CN103207541A

CN103207541A - 一种可以选择不同显影段长度的显影机

Info

Publication number: CN103207541A
Application number: CN2012100650053A
Authority: CN
Inventors: 魏志凌; 高小平; 刘学明
Original assignee: Kunshan Power Stencil Co Ltd
Current assignee: Kunshan Power Stencil Co Ltd
Priority date: 2012-01-13
Filing date: 2012-01-13
Publication date: 2013-07-17

Abstract

本发明公开一种可以选择不同显影段长度的显影机，包括显影段、喷淋管以及承载芯膜并带动芯膜前进的滚轮，其中，所述显影段被分隔为至少两段，每段的显影长度相互独立；工作时，多段可以同时开启，也可以根据干膜厚度选择开启不同显影段。本发明可以根据不同干膜厚度选择不同长度的显影段，控制显影传送的速度，显影及水洗的时间。尤其薄干膜（小于50um）显影时，选择开启其中一段，不需要对显影压力、浓度等参数进行调整，只需在一定范围内调整传送速度，显影速度不会超过设备允许的最大速度，不同干膜都能得到很好的显影效果。

Description

一种可以选择不同显影段长度的显影机

技术领域

本发明属于印刷掩模板的显影技术领域，尤其涉及一种可以选择不同显影段长度的显影机。

背景技术

随着SMT行业的快速发展，行业对应用于SMT行业的印刷掩膜板的要求也越来越高，印刷掩膜板一般要求有较好的耐化学性、机械性，并要求其具有很高的边缘清晰度及解像力。其中，印刷掩膜板的高边缘清晰度及解像力是目前业界的一个瓶颈，很难再进一步提高。

在电铸或蚀刻制作印刷掩模板的过程中，需要用到显影机，显影机主要是结合曝光机实现图像的转移。在对曝光后的干膜进行显影时，通常会遇到过显影和显影不足的问题，过显影和显影不足都不能得到开口尺寸合格的产品，所以显影点的控制尤为重要。在显影液浓度、喷淋压力、pH等工艺条件稳定的情况下，一般都是通过调节显影机传送速度来获得所需要的显影点。在生产中，不同的产品所应用的干膜厚度不同，获取相同的显影点所选择的传送速度相差很大，在普通的固定显影室长度下，如果速度太快，则一方面可能超出显影机的速度范围；另一方面，外贴膜芯膜在经过水洗段时容易洗不干净，板面剩有残膜。而如果速度太慢，则经过水洗段时间太长，未曝光完全的干膜底部过度冲刷，影响图形尺寸精度。

印刷掩膜板制造过程中，显影的参数（如：显影液浓度、喷淋压力、pH等工艺条件）经常需要变换，但如果需要得到很好的产品，显影参数最好固定在一定范围内，这就需要调节显影机的传送速度来控制显影点，不同厚度的干膜对显影机的传输速度要求区别比较大，这容易在显影时造成不良效果。所以有必要对显影机进行研究，提供一种方案，以解决上述现有技术中存在的缺陷。

发明内容

为解决上述问题，本发明的目的在于提供一种可以选择不同显影段长度的显影机，其可以根据不同干膜厚度选择不同长度的显影段，控制显影传送的速度，显影及水洗的时间。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：

一种可以选择不同显影段长度的显影机，包括显影段、喷淋管以及承载芯膜并带动芯膜前进的滚轮，其中，所述显影段被分隔为至少两段，每段的显影长度相互独立；工作时，多段可以同时开启，也可以根据干膜厚度选择开启不同显影段。

进一步地，所述显影段分隔为两段，即显影一段和显影二段。

进一步地，所述显影一段和显影二段由一隔板隔开。

进一步地，所述显影一段有效长度为2米，显影二段有效长度为1米。

进一步地，根据贴膜厚度进行选择显影段的长度，干膜厚度大于100μm，将显影一段、显影二段两段都打开，如果厚度在50～100μm，则选择打开显影一段，厚度小于50则选择打开显影二段。

