CN107552254A - 一种显影设备及显影方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种显影设备及显影方法，该显影设备包括：显影槽、第一传送装置和分别通过转轴固定在第一传送装置上方的多个第一喷嘴，转轴包括固定段和摆动段，固定段与显影槽固定连接，多个第一喷嘴包括连接部和喷洒部，连接部与摆动部固定连接，喷洒部包括与连接部连接的圆柱形的中间部，中间部中心设有喷洒口，中间部侧边设有第一挡板，第一挡板底部向内延伸形成第二挡板，以使多个第一喷嘴摇摆喷洒药液至基板上，第一喷嘴为超低压广角扇形喷嘴。超低压广角扇形喷嘴具有均等流量分布、不起泡沫、打力柔和以及小喷量等优点，可以使喷洒的药液为喷雾形状而且较均匀的分布，再加上可以摇摆喷洒药液，进一步的加强药液喷洒的均匀性。

Description

一种显影设备及显影方法

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种显影设备及显影方法。

【背景技术】

现有的显示面板主要包括有液晶(Liquid Crystal Display，LCD)显示面板和OLED(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板。其中，OLED显示面板具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示面板。

现有的显示面板中，在显影工序中，喷嘴喷洒药液均匀性较差，影响显示面板的品质。

【发明内容】

本发明的一个目的在于提供一种显影设备，其可以提高显影过程中喷嘴喷洒药液的均匀性。

本发明的另一个目的在于提供一种显影方法，其可以提高显影过程中喷嘴喷洒药液的均匀性。

为解决上述问题，本发明的优选实施例提供了一种显影设备，包括：

一显影槽，所述显影槽包括壳体；

一第一传送装置，贯穿所述显影槽，用于传送基板通过所述显影槽；

多个第一喷嘴，设置在所述显影槽内，并分别通过转轴固定在所述第一传送装置上方，所述转轴包括固定段和与所述固定段活动连接的摆动段，所述转轴固定段与所述显影槽壳体顶部固定连接，所述转轴摆动段与第一喷嘴固定连接，所述多个第一喷嘴包括连接部和喷洒部，所述连接部上设有螺纹结构，并通过所述螺纹结构与所述转轴固定连接，所述喷洒部包括与所述连接部连接的圆柱形的中间部，所述中间部中心设有喷洒口，所述中间部侧边设有第一挡板，所述第一挡板底部向内延伸形成第二挡板，以使所述多个第一喷嘴摇摆喷洒药液至基板上，所述第一喷嘴为超低压广角扇形喷嘴。

在本发明优选实施例的显影设备中，所述多个第一喷嘴包括多列第一喷嘴，其中任意一列的任意一个第一喷嘴设置在相邻列的两个第一喷嘴之间。

在本发明优选实施例的显影设备中，所述第一传送装置传送基板的传送面与水平面为预设角度。

在本发明优选实施例的显影设备中，所述显影设备还包括：

第一水刀喷洒头，设置在所述显影槽入口处，用于在所述基板进入显影槽时，在所述基板上设置一层水膜。

在本发明优选实施例的显影设备中，所述显影设备还包括：

消泡隔板，设置在所述第一传送装置的传送面下方，所述消泡隔板设置在显影槽底部且覆盖整个显影槽底部，所述消泡隔板上设有多个小孔，用于消除所述基板上下落药液的气泡。

在本发明优选实施例的显影设备中，所述第一传送装置包括依次设置的第一传送单元、第二传送单元和第三传送单元，所述第一传送单元设置在所述显影槽入口处，所述第二传送单元设置在所述显影槽内，所述第三传送单元设置在所述显影槽出口处，所述第一传送单元和第三传送单元的传送速度大于所述第二传送单元的传送速度。

