CN108249139B - 用于基板处理设备间基板传送的控制方法、装置及系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法，包括：在自经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起第一预定时段后，生成用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号；以及将所生成的基板传送使能信号发送到所述第一基板处理设备，以用于控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。利用该方法，可以有效地降低第一和第二基板处理设备的等待时间。

Description

用于基板处理设备间基板传送的控制方法、装置及系统

技术领域

本申请通常涉及半导体芯片领域，更具体地，涉及一种用于基板处理设备(例如，半导体芯片基板处理设备)之间的基板传送的控制方法、装置及系统。

背景技术

在半导体芯片封装和测试领域，通常需要经历一系列处理工序来对基板进行处理，比如芯片贴装、烘烤、引线键合、环氧固化、电镀、电镀后烘烤、打印、成形、引脚及外观检查等等。上述处理工序通常会分布在流水线上的各个基板处理设备上执行，并且在上游基板处理设备完成对基板的处理后，会将处理后的基板传送到下游的基板处理设备上进行进一步的处理。

在现有的基板传送控制方案中，通常是在下游基板处理设备完成当前基板处理后，向上游基板处理设备发送下游基板处理设备空闲的消息。上游基板处理设备接收到指示下游基板处理设备空闲的消息后，如果完成对下一基板的相应处理，则将该下一基板传送到下游基板处理设备来进行处理。

按照上述基板传送控制方案，由于只有在下游基板处理设备处于空闲状态下，才开始进行向下游基板处理设备的传送，而将待处理基板从上游基板处理设备的处理位置传送到下游基板处理设备的处理位置需要花费一段时间，从而使得下游基板处理设备在接收到该待处理基板进行处理之前，需要等待一段时间，由此使得基板处理效率不佳。更为严重的是，在下游基板处理设备是流水线的链路瓶颈设备(即，导致流水线生产瓶颈的处理设备)时，可能会使得上游基板处理设备完成对基板的处理后需要等待较长的时间，从而使得基板处理效率变得更低。

发明内容

鉴于上述问题，本申请提供了一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法、装置及系统。利用该方法、装置及系统，通过在第二基板处理设备的处理位置处设置传感器，并且在该传感器检测到待处理基板到达处理位置时起经过第一预定时段后生成基板传送控制信号，而不是等待第二基板处理设备完成基板处理后生成基板传送控制信号，并基于所生成的基板传送控制信号来控制第一设备向第二设备传送基板，可以有效地降低第一和第二基板处理设备的等待时间，由此提高基板处理效率。

根据本申请的一个方面，提供了一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法，包括：在自经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起第一预定时段后，生成用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号；以及将所生成的基板传送使能信号发送到所述第一基板处理设备，以用于控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。

优选地，在一个示例中，所述方法还可以包括：基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号；以及基于所生成的阻挡板启用/禁用信号来启用/禁用所述阻挡板。

优选地，在一个示例中，基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号包括：在满足第一预定条件后，生成用于使得设置在所述第二基板处理设备中的位于所述处理位置之前预定距离处的阻挡板工作的阻挡板启用信号，其中，所述第一预定条件包括下述条件中之一：检测到所述待处理基板到达所述处理位置；在检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过所述第一预定时段；或者检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过第二预定时段，其中，所述第二预定时段是从所述第一基板处理设备的处理位置到达所述阻挡板所处位置的所需时间。

优选地，在一个示例中，基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号包括：在检测到所述待处理基板完成处理后，生成使得所述阻挡板禁用的阻挡板禁用信号。

优选地，在一个示例中，基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号包括：在检测到所述待处理基板到达所述处理位置后，基于所述待处理基板的基板处理完成所需时间以及在所述第二基板处理设备上传送所述预定距离所需时间来生成使得所述阻挡板禁用的阻挡板禁用信号。

优选地，在一个示例中，所述第二基板处理设备是所述流水线中的导致处理时间发生瓶颈的设备。

根据本申请的另一方面，提供了一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的装置，包括：基板传送使能信号生成单元，用于在自经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起第一预定时段后，生成用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号；以及发送单元，用于将所生成的基板传送使能信号发送到所述第一基板处理设备，以用于控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。

