기판(90)이 소정 방향으로 컨베이어 반송된다. 또한, 모터(32)의 제어는, 후술하는 제어부(8)로부터 보내지는 구동 신호(펄스 제어 신호)에 기초하여 행해진다.
현상액 공급 노즐(33)은, 반송 롤러(31)의 상방이며, 또한 액층 형성부(3)의 반송 방향 상류측의 소정 위치에 설치되어, 반송되고 있는 기판(90)의 상면에 소정의 처리액(현상액)을 공급함으로써, 기판(90)의 상면에 현상액을 액층 형성한다. 현상액 공급 노즐(33)은, 공급관(331)을 통하여 현상액이 저류되는 현상액 탱크(도시하지 않음)에 접속되어 있으며, 당해 현상액 탱크로부터 현상액이 공급된다. 또한, 이 현상액 탱크로부터의 현상액의 공급은, 후술하는 제어부(8)에 의해 제어된다.
기판 검출 센서(34)는, 접촉식 진자 센서이다. 이 접촉식 진자 센서의 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략하지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들면 일본 공개 특허 공보 평11－314072호에 개시된 진자 센서를 적용할 수 있다. 또한 기판 검출 센서(34)는, 접촉형의 센서에 한정되는 것은 아니며, 비접촉형의 센서(예를 들면 광학식의 센서)여도 된다.
기판 검출 센서(34a)는, 반송되는 기판(90)의 전방단이 액층 형성부(3)의 반 입구 부근의 위치에 도달한 것을 검출한다. 또, 기판 검출 센서(34b, 34c)는, 반송되는 기판(90)의 전방단이 반출구 부근의 소정의 위치에 도달한 것을 각각 검출한다. 또한, 이들 센서에 의한 기판(90)의 검출 정보는 제어부(8)에 전달된다. 그리고 제어부(8)에 의해, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도나, 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 공급량 등이 제어된다.
[자세 변환부(4)]
자세 변환부(4)는, 주로 복수의 반송 롤러(41), 모터(42), 롤러 경사부(43) 및 기판 검출 센서(44)(44a, 44b)를 구비한다.
반송 롤러(41)는, 액층 형성부(3)에 있어서의 반송 롤러(31)와 동일한 형상을 가지고 있으며, 원반 형상의 기판 지지 부재(411)에서 기판(90)을 하방으로부터 지지한다. 그리고, 자세 변환부(4)에 있어서도, 이러한 반송 롤러(41)가 반송 방향을 따라 병렬적으로 배치되어 기판(90)을 반송 방향으로 컨베이어 반송한다. 즉, 반송 롤러 41군은, 반송 방향에 있어서, 반송 롤러 31군에 인접하도록 직렬 배치된다. 이것에 의해, 반송 롤러 31군과 반송 롤러 41군으로 기판(90)의 반송 경로가 형성된다.
모터(42)는, 이들 반송 롤러(41)의 각각의 축에 접속되어 있으며, 모터(42)를 구동함으로써 그 동력이 축으로 전달되어 반송 롤러(41)를 소정의 방향으로 회전시킨다. 이것에 의해, 기판 지지 부재(411)의 상단에서 지지된 기판(90)이, 도 1중, (＋X)방향으로 반송된다. 또한, 이 모터(42)의 제어는, 후술하는 제어부(8)로부터 보내지는 구동 신호(펄스 제어 신호)에 기초하여 행해진다.
다음으로, 자세 변환부(4)에 의한 기판(90)의 자세 변환 기구에 대해, 도 2 및 도 3을 참조하면서 설명한다.
도 2는, 반송 롤러(41)를 경사시킨 상태를 반송 방향 하류측에서 보았을 때의 도면이다. 또 도 3은, 반송 롤러(41)를 경사시킨 상태의 현상 장치(1)를 나타내는 개략 측면도이다.
롤러 경사부(43)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 롤러(41)의 축을 회전 가능하게 하면서, 당해 축을 좌우에서 지지하는 롤러축 지지부(412)의 하방에 설치되어 있으며, 편측으로 기울어진 위치(본 실시 형태에서는 (＋Y)측)에 있어서 롤러축 지지부(412)를 하방으로부터 지지한다. 롤러 경사부(43)는, 상세한 것을 생략하지만, 공압식 실린더를 구비하고 있으며, 아암(431)을 상방향(도 2 중, 화살표로 나타내는 방향)으로 신장시킴으로써, 반송 롤러(41)를 수평면에 대해 경사시킨다(도 3 참조). 이것에 의해, 반송 롤러(41) 상에서 정지된 기판(90)의 자세가 수평 자세에서 경사 자세로 변경되어, 기판(90) 상면에 액층 형성된 현상액을 유출시켜 폐기(제거)할 수 있다. 또한, 롤러 경사부(43)의 동작은 제어부(8)에 의해 제어된다.
기판 검출 센서(44)(44a, 44b)는, 액층 형성부(3)에 있어서의 기판 검출 센서(34)와 마찬가지로, 반송되는 기판(90)의 전방단이 소정의 위치를 통과한 것을 검출하고, 그 검출 정보를 제어부(8)에 전달하는 접촉식의 진자 센서이다. 물론 기판 검출 센서(44)에 대해서도 비접촉식 센서여도 된다. 또한, 제어부(8)는, 이러한 기판(90)의 검출 정보에 기초하여, 반송 롤러(41)에 의한 기판(90)의 반송 속도나 롤러 경사부(43)의 아암(431)의 신축 동작 등을 제어한다.
