WO2016035190A1 - 基板搬送装置および搬送ベルト検査方法 - Google Patents

基板搬送装置および搬送ベルト検査方法 Download PDF

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conveyor belt
belt
sensor
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俊宏 児玉
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富士機械製造株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a substrate conveyance device such as an electronic component mounting machine or a printing machine, and a conveyance belt inspection method for inspecting a conveyance belt for conveying a substrate.
  • the electronic component mounting machine includes a conveyor belt and a substrate sensor.
  • a substrate conveyance path is set on the conveyance belt.
  • the substrate sensor detects the presence or absence of a substrate at a predetermined position in the transport path.
  • the substrate sensor includes a projector and a light receiver. The substrate sensor detects the substrate based on the fact that light from the projector to the light receiver is blocked.
  • the transport belt when the transport belt is deteriorated, the transport belt may be partially broken. In this case, the rupture portion rises from the surface of the conveyor belt. For this reason, a tearing part will block
  • Patent Document 1 discloses an image forming apparatus capable of detecting contamination and breakage of a conveyance belt.
  • a state detection sensor is disposed on the carriage of the image forming apparatus.
  • the carriage is movable on the upper side of the conveyor belt along the extending direction of the conveyor belt.
  • the state detection sensor is scanned on the upper side of the stopped conveyance belt. For this reason, only the upper half of the conveyor belt can be inspected at a time. Therefore, when inspecting the entire length of the conveyor belt, the upper half and the lower half of the conveyor belt are switched by first scanning the state detection sensor over the upper half of the conveyor belt and then rotating the conveyor belt halfway. The state detection sensor needs to be scanned again with respect to the upper half (the old lower half) of the conveyor belt. Such an operation is complicated.
  • An advantage of some aspects of the invention is that it provides a substrate transport apparatus and a transport belt inspection method that can easily detect an abnormality in a transport belt.
  • the substrate transport apparatus of the present invention detects an endless annular transport belt in which a transport path for transporting a substrate is set, and the presence or absence of the substrate at a predetermined detection position on the transport path. And a control device that rotates the transport belt when the transport path is not transporting the substrate and determines abnormality of the transport belt based on a detection result of the substrate sensor. It is characterized by that.
  • abnormal locations on the conveyor belt include whiskers (those in which the surface material and core of the conveyor belt are torn), undulations (in which the conveyor belt is partially curved), and bumps (in which the conveyor belt is partially raised) Etc.). That is, the abnormal part refers to a part where at least a part of the conveyor belt protrudes radially outward, that is, an arbitrary part of the conveyor belt that can be detected by the substrate sensor.
  • the substrate transport apparatus of the present invention it is possible to detect abnormality of the transport belt by diverting a substrate sensor that is originally used for substrate detection. Further, it is not necessary to move the substrate sensor when inspecting the conveyor belt. For this reason, it is possible to easily detect an abnormality in the conveyor belt. Therefore, it is possible to suppress the substrate sensor from misidentifying the abnormal portion of the transport belt and the substrate during substrate transport.
  • the substrate transfer apparatus of the present invention it is possible to inspect the transfer belt using the idle time of substrate transfer. For this reason, the downtime accompanying the inspection of the conveyor belt is unlikely to occur during substrate production.
  • the detection position is set only at one position on the transport path, and the control device is configured to transfer the transport belt when the transport path is not transporting the substrate. It is better to have a configuration that rotates at least once. According to this configuration, the entire length of the transport belt can be inspected by one detection position, that is, a single substrate sensor. For this reason, the number of substrate sensors can be reduced.
  • a plurality of the detection positions are set in the conveyance path, the total length of the conveyance belt is L0, and the detection position at the upstream end in the conveyance direction among the plurality of detection positions.
  • the control device moves the transport belt to L0-L1 when the transport path is not transporting the substrate. It is better to have a configuration to rotate. According to this configuration, the entire length of the conveyor belt can be inspected by a plurality of detection positions, that is, a plurality of substrate sensors. For this reason, the time required for the inspection of the conveyor belt can be shortened.
  • a pair of the transport belts are juxtaposed in a direction orthogonal to the extending direction of the transport path, and the substrate sensor is shared by the pair of transport belts. It is better to have a configuration. According to this configuration, the pair of conveyor belts can be inspected simultaneously by the common substrate sensor. For this reason, the time required for the inspection of the conveyor belt can be shortened as compared with the case where the inspection is individually performed on the conveyor belt.
  • the conveyance belt inspection method of the present invention rotates the conveyance belt when the conveyance path set for the endless annular conveyance belt is not conveying the substrate, thereby conveying the conveyance belt. It has a detection step for detecting the presence or absence of a passing object at a predetermined detection position on the road, and a discrimination step for discriminating abnormality of the transport belt based on the detection result.
  • an abnormality of the conveyor belt can be easily detected.
  • the transport belt can be inspected by using the substrate transport idle time.
  • the present invention it is possible to provide a substrate transport apparatus and a transport belt inspection method that can easily detect abnormality of the transport belt.
  • FIG. 1 is a block diagram of a production line in which an electronic component mounting machine according to an embodiment of the present invention is arranged.
  • 2 is a top view of a portion where two electronic component mounting machines are connected in the production line of FIG.
  • FIG. 3 is a front view of the conveyance belt on the rear side of the electronic component mounting machine.
  • FIG. 4 is a flowchart of the conveyance belt inspection method according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a front view of the conveyance belt on the rear side of the electronic component mounting machine in the conveyance belt inspection method.
  • FIG. 6 is a front view of the conveyance belt on the rear side of the electronic component mounting machine according to another embodiment.
  • the board conveyance device of the present invention is embodied as an electronic component mounting machine.
  • FIG. 1 shows a block diagram of a production line in which the electronic component mounting machine of this embodiment is arranged.
  • the production line 9 includes a screen printing machine 91, a printing inspection machine 92, two electronic component mounting machines 1, from the left side (upstream side) to the right side (downstream side), A substrate visual inspection machine 93 and a reflow furnace 94 are arranged in a line.
