KR101939353B1 - 기판 이송 방법 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 방법은 기판이 배출되는 출구 및 상기 기판이 유입되는 입구가 서로 이웃하게 배치되는 적어도 두 개의 식각 챔버를 사용한 식각 공정을 수행할 때 상기 식각 챔버 각각에 구비되어 회전에 의해 상기 기판을 이송시키는 샤프트를 구비하는 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법에 있어서, 상기 기판이 지나가는 힘에 의해 구동함에 따라 상기 기판의 위치하는 감지하도록 상기 서로 이웃하는 어느 하나의 식각 챔버의 출구 부근 및 다른 하나의 식각 챔버의 입구 부근의 샤프트 사이 각각에 적어도 두 개씩 병렬 배치되게 구비되는 감지 센서 중 적어도 하나의 감지 센서가 다른 나머지의 감지 센서와 다른 동작을 하는 가를 확인하는 단계; 및 상기 다른 동작을 하는 감지 센서가 발생할 경우 상기 다른 동작을 하는 감지 센서를 미사용 감지 센서로 전환하는 단계를 포함한다.

Description

기판 이송 방법{Method for transferring substrate}
본 발명은 기판 이송 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 샤프트의 회전에 의해 기판을 이송하는 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 소자 등과 같은 제조에서는 대면적 기판을 사용한다. 이에, 언급한 평판 디스플레이 소자 등과 같은 제조에서는 롤러가 결합되는 샤프트를 구비하는 이송 장치를 사용하여 대면적 기판을 이송한다. 그리고 언급한 이송 장치에 대한 일 예는 본 출원인이 발명하고 대한민국 특허청에 2009년 11월 25일자 출원번호 10-2009-0091808호로 출원한 '기판 이송 장치'(이하, '인용 문헌'이라 함) 등에 개시되어 있다. 언급한 인용 문헌에서의 기판 이송 장치는 주로 기판이 배출되는 출구 및 기판이 유입되는 입구가 서로 이웃하게 배치되는 적어도 두 개의 식각 챔버를 사용한 식각 공정을 수행할 때 사용된다. 즉, 언급한 기판 이송 장치는 적어도 두 개의 식각 챔버 내에 연속적으로 구비되는 것이다.
그리고 언급한 기판 이송 장치에서는 기판의 위치를 감지하기 위한 감지 센서가 구비될 수 있다. 특히, 감지 센서는 두 개씩 병렬 배치되게 구비될 수 있다. 이에, 어느 하나의 감지 센서가 오동작을 하여도 나머지 하나의 감지 센서만으로도 기판의 위치를 감지할 수 있다.
그러나 종래에는 언급한 어느 하나의 감지 센서가 오동작을 할 경우 기판 이송 장치 자체의 구동을 중단시킨다. 이에, 종래의 기판 이송 장치를 사용할 경우에는 언급한 구동 중단에 따라 시간 손실이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 서로 이웃하게 배치되는 출구 부근 및 입구 부근 각각에 적어도 두 개씩 병렬 배치되게 구비되는 감지 센서 중 적어도 어느 하나의 감지 센서가 오동작을 하여도 계속적으로 기판을 이송할 수 있는 기판 이송 방법을 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법은 기판이 배출되는 출구 및 상기 기판이 유입되는 입구가 서로 이웃하게 배치되는 적어도 두 개의 식각 챔버를 사용한 식각 공정을 수행할 때 상기 식각 챔버 각각에 구비되어 회전에 의해 상기 기판을 이송시키는 샤프트를 구비하는 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법에 있어서, 상기 기판이 지나가는 힘에 의해 구동함에 따라 상기 기판의 위치하는 감지하도록 상기 서로 이웃하는 어느 하나의 식각 챔버의 출구 부근 및 다른 하나의 식각 챔버의 입구 부근의 샤프트 사이 각각에 적어도 두 개씩 병렬 배치되게 구비되는 감지 센서 중 적어도 어느 하나의 감지 센서가 다른 나머지의 감지 센서와 다른 동작을 하는 가를 확인하는 단계; 및 상기 다른 동작을 하는 감지 센서가 발생할 경우 상기 다른 동작을 하는 감지 센서를 미사용 감지 센서로 전환하는 단계를 포함한다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법에서, 상기 미사용 감지 센서로 전환하는 단계 이후에도 계속적으로 상기 기판을 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 기판 이송 방법은 서로 이웃하게 배치되는 출구 부근 및 입구 부근 각각에 적어도 두 개씩 병렬 배치되게 구비되는 감지 센서 중 적어도 어느 하나의 감지 센서가 오동작을 할 경우 오동작 감지 센서를 미사용 감지 센서로 전환함으로써 기판 이송 장치의 구동 중단 없이 계속적으로 기판의 이송을 수행할 수 있다. 