[제어부(8)]
도 4는, 제어부(8)와 현상 장치(1)의 각 부의 접속을 나타내는 블럭도이다. 제어부(8)는, 전기적 배선에 의해, 주로 모터(32, 42), 현상액 공급 노즐(33)(구체적으로는, 도시하지 않은 현상액 탱크의 펌프), 롤러 경사부(43) 및 기판 검출 센서(34, 44)에 접속되어 있다. 제어부(8)는, 모터(32, 42)를 구동 제어하는 모터 제어부(81), 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 공급량을 제어하는 노즐 제어부(82) 및 롤러 경사부(43)를 제어하는 롤러 경사 제어부(83)를 주로 구비하고 있다. 제어부(8)는, 기판 검출 센서(34, 44)로부터 송신되는 기판(90)의 검출 정보에 기초하여, 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 토출, 반송 롤러(31, 41)에 의한 기판(90)의 반송 속도 및 반송 롤러(41)의 경사 동작을 제어한다.
또한, 모터 제어부(81)는, 모터(32, 42)의 구동을 각각 독립적으로 제어하는 것 외에, 모터(42)의 구동을 모터(32)의 구동에 맞춰 제어하는 동기 제어도 행할 수 있다. 여기에서는 상세한 것을 생략하지만, 예를 들면 특허 문헌 2에 개시되어 있는 동기 제어에 대한 기구를 본 실시 형태의 제어부(8)에 적용하는 것이 가능하다.
이상이 현상 장치(1)의 구성 및 기능에 대한 설명이다. 다음으로 현상 장치(1)의 동작에 대해 설명한다.
<1. 2. 동작>
도 5는, 현상 장치(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 5(A)는 도 1과 동일하며, 도 5(B)는, 현상 장치(1)에 있어서의 기판(90)의 전방단의 위치와 그 때의 기판(90)의 반송 속도의 관계를 나타내는 도면이다. 또한, 이하에 있어서, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도는, 실제로 기판(90)을 반송하고 있을 때의 당해 기판(90)의 진행 속도를 의미하는 것 외에, 기판(90)을 반송하고 있지 않을(즉, 기판(90)을 싣고 있지 않은 상태에서 반송 롤러(31, 41)가 회전하고 있을) 때에 대해서도, 기판(90)을 반송하고 있다고 가정한 경우의 당해 기판(90)의 진행 속도(실제로는, 반송 롤러(31, 41)의 회전 속도 등으로부터 산출되는 값)를 포함하고 있는 것으로 한다.
우선, 도시하지 않은 외부로부터 액층 형성부(3)에 기판(90)이 반입되어 오면, 우선, 위치 L1에서 기판 검출 센서(34a)가 기판(90)의 진입을 검출하고 제어부(8)에 당해 검출 정보를 전달한다. 이 검출 정보를 수신한 제어부(8)는, 모터(32)를 구동함으로써, 반송 롤러(31)의 회전 구동을 개시한다.
또한 이것과 동시기에(혹은, 약간 지연되어), 제어부(8)의 제어에 의해, 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 공급이 개시되어 기판(90)의 상면에 현상액의 액층이 형성된다. 또한, 이 때의 기판(90)의 반송 속도를 속도 V1로 한다. 이 속도 V1은, 고속이지만 액층의 형성이 가능한 속도가 된다.
다음에, 기판(90)의 전방단이 위치 L2에 도달하면, 위치 L2에 배치된 기판 검출 센서(34b)에 의해 기판(90)이 검출되고 검출 정보가 제어부(8)에 전달된다. 이것에 의해, 제어부(8)는, 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 공급을 정지시킨다.
[감속 제어]
또한 기판(90)의 전방단이 위치 L3에 도달하면, 기판 검출 센서(34c)에 의해 기판(90)이 검출되고 검출 정보가 제어부(8)에 전달된다. 이것에 의해, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도가 고속(속도 V1)에서 저속(속도 V2)으로 감속하도록 모터(32)의 감속 제어를 개시한다. 보다 구체적으로는, 도 4(B)에 나타낸 바와 같이, 기판(90)의 반송 속도를, 감속 개시시와 감속 종료시에 있어서의 속도 변화가 완만해지도록 감속시킨다. 이 감속 제어에 대해, 도 6을 참조하면서 더 설명한다.
도 6은, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. 여기서, 도6(A)는 반송 롤러(31)에, 도 6(B)는 반송 롤러(41)에 대응하는 타임 차트이다. 또한, 도 6(A)와 도 6(B)의 가로축의 시간은 상하의 각각의 위치에서 일치한다.
상기 서술한 기판(90)이 위치 L3(도 5 참조)에 도달하는 시간은, 도 6(A)에서는, 시간 T11에 상당한다. 즉, 시간 T11에 있어서, 제어부(8)에 의해, 상기 서술한 반송 롤러(31)의 감속 제어가 개시된다. 보다 구체적으로는, 도 6(A)에 나타낸 바와 같이, 기간 P11(시간 T11~시간 T12)에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선(감속 개시시와 감속 종료시의 속도 변화가 완만한 곡선)이 되도록 시계열적으로 변화시킨다. 그리고 시간 T12에서 당해 감속 제어가 종료되고, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도가 속도 V2가 된다.