  • the electronic component mounting machine 1 on the right side is included in the concept of the “board transfer device” of the present invention.
  • the production line 9 is centrally managed by the host computer 90.
  • the screen printer 91 prints solder on the land portion of the wiring pattern on the board (not shown).
  • the print inspection machine 92 inspects the printing state of the solder.
  • the two electronic component mounters 1 mount the electronic components on the board in stages according to the assignment of each electronic component mounter 1.
  • the board appearance inspection machine 93 inspects the mounting state of the electronic component.
  • the reflow furnace 94 fixes the electronic component to the land portion of the wiring pattern with solder.
  • FIG. 2 shows a top view of a portion where two electronic component mounting machines are connected in the production line of FIG.
  • the configuration of the two electronic component mounting machines 1 is the same.
  • the electronic component mounting machine 1 includes a transport conveyor 2, a slider 3, a component supply device 4, a base 5, a control device 6, and a display device 7. Yes.
  • the component supply device 4 is disposed on the front side of the base 5.
  • the slider 3 is disposed on the upper side of the base 5.
  • the slider 3 is movable in the left-right direction with respect to the base 5.
  • the slider 3 includes a suction nozzle 30.
  • the suction nozzle 30 is movable in the front-rear direction with respect to the slider 3.
  • the transport conveyor 2 includes a pair of front and rear support members 20F and 20R, a pair of front and rear transport belts 21F and 21R, a transport motor 21M, a carry-in sensor 22, and a carry-out sensor 23.
  • the carry-out sensor 23 is included in the concept of “substrate sensor” of the present invention.
  • Each of the pair of front and rear support members 20F and 20R extends over the entire length of the base 5 in the left-right direction.
  • the pair of front and rear conveyor belts 21 ⁇ / b> F and 21 ⁇ / b> R each extend over the entire length of the base 5 in the left-right direction.
  • the front conveyor belt 21F is disposed on the front support member 20F.
  • the rear conveyor belt 21R is disposed on the rear support member 20R.
  • the conveyor belts 21F and 21R are opposed to each other in the front-rear direction.
  • a substrate B is installed between the conveyor belts 21F and 21R.
  • the conveyor belts 21F and 21R are driven by a conveyor motor 21M.
  • Fig. 3 shows a front view of the conveyor belt on the rear side of the electronic component mounting machine.
  • the conveyor belt 21R is wound between two pulleys 21P at both left and right ends.
  • the conveyor belt 21R has an oval shape extending in the left-right direction.
  • a conveyance path A is set on the upper surface of the conveyance belt 21R. As the transport belts 21F and 21R rotate, the substrate B is transported along the transport path A from the left side to the right side.
  • the unloading sensor 23 is arranged at the right end (downstream end) of the transport path A. That is, the detection position of the carry-out sensor 23 is set at the right end of the conveyance path A.
  • the carry-out sensor 23 is a transmissive photoelectric sensor.
  • the carry-out sensor 23 includes a projector 230 and a light receiver 231. As shown by the dotted line in FIG. 3, when the right end of the substrate B reaches between the light projector 230 and the light receiver 231 (that is, the detection position), the light irradiated from the light projector 230 to the light receiver 231 (see FIG. 2) Blocked. Based on the light shielding, the carry-out sensor 23 detects “the substrate B is present at the detection position”.
  • the carry-in sensor 22 is disposed at the left end (upstream end) of the transport path A. That is, the detection position of the carry-in sensor 22 is set at the left end of the transport path A.
  • the configuration of the carry-in sensor 22 is the same as the configuration of the carry-out sensor 23.
  • the substrate B is conveyed from the left side to the right side through the production line 9 by connecting the conveyance conveyors 2 of the respective apparatuses.
  • the control device 6 includes a calculation unit 60, a storage unit 61, and an input / output interface 62.
  • the calculation unit is a CPU (Central Processing Unit).
  • the storage unit 61 includes a ROM (Read Only Memory) and a RAM (Random Access Memory).
  • the input / output interface 62 includes a carry-in sensor 22, a carry-out sensor 23, a carry motor 21M, a display device 7, a host computer 90, a screen printing machine 91, a print inspection machine 92, another electronic component mounting machine 1, and a board appearance inspection machine. 93, electrically connected to a reflow furnace 94.
  • the conveyance belt inspection method is executed by the right electronic component mounting machine 1 out of the two electronic component mounting machines 1. Moreover, the carry-out sensor 23 is used for the conveyance belt inspection method. Moreover, in the conveyance belt inspection method, the control device 6 executes the inspection of the pair of front and rear conveyance belts 21F and 21R at the same time.
  • the conveyor belts 21F and 21R may be partially broken. That is, there is a case where a beard (abnormal part) W rises from the conveyor belts 21F and 21R. In this case, the beard W blocks the light from the projector 230 of the carry-out sensor 23. For this reason, the carry-out sensor 23 detects the beard W by mistake with the substrate B. In order to prevent the erroneous detection, the electronic component mounting machine 1 executes the conveyor belt inspection method in a predetermined cycle.
  • the conveying belt inspection method includes a detection process, a determination process, and a display process.
  • FIG. 4 shows a flowchart of the conveyance belt inspection method of the present embodiment.
  • FIG. 5 shows a front view of the conveyance belt on the rear side of the electronic component mounting machine in the conveyance belt inspection method.
  • the calculation unit 60 shown in FIG. 1 confirms that the belt abnormality confirmation cycle has arrived (S1 in FIG. 4 (step 1, the same applies hereinafter)).
  • the arithmetic unit 60 is operating the transport conveyor 2 of the right-side electronic component mounting machine 1 (the electronic component mounting machine 1 that is executing the transport belt inspection method) shown in FIG. (S2 in FIG. 4). That is, it is confirmed whether or not the substrate is currently being conveyed on the conveyor 2 of the electronic component mounting machine 1 on the right side.
  • the calculation unit 60 confirms whether or not the board B is unloaded from the left electronic component mounting machine 1 based on the signal from the unloading sensor 23 of the left electronic component mounting machine 1 shown in FIGS. To do. That is, it is confirmed whether or not there is a plan to carry in the board of the conveyor 2 of the electronic component mounting machine 1 on the right side.