进一步地，所述显影机连接有外部电脑，通过于电脑上设置软件来控制显影传送速度，使得显影机可以无级变速。

本发明可以根据不同干膜厚度选择不同长度的显影段，控制显影传送的速度，显影及水洗的时间。尤其薄干膜（小于50um）显影时，选择开启其中一段，不需要对显影压力、浓度等参数进行调整，只需在一定范围内调整传送速度，显影速度不会超过设备允许的最大速度，不同干膜都能得到很好的显影效果。

附图说明

图1是本发明实施例显影段为两段式设计的示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明将显影机显影段设计成多段，每段的显影长度相互独立，工作时，多段可以同时开启，也可以根据需求选择开启其中几段，可以在对曝光后干膜进行显影时，根据干膜厚度选择开启不同显影段，并且可以在合理范围内调整显影参数。

本发明实施例以显影段设计成两段为例进行说明。请参照图1所示，其示出了显影机显影段为两段式设计的示意图。如图1所示，所述显影机包括有显影段、喷淋管以及承载芯膜并带动芯膜前进的滚轮。其中，通过一隔板将显影段分隔，以将显影段设计成两段，即显影一段和显影二段；喷淋管设置有喷嘴，显影液从喷嘴中喷洒出。所述显影一段有效长度为2米，显影二段有效长度为1米。工作时两段可以同时开启，也可以选择其中一段开启。一般在对薄干膜（小于50um）进行显影时，只需开启显影一段，然后通过调节显影机的传输速度就可以很好的控制显影点；当干膜厚度较厚时，就需要同时开启显影一段和显影二段，在保证过板速度的同时也能保证良好的显影效果。显影机连接有外部电脑，通过于电脑上设置软件来控制显影传送速度，使得显影机可以无级变速。

芯膜经过贴膜、曝光完成后，打开显影机加热显影液（预热设备），根据贴膜厚度进行选择显影段的长度，干膜厚度大于100μm，将显影一段、显影二段两段都打开，如果厚度在50～100μm，则选择打开显影一段，厚度小于50则选择打开显影二段。常用干膜厚度有25μm、50μm、56μm、100μm、120μm；显影工艺参数包括有：显影液浓度、温度、pH、喷淋压力等，该等显影工艺参数均通过实验确定在最佳范围内，生产中只要控制贴膜芯模的显影点，即在显影室喷淋的时间，就可得到稳定，良好的显影效果。

本发明可以根据不同干膜厚度选择不同长度的显影段，控制显影传送的速度，显影及水洗的时间。尤其薄干膜（小于50um）显影时，选择开启其中一段，显影液压力、浓度等参数经过实验，控制在在某个最佳范围，不需要对显影压力、浓度等参数进行调整，只需在一定范围内调整传送速度，显影速度不会超过设备允许的最大速度。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种可以选择不同显影段长度的显影机，包括显影段、喷淋管以及承载芯膜并带动芯膜前进的滚轮，其特征在于：所述显影段被分隔为至少两段，每段的显影长度相互独立；工作时，多段可以同时开启，也可以根据干膜厚度选择开启不同显影段。

2.如权利要求1所述的可以选择不同显影段长度的显影机，其特征在于：所述显影段分隔为两段，即显影一段和显影二段。

3.如权利要求1所述的可以选择不同显影段长度的显影机，其特征在于：所述显影一段和显影二段由一隔板隔开。

4.如权利要求2或3所述的可以选择不同显影段长度的显影机，其特征在于：所述显影一段有效长度为2米，显影二段有效长度为1米。

5.如权利要求4所述的可以选择不同显影段长度的显影机，其特征在于：根据贴膜厚度进行选择显影段的长度，干膜厚度大于100μm，将显影一段、显影二段两段都打开，如果厚度在50～100μm，则选择打开显影一段，厚度小于50则选择打开显影二段。

6.如权利要求5所述的可以选择不同显影段长度的显影机，其特征在于：所述显影机连接有外部电脑，通过于电脑上设置软件来控制显影传送速度，使得显影机可以无级变速。

7.如权利要求6所述的可以选择不同显影段长度的显影机，其特征在于：所述喷淋管设置有喷嘴，显影液从喷嘴中喷洒出。