KR100934777B1 - 기판 처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로, 제1노즐에 의해 제1약액이 도포된 기판을 제1방향으로 제1수준의 높이에서 지면과 평행하게 이송하는 제1수평구간과, 상기 제1약액이 제거된 기판을 평행하게 이송하며, 상기 기판에 제2약액을 도포하되, 그 제2약액이 역류하는 것을 방지하도록 분사각도가 한정된 제2노즐을 구비하는 제2수평구간과, 상기 제1수평구간과 제2수평구간의 사이에서, 상기 기판의 선단부를 제1수준의 높이에서 그 제1수준의 높이보다 높은 제2수준의 높이까지 상승시켜, 상기 기판에서 상기 제1약액을 제거하는 상향구간을 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 제1약액이 도포된 기판의 이송 중에 그 기판의 일부 구간에서 높이를 상승시켜 이송하는 상향구간을 마련하여 제1약액이 기판의 진행방향에 대한 후단측으로 제거될 수 있도록 하여 기판을 정지시키지 않고도 기판으로부터 제1약액을 용이하게 제거할 수 있게 됨으로써, 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

상향구간, 기판처리, 약액제거

Description

기판 처리장치{Processing apparatus for substrate}

본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로, 특히 연속적으로 서로 다른 종류의 약액으로 기판을 처리할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이 패널을 제조할 때에는 기판이 지면에 대하여 수평하게 이송되는 상태에서 그 기판 상에 형성된 감광막을 현상하는 현상액을 도포한 후, 그 현상액을 제거하기 위하여 기판의 이송을 정지시킨 상태에서 기판을 일방향으로 기울여 현상액을 제거한다.

이와 같이 현상액을 제거한 후 다시 기판을 지면에 대하여 수평한 상태로 만들어 이송하며, 그 기판 상에 잔존하는 현상액을 제거하는 린스액을 도포하게 된다.

상기 린스액의 도포에 의해 현상공정의 진행이 중지된다.

그러나 이와 같은 종래의 기판 처리장치는 기판이 정지된 상태에서 그 기판을 경사지게 하고, 소정의 시간 후에 다시 지면에 대해 수평한 상태로 만들어 이송 하기 때문에 기판 처리장치의 구조가 복잡하며, 그 기판의 정지 상태에서는 다른 기판의 이송이 불가능하기 때문에 이송 정체 현상이 발생되어 제품의 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

또한 기판을 정지시키지 않고 이송방향으로 상향구간과 하향구간을 가지는 경사를 주어 도포된 제1약액을 제거함과 아울러 제2약액의 도포시 제1약액의 제거구간인 상향구간측으로 제2약액이 역류하는 것을 방지하는 기술이 공개되었으나, 이는 좁은 영역에서 상향구간과 하향구간을 가지기 때문에 기판이 좁은 영역에서 절곡되어 기판이 손상될 수 있는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판의 이송을 중단시키지 않고도 기판에 경사를 주어 기판에 도포된 제1약액을 제거할 수 있는 기판 처리장치를 제공함에 있다.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 이송중인 기판에 휨의 발생을 최소화할 수 있는 기판 처리장치를 제공함에 있다.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 기판을 제1수준으로부터 제2수준까지 경사 이동시키되, 그 경사 이동에 필요한 수단의 동력전달 구성을 보다 단순화하여 장치의 구조를 단순화할 수 있는 기판 처리장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 제1노즐에 의해 제1약액이 도포된 기판을 제1방향으로 제1수준의 높이에서 지면과 평행하게 이송하는 제1수평구간과, 상기 제1약액이 제거된 기판을 평행하게 이송하며, 상기 기판에 제2약액을 도포하되, 그 제2약액이 역류하는 것을 방지하도록 분사각도가 한정된 제2노즐을 구비하는 제2수평구간과, 상기 제1수평구간과 제2수평구간의 사이에서, 상기 기판의 선단부를 제1수준의 높이에서 그 제1수준의 높이보다 높은 제2수준의 높이까지 상승시켜, 상기 기판에서 상기 제1약액을 제거하는 상향구간을 포함한다.