  • the arithmetic unit 60 operates the conveyor 2 (S3 in FIG. 4).
  • the calculation unit 60 monitors whether or not the light from the projector 230 of the carry-out sensor 23 is blocked (S4 in FIG. 4).
  • the arithmetic unit 60 does not execute the transport belt inspection method until the next cycle (S7 of FIG. 4). . Further, when the board B is scheduled to be carried into the right electronic component mounting machine 1 in the near future, the calculation unit 60 does not execute the conveyance belt inspection method until the next cycle (S7 in FIG. 4).
  • the calculation unit 60 determines whether or not the conveyance belts 21F and 21R are abnormal. Specifically, as shown in FIG. 5, when there is a light shielding, the calculation unit 60 determines that “the conveyor belts 21F and 21R are abnormal” (S8 in FIG. 4). On the other hand, if there is no light shielding while the conveyor belts 21F and 21R are rotated once (S5 in FIG. 4), the calculation unit 60 determines that “the conveyor belts 21F and 21R are normal” (S6 in FIG. 4). .
  • the calculation unit 60 displays the determination result (the determination result that “the conveyor belts 21F and 21R are abnormal”) on the display device 7 shown in FIG. Specifically, the screen (not shown) of the display device 7 displays that the conveyor belts 21F and 21R are abnormal. In this way, the control device 6 executes the conveyor belt inspection method.
  • the conveyor belts 21F and 21R can be inspected using the idle time of the substrate B conveyance. For this reason, during the production of the substrate B, the downtime associated with the inspection of the conveyor belts 21F and 21R hardly occurs.
  • the detection position (the position of the carry-out sensor 23) is set to one place on the conveyance path A. For this reason, the entire length of the conveyor belts 21F and 21R can be inspected by one detection position, that is, a single carry-out sensor 23. Therefore, the number of arrangement of the carry-out sensor 23 can be reduced.
  • the rotation speed of the conveyor belts 21F and 21R at the time of inspection of the conveyor belts 21F and 21R is only once. For this reason, compared with the case where the rotation speed of the conveyance belts 21F and 21R is a plurality of times, the time required for the inspection of the conveyance belts 21F and 21R can be shortened.
  • the carry-out sensor 23 is shared by the pair of conveyor belts 21F and 21R. For this reason, the inspection of the pair of conveyor belts 21F and 21R can be simultaneously performed by the common carry-out sensor 23. Therefore, the time required for the inspection of the conveyor belts 21F and 21R can be shortened as compared with the case where the inspection is separately performed for the conveyor belts 21F and 21R.
  • the electronic component mounting machine 1 according to the present embodiment includes a display device 7. For this reason, the operator can visually recognize the abnormality of the conveyor belts 21F and 21R.
  • FIG. 6 is a front view of the conveyance belt on the rear side of the electronic component mounting machine according to another embodiment.
  • part corresponding to FIG. 3 it shows with the same code
  • the carry-in sensor 22 and the carry-out sensor 23 are both included in the concept of “substrate sensor” of the present invention.
  • the control device 6 shown in FIG. 1 executes inspection of the conveyance belts 21F and 21R using the detection positions at both the left and right ends of the conveyance path A.
  • the control device 6 performs the conveyance belt 21F, 21R is rotated by L0-L1. If it carries out like this, the full length L0 of the conveyance belts 21F and 21R can be test
  • the carry-in sensor 22 when there is a mustache W adjacent to the downstream side of the carry-out sensor 23, the carry-in sensor 22 can detect the mustache W without rotating the transport belts 21 ⁇ / b> F and 21 ⁇ / b> R once. .
  • the rotation distance of the transfer belts 21F and 21R in S5 of FIG. 4 can be shortened. For this reason, the time required for the inspection of the conveyor belts 21F and 21R can be shortened.
  • the control device 6 shown in FIG. 1 can recognize that there is a passing object at the detection position of the substrate sensor (the carry-in sensor 22 and the carry-out sensor 23).
  • the identity of the passing object cannot be specified. Therefore, when there is light shielding in S4 of FIG. 4 (when there is a passing object), the conveyance belts 21F and 21R may be rotated once with the light shielding as a rotation start condition. If it carries out like this, the passing-through object site
  • the control device 6 may determine that the conveyance belts 21F and 21R are abnormal.
  • the control device 6 may determine that there is no abnormality in the conveyor belts 21F and 21R.
  • the control device 6 can determine whether or not the light shielding is caused by the transport belts 21F and 21R by rotating the transport belts 21F and 21R once with the light shielding as a rotation start condition.
  • control device 6 shown in FIG. 1 may stop the conveyor belts 21F and 21R. In this way, the operator can confirm the abnormal portion of the conveyor belts 21F and 21R by visually checking the vicinity of the carry-out sensor 23.
  • the determination method of whether or not there is a plan to carry in the board in the near future of the transfer conveyor 2 of the right-side electronic component mounter 1 (the electronic component mounter 1 that is executing the transfer belt inspection method) shown in FIG.
  • the near future based on the signal from the carry-out sensor 23 of the left-side electronic component mounting machine 1 shown in FIG. 2 (the electronic component mounting machine 1 adjacent to the upstream side of the electronic component mounting machine 1 that is executing the conveyor belt inspection method). It may be determined whether or not there is a plan to carry in the substrate. Further, the presence or absence of the board B in the left electronic component mounting machine 1 may be confirmed by the right electronic component mounting machine 1 communicating with the left electronic component mounting machine 1. When the left electronic component mounting machine 1 has the board B, it is determined that “the board B is scheduled to be carried into the transfer conveyor 2 of the right electronic component mounting machine 1 in the near future”. Good.