이에, 본 발명의 기판 이송 방법을 기판 이송 장치에 적용할 경우 언급한 기판 이송 장치의 구동 중단에 따라 시간 손실을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 대면적 디스플레이 소자 등의 제조시 생산성의 향상을 기대할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 사용한 기판 이송 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 사용한 기판 이송 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 기판 이송 장치(100)는 평판 디스플레이 소자 등의 제조에 사용되는 대면적 기판(15)을 이송하는 것으로써, 특히 적어도 두 개의 식각 챔버(11, 13)를 사용한 식각 공정에 적용되는 것으로 이해할 수 있다. 그리고 언급한 적어도 두 개의 식각 챔버(11, 13)는 기판(15)의 이송 경로를 기준으로 기판(15)이 배출되는 출구(11a) 및 기판(15)이 유입되는 입구(13a)가 서로 이웃하게 배치될 수 있다. 즉, 적어도 두 개의 식각 챔버(11, 13)는 평면을 기준으로 계속적으로 나열되게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
아울러, 본 발명에서의 기판 이송 방법을 적용하기 위한 기판 이송 장치(100)는 언급한 식각 챔버(11, 13) 내에 기판(15)의 이송 경로를 따라 일정 간격으로 배치되는 샤프트(23)를 구비할 수 있다. 언급한 샤프트(23)는 기판(15) 이면에 구비될 수 있다. 그리고 샤프트(23) 각각에는 기판(15) 이면과 접촉하는 롤러(25)가 구비될 수 있다. 이때, 언급한 롤러(25)는 샤프트(23) 각각에 일정 간격 마다 복수개가 구비될 수 있다. 이에, 샤프트(23)가 회전함에 따라 롤러(25)로 함께 회전함으로써 롤러(25)와 접촉하는 기판(15)이 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다.
또한, 도시하지는 않았지만 언급한 샤프트(23)는 샤프트에 회전 구동력을 제공할 수 있는 구동부와 연결될 수 있다. 이때, 구동부는 샤프트(23) 각각에 연결되도록 구비될 수도 있지만, 주로 어느 하나의 샤프트(23)에만 연결되도록 구비될 수도 있다. 특히, 어느 하나의 샤프트(23)에만 구동부가 연결되도록 구비될 경우에는 샤프트(23) 각각을 풀리, 아이들 기어 등을 사용하여 연결함으로써 어느 하나의 샤프트(23)의 구동으로도 나머지 샤프트(23) 모두가 함께 구동할 수 있다.
그리고 본 발명의 기판 이송 장치(100)는 이송이 이루어지는 기판(15)의 위치를 감지할 수 있는 감지 센서(17)를 구비한다. 여기서, 언급한 감지 센서(17)는 주로 서로 이웃하는 어느 하나의 식각 챔버(11)의 출구(11a) 부근 및 다른 하나의 식각 챔버(13)의 입구(13a) 부분에 구비될 수 있다. 특히, 언급한 감지 센서(17)는 기판(15)이 지나가는 힘에 의해 구동함에 따라 기판(15)의 위치를 감지할 수 있는 진자 센서를 포함할 수 있다. 여기서, 언급한 감지 센서(17)를 전자 기능을 갖는 센서로 구비할 경우 식각 챔버(11, 13) 내에서 발생하는 반응 부산물로 인하여 오염이 발생하여 오동작이 빈번하게 발생할 수 있기 때문에 본 발명에서는 기계적으로 구동하는 진자 센서를 감지 센서(17)로 구비하는 것이다. 그리고 본 발명에서의 감지 센서(17)는 기판(15)이 지나가면서 접촉하도록 배치되어야 하기 때문에 샤프트(17) 사이에 구비될 수 있다. 특히, 본 발명에서의 감지 센서(17)는 서로 이웃하는 어느 하나의 식각 챔버(11)의 출구(11a) 부근 및 다른 하나의 식각 챔버(13)의 입구(13a) 부분에 구비될 때 서로 이웃하는 어느 하나의 식각 챔버(11)의 출구(11a) 부근 및 다른 하나의 식각 챔버(13)의 입구(13a) 부근의 샤프트(17) 사이 각각에 적어도 두 개씩 병렬 배치되게 구비될 수 있다. 즉, 본 발명에서는 서로 이웃하는 어느 하나의 식각 챔버(11)의 출구(11a) 부근에 적어도 두 개의 감지 센서(17a, 17b)를 구비할 수 있고, 그리고 다른 하나의 식각 챔버(13)의 입구(13a) 부근에 적어도 두 개의 감지 센서(17c, 17d)를 구비할 수 있는 것이다. 따라서 본 발명에서의 감지 센서(17)는 서로 이웃하는 어느 하나의 식각 챔버(11)의 출구(11a) 부근 및 다른 하나의 식각 챔버(13)의 입구(13a) 부분에 적어도 4개가 단일 세트로 구비되는 것으로 이해할 수 있다.
언급한 기판 이송 장치(100)를 사용한 기판(15)의 이송시 적어도 4개가 단일 세트로 구비되는 감지 센서(17)를 사용하여 기판(15)의 위치를 감지 및 확인할 수 있다. 그리고 기판(15)의 계속적인 이송으로 인하여 적어도 4개가 단일 세트로 구비되는 감지 센서(17) 중 어느 하나의 감지 센서(17d)에 오작동이 발생할 수 있다.