본 발명은 제1약액이 도포된 기판의 이송 중에 그 기판의 일부 구간에서 높 이를 상승시켜 이송하는 상향구간을 마련하여 제1약액이 기판의 진행방향에 대한 후단측으로 제거될 수 있도록 하여 기판을 정지시키지 않고도 기판으로부터 제1약액을 용이하게 제거할 수 있게 됨으로써, 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

또한 본 발명은 상기 상향구간을 지난 후 기판을 다시 하향 이동시키지 않고 지면과 평행한 상태로 이송시키며, 제2약액의 분사각도를 조절하여 그 제2약액이 역류하는 것을 방지하여, 기판이 좁은 구간에서 상향과 하향의 휨을 발생시키지 않음으로써 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

아울러 상기 상향구간을 통해 제1약액이 제거되어 지면에 대하여 수평으로 이송되는 기판에 제2약액을 분사하되, 그 제2약액을 분사하는 분사노즐의 각도를 조절하여 별도의 유입 방지수단을 설치하지 않고도 제2약액이 상기 집액구간 측으로 유입되는 것을 방지하여, 장치의 구성을 보다 단순화할 수 있는 효과가 있다.

이하, 상기와 같은 본 발명 기판 처리장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명 기판 처리장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

도 1을 참조하면 본 발명 기판 처리장치의 바람직한 실시예는, 기판(10)을 제1수준의 높이로 지면과 평행하게 이송하는 제1이송축(21)과, 그 제1이송축(21) 각각에 다수로 결합되어 상기 기판(10)의 저면과 점접촉하는 제1이송롤러(22)와, 상기 제1이송축(21)을 지나는 기판(10)의 상부에 제1약액을 도포하는 제1노즐(23)을 포함하는 제1수평구간(20)과; 상기 제1수평구간(20)을 통해 제1약액이 도포된 상기 기판(10)을 그 제1수준의 높이에서 제2수준의 높이로 상향 경사지게 이송하여 상기 기판(10)에서 제1약액을 제거하는 상향구간(30)과; 상기 제2수준까지 상향경사 이송된 기판(10)을 제2수준에서 지면과 평행한 상태로 이송하는 제2이송축(41)과, 상기 상기 제2이송축(41) 각각에 다수로 결합되어 상기 기판(10)의 저면과 점접촉하는 제2이송롤러(42)와, 상기 제2이송축(41)에 의해 이송되는 기판(10)의 표면에 제2약액을 분사하되 그 분사각의 조절에 의해 제2약액이 상기 상향구간(30)측으로 역류하는 것을 방지하는 제2노즐(43)을 포함하는 제2수평구간(40)을 포함한다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명 기판 처리장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 도 2는 본 발명 기판 처리장치의 제1실시예에 따른 측면 구성도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명 기판 처리장치의 제1수평구간(20)은 지면과 수평으로 다수 위치하는 제1이송축(21)들이 일방향으로 회전하면서, 그 각각의 제1이송축(21)에 각각 다수로 결합된 제1이송롤러(22)들이 기판(10)의 저면에 접촉되면서 기판(10)을 일방향으로 이송시킨다.

이때, 상기 제1이송축(21)에 의해 이송되는 기판(10)은 제1노즐(23)에서 분 사되는 제1약액(24)이 도포된 상태이다. 이때 제1약액(24)은 현상액 일 수 있으며, 그 제1약액(24)은 상기 기판(10)이 상향구간(30)을 지나면서 기판(10)의 후단측으로 밀려 제거된다.

상기 상향구간(30)은 상기 제1이송축(21)과 동일한 직경이며, 그 제1이송축(21)들이 이루는 제1수준의 높이에 비해 높고, 상기 제2이송축(41)이 이루는 제2수준의 높이에 비해 낮은 위치에 위치하는 제3이송축(31)을 포함한다. 이 제3이송축(31)의 외면에는 다수의 제3이송롤러(32)가 체결되어 기판(10)을 상향으로 경사 이송시킬 수 있다. 상기 제3이송축(31)은 하나를 설치할 수 있으며, 각각 높이를 달리하도록 다수로 설치할 수 있다.