  • the display content of “abnormal” on the display device 7 shown in S8 of FIGS. 1 and 4 is not particularly limited. A message using characters, figures, symbols, or the like may be used. Further, the display may be blinked and reversed in black and white. Further, instead of the display device 7, a lamp, a siren, a buzzer, or the like may be arranged. That is, a transmitting device that can transmit information indicating “abnormality” may be electrically connected to the control device 6. Further, the display device 7 may display information regarding the deterioration of the conveyor belts 21F and 21R and the promotion of replacement of the conveyor belts 21F and 21R instead of the information “abnormality exists”.
  • the type of substrate sensor is not particularly limited. A photoelectric sensor, an ultrasonic sensor, etc. may be sufficient.
  • the light source of the projector 230 is not particularly limited. It may be an LED (Light-Emitting Diode), a semiconductor laser diode, or the like.
  • the light receiving element of the light receiver 231 is not particularly limited. A photodiode, a phototransistor, or the like may be used.
  • the type of light emitted from the projector 230 is not particularly limited. It may be visible light, infrared light, laser, or the like.
  • the detection step, the determination step, and the display step of the conveying belt inspection method may be performed simultaneously. That is, while performing the detection process, the determination process and the display process may be performed according to the signal from the carry-out sensor 23. Further, after the detection process is completed, the determination process and the display process may be executed.
  • the electronic component mounting machine 1 on the right side is used as the substrate transfer device of the present invention.
  • the screen printing machine 91, the printing inspection machine 92, the left electronic component mounting machine 1, the board appearance inspection machine 93, and the reflow furnace 94 shown in FIG. 1 may be used as the board conveying device.
  • a control device other than the control device 6 of the substrate transport apparatus including the transport belts 21F and 21R to be inspected by the transport belt inspection method may execute the transport belt inspection method.
  • the inspection of the conveyor belts 21F and 21R of the electronic component mounting machine 1 on the right side is performed by the control device of the host computer 90, the control device of the screen printing machine 91, the control device of the print inspection machine 92 shown in FIG.
  • the control device of the mounting machine 1, the control device of the board appearance inspection machine 93, the control device of the reflow furnace 94, a portable terminal such as a smartphone, a personal computer, or the like may be executed.
  • control device of the host computer 90 shown in FIG. 1 is based on the position and distribution of the substrate B in the entire length of the production line 9, and the screen printing machine 91, the print inspection machine 92, the left electronic component mounting machine 1, and the right side. From the electronic component mounting machine 1, the board appearance inspection machine 93, and the reflow furnace 94, the board transfer device (single or plural) for executing the inspection and the timing for executing the inspection may be determined. In addition, the operator may determine the substrate transfer apparatus that performs the inspection and the timing at which the inspection is performed. For example, the inspection may be executed in the morning (before the start of production of the substrate B), at noon (at the time of work break), or at the time of changeover when the type of the substrate B to be produced is changed.
