KR100562724B1

KR100562724B1 - 화면표시장치용 글라스의 배면 식각장치

Info

Publication number: KR100562724B1
Application number: KR1020040017639A
Authority: KR
Inventors: 조규수
Original assignee: 태화일렉트론(주)
Priority date: 2004-03-16
Filing date: 2004-03-16
Publication date: 2006-03-20
Also published as: KR20050092551A

Abstract

본 발명은 화면표시장치용 글라스(LCD, PDP Glass 등)의 식각장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD(liquid crystal display),PDP(Plasma Display Panel) 등의 구성요소인 글라스에 인쇄 또는 증착되는 회로소자 및 단자 등의 패턴 형성 공정 후에는 불필요한 부분을 식각(Etching)을 통해 제거하게 되는데, 이때, 글라스를 소정의 각도로 경사지게 위치시키고 하부면에 식각 화학물을 분사하되, 분사 위치에 따라 분사 유량을 조절하여 분사토록 함으로써, 분사된 식각 화학물이 글라스 표면을 타고 흘러내리면서 전체에 균일하게 도포되도록 하여 식각의 정밀성을 향상시키는 한편, 비접촉(에어/디아이) 지지핀을 통해 글라스를 지지하도록 함으로써 글라스 표면의 손상을 방지하여 화면표시장치(LCD, PDP 등)의 품질 및 수율을 향상시키도록 하는 화면표시장치용 글라스의 식각장치에 관한 것이다.

이를 위한 본 발명은 화면표시장치용 글라스에 인쇄 또는 증착을 통해 회로소자 및 단자 등의 패턴 형성 공정 후, 불필요한 부분을 식각 화학물을 분사하여 식각토록 된 화면표시장치용 글라스의 식각장치에 있어서, 소정의 각도로 경사지면서 양 단부에 안착부재가 설치된 다수개의 이송롤러로 이루어진 이송부와, 이송롤러 사이에 이송롤러와 동일한 각도로 경사지면서 수평으로 설치되는 공급파이프 상부면에 각각 다른 유량으로 식각 화학물을 분사토록 설치되는 밸브를 갖는 분사노즐로 이루어진 분사부와, 이송되는 글라스 하부면 중간에 수평으로 설치되는 다수 개의 에어/디아이 노즐(131)을 통해 에어/디아이(초순수 물)를 분사하여 글라스를 지지하도록 된 지지부로 구성됨을 특징으로 한다.

Description

화면표시장치용 글라스의 배면 식각장치{Etching equipment of glass for Liquid Crystal Display and Plasma Display Panel}

도 1은 본 발명의 구성을 보인 사시도

도 2는 본 발명의 구성을 보인 측면도

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 보인 측면도

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

100 : 글라스 패턴 식각장치 110 : 이송부

111 : 이송롤러 112 : 안착부재

120 : 분사부 121 : 공급파이프

122 : 분사노즐 123 : 밸브

130 : 지지부 131 : 에어/디아이 노즐

G : 글라스

화면표시장치용 글라스(LCD, PDP Glass 등)의 식각장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD(liquid crystal display),PDP(Plasma Display Panel) 등의 구성요소인 글라스에 인쇄 또는 증착되는 회로소자 및 단자 등의 패턴 형성 공정 후에는 불필요한 부분을 식각(Etching)을 통해 제거하게 되는데, 이때, 글라스를 소정의 각도로 경사지게 위치시키고 하부면에 식각 화학물을 분사하되, 분사 위치에 따라 분사 유량을 조절하여 분사토록 함으로써, 분사된 식각 화학물이 글라스 표면을 타고 흘러내리면서 전체에 균일하게 도포되도록 하여 식각의 정밀성을 향상시키는 한편, 비접촉(에어/디아이) 지지핀을 통해 글라스를 지지하도록 함으로써 글라스 표면의 손상을 방지하여 화면표시장치(LCD, PDP 등)의 품질 및 수율을 향상시키도록 하는 화면표시장치용 글라스의 식각장치에 관한 것이다.

일반적으로, FPD(flat pannel display)용으로 사용되는 TFT(thin film transister) LCD(liquid crystal display),PDP(Plasma Display)는 하판에 해당하는 TFT/Pattern 과 상판에 해당하는 CF(color filter)사이에 LCD의 경우 액정, PDP의 경우 불활성 가스이 삽입되어 셀(cell) 형태로 제조된다.

상기, 하판을 제조하기 위하여 TFT/PDP Pattern 공정진행 중 글라스는 불필요 영역의 표면을 엷게 가공(제거)할 필요가 있다.

즉, TFT, PDP 공정 진행 중 불필요 영역의 패턴(Pattern)를 식각(ETtching)하여야 하는데, 이제까지 행해지고 있는 글라스의 식각 방법이나 그 장치는 다음과 같은 여러 가지 문제점을 내포하고 있다.