优选地，在一个示例中，所述装置还可以包括：阻挡板启用/禁用信号生成单元，用于基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号；以及阻挡板控制单元，用于基于所生成的阻挡板启用/禁用信号来启用/禁用所述阻挡板。

优选地，在一个示例中，所述阻挡板启用/禁用信号生成单元被配置为：在满足第一预定条件后，生成用于使得设置在所述第二基板处理设备中的位于所述处理位置之前预定距离处的阻挡板工作的阻挡板启用信号，其中，所述第一预定条件包括下述条件中之一：检测到所述待处理基板到达所述处理位置；在检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过所述第一预定时段；或者检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过第二预定时段，其中，所述第二预定时段是从所述第一基板处理设备的处理位置到达所述阻挡板所处位置的所需时间。

优选地，在一个示例中，所述阻挡板启用/禁用信号生成单元被配置为：在检测到所述待处理基板完成处理后，生成使得所述阻挡板禁用的阻挡板禁用信号。

优选地，在一个示例中，所述阻挡板启用/禁用信号生成单元被配置为：在检测到所述待处理基板到达所述处理位置后，基于所述待处理基板的基板处理完成所需时间以及在所述第二基板处理设备上传送所述预定距离所需时间来生成使得所述阻挡板禁用的阻挡板禁用信号。

优选地，在一个示例中，所述第二基板处理设备是所述流水线中的导致处理时间发生瓶颈的设备。

根据另一方面，提供了一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向第二基板处理设备的基板传送的方法，包括：从所述第二基板处理设备接收用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号，所述基板传送使能信号是在经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起经过第一预定时段后生成的；以及至少部分地基于所接收的基板传送使能信号来控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。

根据另一方面，提供了一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向第二基板处理设备的基板传送的装置，包括：接收单元，用于从所述第二基板处理设备接收用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号，所述基板传送使能信号是在经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起经过第一预定时段后生成的；以及控制单元，用于至少部分地基于所接收的基板传送使能信号来控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。

根据另一方面，提供了一种计算设备，包括：一个或多个处理器，以及存储器，所述存储器存储指令，当所述指令被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如上所述的由第二设备执行的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法。

根据另一方面，提供了一种非暂时性机器可读存储介质，其存储有可执行指令，所述指令当被执行时使得所述机器执行如上所述的由第二设备执行的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法。

根据另一方面，提供了一种计算设备，包括：一个或多个处理器，以及存储器，所述存储器存储指令，当所述指令被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如上所述的由第一设备执行的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法。

根据另一方面，提供了一种非暂时性机器可读存储介质，其存储有可执行指令，所述指令当被执行时使得所述机器执行如上所述的由第一设备执行的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法。

根据另一方面，提供了一种基板处理系统，包括：第一基板处理设备和第二基板处理设备，其中，所述第一基板处理设备包括：第一传送带；第一电机，用于驱动所述第一传送带的传送；如上所述的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的装置；以及所述第二基板处理设备包括：第二传送带；第二电机，用于驱动所述第二传送带的传送；设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器，用于检测在待处理基板是否到达所述第二基板处理设备的处理位置；如上所述的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的装置；以及设置在所述第二基板处理设备上的位于所述处理位置之前预定距离处的阻挡板。

利用上述方法、装置及系统，通过在第二基板处理设备的处理位置处设置传感器，并且在该传感器检测到待处理基板到达处理位置时起经过第一预定时段后生成基板传送控制信号，而不是等待第二基板处理设备完成基板处理后生成基板传送控制信号，并基于所生成的基板传送控制信号来控制第一设备向第二设备传送基板，可以有效地降低第一和第二基板处理设备的等待时间。

利用上述方法、装置及系统，通过在第二基板处理设备上的位于处理位置之前预定距离处的位置处设置阻挡板，并且基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号；然后基于所生成的阻挡板启用/禁用信号来启用/禁用所述阻挡板，从而可以更为有效地减少第二基板处理设备在处理完上一基板后接收到下一基板所需的时间。