在本发明优选实施例的显影设备中，所述显影设备还包括：

水洗槽；

第二传送装置，贯穿所述水洗槽，用于将通过所述显影槽的基板通过所述水洗槽；

多个第二喷嘴，设置在所述水洗槽内，并分别设置在所述第二传送装置的上方和下方，用于喷洒液体至所述基板的上表面和下表面，将所述基板上残留的药液冲走。

在本发明优选实施例的显影设备中，所述显影设备还包括：

第二水刀喷洒头，设置在所述水洗槽入口处，用于在所述基板进入水洗槽时，在所述基板上设置一层水膜；

一种显影方法，包括：

利用第一传送装置将基板传送进显影槽；

利用多个第一喷嘴将药液摇摆喷洒至所述基板上，以使药液均匀喷洒在所述基板上，其中所述多个第一喷嘴设置在所述显影槽内，并分别通过转轴固定在所述第一传送装置上方，所述转轴包括固定段和与所述固定段活动连接的摆动段，所述转轴固定段与所述显影槽壳体顶部固定连接，所述转轴摆动段与第一喷嘴固定连接，所述多个第一喷嘴包括连接部和喷洒部，所述连接部上设有螺纹结构，并通过所述螺纹结构与所述转轴固定连接，所述喷洒部包括与所述连接部连接的圆柱形的中间部，所述中间部中心设有喷洒口，所述中间部侧边设有第一挡板，所述第一挡板底部向内延伸形成第二挡板，所述第一喷嘴为超低压广角扇形喷嘴；

将基板传送出显影槽。

在本发明优选实施例的显影方法中，还包括：

将所述基板快速传送进显影槽；

将所述多个第一喷嘴分成多列第一喷嘴，其中任意一列的任意一个第一喷嘴设置在相邻列的两个第一喷嘴之间；

将所述第一传送装置传送基板的传送面与水平面设置为预设角度；

将所述基板快速传送出显影槽。

相对于现有技术，本发明的有益效果是：在显影槽的第一传送装置上方设置多个第一喷嘴，多个第一喷嘴分别通过转轴固定，多个第一喷嘴可以通过转轴摆动，以使多个第一喷嘴摇摆喷洒药液至基板上，再加上第一喷嘴为超低压广角扇形喷嘴，超低压广角扇形喷嘴具有均等流量分布、不起泡沫、打力柔和以及小喷量等优点，可以使喷洒的药液为喷雾形状而且较均匀的分布，再加上可以摇摆喷洒药液，进一步的加强药液喷洒的均匀性。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

【附图说明】

图1为本发明实施例显影槽的结构示意图；

图2为本发明实施例第一喷嘴的结构示意图；

图3为本发明实施例第一喷嘴的另一结构示意图；

图4为本发明实施例第一喷嘴排列的俯视示意图；

图5为本发明实施例第一喷嘴排列的侧视示意图；

图6为本发明实施例显影槽的另一结构示意图；

图7为本发明实施例水洗槽的结构示意图；

图8为本发明实施例显影方法的流程图。

【具体实施方式】

这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本发明的示例性实施例的目的。但是本发明可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个组件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

根据本发明实施例，如图1至图8所示，图1为本发明实施例显影槽的结构示意图；图2为本发明实施例第一喷嘴的结构示意图；图3为本发明实施例第一喷嘴的另一结构示意图；图4为本发明实施例第一喷嘴排列的俯视示意图；图5为本发明实施例第一喷嘴排列的侧视示意图；图6为本发明实施例显影槽的另一结构示意图；图7为本发明实施例水洗槽的结构示意图；图8为本发明实施例显影方法的流程图。

如图1所示，本发明实施例公开了一种显影设备，该显影设备应用在显示面板的制程中，该显影设备包括显影槽100、第一传送装置110和多个第一喷嘴120。

其中，显影槽包括壳体，第一传送装置110贯穿所述显影槽100，用于传送基板200通过所述显影槽100。

多个第一喷嘴120设置在所述显影槽100内，并分别通过转轴130固定在所述第一传送装置110上方，所述转轴130包括固定段和与所述固定段活动连接的摆动段，所述转轴130固定段与所述显影槽100壳体顶部固定连接，所述转轴130摆动段与第一喷嘴120固定连接，所述多个第一喷嘴120包括连接部和喷洒部，所述连接部上设有螺纹结构，并通过所述螺纹结构与所述转轴固定连接，所述喷洒部包括与所述连接部连接的圆柱形的中间部，所述中间部中心设有喷洒口，所述中间部侧边设有第一挡板，所述第一挡板底部向内延伸形成第二挡板，以使所述多个第一喷嘴120摇摆喷洒药液至基板200上，所述第一喷嘴120为超低压广角扇形喷嘴。