상기 상향구간(30)에 의해 제2수준의 높이로 상향 이송된 기판(10)은 그 상향구간(30)에서 상기 제1약액(24)이 제거되며, 제2이송축(41)들과 그 제2이송축(41)들 각각에 복수로 결합된 이송롤러(42)들을 포함하는 제2수평구간(40)을 통해 기판(10)이 지면에 수평한 상태로 이송된다.

이때, 그 제2수평구간(40)에 포함된 제2노즐(43)을 통해 제2약액(44)이 도포된다.

상기 제1약액이 제거된 기판(10)은 잔존하는 제1약액(24)을 제거하기 위하여 기판(10)의 이송방향을 따라 그 기판(10)과 이루는 예각(a)이 20 내지 35도의 범위 내가 되도록 설치된 제2노즐(43)에서 제2약액(44)을 분사한다.

이때 상기 제2노즐(43)의 분사각도 제한은 제2약액(44)이 상향구간(30) 측으로 유입되지 않는 상태에서 최적의 린스효과를 얻도록 하기 위한 것으로, 35도를 초과하는 경우 분사된 제2약액(44)이 방향성을 잃고 상기 상향구간(30) 측으로 유입될 수 있으며, 20도 미만에서는 기판(10)의 전면에 고른 분사가 용이하지 않게 된다.

상기 제2약액(44)은 탈이온수 등의 세정수일 수 있으며, 상기 기판(10)에 잔존하는 제1약액(24)에 의한 과도한 현상이 이루어지는 것을 방지할 수 있다.

이상에서는 제1약액(24)을 현상액으로, 제2약액(44)을 린스액으로 사용하는 예를 들었으나, 이종의 약액을 기판에 순차 분사하여 처리하는 공정에 본 발명 기판 처리장치는 용이하게 적용될 수 있으며, 그 약액의 종류에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.

그리고 제2수평구간(40)의 일부에는 상기 제2노즐(43)과 상향구간(30)을 분리하는 격벽(45)이 마련될 수 있다. 상기 격벽(45)은 이후에 설명할 제2약액이 분사되는 구간을 정의하며, 그 격벽(45)의 양측으로 미스트가 이동하는 것을 방지할 수 있다.

도 3은 본 발명 기판 처리장치의 제2실시예에 따른 구성도이다.

도 3을 참조하면 본 발명 기판 처리장치의 제2실시예는, 그 상향구간(30)이 상기 제1수준의 높이로 마련된 제1수평구간(20)을 통해 이송된 기판(10)을 제2수준의 높이를 가지는 제2수평구간(40)으로 상향 이송하기 위하여 대구경 이송축(33) 및 대구경 이송롤러(34)를 포함하여 구성된다.

상기 대구경 이송축(33)은 그 회전중심이 상기 제1수평구간(20)에 마련된 제1이송축(21)의 회전중심과 동일하게 제1수준의 높이로 마련되는 것이 바람직하다. 이는 상기 대구경 이송축(33)을 별도로 구동하는 구동수단을 마련하지 않고도 상기 제1이송축(21)을 구동하는 수단을 이용하여 회전 수를 맞춰 용이하게 구동할 수 있기 때문이다.

즉, 하나의 모터(도면 미도시)의 구동력을 그 제1이송축(21)들에 전달하는 기판(10)의 이송방향을 따라 위치하는 구동축(도면 미도시)에 기어를 통해 연결하여 제1이송축(21)과 함께 상기 대구경 이송축(33)을 함께 구동할 수 있게 된다.

상기 대구경 이송축(33)에는 다수의 대구경 이송롤러(34)가 체결되어 있으며, 그 대구경 이송롤러(34)의 기판(10)과 점접촉하는 위치는 상기 제1수준과 제2수준 사이의 높이면 사용이 가능하다.

즉, 상기 제1수준과 제2수준의 높이 차에 따라 상기 대구경 이송축(33) 및 대구경 이송롤러(34)의 직경이 정해진다.

도 4와 도 5는 본 발명 기판 처리장치의 제3실시예에 따른 측면 구성도이다.