보다 상세하게는, 「시간-속도」의 관계에 있어서의 미분 계수는 가속도를 나타내므로, 감속 과정에 있어서의 「시간-속도의 관계가 S자 곡선이다」라는 것은, 음의 가속도의 절대값이 순조롭게 커져(즉 감속율이 순조롭게 커져) 가고, 그 후에 음의 가속도의 절대값이 감소로 변하여, 감속율이 순조롭게 작아져 가는 것에 대응한다. 다만 완전한 곡선은 아니며, 꺾인 선 패턴에 의해 근사적으로 S자 곡선을 실현해도 된다.
또한, 속도 V2는, 반송 시간과의 관계에서 현상 처리가 충분히 진행되는 정도의 속도가 된다. 또, 속도 V1, V2의 값은, 현상 장치(1)에 있어서의 기판(90)의 반송 거리에 따라 적절히 결정된다.
또, 본 실시 형태에 있어서의 제어부(8)의 감속 제어 기구에 대해서는, 상세한 것을 생략하지만, 예를 들면 일본 공개 특허 공보 2001－127492호에 개시하는 제어 기구를 적용하는 것이 가능하다.
이상과 같이 반송 롤러(31)의 반송 속도를 감속 제어함으로써, 반송 속도를 변화시켰을 때에, 기판(90) 및 기판(90) 상의 현상액에 대해서 관성력이 급격하게 작용하는 것을 방지할 수 있기 때문에 기판(90)에 형성된 액층을 적절히 유지할 수 있다. 이것에 의해, 현상 불균일의 발생을 억제할 수 있다. 또, 기판(90)의 파손도 방지할 수 있다.
다음에, 제어부(8)는, 기판(90)의 전방단이 반송 방향 최상류측의 반송 롤러(41)의 상단에 도달하기 전에, 모터(42)를 구동함으로써, 반송 롤러(41)를 회전 구동시킨다. 이 때의 반송 롤러(41)의 회전 속도는, 반송 롤러(31)의 회전 속도와 동일해지도록 제어(동기 제어)된다. 다음으로, 이 반송 롤러(31, 41) 사이의 기 판(90)의 수도 시에 있어서의, 반송 속도의 동기 제어에 대해 도 6을 참조하면서 설명한다.
[동기 제어]
도 6(B)에 나타낸 바와 같이, 시간 T13(시간 T11과 시간 T12 사이의 시간)에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(41)의 반송 속도를, 속도 V4를 향해 가속을 개시한다. 이 속도 V4는, 속도 V1(고속도)과 속도 V2(저속도) 사이의 중간 속도이며, 반송 롤러(31, 41)를 동기시킬 때의 목표값(동기 개시 속도)이다. 속도 V4의 값은, 미리 오퍼레이터에 의해 설정되어 있어도 되지만, 예를 들면 상황에 맞춰 제어부(8)에 의해 자동적으로 설정되도록 해도 된다.
또한, 기판(90)이 반송 롤러(41)에 도달하는 시간 T15까지, 반송 롤러(41)의 반송 속도가 속도 V4에 도달하면, 반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V4가 될 때까지 그 속도로 유지된다. 그리고, 시간 T14에 있어서 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도가 속도 V4가 되면(일치하면), 제어부(8)는, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도가 대략 동일하(정합하)도록 모터(32, 42)를 동기 제어한다.
동기 제어가 개시되는 시간 T14가 경과하면, 시간 T15(시간 T14와 시간 T12의 사이)에서는, 기판(90)의 전방단이 반송 방향 최상류에 있는 반송 롤러(41)의 상단에 도달한다. 그 후, 시간 T16에 있어서, 기판(90)의 후방단이 반송 방향 최하류의 반송 롤러(31)의 상단으로부터 이간한다. 따라서, 시간 T15~시간 T16의 기간이, 기판(90)을 2세트의 반송 롤러(31, 41)의 사이에서의 기판(90)의 수도 기간이 된다.
그리고 시간 T17에 있어서, 제어부(8)에 의한 반송 롤러(31, 41)를 동기시키는 제어가 종료되고, 반송 롤러(41)는 속도 V2로 구동되는 한편, 반송 롤러(31)의 회전 구동은 정지된다.
즉, 도 6에 나타내는 기간 P12에서는, 제어부(8)에 의해 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도는, 사선 영역에서 나타낸 바와 같이 정합하고 있다. 그리고 이 기간 P12에는, 기판(90)의 전방단이 반송 롤러(41)에 도달하는 시간 T15 및 기판(90)의 후방단이 반송 롤러(31)로부터 이간하는 시간 T17이 포함된다. 따라서, 액층 형성부(3)와 자세 변환부(4) 사이에서 기판(90)을 이동시킬 때에, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도가 정합하고 있기 때문에 원활하게 기판(90)을 수도할 수 있다.
이상이 반송 롤러(31, 41) 사이의 기판(90)의 수도 시에 있어서의, 반송 속도의 동기 제어에 대한 설명이다.
[자세 변환 동작]
다시 도 5로 되돌아와, 기판(90)의 전방단이 속도 V2의 저속 상태에서 위치 L5에 도달하면, 제어부(8)는 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V2보다도 작은 값으로 감속한다. 그리고 기판(90)의 전방단이 위치 L6에 도달하면, 제어부(8)는, 반송 롤러(41)에 의한 기판(90)의 반송을 정지시킨다. 또한 제어부(8)는, 롤러 경사부(43)를 구동함으로써, 반송 롤러(41)를 경사시켜, 기판(90)에 형성된 현상액의 제거를 행한다(도 2 또는 도 3 참조). 이러한 자세 변환부(4)의 동작은, 도 6에 있어서의 시간 T18~시간 T19에 걸쳐 행해진다.