먼저, TFT LCD, PDP용 글라스를 식각하고자 하는 경우에는 그 글라스 표면을 균일하게 식각하여야 하는데, 종래 글라스 식각 장치는 대부분 글라스 상부면에 식각 화학물을 스프레이 방식으로 도포하므로, 글라스의 기울기가 일정치 않으면 Etching액이 특정부위에 고임으로 인해 Etching량이 일정치 않아 균일한 식각이 이루어지지 않게 되는 가장 큰 문제점이 있는 것이었다.

이와 같은 문제점을 보완하기 위해 글라스의 처짐을 방지하도록 중간에 지지롤러를 설치하여 사용하게 되는데, 이는 글라스면의 지지에 따른 표면 손상을 가져오는 문제점이 있는 것이다.

상기와 같은 문제점을 고려하여 창출한 본 발명은 LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel)의 구성요소인 글라스에 인쇄 또는 증착되는 회로소자 및 단자 등의 패턴 형성 공정 후에는 불필요한 부분을 식각(Etching)을 통해 제거하게 되는데, 이때, 글라스를 소정의 각도로 경사지게 위치시키고 하부면에 식각 화학물을 분사하되, 분사 위치에 따라 부사 유량을 조절하여 분사토록 함으로써, 분사된 식각 화학물이 글라스 표면을 타고 흘러내리면서 전체에 균일하게 도포되도록 하여 식각의 정밀성을 향상시키는 한편, 에어/디아이 지지핀을 통해 글라스를 지지(플로팅)하도록 함으로써 글라스 표면의 손상을 방지하여 화면표시장치(LCD, PDP 등)의 품질 및 수율을 향상시키도록 하는 화면표시장치용 글라스의 식각장치를 제공함을 기술적 과제로 삼는다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명은 화면표시장치(LCD, PDP 등)용 글라스에 인쇄 또는 증착을 통해 회로소자 및 단자 등의 패턴 형성 공정 후, 불필요한 부분을 식각 화학물을 분사하여 식각토록 된 화면표시장치용 글라스의 식각장치에 있어서, 소정의 각도로 경사지면서 양 단부에 안착부재가 설치된 다수개의 이송롤러로 이루어진 이송부와, 이송롤러 사이에 이송롤러와 동일한 각도로 경사지면서 수평으로 설치되는 공급파이프 상부면에 각각 다른 유량으로 식각 화학물을 분사토록 설치되는 밸브를 갖는 분사노즐로 이루어진 분사부와, 이송되는 글라스 하부면 중간에 수평으로 설치되는 다수개의 에어노즐(131)을 통해 에어를 분사하여 글라스를 지지하도록 된 지지부로 구성됨을 특징으로 한다.

본 발명의 설명에 참고가 되는 첨부 도면 도 1은 본 발명의 구성을 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 구성을 보인 측면도이며, 도 3은 본 발명의 다른 실시예를 보인 측면도로서, 이중 도면 부호 100은 본 발명인 화면표시장치용 글라스 패턴 식각 장치를 나타낸 것이다.

본 발명은 첨부 도면 도 1에서 보는 바와 같이, 화면표시장치(LCD, PDP 등)용 글라스에 인쇄 또는 증착을 통해 회로소자 및 단자 등의 패턴 형성 공정 후, 불필요한 부분을 식각 화학물을 분사하여 식각토록 된 화면표시장치용 글라스의 식각장치에 있어서, 소정의 각도로 경사지면서 양 단부에 안착부재(112)가 설치된 다수개의 이송롤러(111)를 통해 글라스(G)를 이송하도록 된 이송부(110)와; 각 이송롤 러(111) 사이의 하단에 이송롤러(111)와 동일한 각도로 경사지면서 수평으로 설치되는 공급파이프(121)와, 공급파이프(121) 상부면에 설치되는 밸브(123) 및 분사노즐(122)로 이루어진 분사부(120)와, 이송되는 글라스(G) 하부면 중간에 수평으로 설치되는 다수개의 에어/디아이 노즐(131)로 이루어진 지지부(130)로 구성된 것이다.

상기, 이송부(110)의 경사 각도는 5°이며, 그 경사 각도는 가변 가능한 것이다.

그리고, 분사부(120)는 이송부(110)에 의해 이송되는 글라스(G)의 하부면에 설치되어 글라스(G) 하부면을 식각하도록 설치된 것이며, 분사부(120)의 각 밸브(123)는 경사면을 따라 단계적으로 개별적인 유량 조절이 가능하도록 된 것이다.

이와 같이 구성된 본 발명은 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같이, 이송부(110)의 이송롤러(111) 양단에 설치된 안착부재(112)에 글라스(G)가 안착되어 이송롤러(111)의 회전에 의해 글라스(G)가 이송된다.

