KR100935474B1 - 기판 처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로, 전단노즐에 의해 제1약액이 도포된 기판을 지면과 평행하게 이송하되, 기판의 선단부 일부가 통과하면 상기 기판을 상향경사지게 이송하여 상기 제1약액을 제거하는 가변상향구간과, 상기 가변상향구간을 통해 상기 제1약액이 제거된 기판을 지면과 평행하게 이송하며, 그 기판에 제2약액을 도포하되 그 제2약액이 상기 고정상향구간으로 역류하는 것을 방지하는 후단노즐을 구비하는 수평구간을 포함한다. 이와 같이 구성된 본 발명은 본 발명은 제1약액이 도포된 기판의 이송 중에 그 기판의 일부 구간에서 높이를 상승시켜 이송하는 상향구간을 마련하고, 그 상향구간 이전의 이송구간의 높이를 단계적으로 낮춰 기판의 경사 구간을 상대적으로 더 길게 함으로써, 제1약액의 제거효율을 높일 수 있는 효과가 있다.

기판 처리, 현상, 상향 경사 이송

Description

기판 처리장치{Processing apparatus for substrate}

본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로, 특히 연속적으로 서로 다른 종류의 약액으로 기판을 처리할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이 패널을 제조할 때에는 기판이 지면에 대하여 수평하게 이송되는 상태에서 그 기판 상에 형성된 감광막을 현상하는 현상액을 도포한 후, 그 현상액을 제거하기 위하여 기판의 이송을 정지시킨 상태에서 기판을 일방향으로 기울여 현상액을 제거한다.

이와 같이 현상액을 제거한 후 다시 기판을 지면에 대하여 수평한 상태로 만들어 이송하며, 그 기판 상에 잔존하는 현상액을 제거하는 린스액을 도포하게 된다.

상기 린스액의 도포에 의해 현상공정의 진행이 중지된다.

그러나 이와 같은 종래의 기판 처리장치는 기판이 정지된 상태에서 그 기판을 경사지게 하고, 소정의 시간 후에 다시 지면에 대해 수평한 상태로 만들어 이 송하기 때문에 기판 처리장치의 구조가 복잡하며, 그 기판의 정지 상태에서는 다른 기판의 이송이 불가능하기 때문에 이송 정체 현상이 발생되어 제품의 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

또한 기판을 정지시키지 않고 이송방향으로 상향구간과 하향구간을 가지는 경사를 주어 도포된 제1약액을 제거함과 아울러 제2약액의 도포시 제1약액의 제거구간인 상향구간측으로 제2약액이 역류하는 것을 방지하는 기술이 공개되었으나, 이는 좁은 영역에서 상향구간과 하향구간을 가지기 때문에 기판이 좁은 영역에서 절곡되어 기판이 손상될 수 있는 문제점이 있었다.

그리고 기판의 이송방향에 따라 연속적으로 수평구간, 상향구간, 하향구간, 수평구간을 두어 상향구간의 길이가 상대적으로 짧아 제1약액의 완전한 제거가 용이하지 않은 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판의 이송을 중단시키지 않고도 기판에 경사를 주어 기판에 도포된 제1약액을 제거할 수 있는 기판 처리장치를 제공함에 있다.

아울러 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 이송방향에 대하여 기판에 상향의 경사를 주되 그 경사구간을 더욱 길게 유지하여 도포된 제1약액을 보다 효과적이고 완전하게 제거할 수 있는 기판 처리장치를 제공함에 있다.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 이송중인 기판에 휨의 발생을 최소화할 수 있는 기판 처리장치를 제공함에 있다.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 기판을 제1수준으로부터 제2수준까지 경사 이동시키되, 그 경사 이동에 필요한 수단의 동력전달 구성을 보다 단순화하여 장치의 구조를 단순화할 수 있는 기판 처리장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 전단노즐에 의해 제1약액이 도포된 기판을 지면과 평행하게 이송하되, 기판의 선단부 일부가 통과하면 상기 기판을 상향경사지게 이송하여 상기 제1약액을 제거하는 가변상향구간과, 상기 가변상향구간을 통해 상기 제1약액이 제거된 기판을 지면과 평행하게 이송하며, 그 기판에 제2약액을 도포하되 그 제2약액이 상기 고정상향구간으로 역류하는 것을 방지 하는 후단노즐을 구비하는 수평구간을 포함한다.