다음에, 제어부(8)는 모터(42)를 구동함으로써, 위치 L6에서 정지하고 있는 기판(90)을, 자세 변환부(4)로부터 경사 자세인 채로 속도 V3로 배출시킨다. 또한, 현상 장치(1)는, 도시하지 않은 세척 기구에 접속되어 있으며, 배출된 기판(90)은, 당해 세척 기구에서 적절히 세정되어 여분의 현상액이 제거된다.
이상이 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)의 동작에 대한 설명이다.
<1. 3. 효과>
본 실시 형태에 의하면, 현상액을 기판(90) 상에 공급하는 액층 형성부(3)의 반송 롤러(31)와, 현상 처리를 행하기 위한 자세 변환부(4)의 반송 롤러(41)를, 각각 독립적으로 제어함으로써, 각각의 처리에 적합한 반송 속도로 기판(90)을 반송할 수 있기 때문에 현상 장치(1)의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 반송 롤러(31)와 반송 롤러(41)의 속도를 정합시키면서, 그들 2세트의 롤러 사이에서 기판(90)의 수도 기간(시간 T15~시간 T16)의 적어도 일부(여기 예에서는, 그 일부인 시간 T15~시간 T12)를 포함한 기간 P11(시간 T11~시간 T12)에 있어서 반송 속도의 감속 제어를 행함으로써, 기판(90)의 반송 거리를 길게 하는 일 없이 현상 처리를 위한 시간을 확보할 수 있다.
<2. 제2 실시 형태>
제1 실시 형태에서는, 액층 형성부(3)로부터 자세 변환부(4)로의 기판(90)의 수도를 행할 때의 기판(90)의 반송 속도를 시계열적으로 1개의 S자 곡선을 그리도록 변화시킴으로써 실현했다. 그러나, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 리얼 타임으로 변화하는 반송 롤러(31)의 반송 속도에 정합시키는 제어는, 근사적으로는 실시 가능하다. 그러나, 기판의 전방단이 2세트의 반송 롤러(31, 41)의 경계를 넘을 때에, 쌍방의 반송 롤러(31, 41)의 속도 뿐만이 아니라, 가속도도 유한한 값(제로가 아닌 값)으로 하면서, 그들 2세트의 반송 롤러(31, 41) 사이에서 정합시킬 필요가 있기 때문에, 그 동기 제어의 정밀도에는 한계가 있다.
그래서, 제2 실시 형태에서는, 이 동기시키는 제어를 정밀도 좋게 실시하는 방법에 대해 설명한다. 또한, 본 실시 형태의 현상 장치(1)의 구체적 구성은, 제1 실시 형태의 것과 거의 동일하기 때문에, 중복되는 부분에 대해서는 설명을 생략하고 주로 다른 점에 대해 설명한다. 또, 이하의 각 실시 형태에 있어서도 동일하게 한다.
<2. 1. 동작>
도 7은, 제2 실시 형태에 있어서의 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. 여기서, 도 7(A)은 반송 롤러(31)에, 도 7(B)은 반송 롤러(41)에 대응하는 타임 차트이다.
여기서, 도 7(A)에 나타낸 기간 P20(시간 T21~시간 T24)은, 제1 실시 형태에 있어서의, 도 6(A)에 나타낸 기간 P11에 대응한다. 그리고, 제1 실시 형태에서는, 기간 P11에 있어서 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도를 시계열적으로 1개의 S자 곡선을 그리도록 변화(감속)시키고 있었지만, 본 실시 형태에서는, 기간 P20에 있어서, 소정의 시간 동안에, 속도 V1과 속도 V2 사이의 속도 V5(중간 속도)로 기판(90)을 반송하는 정속 상태의 기간 P22(시간 T22~시간 T23)이 형성된다.
우선, 시간 T21(시간 T21~시간 T22)에 있어서, 기판(90)의 전방단이 위치 L3에 도달하면(도 5 참조), 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 속도 V1에서 속도 V5로 감속시키는 감속 제어를 행한다. 보다 구체적으로는, 도 7(A)에 나타낸 바와 같이, 기간 P21에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선이 되도록 속도 V1에서 속도 V5로 변화(감속)시킨다. 그리고 소정의 시간 동안에(기간 P22의 동안), 기판(90)을 속도 V5로 유지한 상태로 반송한다.
그리고 소정의 시간(기간 P22)이 경과하면, 다시 제어부(8)에 의해, 반송 롤러(31)의 반송 속도가 V4에서 속도 V2를 향해 감속 제어된다. 보다 구체적으로는, 도 7(A)에 나타낸 바와 같이, 기간 P23(시간 T23~시간 T24)에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 기간 P21 일 때와 마찬가지로, 다음의 S자 곡선을 따라, 속도 V4에서 속도 V2로 변화(감속)시킨다. 그리고, 시간 T24~시간 T25(기판(90)이 반송 롤러(31)로부터 이간한 후의 시간) 동안에, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 속도 V2로 유지한다.
