JP2007225323A - 基板割れ検出装置および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コンベア5により搬送される基板Bの割れを検出する装置であって、基板検知センサ30A,30Bおよび制御部38を有する。基板検知センサ30A,30Bは、センサヘッド32およびセンサアンプ36を有し、前記ヘッド32により基板Bに対して光を照射しつつその反射光を受光し、その受光状態に応じた信号をセンサアンプ36から出力する。制御部38は、光の照射位置を基板Bが通過する間に、センサアンプ36から出力される信号に基づき基板の割れを検知する。なお、センサアンプ36は、光の受光状態が基板有りの状態から無しの状態に変化するときに、前記信号として、制御部38により処理可能な最小時間幅よりも常に大きい時間幅をもつ信号を出力する。
【選択図】図3
Description
2 基板導入部
3 処理部
4 基板導出部
12 基板割れ検出装置
30A,30B 基板検知センサ
32(32a〜32d) センサヘッド
36 センサアンプ
38 制御部
40 発光部
42 受光部
44 信号出力回路
46 信号出力部
48 タイマ部
B 基板
Claims (8)
- 搬送路に沿って搬送される基板の割れを検出するための装置であって、
前記搬送路に沿って搬送される基板に対して光を照射可能な照射手段と前記光の受光手段とを含み、この受光手段による光の受光状態に基づき信号を出力する信号出力手段と、
前記基板が前記照射手段による光の照射位置を通過する間に、これに対応して前記信号出力手段から出力される信号に基づき基板の割れを検知する割れ検知手段とを有し、
前記信号出力手段は、前記受光手段による光の受光状態が基板有りの状態から無しの状態に変化するときに、前記割れ検知手段により処理可能な最小時間幅よりも常に大きい時間幅をもつ前記信号を出力する
ことを特徴とする基板割れ検出装置。 - 請求項1に記載の基板割れ検出装置において、
複数の前記信号出力手段を有し、これら信号出力手段の前記照射手段による光の照射位置が前記搬送路の幅方向に並んでいる
ことを特徴とする基板割れ検出装置。 - 請求項1又は2記載の基板割れ検出装置において、
前記信号出力手段を第1信号出力手段としたときに、さらに、前記搬送路に沿って搬送される基板に対して光を照射可能な照射手段と前記光の受光手段とを含み、この受光手段による光の受光状態に基づき基板の有無に対応した信号を出力する複数の第2信号出力手段を有し、
これら第2信号出力手段の前記照射手段による光の照射位置が前記搬送路の幅方向に並び、
前記割れ検知手段は、第1および第2信号出力手段から出力される信号に基づき前記割れを検知する
ことを特徴とする基板割れ検出装置。 - 請求項3に記載の基板割れ検出装置において、
前記第1信号出力手段および第2信号出力手段の前記照射手段および受光手段として共通の照射手段および受光手段が設けられている
ことを特徴とする基板割れ検出装置。 - 請求項3又は4に記載の基板割れ検出装置において、
前記搬送路に沿って搬送される基板に対して光を照射可能な照射手段と前記光の受光手段とを含み、この受光手段による光の受光状態に基づき基板の有無に対応した信号を出力する第3信号出力手段を有し、
この第3信号出力手段の前記照射手段による光の照射位置が前記搬送路の幅方向中央であって、かつ前記第2信号出力手段の各照射手段による光の照射位置よりも基板搬送方向下流側の位置にあり、
前記割れ検知手段は、第3信号出力手段から出力される信号に基づき基板の先端を検知し、当該検知後に第1および第2信号出力手段から出力される信号に基づき前記割れを検知する
ことを特徴とする基板割れ検出装置。 - 請求項3乃至5の何れかに記載の基板割れ検出装置において、
前記搬送路に沿って搬送される基板に対して光を照射可能な照射手段と前記光の受光手段とを含み、この受光手段による光の受光状態に基づき基板の有無に対応した信号を出力する第4信号出力手段を有し、
この第4信号出力手段の前記照射手段による光の照射位置が前記搬送路の幅方向中央であって、かつ前記第2信号出力手段の各照射手段による光の照射位置よりも基板搬送方向上流側の位置に設定され、
前記割れ検知手段は、第4信号出力手段から出力される信号に基づき基板の後端を検知し、当該検知後に第1および第2信号出力手段から出力される信号を無視する
ことを特徴とする基板割れ検出装置。 - 基板の搬送路と、この搬送路に沿って搬送される基板に対して所定の処理を施す処理手段と、前記搬送路に沿って搬送される基板の割れを検出する基板割れ検出装置とを備えた基板処理装置であって、
前記基板割れ検出装置として請求項1乃至6の何れかに記載の基板割れ検出装置を備えている
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項7に記載の基板処理装置において、
前記基板割れ検出装置は、基板の搬送を開始する搬送開始地点と前記処理手段との間、又は前記処理手段と処理後の基板の搬送終了地点との間の少なくとも一方に設けられている
ことを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006044163A JP4808509B2 (ja) | 2006-02-21 | 2006-02-21 | 基板割れ検出装置および基板処理装置 |
TW096101581A TW200734629A (en) | 2006-02-21 | 2007-01-16 | Appratus for detecting crack of substrate and substrate processing appratus |
KR1020070015802A KR100857645B1 (ko) | 2006-02-21 | 2007-02-15 | 기판 깨짐 검출 장치 및 기판 처리 장치 |
CNB2007100841280A CN100521137C (zh) | 2006-02-21 | 2007-02-16 | 基板裂纹检测装置以及基板处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006044163A JP4808509B2 (ja) | 2006-02-21 | 2006-02-21 | 基板割れ検出装置および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007225323A true JP2007225323A (ja) | 2007-09-06 |
JP4808509B2 JP4808509B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=38547293
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006044163A Expired - Fee Related JP4808509B2 (ja) | 2006-02-21 | 2006-02-21 | 基板割れ検出装置および基板処理装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4808509B2 (ja) |
CN (1) | CN100521137C (ja) |
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- 2006-02-21 JP JP2006044163A patent/JP4808509B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2007
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---|---|
JP4808509B2 (ja) | 2011-11-02 |
CN101026115A (zh) | 2007-08-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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