附图说明

通过参照下面的附图，可以实现对于本公开内容的本质和优点的进一步理解。在附图中，类似组件或特征可以具有相同的附图标记。

图1示出了现有技术的基板处理系统的示例示意图；

图2示出了根据本申请的基板处理系统的示例示意图；

图3示出了根据本申请的一个示例的基板处理系统中的第一控制器的方框图；

图4示出了根据本申请的一个示例的基板处理系统中的第二控制器的方框图；

图5示出了根据本申请的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向第二基板处理设备的基板传送的方法的流程图；

图6示出了用于实现根据本申请的一个示例的基板处理系统中的第一控制器的计算设备的方框图；和

图7示出了用于实现根据本申请的一个示例的基板处理系统中的第二控制器的计算设备的方框图。

具体实施方式

现在将参考示例实施方式讨论本文描述的主题。应该理解，讨论这些实施方式只是为了使得本领域技术人员能够更好地理解从而实现本文描述的主题，并非是对权利要求书中所阐述的保护范围、适用性或者示例的限制。可以在不脱离本公开内容的保护范围的情况下，对所讨论的元素的功能和排列进行改变。各个示例可以根据需要，省略、替代或者添加各种过程或组件。例如，所描述的方法可以按照与所描述的顺序不同的顺序来执行，以及各个步骤可以被添加、省略或者组合。另外，相对一些示例所描述的特征在其它例子中也可以进行组合。

如本文中使用的，术语“包括”及其变型表示开放的术语，含义是“包括但不限于”。术语“基于”表示“至少部分地基于”。术语“一个实施例”和“一实施例”表示“至少一个实施例”。术语“另一个实施例”表示“至少一个其他实施例”。术语“第一”、“第二”等可以指代不同的或相同的对象。下面可以包括其他的定义，无论是明确的还是隐含的。除非上下文中明确地指明，否则一个术语的定义在整个说明书中是一致的。

图1示出了现有技术的基板处理系统的示例示意图。作为示例，在图1中示出了两个基板处理设备：第一基板处理设备10和第二基板处理设备20，其中，第一基板处理设备10是流水线中的上游基板处理设备，以及第二基板处理设备20是第一基板处理设备10的下游基板处理设备。

第一基板处理设备10包括第一传送带110、第一电机120和第一控制器130。第一传送带110用于在其上传送基板。第一控制器130经由无线或有线的方式来从第二控制器230接收基板传送控制信号，然后基于所接收的基板传送控制信号，在第一基板处理设备10内的针对下一基板的处理完成后，控制第一电机10驱动第一传送带110来传送下一基板，从而将下一基板传送到第二基板处理设备20来进行下一工序处理。这里，所述无线方法可以包括蓝牙、WiFi、WLAN、微波通信等。所述有线方式可以包括光纤连接、同轴线连接等等。

第二基板处理设备20包括第二传送带210、第二电机220、第二控制器230和传感器240。第二传送带210用于在其上传送基板。第二电机10用于在第二控制器230的控制下驱动第二传送带210来传送基板，以便传送到第二传送带210的处理位置40来进行基板处理，以及传送到位于第二基板处理设备20下游的另一基板处理设备来进行相应处理。传感器240用于感测在第二传送带210的处理位置上是否存在待处理基板，即，用于感测在第二基板处理设备20内的基板处理是否完成。传感器240将感测结果发送到第二控制器230。这里要说明的是，图1中示出的灰色块40仅仅是用于例示处理位置40在第二传送带210上的示意位置，并没有实际的灰色块存在于第二传送带210上。

第二控制器230根据传感器240的感测结果来生成基板传送控制信号，并将所生成的基板传送控制信号发送到第一控制器130。这里，所述基板传送控制信号可以包括基板传送使能信号。或者，所述基板传送控制信号可以包括基板传送使能信号和基板传送禁止信号。所述基板传送使能信号用于指示第二设备处于可接收基板状态从而使能第一设备进行基板传送的信号；以及所述基板传送禁止信号用于指示第二设备处于不可接收基板状态，从而禁止第一设备进行基板传送的信号。具体地，第二控制器230用于在感测到在第二传送带210的处理位置40上不存在待处理基板时，生成基板传送使能信号；以及在感测到在第二传送带210的处理位置40上存在待处理基板时，生成基板传送禁止信号。