[동기 제어]
한편, 반송 롤러(41)에 대해서는, 제어부(8)에 의해, 반송 롤러(31)의 반송 속도와 정합하도록 이하와 같이 제어된다. 즉, 도 7(B)에 나타낸 바와 같이, 시간 T22(반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V5에 도달할 때)보다도 빠른 시간 T26에 있어서, 모터(42)를 구동하고, 반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V5에 도달하는 시간 T22가 경과하기 전에, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V5에 도달시킨다. 이것에 의해, 현상 장치(1)는, 시간 T22에 있어서의 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)의 반송 속도를 일치시킬 수 있다.
또한 그 후에 대해서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31, 41)의 속도를 정합시키면서 동기 제어한다. 이것에 의해, 시간 T24에 있어서, 반송 롤러(41)의 반송 속도가 속도 V2가 된다. 그리고 현상 장치(1)는, 기판(90)의 전방단이 위치 L5(도 5 참조)에 도달할 때까지 속도 V2 상태로 기판(90)을 반송한다.
여기서, 도 7에 나타내는 예에서는, 시간 T27은, 기판(90)의 전방단이 자세 변환부(4)의 반송 방향 최상류에 있는 반송 롤러(41)의 상단에 도달하는 시간이다. 또, 시간 T28은, 기판(90)의 후방단이 액층 형성부(3)의 반송 방향 최하류에 있는 반송 롤러(31)의 상단으로부터 이간하는 시간이다. 제어부(8)는, 기간 P24(시간 T22~시간 T25)에 있어서, 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)를 동기 제어하고 있으며, 1매의 기판(90)이 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)에 걸쳐 있는 기판(90)의 수도 기간(시간 T27~시간 T28)은, 기간 P24에 포함되어 있다. 따라서, 액층 형성부(3)와 자세 변환부(4) 사이에서 기판(90)을 원활히 수도할 수 있다.
또한, 동기를 개시하는 속도 V5의 설정 방법으로서는, 미리 오퍼레이터에 의해 설정해도 되고, 상황에 따라 제어부(8)가 결정하는 구성이어도 된다. 또, S자 곡선의 형상이나, 감속 시간(기간 P21, P23) 및 속도 V5로 유지하는 시간(기간 P22)의 설정 방법에 대해서도 마찬가지이다.
여기서, 시간 T25 이후에 있어서의 현상 장치(1)의 동작(자세 변환 동작 등)에 대해서는, 제1 실시 형태와 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 이상이 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)의 동작 설명이다.
<2. 2. 효과>
본 실시 형태에 의하면, 기판(90)의 수도 기간(시간 T27~시간 T28)을 포함한 시간대(기간 P24)에 있어서 2세트의 반송 롤러(31, 41)의 사이에서의 속도의 동기 제어를 행함과 함께, 반송 롤러(31)를 속도 V1(고속)에서 속도 V2(저속)로 속도 변화시킬 때에, 소정의 시간 동안에, 중간 속도(속도 V5)로 기판(90)을 반송하는 기간을 형성한다. 이것에 의해, 반송 롤러(41)의 반송 속도를, 일정 속도(속도 V5)로 동작하는 반송 롤러(31)에 정합시키는 것을 용이하게 할 수 있으므로, 제어부(8)에 의한 반송 롤러(31, 41)의 동기 제어를 정밀도 좋게 실시할 수 있다.
특히, 본 실시 형태에서는, 2세트의 반송 롤러(31, 41)의 사이에서의 기판(90)의 수도 기간(시간 T27~T28)의 전후에서의 동기 제어를 각각 S자 곡선을 따라 행하기 때문에, 이들의 기간에 가속도의 급격한 변화도 없이 안정적으로 기판(90)의 수도가 행해진다.
<3. 제3 실시 형태>
상기 실시 형태에서는, 액층 형성부(3) 및 자세 변환부(4) 사이의 기판(90)의 수도 시에, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 시계열적으로 S자 곡선을 그리도록 변화시키는 감속 제어를 행하고 있었지만, 감속 제어의 방법은 이것에 한정되는 것은 아니다.
도 8은, 제3 실시 형태에 있어서의 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. 여기서, 도 8(A)은 반송 롤러(31)에, 도 8(B)은 반송 롤러(41)에 대응하는 타임 차트이다.
<3. 1. 동작>
[감속 제어]
도 8(A)에 나타낸 기간 P31(시간 T31~시간 T32)은, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 감속시키는 제어를 행하는 기간이며, 제1 실시 형태에 있어서의 도 6(A)에 나타낸 기간 P11에 대응하는 기간이다. 제1 실시 형태에서는, 기간 P11에 있어서 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선이 되도록 변화(감속)시켰지만, 본 실시 형태에서는, 기간 P31에 있어서, 반송 속도를 일정한 비율로(즉, 일정 가속도로) 감속하는 감속 제어가 이루어진다.
즉, 시간 T31에 있어서, 기판(90)의 전방단이 위치 L3에 도달하면(도 5 참조), 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 속도 V1에서 속도 V2를 향해 일정한 비율로 감속하는 감속 제어를 행한다. 보다 구체적으로는, 도 8(A)에 나타낸 바와 같이, 기간 P31에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 직선이 되도록 속도 V1에서 속도 V2로 변화(감속)시킨다. 그리고 시간 T32에 있어서 반송 속도가 속도 V2가 되면, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 속도 V2로 유지하고, 기판(90) 상의 현상 처리를 진행시킨다.