이에, 본 발명의 기판 이송 장치(100)를 사용한 이송 방법에서는 언급한 감지 센서(17) 중 적어도 어느 하나의 감지 센서(17d)가 다른 나머지의 감지 센서(17a, 17b, 17c)와 다른 동작을 하는 가를 계속적으로 확인한다. 그리고 계속적인 확인 결과 다른 동작을 하는 감지 센서(17d)가 발생할 경우 언급한 다른 동작을 하는 감지 센서(17d)를 미사용 감지 센서로 전환한다.
여기서, 언급한 다른 동작을 하는 감지 센서(17d)의 확인 및 미사용 감지 센서로의 전환은 도시하지는 않았지만 감지 센서(17) 각각과 연결되는 또 다른 센서 및 제어부에 의해 달성될 수 있다. 즉, 감지 센서(17) 모두의 동작이 동일한 가를 감지하고, 만약 어느 하나의 감시 센서(17d)가 다른 동작을 할 경우 이를 오동작 감지 센서로 센싱하고, 이에 따른 센싱 결과에 의해 제어부가 미사용 감지 센서로 전환시키는 것이다.
본 발명의 기판 이송 방법에서와 같이 감지 센서(17) 중 적어도 어느 하나의 감지 센서(17d)가 다른 나머지의 감지 센서(17a, 17b, 17c)와 다른 동작을 하는 가를 계속적으로 확인하고, 계속적인 확인 결과 다른 동작을 하는 감지 센서(17d)가 발생할 경우 언급한 다른 동작을 하는 감지 센서(17d)를 미사용 감지 센서로 전환하는 것은 적어도 4개가 단일 세트로 구비되는 감지 센서(17)의 경우 오동작이 발생한 감지 센서(17d)를 제외한 나머지 감지 센서(17a, 17b, 17c)가 정상적으로 동작함으로써 기판(15)의 이송에 따른 위치 등을 충분하게 감지할 수 있음에도 불구하고 미사용 감지 센서로 전환시키지 않을 경우 불량 처리가 이루어짐에 따라 기판 이송 장치(100) 전체의 구동을 중단시켜야 하는 불합리한 점을 해결하기 위함이다.
그리고 적어도 4개가 단일 세트로 구비되는 감지 센서(17) 중 2개 또는 그 이상의 감지 센서가 오작동으로 판단될 경우에는 미사용으로의 전환 처리가 아닌 기판 이송 장치(100)의 구동 자체를 중단시키도록 구비할 수 있다. 따라서 본 발명의 기판 이송 방법에서는 적어도 두 개씩 병렬 배치되게 구비되는 감지 센서(17) 중 미사용 감지 센서로의 전환은 감지 센서(17)의 기능에 지장을 주지 않는 범위 내에서 작업자가 임의로 세팅할 수 있다.
언급한 본 발명의 기판 이송 방법을 기판 이송 장치에 적용할 경우 언급한 기판 이송 장치의 구동 중단에 따라 시간 손실을 충분하게 방지할 수 있기 때문에 대면적 디스플레이 소자 등의 제조시 생산성의 향상을 기대할 수 있고, 그 결과 가격 등의 부분에서의 산업 경쟁력의 확보가 보다 용이할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11, 13 : 식각 챔버 15 : 기판
17 : 감지 센서 23 : 샤프트
25 : 롤러 100 : 기판 이송 장치

Claims (3)

  1. 기판이 배출되는 출구 및 상기 기판이 유입되는 입구가 서로 이웃하게 배치되는 적어도 두 개의 식각 챔버를 사용한 식각 공정을 수행할 때 상기 식각 챔버 각각에 구비되어 회전에 의해 상기 기판을 이송시키는 샤프트를 구비하는 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법에 있어서,
    상기 기판이 지나가는 힘에 의해 구동함에 따라 상기 기판의 위치를 감지하도록 상기 서로 이웃하는 어느 하나의 식각 챔버의 출구 부근 및 다른 하나의 식각 챔버의 입구 부근의 샤프트 사이 각각에 적어도 두 개씩 병렬 배치되게 구비되는 감지 센서 중 적어도 어느 하나의 감지 센서가 다른 나머지의 감지 센서와 다른 동작을 하는 가를 확인하는 단계; 및
    상기 다른 동작을 하는 감지 센서가 발생할 경우 상기 다른 동작을 하는 감지 센서를 미사용 감지 센서로 전환하는 단계를 포함하는 기판 이송 방법.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 미사용 감지 센서로 전환하는 단계 이후에도 계속적으로 상기 기판을 이송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 미사용 감지 센서로 전환하는 단계 이후에 나머지의 감지 센서 중 적어도 어느 하나의 감지 센서가 다른 동작을 하는 가를 확인하는 단계; 및
    상기 나머지의 감지 센서 중 적어도 어느 하나의 감지 센서가 다른 동작을 하는 것으로 확인되면 상기 기판의 이송을 중단시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
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