按照上述基板传送控制方案，由于只有在下游基板处理设备处于空闲状态下，才开始进行向下游基板处理设备的传送，而将待处理基板从上游基板处理设备的处理位置传送到下游基板处理设备的处理位置需要花费一段时间，从而使得下游基板处理设备在接收到该待处理基板进行处理之前，需要等待一段时间，由此使得基板处理效率不佳。

现在结合附图来描述本申请的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向第二基板处理设备的基板传送的方法、装置及系统的实施例。

图2示出了根据本申请的根据本申请的基板处理系统的示例示意图。图2是在图1示出的基板处理系统的基础上进行的改进。与图1相比，图2中的不同之处仅仅在于，对第一控制器130和第二控制器230的功能进行了改进，以得到第一控制器130’和第二控制器230’。此外，在第二基板处理设备20’上还设置有阻挡板250。为了描述简单，下面仅仅对不同之处进行描述，而针对相同元件，不再进行赘述。

图3示出了根据本申请的第二控制器230’的一个示例的结构方框图。如图3所示，第二控制器230’包括基板传送使能信号生成单元231和发送单元233。在经由设置在第二基板处理设备20’的处理位置处的传感器240检测到待处理基板到达所述处理位置时后，基板传送使能信号生成单元在自传感器240检测到待处理基板到达所述处理位置时起第一预定时段后，生成用于使能第一基板处理设备10’向第二基板处理设备20’传送基板的基板传送使能信号。然后，发送单元233将所生成的基板传送使能信号发送给第一控制器130’。这里，第一预定时段是由用户设定的时段，其通常为较短的时间段，比如0.05秒。该第一预定时段可以是经验值或实验值。

第二控制器230’还可以包括阻挡板启用/禁用信号生成单元235和阻挡板控制单元237。阻挡板启用/禁用信号生成单元235用于基于传感器240在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号。然后，阻挡板控制单元237基于所生成的阻挡板启用/禁用信号来启用/禁用所述阻挡板。即，使得阻挡板竖起来挡住从第一基板处理设备向第二基板处理设备传送的基板，由此禁止将基板传送到第二基板处理设备上的处理位置；或者不使得阻挡板竖起，从而允许将来自第一基板处理设备的基板传送到第二基板处理设备上的处理位置来进行处理。这里，阻挡板250被设置在第二基板处理设备20’的第二传送带210上的位于所述处理位置之前预定距离的位置处。阻挡板250可以采用本领域中的任何类型的阻挡机构。在一个示例中，阻挡板控制单元237可以是用于驱动阻挡板250起作用或不起作用的驱动机构。在这种情况下，当阻挡板启用/禁用信号生成单元235所生成的信号是启用信号时，阻挡板控制单元237启用阻挡板250来阻挡来自第一基板处理设备10’的基板，从而禁止将该基板传送到第二基板处理设备20’的处理位置。当阻挡板启用/禁用信号生成单元235所生成的信号是禁用信号时，阻挡板控制单元237禁止阻挡板250阻挡来自第一基板处理设备10’的基板，从而允许将该基板传送到第二基板处理设备20’的处理位置来进行相应处理。

在本申请的一个示例中，阻挡板启用/禁用信号生成单元235可以被配置为：在满足第一预定条件后，生成用于使能设置在所述第二基板处理设备中的位于所述处理位置之前预定距离处的阻挡板工作的阻挡板启用信号。这里，所述第一预定条件可以包括下述条件中之一：在检测到所述待处理基板到达所述处理位置后；在检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过所述第一预定时段；或者自检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过第二预定时段，其中，所述第二预定时段是从所述第一基板处理设备的处理位置到达所述阻挡板所处位置的所需时间。这里，所述第二预定时段可以利用从第一基板处理设备的处理位置到第一传送带的末端位置(与第二传送带相邻的端点)之间的距离与第一基板处理设备的传送速度，以及从第二传送带的端点位置(与第一传送带相邻的端点)与阻挡板所处位置之间的距离与第二基板处理设备的传送速度来计算出。在一个示例中，可以在第二控制器230’中设置计时器，用于自检测到所述待处理基板到达所述处理位置起开始进行计时。