도 4와 도 5를 참조하면 본 발명 기판 처리장치의 제3실시예는, 그 상향구간(30)을 가변롤러(35)의 높이를 제어하는 승강제어부(36)를 포함하여 구성할 수 있다.

상기 승강제어부(36)는 실린더를 사용할 수 있으며, 기판(10)이 제1수평구간(20)을 지나 상기 상향구간(30)의 가변롤러(35)의 위치에 도달하면, 이를 감지한 센서(37)에 의해 그 승강제어부(36)를 구동하는 구동제어부(도면 미도시)가 동작하여, 상기 가변롤러(35)를 상승시켜 상기 제2수평구간(40)이 이루는 제2수준의 높이에 이르도록 한다.

이와 같은 가변롤러(35)의 동작에 의해 상기 기판(10)의 전단부는 제2수준의 높이까지 상승하며, 따라서 상향구간(30)을 이루어 기 도포된 제1약액(24)이 제거된다.

기판(10)의 이송이 더 진행되어 기판(10)의 후단부가 상기 가변롤러(35)를 완전히 지나게 되면, 상기 승강제어부(36)는 다시 그 가변롤러(35)를 제1수준의 높이로 하강시켜 다음 기판(10)의 상향 경사 이동을 준비한다.

상기와 같이 승강제어부(36)와 가변롤러(35)를 사용하는 상향구간(30)의 구성은 기판(10)을 상향 이동시키기 위한 별도의 구동수단을 마련하지 않기 때문에 장치의 설계가 용이하고, 구성을 단순화할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명 기판 처리장치 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.

도 2는 본 발명 기판 처리장치의 제1실시예에 따른 구성도이다.

도 3은 본 발명 기판 처리장치의 제2실시예에 따른 구성도이다.

도 4 및 도 5는 본 발명 기판 처리장치의 제3실시예에 따른 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10:기판 20:제1수평구간

21:제1이송축 22:제1이송롤러

23:제1노즐 24:제1약액

30:상향구간 31:제3이송축

32:제3이송롤러 33:대구경 이송축

34:대구경 이송롤러 35:가변롤러

36:승강제어부 37:센서

40:제2수평구간 41:제2이송축

42:제2이송롤러 43:제2노즐

44:제2약액

Claims (5)

1. 제1노즐에 의해 제1약액이 도포된 기판을 제1방향으로 제1수준의 높이에서 지면과 평행하게 이송하는 제1수평구간;

   상기 제1약액이 제거된 기판을 평행하게 이송하며, 상기 기판에 제2약액을 도포하되, 그 제2약액이 역류하는 것을 방지하도록 분사각도가 한정된 제2노즐을 구비하는 제2수평구간; 및

   상기 제1수평구간과 제2수평구간의 사이에서, 상기 기판의 선단부를 제1수준의 높이에서 그 제1수준의 높이보다 높은 제2수준의 높이까지 상승시켜, 상기 기판에서 상기 제1약액을 제거하는 상향구간을 포함하는 기판 처리장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제2노즐은,

   그 분사각도가 상기 기판의 이송방향을 따라 그 기판과 이루는 예각이 20 내지 35도인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 상향구간은,

   상기 제1수준과 제2수준의 사이의 제3수준의 높이를 가지는 하나 또는 둘 이상의 이송축 및 그 이송축 각각에 결합된 다수의 이송롤러를 포함하는 기판 처리장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 상향구간은,

   중심축이 상기 제1수준과 동일 높이인 대구경 이송축과, 그 대구경 이송축에 다수로 체결되되, 상기 기판의 저면과 접하는 부분이 상기 제1수준과 제2수준의 사이인 대구경 이송롤러를 포함하는 기판 처리장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 상향구간은,

   높이가 가변되는 가변롤러와, 상기 가변롤러의 상부에 상기 기판의 선단부에 위치하면 그 가변롤러를 상기 제1수준의 높이로부터 상기 제2수준의 높이까지 상승시키며, 상기 기판이 상기 가변롤러를 완전히 지나면 상기 제2수준의 높이로부터 상기 제1수준의 높이까지 하강시키는 승강제어부를 포함하는 기판 처리장치.

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