[동기 제어]
한편, 반송 롤러(41)에 대해서는, 제어부(8)에 의해, 반송 롤러(31)의 반송 속도와 동기하도록 이하와 같이 제어된다. 즉, 도 8(B)에 나타낸 바와 같이, 시간 T33에 있어서, 제어부(8)가 모터(42)를 구동하고, 반송 롤러(41)의 반송 속도를, 속도 V6(속도 V1과 속도 V2 사이의 중간 속도)가 되도록 가속시킨다. 그리고 제어부(8)는, 시간 T34(반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V6가 되는 시간)보다도 이전 시간에 있어서, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V6로 하고, 시간 T34까지 속도 V6으로 유지한다.
또한 반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V6에 도달하면(시간 T34), 제어부(8)는, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도를 정합시키는 동기 제어를 행하고, 반송 롤러(41)의 반송 속도에 대해서도 감속 제어를 행한다. 따라서, 시간 T32에 있어서, 반송 롤러(41)의 반송 속도도 속도 V2가 되고, 현상 장치(1)는, 기판(90)의 전방단이 위치 L5(도 5 참조)에 도달할 때까지 속도 V2 상태로 기판(90)을 반송하게 된다.
여기서, 도 8에 나타내는 예에서는, 시간 T36은, 기판(90)의 전방단이 자세 변환부(4)의 반송 방향 최상류에 있는 반송 롤러(41)의 상단에 도달하는 시간을 나타내고 있다. 또, 시간 T37은, 기판(90)의 후방단이 액층 형성부(3)의 반송 방향 최하류에 있는 반송 롤러(31)의 상단으로부터 이간하는 시간을 나타내고 있다. 여기서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 시간 T34~시간 T35의 기간 P32에 있어서, 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)의 반송 속도를 정합시킨 동기 제어가 실시되게 된다. 즉, 1매의 기판(90)이 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)에 걸쳐 있는 수도 기간(시간 T36~시간 T37)은, 동기 제어가 행해지는 기간 P32에 포함된다. 따라서, 액층 형성부(3)와 자세 변환부(4) 사이에서 기판(90)을 원활하게 수도할 수 있다.
또한, 시간 T35 이후에 있어서의 현상 장치(1)의 동작(자세 변환 동작 등)에 대해서는, 제1 실시 형태와 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 이상이 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)의 동작 설명이다.
<3. 2, 효과>
도 8(A)에 나타내는 예와 같이 반송 롤러(31)를 감속시킨 경우, 시간 T31, T32에 있어서, 기판(90) 상에 처리된 현상액에 비교적 큰 관성력이 작용하지만, 제어부(8)에 의한 특별한 제어(반송 롤러(31, 41)의 반송 속도를 시계열적으로 S자 곡선을 그리도록 변화시키는 제어)가 불필요해지기 때문에, 현상 장치(1)의 장치 코스트를 억제할 수 있다.
또, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 일정한 비율로 감속시키기 때문에, 반송 롤러(31)의 반송 속도에 대해서 반송 롤러(41)의 반송 속도를 고정밀도로 정합시키는 것이 용이해진다.
또한 상기와 같은 감속 제어는 제2 실시 형태에 대해서도 적용할 수 있으며, 보다 구체적으로는 도 7(A)에 나타낸 기간 P21, P23에 있어서, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 일정한 비율로 감속시키는 제어를 행해도 된다.
<4. 제4 실시 형태>
상기 실시 형태에서는, 롤러 경사부(43)에 의해 반송 롤러(41)를 경사시킴으로써, 기판(90)의 자세를 수평 자세에서 경사 자세로 변환함으로써, 기판(90) 상에 형성된 현상액의 제거를 행한다고 설명했다(도 2 및 도 3 참조). 그러나, 기판(90)의 자세를 변환하는 기구는 이것에 한정되는 것은 아니다.
도 9는, 제4 실시 형태에 있어서의 자세 변환부(4a)의 개략 사시도이다. 자세 변환부(4a)는, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 상하로 승강 가능한 상하 롤러부(45)가 구비된다. 상하 롤러부(45)에는, 소정의 간격을 두고 상방으로 연장되는 복수의 지지 부재가 설치되어 있고, 당해 지지 부재의 상단에는 각각 롤러(451)가 설치되어 있다. 상하 롤러부(45)는, 통상은 반송 롤러(41)의 하방에 배치되어 있고, 상방으로 이동됨으로써, 기판(90)을 수평 자세에서 경사 자세로 변환한다. 이것에 의해, 기판(90) 상에 형성된 현상액을 제거할 수 있다.
<5. 변형예>
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고 다양한 변형이 가능하다.
예를 들면 상기 실시 형태에서는, 복수 병렬 배치된 반송 롤러(31, 41)에 의해 기판(90)이 반송된다고 설명했지만, 물론 무단 벨트를 사용한 컨베이어 반송 등에 의해 기판 반송 기구가 실현되어도 된다.
또, 제2 실시 형태에 있어서, 제어부(8)가 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V4에 도달시키는 타이밍을 시간 T22보다도 이전으로 한다고 설명했다(도 7(B) 참조). 그러나, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V4에 도달시키는 타이밍은, 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 시간 T22, 혹은 시간 T22와 시간 T23 사이의 임의의 시간으로 해도 된다.