此外，在一个示例中，阻挡板启用/禁用信号生成单元235还被配置为：在检测到所述待处理基板完成处理后，生成使得阻挡板250禁用的阻挡板禁用信号。或者，在另一示例中，阻挡板启用/禁用信号生成单元235可以被配置为：在检测到所述待处理基板到达所述处理位置后，基于所述待处理基板的基板处理完成所需时间以及在第二基板处理设备20’的第二传送带210上传送所述预定距离所需时间来生成使得阻挡板250禁用的阻挡板禁用信号。例如，可以先计算基板处理完成所需时间和传送所述预定距离所需时间之间的差值时间，然后在自检测到所述待处理基板到达所述处理位置时起经过上述差值时间后生成使得阻挡板250禁用的阻挡板禁用信号。

此外，如上所述的第一和第二基板处理设备可以是流水线中的任意两个相邻的基板处理设备。在一个优选实施例中，第二基板处理设备20’可以是所述流水线中的导致处理时间发生瓶颈的设备，即，第二基板处理设备20’是流水线中所需处理时间最长的基板处理设备。

图4示出了根据本申请的第一控制器130’的一个示例的结构方框图。如图4所示，第一控制器130’包括接收单元131和控制单元133。接收单元131用于从第二基板处理设备20’的第二控制器230’接收用于使能第一基板处理设备10’向第二基板处理设备20’传送基板的基板传送使能信号，所述基板传送使能信号是在经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起经过第一预定时段后，由第二控制器230’生成的。然后，控制单元133用于在第一基板处理设备10’完成针对下一待处理基板的处理后，基于所接收的基板传送使能信号来控制第一基板处理设备10’向第二基板处理设备20’传送下一待处理基板。

图5示出了根据本申请的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向第二基板处理设备的基板传送的方法的流程图。

如图5所示，在S510，经由设置在第二基板处理设备20’的处理位置(即，第二传送带210上的处理位置40)处的传感器240，检测待处理基板是否到达所述处理位置。在检测到待处理基板到达所述处理位置后，传感器240向第二控制器230’发送用于指示检测到待处理基板到达所述处理位置的指示信息。在接收到该指示信息后，在S520，第二控制器230’例如可以对自检测到待处理基板到达所述处理位置起开始进行计时，并且在计时超过第一预定时段后，(即，自检测到待处理基板到达所述处理位置起经过第一预定时段后)，生成基板传送使能信号。

然后，在S530，将所生成的基板传送使能信号发送到第一控制器130’。在接收到基板传送使能信号后，第一控制器130’至少部分地基于所接收的基板传送使能信号来控制第一基板处理设备10’向第二基板处理设备20’传送下一待处理基板。在一个示例中，在接收到基板传送使能信号后，第一控制器130’还可以判断第一基板处理设备10’是否完成针对下一待处理基板的处理，并且在完成针对下一待处理基板的处理后，控制第一传送带110来将处理后的下一待处理基板传送到第二基板处理设备20’。

优选地，图5中示出的方法还可以包括：在S540，基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号；然后基于所生成的阻挡板启用/禁用信号来启用/禁用所述阻挡板。例如，在一个示例中，可以将所生成的阻挡板启用/禁用信号发送到位于阻挡板250处的阻挡板控制单元237。阻挡板控制单元237基于该阻挡板启用/禁用信号来启用/禁用阻挡板250。

如上参照图1到图5，对根据本申请的用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法、装置及系统的实施例进行了描述。上面所述的第一控制器/第二控制器可以采用硬件实现，也可以采用软件或者硬件和软件的组合来实现。

在本申请中，第一控制器130’可以利用计算设备实现。图6示出了根据本申请的实施例的用于实现第一控制器130’的计算设备600的方框图。根据一个实施例，计算设备600可以包括一个或多个处理器602，处理器602执行在计算机可读存储介质(即，存储器604)中存储或编码的一个或多个计算机可读指令(即，上述以软件形式实现的元素)。

在一个实施例中，在存储器604中存储计算机可执行指令，其当执行时使得一个或多个处理器602：从第二基板处理设备20’接收用于使得第一基板处理设备10’向第二基板处理设备20’传送基板的基板传送使能信号，所述基板传送使能信号是在经由设置在第二基板处理设备20’的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起经过第一预定时段后生成的；以及基于所接收的基板传送使能信号来控制第一基板处理设备10’向第二基板处理设备20’传送下一待处理基板。