  • the position of the substrate sensor (the carry-in sensor 22 and the carry-out sensor 23) and the detection position of the substrate sensor do not have to coincide (or approach).
  • the substrate sensor may be arranged at a position separated from the detection position. That is, it suffices if the substrate sensor can detect the presence or absence of a passing object at the detection position.
  • the position of the detection position in the conveyance path A and the set number are not particularly limited.
  • a single conveyor belt 21F (or 21R) may be inspected by a single substrate sensor.
  • the direction of rotation of the conveyor belts 21F and 21R at the time of inspection is not particularly limited.
  • the rotation direction may be the reverse direction to the transport direction of the substrate B.
  • the number of rotations of the conveyor belts 21F and 21R at the time of inspection is not particularly limited. The number of rotations may be less than once. The number of rotations may be a plurality of times.

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Abstract

　搬送ベルト（２１Ｆ、２１Ｒ）の異常を簡単に検出可能な基板搬送装置（１）、および搬送ベルト検査方法を提供することを課題とする。　基板搬送装置（１）は、基板（Ｂ）を搬送する搬送路（Ａ）が設定された無端環状の搬送ベルト（２１Ｆ、２１Ｒ）と、搬送路（Ａ）の所定の検出位置における基板（Ｂ）の有無を検出する基板センサ（２２、２３）と、搬送路（Ａ）が基板（Ｂ）を搬送していない際に、搬送ベルト（２１Ｆ、２１Ｒ）を回動させ、基板センサ（２２、２３）の検出結果を基に搬送ベルト（２１Ｆ、２１Ｒ）の異常を判別する制御装置（６）と、を備える。

Description

基板搬送装置および搬送ベルト検査方法
　本発明は、例えば電子部品実装機や印刷機などの基板搬送装置、および基板を搬送するための搬送ベルトを検査する搬送ベルト検査方法に関する。
　電子部品実装機は、搬送ベルトと基板センサとを備えている。搬送ベルト上には、基板の搬送路が設定されている。基板センサは、搬送路の所定位置における基板の有無を検出している。具体的には、基板センサは、投光器と受光器とを備えている。投光器から受光器への光が遮断されたことを基に、基板センサは基板を検出している。
特開２００５－１４４２６号公報
　しかしながら、搬送ベルトが劣化すると、搬送ベルトが部分的に断裂してしまう場合がある。この場合、当該断裂部分が、搬送ベルトの表面から立ち上がってしまう。このため、断裂部分が、基板センサの投光器の光を、遮断してしまう。したがって、基板センサが、断裂部分を、基板と間違えて検出してしまう。
　この点、特許文献１には、搬送ベルトの汚れや破損を検出可能な画像形成装置が開示されている。画像形成装置のキャリッジには、状態検知センサが配置されている。キャリッジは、搬送ベルトの上側を、搬送ベルトの延在方向に沿って、移動可能である。停止状態の搬送ベルトに対して、キャリッジつまり状態検知センサを走査させることにより、搬送ベルトの汚れや破損を検出することができる。
　しかしながら、同文献の画像形成装置の場合、停止中の搬送ベルトの上側で状態検知センサを走査させている。このため、搬送ベルトの上半分しか、一度に検査することができない。したがって、搬送ベルトの全長を検査する場合は、まず搬送ベルトの上半分に対して状態検知センサを走査させ、次に搬送ベルトを半回転させることにより、搬送ベルトの上半分と下半分とを入れ替え、再び搬送ベルトの上半分（旧下半分）に対して状態検知センサを走査させる必要がある。このような作業は煩雑である。そこで、本発明は、搬送ベルトの異常を簡単に検出可能な基板搬送装置、および搬送ベルト検査方法を提供することを目的とする。
　（１）上記課題を解決するため、本発明の基板搬送装置は、基板を搬送する搬送路が設定された無端環状の搬送ベルトと、該搬送路の所定の検出位置における該基板の有無を検出する基板センサと、該搬送路が該基板を搬送していない際に、該搬送ベルトを回動させ、該基板センサの検出結果を基に該搬送ベルトの異常を判別する制御装置と、を備えることを特徴とする。
　搬送ベルトの異常箇所としては、例えばヒゲ（搬送ベルトの表層材や芯材が断裂したもの）や、うねり（搬送ベルトが部分的に湾曲したもの）や、コブ（搬送ベルトが部分的に隆起したもの）などが挙げられる。すなわち、異常箇所とは、搬送ベルトの少なくとも一部が径方向外側に突出している箇所、つまり基板センサにより検出可能な搬送ベルトの任意の箇所をいう。
　本発明の基板搬送装置によると、本来、基板検出のために用いられる基板センサを流用して、搬送ベルトの異常を検出することができる。また、搬送ベルトの検査時に、敢えて基板センサを動かす必要がない。このため、搬送ベルトの異常を、簡単に検出することができる。したがって、基板搬送時に、基板センサが、搬送ベルトの異常箇所と基板とを誤認するのを、抑制することができる。
　また、本発明の基板搬送装置によると、基板搬送の空き時間を利用して、搬送ベルトを検査することができる。このため、基板生産時に、搬送ベルトの検査に伴うダウンタイムが発生しにくい。
　（１－１）上記（１）の構成において、前記検出位置は、前記搬送路に一箇所だけ設定され、前記制御装置は、該搬送路が前記基板を搬送していない際に、前記搬送ベルトを少なくとも一回転させる構成とする方がよい。本構成によると、搬送ベルトの全長を、一箇所の検出位置、つまり単一の基板センサにより、検査することができる。このため、基板センサの配置数を少なくすることができる。
　（１－２）上記（１）の構成において、前記検出位置は、前記搬送路に複数箇所設定され、前記搬送ベルトの全長をＬ０、複数箇所の該検出位置のうち、搬送方向上流端の該検出位置と、搬送方向下流端の該検出位置と、の間の距離をＬ１として、前記制御装置は、該搬送路が該基板を搬送していない際に、該搬送ベルトを、Ｌ０－Ｌ１だけ回動させる構成とする方がよい。本構成によると、搬送ベルトの全長を、複数箇所の検出位置、つまり複数の基板センサにより、検査することができる。このため、搬送ベルトの検査に要する時間を短縮することができる。
　（１－３）上記（１）の構成において、前記搬送ベルトは、前記搬送路の延在方向に対して直交する方向に、一対並置され、前記基板センサは、一対の該搬送ベルトに共用される構成とする方がよい。本構成によると、一対の搬送ベルトの検査を、共用の基板センサにより、同時に実行することができる。このため、搬送ベルト個別に検査を実行する場合と比較して、搬送ベルトの検査に要する時間を短縮することができる。
　（２）上記（１）の構成において、前記制御装置の判別結果を表示する表示装置を備える構成とする方がよい。本構成によると、搬送ベルトの異常を、作業者が、視覚により認識することができる。
　（３）上記課題を解決するため、本発明の搬送ベルト検査方法は、無端環状の搬送ベルトに設定された搬送路が基板を搬送していない際に、該搬送ベルトを回動させ、該搬送路の所定の検出位置における通過物の有無を検出する検出工程と、検出結果を基に該搬送ベルトの異常を判別する判別工程と、を有することを特徴とする。
　上記（１）に記載したように、本発明の搬送ベルト検査方法によると、搬送ベルトの異常を、簡単に検出することができる。また、基板搬送の空き時間を利用して、搬送ベルトを検査することができる。