본 발명은 제1약액이 도포된 기판의 이송 중에 그 기판의 일부 구간에서 높이를 상승시켜 이송하는 상향구간을 마련하고, 그 상향구간 이전의 이송구간의 높이를 단계적으로 낮춰 기판의 경사 구간을 상대적으로 더 길게 함으로써, 제1약액의 제거효율을 높일 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은 상기 상향구간을 지난 후 기판을 다시 하향 이동시키지 않고 지면과 평행한 상태로 이송시키며, 제2약액의 분사각도를 조절하여 그 제2약액이 역류하는 것을 방지하여, 기판이 좁은 구간에서 상향과 하향의 휨을 발생시키지 않음으로써 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

아울러 상기 상향구간을 통해 제1약액이 제거되어 지면에 대하여 수평으로 이송되는 기판에 제2약액을 분사하되, 그 제2약액을 분사하는 분사노즐의 각도를 조절하여 별도의 유입 방지수단을 설치하지 않고도 제2약액이 상기 집액구간 측으로 유입되는 것을 방지하여, 장치의 구성을 보다 단순화할 수 있는 효과가 있다.

이하, 상기와 같은 본 발명 기판 처리장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명 기판 처리장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

도 1을 참조하면 본 발명 기판 처리장치의 바람직한 실시예는, 다수의 제1이송축(21)과, 그 제1이송축(21) 각각에 체결된 다수의 제1이송롤러(22)와, 다수의 높이가변롤러(23)와, 그 높이가변롤러(23)의 높이를 개별적으로 제어하기 위한 높이제어수단(24)을 포함하여 전단노즐(도면 미도시)을 통해 분사된 제1약액이 도포된 기판(10)을 수평으로 이송하다가 특정 위치에서 이송방향에 대하여 상향 경사지게 이송하는 가변상향구간(20)과, 상기 가변상향구간(20)의 마지막 제1이송축(21)이 이루는 제1수준의 높이에서 그 제1수준의 높이보다는 높은 높이의 제2수준으로 상기 기판(10)을 이송하는 고정상향구간(30)과, 다수의 제2이송축(41)과 그 제2이송축(41) 각각에 다수로 체결된 제2이송롤러(42)를 포함하여 상기 고정상향구간(30)을 통해 이송된 기판(10)을 상기 제2수준에서 지면과 수평하게 이송하며, 그 수평 이송되는 기판(10)에 제2약액을 분사하되 상기 고정상향구간(30)측으로 그 제2약액이 역류하는 것을 방지하기 위한 분사각도를 가지는 후단노즐(43)을 구비하는 수평구간(40)을 포함한다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

도 2 내지 도 5는 각각 본 발명 기판 처리장치의 바람직한 실시예의 동작 설명을 위한 측면도이다.

이에 도시한 바와 같이 최초 전단노즐(도면 미도시)에 의해 제1약액(25)이 상면에 도포된 기판(10)이 상기 가변상향구간(20)으로 유입된다. 이때 가변 상향구간(20)의 높이가변롤러(23)들은 제1이송축(21)에 결합된 제1이송롤러(22)들의 높이인 제1수준의 높이에 맞춰 평행한 상태로 구동된다.

이와 같이 상기 가변상향구간(20)은 기판(10)이 이송되는 초기에는 지면과 수평한 이송면을 제공하며, 그 이송시간 동안 상기 제1약액(25)에 의한 기판(10)의 처리가 가능하게 한다. 상기 제1약액(25)은 현상액일 수 있다.

그리고 수평구간(40)의 일부에는 상기 후단노즐(43)과 고정상향구간(30)을 분리하는 격벽(45)이 마련될 수 있다. 상기 격벽(45)은 이후에 설명할 제2약액이 분사되는 구간을 정의하며, 그 격벽(45)의 양측으로 미스트가 이동하는 것을 방지할 수 있다.