本实施例中，因应制程(Process)需求，故显影喷嘴(DVP Nozzle)的密度、流量均需增加，如在COA(Color filter On Array)process中，R/G/B光阻较厚，约4um左右。需要说明的是，在一些实施例中还可以包括其他process。因此在显影槽100的第一传送装置110上方设置多个第一喷嘴120，多个第一喷嘴120分别通过转轴130固定，多个第一喷嘴120可以通过转轴130摆动，以使多个第一喷嘴120摇摆喷洒药液至基板200上，再加上第一喷嘴120为超低压广角扇形喷嘴，超低压广角扇形喷嘴具有均等流量分布、不起泡沫、打力柔和以及小喷量等优点，可以使喷洒的药液为喷雾形状而且较均匀的分布，再加上可以摇摆喷洒药液，进一步的加强药液喷洒的均匀性。

如图2和图3所示，超低压广角扇形喷嘴具有超低液压，如0.008mpa、0.010mpa、0.015mpa、0.020mpa、0.025mpa、0.04mpa等。超低压广角扇形喷嘴的喷角为67度到128度，具体包括67度、80度、90度、100度、110度、120度等。喷量为0.18L/min到1.63L/min，具体包括0.20L/min、0.50L/min、0.80L/min、1.00L/min等。

如图4和图5所示，其中，所述多个第一喷嘴120呈千鸟配列方式排列。即第一喷嘴120包括多列第一喷嘴120，其中一列的任意一个第一喷嘴120设置在相邻列的两个第一喷嘴120之间，如此交替排列，相邻列的第一喷嘴120数量可以相等，也可以不相等。也可以相差一列的第一喷嘴120数量相等设置。如此设置可以增加显影的均匀性。

在一些实施例中，第一传送装置110倾斜式输出，即第一传送装置110传送基板200的传送面与水平面为预设角度，如5度、8度、10度等。使基板200上的药液流动，增加药液置换性。

在一些实施例中，所述显影设备还包括第一水刀喷洒头140，该第一水刀喷洒头140设置在所述显影槽100入口处，用于在所述基板200进入显影槽100时，喷洒出药液飞刀141，在所述基板200上设置一层水膜。可以避免预显影以及亮度不均匀(mura)问题。

如图6所示，所述显影设备还包括消泡隔板150，该消泡隔板150设置在所述第一传送装置110的传送面下方，该消泡隔板150设置在显影槽100底部且覆盖整个显影槽100底部，所述消泡隔板150上设有多个小孔，用于消除所述基板200上下落药液的气泡。显影槽100回流口增加消泡隔板150的设计，在回收药液时避免药液吐出气泡，进而显影效果。消泡隔板150上具有非常多的小孔。消泡隔板150设置在第一传送装置110下方，可以铺满整个显影槽100底面。

在一些实施例中，所述第一传送装置110包括依次设置的第一传送单元、第二传送单元和第三传送单元，所述第一传送单元设置在所述显影槽100入口处，所述第二传送单元设置在所述显影槽100内，所述第三传送单元设置在所述显影槽100出口处，所述第一传送单元和第三传送单元的传送速度大于所述第二传送单元的传送速度。第一传送装置110具快进快出功能，使基板200可以快速的进入显影槽100和从显影槽100出去，增加基板200接触药水的一致性

如图7所示，该显影设备还包括水洗槽300、第二传送装置310和多个第二喷嘴320。

其中，第二传送装置310贯穿所述水洗槽300，用于将通过所述显影槽的基板200通过所述水洗槽300；

多个第二喷嘴320设置在所述水洗槽300内，并分别设置在所述第二传送装置310的上方和下方，用于喷洒液体至所述基板200的上表面和下表面，将所述基板200上残留的药液冲走。

本实施例中的水洗槽300部分和显影槽100部分设计相近，在水洗槽300的第二传送装置310上方设置多个第二喷嘴320，多个第二喷嘴320分别通过转轴固定，多个第二喷嘴320可以通过转轴摆动，以使多个第二喷嘴320摇摆喷洒液体至基板200上，再加上第二喷嘴320为超低压广角扇形喷嘴，超低压广角扇形喷嘴具有均等流量分布、不起泡沫、打力柔和以及小喷量等优点，可以使喷洒的液体为喷雾形状而且较均匀的分布，再加上可以摇摆喷洒液体，进一步的加强液体喷洒的均匀性，将基板200的上表面和下表面残留的药液冲走。其中本实施例的第二喷嘴320采用与第一喷嘴一样的结构，本实施例的转轴采用如上述实施例一样的转轴。

在一些实施例中，显影设备还包括第二水刀喷洒头340，该第二水刀喷洒头340设置在所述水洗槽300入口处，用于在所述基板200进入水洗槽300时，喷洒出水刀341，在所述基板200上设置一层水膜。可以用来保护药液显影后的基板200。