　本発明によると、搬送ベルトの異常を簡単に検出可能な基板搬送装置、および搬送ベルト検査方法を提供することができる。
図１は、本発明の一実施形態である電子部品実装機が配置された生産ラインのブロック図である。 図２は、図１の生産ラインのうち２台の電子部品実装機が連なる部分の上面図である。 図３は、電子部品実装機の後側の搬送ベルトの前面図である。 図４は、本発明の一実施形態である搬送ベルト検査方法のフローチャートである。 図５は、同搬送ベルト検査方法における、電子部品実装機の後側の搬送ベルトの前面図である。 図６は、その他の実施形態の電子部品実装機の後側の搬送ベルトの前面図である。
　以下、本発明の基板搬送装置および搬送ベルト検査方法の実施の形態について説明する。なお、以下の実施形態においては、本発明の基板搬送装置を、電子部品実装機として具現化している。
　＜生産ライン＞
　まず、本実施形態の電子部品実装機が配置された生産ラインの構成について説明する。図１に、本実施形態の電子部品実装機が配置された生産ラインのブロック図を示す。図１に示すように、生産ライン９には、左側（上流側）から右側（下流側）に向かって、スクリーン印刷機９１と、印刷検査機９２と、２台の電子部品実装機１と、基板外観検査機９３と、リフロー炉９４と、が一列に並んで配置されている。右側の電子部品実装機１は、本発明の「基板搬送装置」の概念に含まれる。生産ライン９は、ホストコンピュータ９０により、統括管理されている。
　スクリーン印刷機９１は、基板（図略）の配線パターンのランド部にはんだを印刷する。印刷検査機９２は、はんだの印刷状態を検査する。２台の電子部品実装機１は、各電子部品実装機１の割り当てに従って、段階的に基板に電子部品を装着する。基板外観検査機９３は、電子部品の装着状態を検査する。リフロー炉９４は、はんだにより、配線パターンのランド部に電子部品を固定する。
　＜電子部品実装機＞
　次に、本実施形態の電子部品実装機の構成について説明する。図２に、図１の生産ラインのうち２台の電子部品実装機が連なる部分の上面図を示す。２台の電子部品実装機１の構成は同様である。図１、図２に示すように、電子部品実装機１は、搬送コンベア２と、スライダ３と、部品供給装置４と、基台５と、制御装置６と、表示装置７と、を備えている。
　［スライダ３、部品供給装置４、基台５］
　部品供給装置４は、基台５の前側に配置されている。スライダ３は、基台５の上側に配置されている。スライダ３は、基台５に対して、左右方向に移動可能である。スライダ３は、吸着ノズル３０を備えている。吸着ノズル３０は、スライダ３に対して、前後方向に移動可能である。スライダ３の左右方向の移動と、吸着ノズル３０の前後方向の移動と、を適宜組み合わせることにより、吸着ノズル３０は、前後左右方向に自在に移動することができる。このため、吸着ノズル３０は、部品供給装置４から基板Ｂの所定の座標まで、電子部品を搬送することができる。
　［搬送コンベア２］
　搬送コンベア２は、前後一対の支持部材２０Ｆ、２０Ｒと、前後一対の搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒと、搬送モータ２１Ｍと、搬入センサ２２と、搬出センサ２３と、を備えている。搬出センサ２３は、本発明の「基板センサ」の概念に含まれる。
　前後一対の支持部材２０Ｆ、２０Ｒは、各々、基台５の左右方向全長に亘って延在している。前後一対の搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒは、各々、基台５の左右方向全長に亘って延在している。前側の搬送ベルト２１Ｆは、前側の支持部材２０Ｆに配置されている。後側の搬送ベルト２１Ｒは、後側の支持部材２０Ｒに配置されている。搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒは、前後方向に対向している。搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒ間には、基板Ｂが架設されている。搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒは、搬送モータ２１Ｍにより駆動される。
　図３に、電子部品実装機の後側の搬送ベルトの前面図を示す。図３に示すように、搬送ベルト２１Ｒは、左右両端の２つのプーリ２１Ｐ間に、巻装されている。搬送ベルト２１Ｒは、左右方向に延在する長円状を呈している。搬送ベルト２１Ｒの上面には、搬送路Ａが設定されている。搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒが回転することにより、基板Ｂは、搬送路Ａを、左側から右側に向かって搬送される。
　搬出センサ２３は、搬送路Ａの右端（下流端）に配置されている。すなわち、搬出センサ２３の検出位置は、搬送路Ａの右端に設定されている。搬出センサ２３は、透過型の光電センサである。搬出センサ２３は、投光器２３０と、受光器２３１と、を備えている。図３に点線で示すように、基板Ｂの右端が投光器２３０と受光器２３１との間（つまり検出位置）に到達すると、投光器２３０から受光器２３１に照射される光（図２参照）が、遮断される。当該遮光を基に、搬出センサ２３は、「検出位置に基板Ｂが有ること」を検出している。
　搬入センサ２２は、搬送路Ａの左端（上流端）に配置されている。すなわち、搬入センサ２２の検出位置は、搬送路Ａの左端に設定されている。搬入センサ２２の構成は、搬出センサ２３の構成と同様である。
　なお、図１に示すスクリーン印刷機９１、印刷検査機９２、基板外観検査機９３、リフロー炉９４は、いずれも搬送コンベア２を備えている。各装置の搬送コンベア２が連なることにより、基板Ｂは、生産ライン９を、左側から右側に向かって搬送される。
　［制御装置６］
　図１に示すように、制御装置６は、演算部６０と、記憶部６１と、入出力インターフェイス６２と、を備えている。演算部は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）である。記憶部６１は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）と、を備えている。入出力インターフェイス６２は、搬入センサ２２、搬出センサ２３、搬送モータ２１Ｍ、表示装置７、ホストコンピュータ９０、スクリーン印刷機９１、印刷検査機９２、もう１台の電子部品実装機１、基板外観検査機９３、リフロー炉９４に、電気的に接続されている。
　＜搬送ベルト検査方法＞
　次に、本実施形態の搬送ベルト検査方法について説明する。搬送ベルト検査方法は、２台の電子部品実装機１のうち、右側の電子部品実装機１により実行される。また、搬送ベルト検査方法には、搬出センサ２３が用いられる。また、搬送ベルト検査方法においては、制御装置６が、前後一対の搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査を、同時に実行する。
　図３に示すように、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒが劣化すると、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒが部分的に裂けてしまう場合がある。すなわち、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒから、ヒゲ（異常箇所）Ｗが立ち上がってしまう場合がある。この場合、搬出センサ２３の投光器２３０の光を、ヒゲＷが遮断してしまう。このため、搬出センサ２３が、ヒゲＷを、基板Ｂと間違えて検出してしまう。当該誤検出を防止するために、電子部品実装機１は、所定のサイクルで、搬送ベルト検査方法を実行している。
　搬送ベルト検査方法は、検出工程と、判別工程と、表示工程と、を有している。図４に、本実施形態の搬送ベルト検査方法のフローチャートを示す。図５に、同搬送ベルト検査方法における、電子部品実装機の後側の搬送ベルトの前面図を示す。
　［検出工程］
　本工程においては、まず、図１に示す演算部６０が、ベルト異常確認サイクルが到来したことを、確認する（図４のＳ１（ステップ１、以下同様））。次に、演算部６０は、搬送モータ２１Ｍの駆動状態を基に、図２に示す右側の電子部品実装機１（搬送ベルト検査方法実行中の電子部品実装機１）の搬送コンベア２が稼働中か否かを確認する（図４のＳ２）。つまり、右側の電子部品実装機１の搬送コンベア２の、現在における基板搬送の有無を確認する。並びに、演算部６０は、図１、図２に示す左側の電子部品実装機１の搬出センサ２３の信号を基に、左側の電子部品実装機１から基板Ｂが搬出されるか否かを確認する。つまり、右側の電子部品実装機１の搬送コンベア２の、基板搬入予定の有無を確認する。