应该理解，在存储器604中存储的计算机可执行指令当执行时使得一个或多个处理器602进行本申请的各个实施例中以上结合图2-5描述的各种操作和功能。

根据一个实施例，提供了一种比如非暂时性机器可读介质的程序产品。所述非暂时性机器可读介质可以具有指令(即，上述以软件形式实现的元素)，该指令当被机器执行时，使得机器执行本申请的各个实施例中以上结合图2-5描述的各种操作和功能。

在本申请中，第二控制器230’可以利用计算设备实现。图7示出了根据本申请的实施例的用于实现第二控制器230’的计算设备700的方框图。根据一个实施例，计算设备700可以包括一个或多个处理器702，处理器702执行在计算机可读存储介质(即，存储器704)中存储或编码的一个或多个计算机可读指令(即，上述以软件形式实现的元素)。

在一个实施例中，在存储器704中存储计算机可执行指令，其当执行时使得一个或多个处理器702：在自经由设置在第二基板处理设备20’的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起第一预定时段后，生成用于使能第一基板处理设备10’向第二基板处理设备20’传送基板的基板传送使能信号；以及将所生成的基板传送使能信号发送到第一基板处理设备10’，以用于控制第一基板处理设备10’向第二基板处理设备20’传送下一待处理基板。

应该理解，在存储器704中存储的计算机可执行指令当执行时使得一个或多个处理器702进行本申请的各个实施例中以上结合图2-5描述的各种操作和功能。

根据一个实施例，提供了一种比如非暂时性机器可读介质的程序产品。所述非暂时性机器可读介质可以具有指令(即，上述以软件形式实现的元素)，该指令当被机器执行时，使得机器执行本申请的各个实施例中以上结合图2-5描述的各种操作和功能。

上面结合附图阐述的具体实施方式描述了示例性实施例，但并不表示可以实现的或者落入权利要求书的保护范围的所有实施例。在整个本说明书中使用的术语“示例性”意味着“用作示例、实例或例示”，并不意味着比其它实施例“优选”或“具有优势”。出于提供对所描述技术的理解的目的，具体实施方式包括具体细节。然而，可以在没有这些具体细节的情况下实施这些技术。在一些实例中，为了避免对所描述的实施例的概念造成难以理解，公知的结构和装置以框图形式示出。

本公开内容的上述描述被提供来使得本领域任何普通技术人员能够实现或者使用本公开内容。对于本领域普通技术人员来说，对本公开内容进行的各种修改是显而易见的，并且，也可以在不脱离本公开内容的保护范围的情况下，将本文所定义的一般性原理应用于其它变型。因此，本公开内容并不限于本文所描述的示例和设计，而是与符合本文公开的原理和新颖性特征的最广范围相一致。

Claims (19)

1.一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的方法，包括：

在自经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起第一预定时段后，生成用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号；以及

将所生成的基板传送使能信号发送到所述第一基板处理设备，以用于控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。

2.如权利要求1所述的方法，还包括：

基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号；以及

基于所生成的阻挡板启用/禁用信号来启用/禁用所述阻挡板。

3.如权利要求2所述的方法，其中，基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号包括：

在满足第一预定条件后，生成用于使得设置在所述第二基板处理设备中的位于所述处理位置之前预定距离处的阻挡板工作的阻挡板启用信号，其中，所述第一预定条件包括下述条件中之一：

检测到所述待处理基板到达所述处理位置；

在检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过所述第一预定时段；或者

检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过第二预定时段，其中，所述第二预定时段是从所述第一基板处理设备的处理位置到达所述阻挡板所处位置的所需时间。

4.如权利要求2所述的方法，其中，基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号包括：

在检测到所述待处理基板完成处理后，生成使得所述阻挡板禁用的阻挡板禁用信号。

5.如权利要求2所述的方法，其中，基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号包括：

在检测到所述待处理基板到达所述处理位置后，基于所述待处理基板的基板处理完成所需时间以及在所述第二基板处理设备上传送预定距离所需时间来生成使得位于所述处理位置之前所述预定距离的所述阻挡板禁用的阻挡板禁用信号。

