CN205774865U - 喷流型电镀槽 - Google Patents

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CN205774865U CN201620497363.5U CN201620497363U CN205774865U CN 205774865 U CN205774865 U CN 205774865U CN 201620497363 U CN201620497363 U CN 201620497363U CN 205774865 U CN205774865 U CN 205774865U
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崔纪涛
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KUNSHAN HULI MICROELCTRONIC CO Ltd
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KUNSHAN HULI MICROELCTRONIC CO Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种喷流型电镀槽,包括:多个槽体、喷流装置,所述多个槽体按两个槽体一行设置为多列,所述每个槽体底部前后两端各设置有一组喷流装置;所述喷流装置包括:进水管、回水管、循环泵、垂直喷杆、喷头,所述进水管设置在槽体底部一端,所述回水管设置在槽体底部中部,所述进水管、回水管与循环泵相连接;所述进水管上竖直设置有多根垂直喷杆,每根垂直喷杆从上到下均匀设置有多个喷头。本实用新型提供的喷流型电镀槽,利用槽体两端设置的喷流装置,可以充分的对两组喷流装置中间设置的面板进行药液喷流;另外,垂直喷杆与喷头的结构,可保证面板电镀均匀,镀铜纯度高,提高盲孔,钻孔的电镀质量。

Description

喷流型电镀槽
技术领域
本实用新型涉及一种喷流型电镀槽,属于电镀铜设备技术领域。
背景技术
目前,随着PCB面板结构不断升级,传统的双面板都已全数布局在后续无玻纤的各次增层中。这样一来出现的盲孔,钻孔的AR值、TP值不达标的问题也越来越多。
现有电镀槽中为了增加盲孔和钻孔的镀铜质量,采用空气搅拌的方式,来增加电镀槽药液均匀度,但这种方式会带入空气,使面板产生氧化,影响镀铜AR值;且空气搅拌力底杂乱,不宜控制。
实用新型内容
目的:为了克服现有技术中存在的不足,本实用新型提供一种喷流型电镀槽。
技术方案:为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:
一种喷流型电镀槽,包括:多个槽体、喷流装置,所述多个槽体按两个槽体一行设置为多列,所述每个槽体底部前后两端各设置有一组喷流装置;所述喷流装置包括:进水管、回水管、循环泵、垂直喷杆、喷头,所述进水管设置在槽体底部一端,所述回水管设置在槽体底部中部,所述进水管、回水管与循环泵相连接;所述进水管上竖直设置有多根垂直喷杆,每根垂直喷杆从上到下均匀设置有多个喷头。
所述喷头包括:连接管、扩展管、连接件,所述连接管前端设置有外螺纹,所述连接管后端设置有扩展管前部,所述扩展管设置为前窄后宽的喇叭形结构,扩展管前端通过三个均匀分布的V形连接件与连接管中部相连接。
作为优选方案,所述垂直喷杆设置为16根。
作为优选方案,所述喷头设置为3个。
作为优选方案,所述循环泵流量大于300L/min。
作为优选方案,还包括钛篮,所述垂直喷杆之间均设置有钛篮。
有益效果:本实用新型提供的喷流型电镀槽,通过与龙门线水平设置的多列槽体,每列槽体包括两个槽体,每个槽体均可以单独处理一组面板,利用槽体两端设置的喷流装置,可以充分的对两组喷流装置中间设置的面板进行药液喷流;另外,垂直喷杆与喷头的结构,可保证面板电镀均匀,镀铜纯度高,提高盲孔,钻孔的电镀质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为喷头的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。
如图1所示,实施例1,一种喷流型电镀槽,两个槽体1排列为一行,两个槽体1上面排列有龙门线,龙门线上设置有两组挂镀装置2,挂镀装置2上夹有多块面板3。每个槽体1底部前后两端各设置有一组喷流装置4;喷流装置包括:进水管41、回水管42、循环泵43、垂直喷杆44、喷头45,进水管41设置在槽体1底部一端,回水管42设置在槽体1底部中部,进水管41、回水管42与循环泵43相连接;进水管41上竖直设置有十六根垂直喷杆44,每根垂直喷杆44从上到下均匀设置有三个喷头45,每个喷头45之间间隔一米,垂直喷杆44之间均设置有钛篮5。两组喷流装置4之间平行设置有多块面板3,从而保证两组喷流装置4对面板3两边上、中、下位置都能充分地进行药液喷流。
如图2所示,喷头45包括:连接管451、扩展管452、连接件453,连接管451前端设置有外螺纹与垂直喷杆44螺纹连接,可根据朝向需求在垂直喷杆44开孔。连接管451后端设置有扩展管452前部,为防止高压水流直接冲击面板,造成面板损坏;扩展管452设置为前窄后宽的喇叭形结构,扩展管452前端通过三个均匀分布的V形连接件453与连接管451中部相连接,扩展管可增大药液喷散范围,同时保证一定压力输出。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种喷流型电镀槽,包括:多个槽体,其特征在于:还包括:喷流装置,所述多个槽体按两个槽体一行设置为多列,所述每个槽体底部前后两端各设置有一组喷流装置;所述喷流装置包括:进水管、回水管、循环泵、垂直喷杆、喷头,所述进水管设置在槽体底部一端,所述回水管设置在槽体底部中部,所述进水管、回水管与循环泵相连接;所述进水管上竖直设置有多根垂直喷杆,每根垂直喷杆从上到下均匀设置有多个喷头。
2.根据权利要求1所述的喷流型电镀槽,其特征在于:所述喷头包括:连接管、扩展管、连接件,所述连接管前端设置有外螺纹,所述连接管后端设置有扩展管前部,所述扩展管设置为前窄后宽的喇叭形结构,扩展管前端通过三个均匀分布的V形连接件与连接管中部相连接。
3.根据权利要求1所述的喷流型电镀槽,其特征在于:所述垂直喷杆设置为16根。
4.根据权利要求1所述的喷流型电镀槽,其特征在于:所述喷头设置为3个。
5.根据权利要求1所述的喷流型电镀槽,其特征在于:所述循环泵流量大于300L/min。
6.根据权利要求1所述的喷流型电镀槽,其特征在于:还包括钛篮,所述垂直喷杆之间均设置有钛篮。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110318086A (zh) * 2018-03-28 2019-10-11 姜力 电镀槽结构
CN115838960A (zh) * 2022-01-26 2023-03-24 先进半导体材料(安徽)有限公司 电镀装置

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