상기, 이송롤러(111)의 외곽 단부에는 동력 전달수단인 예컨대, 체인이 연결되어 있어 타측에 회전 동력을 공급하는 모터의 회전축과 연결되는데, 하나의 모터로 회전 구동 가능하도록 연결되어 있으며, 이는 이송장치 및 방법에 있어서 이미 널리 공지된 구조이므로 구체적이 도면 부호 기재에 의한 설명은 생략하였다.

상기와 같이, 이송부(110)를 통해 이송되는 글라스(G)의 하부면에 설치된 분사부(120)의 공급파이프(121)를 통해 식각을 위한 화학물이 공급되면, 각각 개별적 으로 유량 조절이 가능한 밸브(123)를 통해 분사 유량이 조절되어 분사노즐(122)거쳐 분사되게 된다.

상기, 밸브(123)를 통한 유량 조절은 경사진 상태로 이송되는 글라스(G)의 하부면에 분사되는 화학물이 흘러내리는 것을 감안하여 상측 방향으로 갈수록 분사 유량이 많도록 밸브 조작된다.

그리고, 본 발명에서 지지부(130)는 글라스(G)의 표면을 직접 면접촉하여 지지하지 않고 에어/디아이 분사를 통해 글라스(G)의 중량을 지지할 수 있도록 하여 글라스(G) 표면의 손상을 방지하게 된다.

본 발명에서는 상기 지지부(130)를 글라스(G) 하부면에서 에어를 분사하는 구조로 실시예를 적용하였으나, 첨부 도면 도 3에서 보는 바와 같이, 글라스(G) 상부면에 소정의 간격을 두고 에어노즐(131)을 설치하되, 별도의 백큠장치를 통해 진공 흡입하도록 구성하여 글라스(G)의 식각 부위의 손상을 방지하도록 하는 것도 바람직할 것으로 본다.

이와 같이 되는 본 발명은 화면표시장치 에컨대, LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel) 등의 구성요소인 글라스에 인쇄 또는 증착되는 회로소자 및 단자 등의 패턴 형성 공정 후에는 불필요한 부분을 식각(Etching)을 통해 제거하게 되는데, 이때, 글라스를 소정의 각도로 경사지게 위치시키고 하부면에 식각 화학물을 분사하되, 분사 위치에 따라 부사 유량을 조절하여 분사토록 함으로써, 분사된 식각 화학물이 글라스 표면을 타고 흘러내리면서 전체에 균일하게 도포되도록 하여 식각의 정밀성을 향상시키는 한편, 에어/디아이 지지핀을 통해 글라스를 지지하도록 함으로써 글라스 표면의 손상을 방지하여 화면표시장치(LCD, PDP)의 품질 및 수율을 향상시키는 효과를 갖는다.

Claims

화면표시장치용 글라스에 인쇄 또는 증착을 통해 회로소자 및 단자 등의 패턴 형성 공정 후, 불필요한 부분을 식각 화학물을 분사하여 식각토록 된 화면표시장치용 글라스 식각 장치에 있어서, 일측 방향으로 경사지면서 양 단부에 안착부재(112)가 설치되는 하나 이상이 수평으로 설치되는 이송롤러(111)를 통해 글라스(G)를 이송하도록 된 이송부(110)와; 각 이송롤러(111) 사이의 하단에 이송롤러(111)와 동일한 각도로 경사지면서 수평으로 설치되는 공급파이프(121)와, 공급파이프(121) 상부면에 설치되는 밸브(123) 및 분사노즐(122)로 이루어진 분사부(120)와, 이송되는 글라스(G) 하부면 중간에 수평으로 설치되는 하나 이상의 에어/디아이 노즐(131)로 이루어진 지지부(130)로 구성됨을 특징으로 하는 화면표시장치용 글라스 식각장치.
제 1항에 있어서, 이송부(110)의 경사 각도는 5°임을 특징으로 하는 화면표시장치용 글라스 식각장치.
제 1항에 있어서, 분사부(120)는 이송부(110)에 의해 이송되는 글라스(G)의 하부면에 설치되어 글라스(G) 하부면을 식각하도록 설치됨을 특징으로 하는 화면표시장치용 글라스 식각장치.
제 1항에 있어서, 분사부(120)의 각 밸브(123)는 경사면을 따라 화학물이 흘러 내리는 것을 감안하여, 상측 방향으로 갈수록 분사유량이 많도록 조절되어서 이루어진 것을 특징으로 하는 화면표시장치용 글라스 식각장치.
제 1항에 있어서, 지지부(130)를 글라스(G) 상측 방향에 유격을 두고 설치하되, 에어노즐(131)을 통해 백큠 흡입하도록 구성함을 화면표시장치용 글라스 식각장치.