일반적으로, 이 발명에 있어서 2개의 컨베이어의 반송 속도를 정합시키는 것은 기판의 수도 기간 만이어도 되고, 수도 기간 이외를 포함한 기간이어도 된다. 한편, 감속 기간은 기판의 수도 기간의 전체를 포함하고 있어도 되고, 일부여도 된다. 또, 상기 각 실시 형태와는 반대로, 2개의 컨베이어의 사이에서 기판의 속도를 증가시키는 경우의 증속 제어에도 이 발명은 적용 가능하다.
또, 기판 검출 센서(34, 44)의 수나 배치하는 위치는 상기 서술한 것에 한정되는 것은 아니며 적절히 설계 변경이 가능하다. 예를 들면, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도를 보다 정확하게 계측하기 위해, 액층 형성부(3) 하류측의 소정의 위치에 복수의 센서를 배치하고, 감속 제어(예를 들면 도 6 중, 기간 P11에 있어서의 제어)에 의해 감속하는 기판(90)의 속도를 취득한다. 그리고 당해 취득된 값에 기초하여, 반송 롤러(41)의 동기 제어를 실시하는 것도 유효하다.
또, 상기 실시 형태에서는, 동기 제어를 개시하기 전에, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 동기 개시 속도(속도 V4, V5, V6)에 미리 도달시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 적어도 반송 롤러(31)의 반송 속도가 당해 동기 개시 속도가 되기 전에 도달시키면 된다.
또, 제2 실시 형태에서는, 감속 제어 중에 정속으로 하는 기간을 1개소만 형성하는 것이었지만, 물론 이것에 한정되는 것은 아니며, 정속으로 반송되는 기간을 복수 형성해도 된다. 이 경우에는, 반송 롤러(41)의 동기를 개시하는 타이밍이 다수 형성되게 되기 때문에, 제어부(8)에 의한 동기 제어의 선택 자유도가 높아진다.
또, 상기 실시 형태에서는, 자세 변환부(4, 4a)는, 기판(90)의 반송 방향에 평행한 단면측을 상방으로 밀어 올림으로써, 기판(90)의 자세를 경사시킨다고 설명했다. 그러나, 기판(90)의 경사 방법은 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 기판(90)의 반송 방향 하류단(＋X측의 단부)(혹은 상류단(-X측의 단부))을 상방으로 밀어 올림으로써 기판(90)의 자세를 수평면에 대해 경사시켜도 된다.
또, 상기 실시 형태에서는, 현상 처리하는 장치에 대해서만 설명했지만, 이 것에 한정되는 것은 아니며, 그 외의 기판 처리 장치에 대해서도, 본 발명은 적용 가능하다. 예를 들면, 기판(90)에 대해서 노즐로부터 순수나 에칭액, 박리액 혹은 소정의 기체를 공급하는 장치, 혹은 반송되는 기판에 대해서 광을 조사하는 장치 등에도 적용할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)를 나타내는 개략 측면도이다.
도 2는 반송 롤러(41)를 경사시킨 상태를 반송 방향 하류측에서 보았을 때의 도면이다.
도 3은 반송 롤러(41)를 경사시킨 상태의 현상 장치(1)를 나타내는 개략 측면도이다.
도 4는 제어부(8)와 현상 장치(1)의 각 부의 접속을 나타내는 블럭도이다.
도 5는 현상 장치(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다.
도 7은 제2 실시 형태에 있어서의 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다.
도 8은 제3 실시 형태에 있어서의 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다.
도 9는 제4 실시 형태에 있어서의 자세 변환부(4a)의 개략 사시도이다.
도 10은 종래의 현상 장치(100)에 있어서의 기판(190)의 반송을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 현상 장치 3 액층 형성부
31, 41 반송 롤러 32, 42 모터
33 현상액 공급 노즐 34, 44 기판 검출 센서
4, 4a 자세 변환부 42 모터
43 롤러 경사부 45 상하 롤러부
8 제어부 90 기판

Claims (5)

  1. 기판을 컨베이어 반송하면서 기판의 반송 속도를 변경하는 기판 반송 장치로서,
    복수의 반송 롤러에 의해 기판을 소정의 방향으로 컨베이어 반송하는 제1 컨베이어와,
    상기 제1 컨베이어에 대해서 상기 소정의 방향으로 직렬 배치되어, 복수의 반송 롤러에 의해 기판을 컨베이어 반송하는 제2 컨베이어와,
    상기 제1 컨베이어 또는 상기 제2 컨베이어에 의해 컨베이어 반송되는 상기 기판의 위치를 검출하는 기판 검출 센서와,
    상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 각각 독립적으로 제어하는 제어 수단을 구비하고,
    상기 제어 수단은, 상기 기판 검출 센서에 의해, 상기 제1 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 전방단이 상기 제2 컨베이어의 상기 복수의 반송 롤러 중 상기 소정의 방향의 최상류의 반송 롤러에 도달한 것을 검출하고부터, 당해 기판의 후방단이 상기 제1 컨베이어의 상기 복수의 반송 롤러 중 상기 소정의 방향의 최하류의 반송 롤러의 상단으로부터 이간한 것을 검출할 때까지의 기판의 수도 기간 중의 적어도 일부의 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 시계열적으로 감속시킴과 함께,
    적어도 상기 수도 기간에 있어서, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 일치시키는 동기 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어 수단은,
    상기 수도 기간을 포함하는 상기 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선을 가지도록 제1 속도에서 제2 속도로 감속시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제어 수단은,
    상기 제1 속도와 상기 제2 속도 사이의 속도를 중간 속도로 했을 때,
    상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를,
    상기 제1 속도에서 상기 중간 속도까지 시간-속도의 관계가 제1의 S자 곡선이 되도록 감속시키고, 상기 수도 기간의 개시 시점보다도 빠른 시점에서 시작되는 소정의 시간 동안에, 상기 중간 속도로 한 후, 상기 중간 속도에서 상기 제2 속도까지 시간-속도의 관계가 제2의 S자 곡선이 되도록 감속시킴과 함께,