　図４のＳ２において、右側の電子部品実装機１が、現在、基板Ｂを搬送しておらず、かつ右側の電子部品実装機１に、近い将来、基板Ｂが搬入される予定が無い場合、演算部６０は、搬送コンベア２を稼働する（図４のＳ３）。演算部６０は、搬出センサ２３の投光器２３０の光が遮断されるか否かを監視する（図４のＳ４）。
　一方、図４のＳ２において、右側の電子部品実装機１が、現在、基板Ｂを搬送している場合、演算部６０は、次サイクルまで、搬送ベルト検査方法を実行しない（図４のＳ７）。また、右側の電子部品実装機１に、近い将来、基板Ｂが搬入される予定がある場合、演算部６０は、次サイクルまで、搬送ベルト検査方法を実行しない（図４のＳ７）。
　［判別工程］
　本工程においては、図４のＳ４における監視結果を基に、演算部６０が、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの異常の有無を判別する。具体的には、図５に示すように、遮光があった場合、演算部６０は、「搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに異常有り」と判別する（図４のＳ８）。一方、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒを一回転させる間に（図４のＳ５）、遮光がなかった場合、演算部６０は、「搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに異常無し」と判別する（図４のＳ６）。
　［表示工程］
　本工程においては、演算部６０が、判別結果（「搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに異常有り」という判別結果）を、図１に示す表示装置７に表示する。具体的には、表示装置７の画面（図略）に、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに異常が有る旨を表示する。このようにして、制御装置６は、搬送ベルト検査方法を実行する。
　＜作用効果＞
　次に、本実施形態の電子部品実装機１および搬送ベルト検査方法の作用効果について説明する。図１、図４に示すように、本実施形態の電子部品実装機１および搬送ベルト検査方法によると、本来、基板Ｂの検出のために用いられる搬出センサ２３を流用して、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの異常を検出することができる。また、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査時に、敢えて搬出センサ２３を動かす必要がない。このため、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの異常を、簡単に検出することができる。したがって、基板Ｂ搬送時に、搬出センサ２３が、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの異常箇所（ヒゲＷなど）と、基板Ｂと、を誤認するのを、抑制することができる。また、搬出センサ２３とは別に搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒ検査専用のセンサを配置する場合と比較して、センサの配置数を削減することができる。
　また、本実施形態の電子部品実装機１および搬送ベルト検査方法によると、基板Ｂ搬送の空き時間を利用して、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒを検査することができる。このため、基板Ｂ生産時に、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査に伴うダウンタイムが発生しにくい。
　また、本実施形態の電子部品実装機１および搬送ベルト検査方法によると、検出位置（搬出センサ２３の位置）は、搬送路Ａに一箇所だけ設定されている。このため、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの全長を、一箇所の検出位置、つまり単一の搬出センサ２３により、検査することができる。したがって、搬出センサ２３の配置数を少なくすることができる。
　また、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒ検査時における搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの回転数は、１回だけである。このため、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの回転数が複数回の場合と比較して、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査に要する時間を短縮することができる。
　また、本実施形態の電子部品実装機１および搬送ベルト検査方法によると、搬出センサ２３は、一対の搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに共用されている。このため、一対の搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査を、共用の搬出センサ２３により、同時に実行することができる。したがって、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒ個別に検査を実行する場合と比較して、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査に要する時間を短縮することができる。また、本実施形態の電子部品実装機１は表示装置７を備えている。このため、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの異常を、作業者が視覚により認識することができる。
　＜その他＞
　以上、本発明の基板搬送装置および搬送ベルト検査方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
　図６に、その他の実施形態の電子部品実装機の後側の搬送ベルトの前面図を示す。なお、図３と対応する部位については、同じ符号で示す。本実施形態においては、搬入センサ２２、搬出センサ２３は、共に本発明の「基板センサ」の概念に含まれる。
　搬送ベルト検査方法を実行する際、図１に示す制御装置６は、搬送路Ａの左右両端の検出位置を利用して、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査を実行する。搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒ各々の全長をＬ０、搬送路Ａの左右両端の検出位置間の距離（つまり搬送路Ａの全長）をＬ１として、制御装置６は、図４のＳ５において、搬送ベルト２１Ｆ、２１ＲをＬ０－Ｌ１だけ回動させる。こうすると、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの全長Ｌ０を、２箇所の検出位置、つまり２つの基板センサ（搬入センサ２２、搬出センサ２３）により、検査することができる。例えば、図６に示すように、搬出センサ２３の下流側隣りにヒゲＷがある場合、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒを一回転させなくても、搬入センサ２２により、当該ヒゲＷを検出することができる。このように、本実施形態の基板搬送装置によると、図４のＳ５における搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの回動距離を短縮することができる。このため、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査に要する時間を短縮することができる。