도 3에 도시한 바와 같이 상기 가변상향구간(20)이 수평한 상태로 기판(10)을 이송하여 그 기판(10)의 전단부가 상기 고정상향구간(30)에 이르면, 그 기판(10)의 위치를 감지하는 센서(33)에서 감지되고, 그 센서(33)의 감지에 따라 상기 높이제어수단(24)이 구동하여 높이가변롤러(23)들을 각각 지정된 높이로 하강시킨다.

상기 고정상향구간(30)은 제3이송축(31)과 그 제3이송축(31)에 다수로 결합된 제3이송롤러(32)를 포함하며, 그 제3이송축(31)의 위치는 상기 가변상향구간(20)의 제1이송축(21)이 이루는 제1수준과 수평구간(40)의 제2이송축(41)이 이루는 제2수준의 높이 사이에 위치하며, 필요에 따라 그 제3이송축(31)을 다수로 마련할 수 있으며, 그 다수로 마련된 제3이송축(31)들은 기판(10)의 이송방향으로 상향이송이 가능하도록 단계적으로 높이가 상승하도록 배치된다.

상기 하강된 높이가변롤러(23)들의 높이는 모두 상기 가변상향구간(20)의 제1이송축(21)의 높이에 비하여 낮은 위치로 하강하며, 기판(10)의 이송방향으로 전 구간에서 상향 경사지도록 각기 다른 높이로 제어되도록 할 수 있다.

이와 같이 가변상향구간(20)의 높이가변롤러(23)들의 높이를 제어하여 기판(10)을 상향경사진 상태로 이송하게 되며, 따라서 종래에 비해 보다 더 긴 상향구간을 제공할 수 있게 된다. 이와 같은 상향이송구간의 증가에 의해 상기 제1약액(25)은 보다 더 완전하게 제거될 수 있다.

그 다음, 도 4에 도시한 바와 같이 상기 가변상향구간(20)이 상향 경사진 형태로 기판(10)의 이송이 더 진행되어 기판(10)의 전단부가 수평구간(40)으로 이송되면, 그 수평구간(40)의 제2이송축(41)이 이루는 제2수준의 높이에서 지면과 수평하게 이송되며, 그 이송과정에서 후단노즐(43)을 통해 제2약액(44)이 기판(10)의 표면에 분사된다. 상기 제2약액(44)은 제1약액(25)인 현상액을 제거하는 탈이온수이다.

상기 후단노즐(43)의 분사각도(a)는 상기 기판(10)의 이송방향을 따라 그 기판과 이루는 예각이 20 내지 35도이며, 이와 같은 각도의 범위의 제한은 상기 제2약액(44)이 고정상향구간(30)측으로 유입되는 것을 방지하면서 최적의 린스 효과를 얻도록 하기 위한 것이다.

상기 분사각도(a)가 20도 미만에서는 기판(10)의 전면에 고른 분사가 용이하지 않으며, 35도를 초과하는 경우에는 방향성을 잃고 상기 고정상향구간(30) 측으로 유입될 수 있다.

이와 같은 상태에서 상기 기판(10)이 통과된 높이가변롤러(23)들은 원래의 위치인 제1수준의 높이까지 상향 이동되어 다음 기판의 진입에 대비한다.

이때 각 높이제어수단(24)들의 제어는 기판(10)이 지나는 속도를 예측하여 원래의 높이로 높이가변롤러(23)들을 상승시키는 제어를 시간에 의하여 할 수 있으며, 다른 방법으로는 높이가변롤러(23) 마다 센서를 두어 그 기판(10)의 검출유무에 따라 동작하도록 제어할 수 있다.

상기 높이제어수단(24)은 실린더 또는 전동모터로 구동되는 승하강축 일 수 있으며, 오염물의 발생 없이 높이가변롤러(23)를 구동할 수 있은 수단이면 그 종류에 관계없이 사용할 수 있다.