在一些实施例中，第二传送装置310倾斜式输出，即第二传送装置310传送基板200的传送面与水平面为预设角度，如5度、8度、10度等。使基板200上的液体流动，增加水洗置换性。

在基板200进入水洗槽300时，同步终止显影均一性要求以避免mura。将基板200快速送入水洗槽300以避免mura。

如图8所示，本发明实施例还公开一种显影方法，该显影方法包括步骤S401-S403。

步骤S401：利用第一传送装置将基板传送进显影槽；

步骤S402：利用多个第一喷嘴将药液摇摆喷洒至所述基板上，以使药液均匀喷洒在所述基板上，其中所述多个第一喷嘴设置在所述显影槽内，并分别通过转轴固定在所述第一传送装置上方，所述转轴包括固定段和与所述固定段活动连接的摆动段，所述转轴固定段与所述显影槽壳体顶部固定连接，所述转轴摆动段与第一喷嘴固定连接，所述多个第一喷嘴包括连接部和喷洒部，所述连接部上设有螺纹结构，并通过所述螺纹结构与所述转轴固定连接，所述喷洒部包括与所述连接部连接的圆柱形的中间部，所述中间部中心设有喷洒口，所述中间部侧边设有第一挡板，所述第一挡板底部向内延伸形成第二挡板，所述第一喷嘴为超低压广角扇形喷嘴；

步骤S403：将基板传送出显影槽。

本实施例中，因应制程需求，故显影喷嘴的密度、流量均需增加，如在COA process中，R/G/B光阻较厚，约4um左右。需要说明的是，在一些实施例中还可以包括其他process。因此利用多个第一喷嘴摇摆喷洒药液至基板上，再加上第一喷嘴为超低压广角扇形喷嘴，超低压广角扇形喷嘴具有均等流量分布、不起泡沫、打力柔和以及小喷量等优点，可以使喷洒的药液为喷雾形状而且较均匀的分布，再加上可以摇摆喷洒药液，进一步的加强药液喷洒的均匀性。

其中多个第一喷嘴设置在显影槽的第一传送装置上方，多个第一喷嘴可以通过转轴连接且可以利用转轴摆动。

在一些实施例中，该显影方法还包括下列步骤：

将所述基板快速传送进显影槽。

将所述多个第一喷嘴分成多列第一喷嘴，其中任意一列的任意一个第一喷嘴设置在相邻列的两个第一喷嘴之间。即呈千鸟配列方式排列，第一喷嘴包括多列第一喷嘴，其中一列的任意一个第一喷嘴设置在相邻列的两个第一喷嘴之间，如此交替排列，相邻列的第一喷嘴数量可以相等，也可以不相等。也可以相差一列的第一喷嘴数量相等设置。如此设置可以增加显影的均匀性。

将所述第一传送装置传送基板的传送面与水平面设置为预设角度。即第一传送装置倾斜式输出，预设角度可以为5度、8度、10度等。使基板上的药液流动，增加药液置换性。

将所述基板快速传送出显影槽。

所述第一传送装置包括依次设置的第一传送单元、第二传送单元和第三传送单元，所述第一传送单元设置在所述显影槽入口处，所述第二传送单元设置在所述显影槽内，所述第三传送单元设置在所述显影槽出口处，所述第一传送单元和第三传送单元的传送速度大于所述第二传送单元的传送速度。第一传送装置具快进快出功能，使基板可以快速的进入显影槽和从显影槽出去，增加基板接触药水的一致性

在一些实施例中，该方法还包括，在该显影槽入口处设置第一水刀喷洒头，用于在所述基板进入显影槽时，在所述基板上设置一层水膜。可以避免预显影以及亮度不均匀(mura)问题。

在一些实施例中，该方法还包括，在所述显影设备上设置消泡隔板，将该消泡隔板设置在所述第一传送装置的传送面下方，用于消除所述基板上下落药液的气泡。显影槽回流口增加消泡隔板的设计，在回收药液时避免药液吐出气泡，进而显影效果。