　また、図４のＳ４において遮光があった場合、図１に示す制御装置６は、基板センサ（搬入センサ２２、搬出センサ２３）の検出位置に通過物があったことを認識することができる。しかしながら、通過物の正体を特定することはできない。そこで、図４のＳ４において遮光があった場合（通過物があった場合）、遮光を回転開始条件として、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒを一回転させればよい。こうすると、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの通過物対象部位が、再度、検出位置を通過することになる。再度、遮光があった場合、合計２回の遮光の原因は搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒ自体にあると想定できる。この場合は、制御装置６が、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに異常有りと判別すればよい。一方、遮光がなかった場合、前回の遮光の原因は搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒにないと想定できる。例えば、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに載っていたゴミが、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの回動に伴って、自重により落下したと想定できる。この場合は、制御装置６が、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに異常無しと判別すればよい。このように、遮光を回転開始条件として搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒを一回転させることにより、制御装置６は、遮光が搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒに起因するか否かを判別することができる。
　また、図４のＳ４において遮光があった場合、図１に示す制御装置６が、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒを停止してもよい。こうすると、作業者が、搬出センサ２３付近を目視することにより、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの異常箇所を確認することができる。
　図４のＳ２において、図２に示す右側の電子部品実装機１（搬送ベルト検査方法実行中の電子部品実装機１）の搬送コンベア２の、近い将来における基板搬入予定の有無の判断方法は、特に限定しない。例えば、図２に示す左側の電子部品実装機１（搬送ベルト検査方法実行中の電子部品実装機１の上流側に隣接する電子部品実装機１）の搬出センサ２３の信号に基づいて、近い将来における基板搬入予定の有無を判断してもよい。また、右側の電子部品実装機１が左側の電子部品実装機１と通信することにより、左側の電子部品実装機１における基板Ｂの有無を確認してもよい。そして、左側の電子部品実装機１に基板Ｂがある場合に、「近い将来、右側の電子部品実装機１の搬送コンベア２に、基板Ｂが搬入される予定がある。」と判断してもよい。
　図１、図４のＳ８に示す表示装置７の「異常有り」の表示内容は、特に限定しない。文字、図形、記号などを用いたメッセージでもよい。また、表示を点滅、白黒反転させてもよい。また、表示装置７の代わりに、ランプ、サイレン、ブザーなどを配置してもよい。すなわち、「異常有り」という情報を発信可能な発信装置を、制御装置６に、電気的に接続すればよい。また、表示装置７は、「異常有り」という情報の代わりに、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの劣化や、搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの交換促進に関する情報を、表示してもよい。
　基板センサ（搬入センサ２２、搬出センサ２３）の種類は特に限定しない。光電センサ、超音波センサなどであってもよい。投光器２３０の光源は特に限定しない。ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ－Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）、半導体レーザダイオードなどであってもよい。受光器２３１の受光素子は特に限定しない。フォトダイオード、フォトトランジスタなどであってもよい。投光器２３０から照射される光の種類は特に限定しない。可視光、赤外線、レーザなどであってもよい。
　搬送ベルト検査方法の検出工程と、判別工程と、表示工程と、は同時に実行してもよい。すなわち、検出工程を実行しながら、搬出センサ２３からの信号に応じて、判別工程と、表示工程と、を実行してもよい。また、検出工程が完了してから、判別工程と、表示工程と、を実行してもよい。
　上記実施形態においては、本発明の基板搬送装置として、右側の電子部品実装機１を用いた。しかしながら、図１に示すスクリーン印刷機９１、印刷検査機９２、左側の電子部品実装機１、基板外観検査機９３、リフロー炉９４を、基板搬送装置として用いてもよい。また、これらの機器間を連結するコンベアを、基板搬送装置として用いてもよい。
　搬送ベルト検査方法の検査対象である搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒを備える基板搬送装置の制御装置６以外の制御装置が、搬送ベルト検査方法を実行してもよい。例えば、右側の電子部品実装機１の搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの検査を、図１に示すホストコンピュータ９０の制御装置、スクリーン印刷機９１の制御装置、印刷検査機９２の制御装置、左側の電子部品実装機１の制御装置、基板外観検査機９３の制御装置、リフロー炉９４の制御装置、スマートフォンなどの携帯端末、パーソナルコンピュータなどが実行してもよい。
　また、図１に示すホストコンピュータ９０の制御装置が、生産ライン９全長における基板Ｂの位置や分布などを基に、スクリーン印刷機９１、印刷検査機９２、左側の電子部品実装機１、右側の電子部品実装機１、基板外観検査機９３、リフロー炉９４の中から、検査を実行する基板搬送装置（単一でも複数でもよい）や、検査を実行するタイミングを決定してもよい。また、作業者が、検査を実行する基板搬送装置や、検査を実行するタイミングを決定してもよい。例えば、朝（基板Ｂの生産開始前）、昼（作業休憩時）、生産する基板Ｂの種類が変更される段取り替え時などに、検査を実行してもよい。
　また、基板センサ（搬入センサ２２、搬出センサ２３）の位置と、当該基板センサの検出位置と、は一致（または近接）していなくてもよい。例えば、検出位置から離間した位置に基板センサを配置してもよい。すなわち、当該基板センサにより、当該検出位置における通過物の有無を検出できればよい。また、搬送路Ａにおける検出位置の位置、設定数は、特に限定しない。また、単一の基板センサにより、単一の搬送ベルト２１Ｆ（または２１Ｒ）を検査してもよい。また、検査時における搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの回転方向は特に限定しない。例えば、回転方向は、基板Ｂの搬送方向と逆方向であってもよい。また、検査時における搬送ベルト２１Ｆ、２１Ｒの回転数は特に限定しない。回転数は一回未満でもよい。また、回転数は複数回でもよい。
　１：電子部品実装機（基板搬送装置）、２：搬送コンベア、２０Ｆ：支持部材、２０Ｒ：支持部材、２１Ｆ：搬送ベルト、２１Ｍ：搬送モータ、２１Ｐ：プーリ、２１Ｒ：搬送ベルト、２２：搬入センサ（基板センサ）、２３：搬出センサ（基板センサ）、２３０：投光器、２３１：受光器、３：スライダ、３０：吸着ノズル、４：部品供給装置、５：基台、６：制御装置、６０：演算部、６１：記憶部、６２：入出力インターフェイス、７：表示装置、９：生産ライン、９０：ホストコンピュータ、９１：スクリーン印刷機、９２：印刷検査機、９３：基板外観検査機、９４：リフロー炉、Ａ：搬送路、Ｂ：基板、Ｗ：ヒゲ。

Claims (3)

  1. 　基板を搬送する搬送路が設定された無端環状の搬送ベルトと、
    　該搬送路の所定の検出位置における該基板の有無を検出する基板センサと、
    　該搬送路が該基板を搬送していない際に、該搬送ベルトを回動させ、該基板センサの検出結果を基に該搬送ベルトの異常を判別する制御装置と、
    を備える基板搬送装置。
  2. 　前記制御装置の判別結果を表示する表示装置を備える請求項１に記載の基板搬送装置。
  3. 　無端環状の搬送ベルトに設定された搬送路が基板を搬送していない際に、該搬送ベルトを回動させ、該搬送路の所定の検出位置における通過物の有無を検出する検出工程と、
    　検出結果を基に該搬送ベルトの異常を判別する判別工程と、
    を有する搬送ベルト検査方法。
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