도 5는 다음 기판이 유입되는 상태를 나타내며, 그 다음 기판(11)을 지면과 수평한 상태로 이송한다. 이 기판(11)의 전단부가 다시 상기 센서(33)에 의해 검출되면, 상기 가변상향구간(20)은 상기 도 2와 같이 각 높이제어수단(24)의 제어에 의해 높이가변롤러(23)의 높이를 제어하게 된다.

도 6과 도 7은 각각 본 발명 기판 처리장치의 다른 실시예에 따른 구성도이다.

도 6과 도 7을 각각 참조하면 가변상향구간(20)과 수평구간(40)이 기판(10)의 진입시 동일한 높이에 위치하고 있으며, 센서(33)에 기판(10)이 검출되면 상기에서 상세히 설명한 바와 같이 각 높이가변롤러(23)의 높이에 차등을 두어 하강시킨다.

이와 같은 높이가변롤러(23)의 하강에 의하여 기판(10)에 도포된 제1약액(25)은 기판(10)의 후단측으로 쉽게 제거될 수 있다.

상기 수평구간(40)에는 다수의 제2이송축(41) 및 그 제2이송축(41) 각각에 다수로 결합된 제2이송롤러(42)가 구비되어 있으며, 후단노즐(43)에서 분사되는 제2약액(44)에 의해 세정이 이루어진다. 이때 후단노즐(43)의 분사각도(a)는 20 내지 35도이며, 이 각도의 한정 이유는 위에서 충분히 설명되었으므로 생략한다.

이와 같이 본 발명 기판 처리장치의 다른 실시예는 고정상향구간(30)을 두지 않음으로써, 기판(10)의 이송에 필요한 제2이송축(41)을 구동하기 위한 동력전달기재의 구성을 보다 단순화할 수 있다.

이와 같이 본 발명은 수평으로 기판을 이송하다가 기판이 적정 위치에 도달하면, 그 기판을 전체적으로 이송방향에 대하여 상향 경사진 상태로 이송되도록 함으로써, 보다 완전하게 제1약액을 제거할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명 기판 처리장치 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

도 2 내지 도 5는 본 발명 기판 처리장치 바람직한 실시예의 동작을 설명하기 위한 측면구성도이다.

도 6과 도 7은 각각 본 발명 기판 처리장치의 다른 실시예에 따른 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10,11:기판 20:가변상향구간

21:제1이송축 22:제1이송롤러

23:높이가변롤러 24:높이제어수단

25:제1약액 30:고정상향구간

31:제3이송축 32:제3이송롤러

33:센서 40:수평구간

41:제2이송축 42:제2이송롤러

43:후단노즐 44:제2약액

Claims (5)

1. 전단노즐에 의해 제1약액이 도포된 기판을 지면과 평행하게 이송하되, 기판의 선단부 일부가 통과하면 상기 기판을 상향경사지게 이송하여 상기 제1약액을 제거하는 가변상향구간; 및

   상기 가변상향구간을 통해 상기 제1약액이 제거된 기판을 지면과 평행하게 이송하며, 그 기판에 제2약액을 도포하되 그 제2약액이 상기 고정상향구간으로 역류하는 것을 방지하는 후단노즐을 구비하는 수평구간을 포함하되,

   상기 가변상향구간은 상기 수평구간에 비하여 더 낮게 위치하며, 상기 가변상향구간과 상기 수평구간의 사이에서 상기 기판을 상향 이송하는 고정상향구간을 더 포함하는 기판 처리장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 후단노즐은,

   그 분사각도가 상기 기판의 이송방향을 따라 그 기판과 이루는 예각이 20 내지 35도인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 가변상향구간은,

   상기 기판의 저면과 접촉하여 기판이 이송될 수 있도록 하는 높이가변롤러들과, 그 높이가변롤러들의 높이를 개별 제어하여 각 높이가변롤러들의 높이에 차등을 두어 상기 기판이 이송방향에 대하여 상향 경사지게 이송될 수 있도록 하는 높이제어수단들을 포함하는 기판 처리장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 고정상향구간은,

   상기 가변상향구간과 상기 수평구간 사이의 높이를 가지는 하나 또는 둘 이상의 이송축 및 그 이송축 각각에 결합된 다수의 이송롤러를 포함하는 기판 처리장치.

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