6.如权利要求1所述的方法，其中，所述第二基板处理设备是所述流水线中的导致处理时间发生瓶颈的设备。

7.一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向位于其下游的第二基板处理设备传送基板的装置，包括：

基板传送使能信号生成单元，用于在自经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起第一预定时段后，生成用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号；以及

发送单元，用于将所生成的基板传送使能信号发送到所述第一基板处理设备，以用于控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。

8.如权利要求7所述的装置，还包括：

阻挡板启用/禁用信号生成单元，用于基于所述传感器在所述处理位置上针对所述待处理基板的检测结果来生成阻挡板启用/禁用信号；以及

阻挡板控制单元，用于基于所生成的阻挡板启用/禁用信号来启用/禁用所述阻挡板。

9.如权利要求8所述的装置，其中，所述阻挡板启用/禁用信号生成单元被配置为：

在满足第一预定条件后，生成用于使得设置在所述第二基板处理设备中的位于所述处理位置之前预定距离处的阻挡板工作的阻挡板启用信号，其中，所述第一预定条件包括下述条件中之一：

检测到所述待处理基板到达所述处理位置；

在检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过所述第一预定时段；或者

检测到所述待处理基板到达所述处理位置起经过第二预定时段，其中，所述第二预定时段是从所述第一基板处理设备的处理位置到达所述阻挡板所处位置的所需时间。

10.如权利要求8所述的装置，其中，所述阻挡板启用/禁用信号生成单元被配置为：

在检测到所述待处理基板完成处理后，生成使得所述阻挡板禁用的阻挡板禁用信号。

11.如权利要求9所述的装置，其中，所述阻挡板启用/禁用信号生成单元被配置为：

在检测到所述待处理基板到达所述处理位置后，基于所述待处理基板的基板处理完成所需时间以及在所述第二基板处理设备上传送预定距离所需时间来生成使得位于所述处理位置之前所述预定距离的所述阻挡板禁用的阻挡板禁用信号。

12.如权利要求7所述的装置，其中，所述第二基板处理设备是所述流水线中的导致处理时间发生瓶颈的设备。

13.一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向第二基板处理设备的基板传送的方法，包括：

从所述第二基板处理设备接收用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号，所述基板使能控制信号是在经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起经过第一预定时段后生成的；以及

至少部分地基于所接收的基板传送使能信号来控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。

14.一种用于控制从流水线中的第一基板处理设备向第二基板处理设备的基板传送的装置，包括：

接收单元，用于从所述第二基板处理设备接收用于使能所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送基板的基板传送使能信号，所述基板传送使能信号是在经由设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器检测到待处理基板到达所述处理位置时起经过第一预定时段后生成的；以及

控制单元，用于至少部分基于所接收的基板传送使能信号来控制所述第一基板处理设备向所述第二基板处理设备传送下一待处理基板。

15.一种计算设备，包括：

一个或多个处理器，

存储器，所述存储器存储指令，当所述指令被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如权利要求1到6中任一所述的方法。

16.一种非暂时性机器可读存储介质，其存储有可执行指令，所述指令当被执行时使得所述机器执行如权利要求1到6中任一所述的方法。

17.一种计算设备，包括：

一个或多个处理器，

存储器，所述存储器存储指令，当所述指令被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行如权利要求13所述的方法。

18.一种非暂时性机器可读存储介质，其存储有可执行指令，所述指令当被执行时使得所述机器执行如权利要求13所述的方法。

19.一种基板处理系统，包括：第一基板处理设备和第二基板处理设备，

其中，所述第一基板处理设备包括：

第一传送带；

第一电机，用于驱动所述第一传送带的传送；以及，

如权利要求14所述的装置；以及

所述第二基板处理设备包括：

第二传送带；

第二电机，用于驱动所述第二传送带的传送；

设置在所述第二基板处理设备的处理位置处的传感器，用于检测在待处理基板是否到达所述第二基板处理设备的处理位置；

如权利要求7到12中任一所述的装置；以及

设置在所述第二基板处理设备的第二传送带上的位于所述处理位置之前预定距离处的阻挡板。