在一些实施例中，该方法还包括：

将从显影槽处理的基板传送进水洗槽；

第二传送装置，贯穿所述水洗槽，用于将通过所述显影槽的基板通过所述水洗槽；

利用分别设置在所述第二传送装置的上方和下方的多个第二喷嘴，将液体喷洒至所述基板的上表面和下表面，将所述基板上残留的药液冲走；

将基板传送出水洗槽。

在一些实施例中，该方法还包括：在所述水洗槽入口处设置第二水刀喷洒头，用于在所述基板进入水洗槽时，在所述基板上设置一层水膜。可以用来保护药液显影后的基板。

在一些实施例中，该方法还包括：将第二传送装置倾斜式输出，即第二传送装置传送基板的传送面与水平面为预设角度，如5度、8度、10度等。使基板上的液体流动，增加水洗置换性。

虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种显影设备，其特征在于，包括：

一显影槽，所述显影槽包括壳体；

一第一传送装置，贯穿所述显影槽，用于传送基板通过所述显影槽；

多个第一喷嘴，设置在所述显影槽内，并分别通过转轴固定在所述第一传送装置上方，所述转轴包括固定段和与所述固定段活动连接的摆动段，所述转轴固定段与所述显影槽壳体顶部固定连接，所述转轴摆动段与第一喷嘴固定连接，所述多个第一喷嘴包括连接部和喷洒部，所述连接部上设有螺纹结构，并通过所述螺纹结构与所述转轴固定连接，所述喷洒部包括与所述连接部连接的圆柱形的中间部，所述中间部中心设有喷洒口，所述中间部侧边设有第一挡板，所述第一挡板底部向内延伸形成第二挡板，以使所述多个第一喷嘴摇摆喷洒药液至基板上，所述第一喷嘴为超低压广角扇形喷嘴。

2.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述多个第一喷嘴包括多列第一喷嘴，其中任意一列的任意一个第一喷嘴设置在相邻列的两个第一喷嘴之间。

3.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述第一传送装置传送基板的传送面与水平面为预设角度。

4.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述显影设备还包括：

第一水刀喷洒头，设置在所述显影槽入口处，用于在所述基板进入显影槽时，在所述基板上设置一层水膜。

5.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述显影设备还包括：

消泡隔板，设置在所述第一传送装置的传送面下方，所述消泡隔板设置在显影槽底部且覆盖整个显影槽底部，所述消泡隔板上设有多个小孔，用于消除所述基板上下落药液的气泡。

6.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述第一传送装置包括依次设置的第一传送单元、第二传送单元和第三传送单元，所述第一传送单元设置在所述显影槽入口处，所述第二传送单元设置在所述显影槽内，所述第三传送单元设置在所述显影槽出口处，所述第一传送单元和第三传送单元的传送速度大于所述第二传送单元的传送速度。

7.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述显影设备还包括：

水洗槽；

第二传送装置，贯穿所述水洗槽，用于将通过所述显影槽的基板通过所述水洗槽；

多个第二喷嘴，设置在所述水洗槽内，并分别设置在所述第二传送装置的上方和下方，用于喷洒液体至所述基板的上表面和下表面，将所述基板上残留的药液冲走。

8.根据权利要求7所述的显影设备，其特征在于，所述显影设备还包括：

第二水刀喷洒头，设置在所述水洗槽入口处，用于在所述基板进入水洗槽时，在所述基板上设置一层水膜。

9.一种显影方法，其特征在于，包括：

利用第一传送装置将基板传送进显影槽；

利用多个第一喷嘴将药液摇摆喷洒至所述基板上，以使药液均匀喷洒在所述基板上，其中所述多个第一喷嘴设置在所述显影槽内，并分别通过转轴固定在所述第一传送装置上方，所述转轴包括固定段和与所述固定段活动连接的摆动段，所述转轴固定段与所述显影槽壳体顶部固定连接，所述转轴摆动段与第一喷嘴固定连接，所述多个第一喷嘴包括连接部和喷洒部，所述连接部上设有螺纹结构，并通过所述螺纹结构与所述转轴固定连接，所述喷洒部包括与所述连接部连接的圆柱形的中间部，所述中间部中心设有喷洒口，所述中间部侧边设有第一挡板，所述第一挡板底部向内延伸形成第二挡板，所述第一喷嘴为超低压广角扇形喷嘴；

将基板传送出显影槽。

10.根据权利要求9所述的显影方法，其特征在于，还包括：

将所述基板快速传送进显影槽；

将所述多个第一喷嘴分成多列第一喷嘴，其中任意一列的任意一个第一喷嘴设置在相邻列的两个第一喷嘴之间；

将所述第一传送装置传送基板的传送面与水平面设置为预设角度；

将所述基板快速传送出显影槽。