    상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를,
    적어도 상기 소정의 시간 동안에 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 일치시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 기판을 반송하면서 처리하는 기판 처리 장치로서,
    기판의 상면에 처리액을 액층 형성하는 액층 형성 수단과,
    상기 액층 형성 수단에 의해 액층 형성된 기판을 수평 반송하는 기판 반송 장치를 구비하고,
    상기 기판 반송 장치는,
    복수의 반송 롤러에 의해 기판을 소정의 방향으로 컨베이어 반송하는 제1 컨베이어와,
    상기 제1 컨베이어에 대해서 상기 소정의 방향으로 직렬 배치되어, 복수의 반송 롤러에 의해 기판을 컨베이어 반송하는 제2 컨베이어와,
    상기 제1 컨베이어 또는 상기 제2 컨베이어에 의해 컨베이어 반송되는 상기 기판의 위치를 검출하는 기판 검출 센서와,
    상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 각각 독립적으로 제어하는 제어 수단을 포함하고,
    상기 제어 수단은,
    상기 기판 검출 센서에 의해, 상기 제1 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 전방단이 상기 제2 컨베이어의 상기 복수의 반송 롤러 중 상기 소정의 방향의 최상류의 반송 롤러에 도달한 것을 검출하고부터, 당해 기판의 후방단이 상기 제1 컨베이어의 상기 복수의 반송 롤러 중 상기 소정의 방향의 최하류의 반송 롤러의 상단으로부터 이간한 것을 검출할 때까지의 기판의 수도 기간 중의 적어도 일부의 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 시계열적으로 감속시킴과 함께,
    적어도 상기 수도 기간에 있어서, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 일치시키는 동기 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제2 컨베이어 상에서 정지시킨 기판의 자세를 경사 자세로 변경하는 자세 변경 수단을 더 구비하고,
    상기 제어 수단은,
    상기 제2 컨베이어에 의해 반송되는 기판을, 상기 자세 변경 수단에 의해 상기 기판의 자세를 변경할 때에, 일단 정지시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI462215B (zh) * 2010-03-29 2014-11-21 Dainippon Screen Mfg 基板處理裝置、轉換方法、及轉移方法
JP5912455B2 (ja) * 2011-11-28 2016-04-27 日新イオン機器株式会社 基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法
CN103207541A (zh) * 2012-01-13 2013-07-17 昆山允升吉光电科技有限公司 一种可以选择不同显影段长度的显影机
US9151597B2 (en) * 2012-02-13 2015-10-06 First Solar, Inc. In situ substrate detection for a processing system using infrared detection
DE102012204030B4 (de) * 2012-03-14 2022-06-09 Krones Ag Vorrichtung zur Übergabe von Artikellagen zwischen benachbarten Modulen
KR101939353B1 (ko) * 2012-06-26 2019-01-16 세메스 주식회사 기판 이송 방법
JP5892210B2 (ja) * 2014-08-04 2016-03-23 岩崎電気株式会社 光配向装置
JP2016167475A (ja) * 2015-03-09 2016-09-15 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
JP6887616B2 (ja) * 2017-05-09 2021-06-16 日本電気硝子株式会社 ガラス板の搬送装置及びガラス板の製造方法
CN108249139B (zh) * 2017-12-29 2019-04-23 英特尔产品（成都）有限公司 用于基板处理设备间基板传送的控制方法、装置及系统
CN108263861B (zh) * 2018-01-29 2020-10-27 东旭光电科技股份有限公司 基板玻璃传送系统以及用于监控基板玻璃传送的方法
CN111341709B (zh) * 2018-12-18 2022-10-21 北京北方华创微电子装备有限公司 基片传输方法、控制模块和基片传输系统
US11401111B2 (en) 2020-01-21 2022-08-02 SK Hynix Inc. Conveyor apparatus and operating method thereof
CN117316830B (zh) * 2023-11-28 2024-02-02 成都高投芯未半导体有限公司 一种半导体封装系统及控制方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001127492A (ja) * 1999-10-22 2001-05-11 Yamaha Motor Co Ltd プリント基板搬送コンベア速度可変装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6016424U (ja) * 1983-07-13 1985-02-04 第一工業株式会社 袋物荷物の自動仕分装置
JP3330441B2 (ja) * 1993-12-24 2002-09-30 川崎製鉄株式会社 鋼板搬送制御方法
JPH09188414A (ja) * 1996-01-10 1997-07-22 Canon Inc コンベア及び該コンベアを用いたワークの搬送方法
JP2000085955A (ja) * 1998-09-09 2000-03-28 Fuji Photo Film Co Ltd シート材の搬送方法
JP2004299850A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Dainippon Printing Co Ltd 処理方法及び処理装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001127492A (ja) * 1999-10-22 2001-05-11 Yamaha Motor Co Ltd プリント基板搬送コンベア速度可変装置

Also Published As

Publication number Publication date
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