CN100521137C - 基板裂纹检测装置以及基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明的基板裂纹检测装置能够以简单且廉价的结构更加可靠地检测搬送中的基板的裂纹。该装置是一种检测由输送机(5)搬送的基板(B)的裂纹的装置，具有基板检测传感器(30A、30B)以及控制部(38)。基板检测传感器(30A、30B)具有传感头(32)以及传感放大器(36)，由上述头部(32)对基板(B)照射光，同时接收其反射光，并从传感放大器输出与该受光状态对应的信号。在基板通过光照射位置期间，控制部基于从传感放大器输出的信号来检测基板的裂纹。此外，在光的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，传感放大器作为信号而输出具有始终比由控制部可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号。

Description

基板裂纹检测装置以及基板处理装置

技术领域

本发明涉及一种适用于在搬送液晶显示设备(LCD)、或等离子显示设备(PDP)用玻璃基板等基板的同时实施各种处理的基板处理装置的基板裂纹检测装置以及内置有该检测装置的基板处理装置。

背景技术

以往，作为检测在处理对象即基板上产生的裂纹、缺损(以下，只称为裂纹)的装置而研究过种种的装置，例如，在专利文献1中公开有一种基板裂纹检测器，其使用具有投光器与受光器的光学传感器，基于半导体基板的碎片通过该传感器的光路时的受光器的受光电平的变化，检测出在基板上是否产生存在裂纹。

另外，在专利文献2中提出有一种检测出基板的裂纹的技术，该技术针对形成有导电膜的基板，使用一对电极检测出形成有上述导电膜的部分的电阻值，从而基于该电阻值的变化检测出玻璃基板的裂纹。

专利文献1：JP特许第2953850号公报

专利文献2：JP特开2005-100330号公报

近年来，在LCD或PDP用玻璃基板等的处理装置中，从高效率的观点出发而在搬送基板的同时实施各种处理，此时，使用如专利文献1的装置检测基板的裂纹虽然有效，但是会存在如下的课题。

即，在基板的搬送速度快时、或者裂纹微细时，由于与裂纹对应的受光电平的变化细微(时间短)，从而导致很难检测出裂纹。这是因为，例如由于与受光信号的取样周期(检测周期)的关系，而若受光电平的变化过于细微，则检测不出该变化的可能性自然会增高。

因此，可以考虑在传感器的位置处暂时降低基板的搬送速度、或缩短受光信号的取样周期而提高检测裂纹的可靠性。但是，前者会使基板的处理效率降低，另外，后者需要高性能的控制装置而会提高相应的成本等，因此哪个都不能说是上策。

此外，也可以考虑应用专利文献2的技术，但此时很难检测出形成有导电膜的部分之外的裂纹。也可以考虑使用CCD(Charge Coupled Devices：电荷耦合器件)等拍摄装置拍摄基板，并基于其图像检测基板的裂纹。此时会导致高成本，另外图像处理等控制负担过大，因此也不能说是有效方法。因此，希望能够以简单且廉价的结构更为可靠地检测出搬送中的基板的裂纹(裂纹、缺损等)。

另外，若基板上存在裂纹，则会导致搬送事故(trouble)而导致发生设备故障，或者对不能使用的基板实施无用的处理，所以有必要在开始基板处理之前、即在基板从前工序搬入到处理装置的阶段检测出裂纹基板并剔除。另外，由于也有可能在处理中产生裂纹，所以，在这种情况下，需要快速检测出裂纹基板而阻止该基板移到下一个工序。

因此，虽然希望能够在基板搬入到处理装置的阶段、或者向下一个工序搬出之前以简单的结构检测出基板的裂纹，但在该专利文献1等并没有公开那种具体的结构。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，在从基板处理装置中的基板搬入位置到搬出位置为止的基板搬送过程中，能够以简单且廉价的结构更加可靠地检测出基板的裂纹(裂纹、缺损等)。

为了解决上述课题，本发明提出了如下的基板裂纹检测装置以及基板处理装置。

(1)即，本发明是一种基板裂纹检测装置，用于检测沿着搬送路径被搬送的基板的裂纹，并且具有：第一信号输出单元，其包括能够对基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出信号；裂纹检测单元，其在上述基板通过上述照射单元照射光的照射位置的期间，基于对应于此而从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹，在裂纹检测开始之后上述受光单元的受光状态变化时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的上述信号。

若采用该装置，则在由照射单元照射光的状态下基板通过该照射位置的期间，第一信号输出单元输出与受光单元的受光状态相对应的信号，并基于该信号而由裂纹检测单元检测出基板的裂纹。也就是说，在基板上存在裂纹时，在该部位，光的受光状态变化而与其对应的信号从第一信号输出单元被输出，因此在裂纹检测单元中基于该信号而检测出裂纹。此时，在开始裂纹检测后，第一信号输出单元输出具有始终比由裂纹检测单元可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，所以，即使在基板的搬送速度快的情况下、或者在裂纹微细的情况下，裂纹检测单元也能够可靠地检测出裂纹。

此外，所谓“包括能够对基板照射光的照射单元和上述光的受光单元”意味着下述两种结构：从照射单元对基板照射光的同时，由受光单元接收其反射光的结构；以及，从照射单元对基板照射光的同时，接收其透射光的结构(对于以下所述的发明也相同)。

(2)作为更具体的结构，在上述受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有上述时间宽度的信号。

若采用该结构，则在光的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，从第一信号输出单元输出具有上述时间宽度的信号。

(3)在上述的结构中，优选具有多个上述第一信号输出单元，并且，这些第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置排列在上述搬送路径的宽度方向上。

若采用该结构，则能够在基板的更宽的范围内检测裂纹，从而可提高裂纹检测的可靠性。

此外，也考虑到这种情况：由于在受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时第一信号输出单元输出信号，因此在基板的前端存在裂纹时无法检测出裂纹的情况。

(4)因此，优选地，在上述结构中，除了上述第一信号输出单元，另外还具有多个第二信号输出单元，该第二信号输出单元包括能够对沿着搬送路径被搬送的基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出与基板的有无对应的信号，这些第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置排列在上述搬送路径的宽度方向上，从而上述裂纹检测单元基于从第一以及第二信号输出单元输出的信号来检测上述裂纹。

若采用该结构，则在基板的前端存在裂纹的情况下，当基板前端到达由第二信号输出单元的照射单元的光照射位置时，在从各第二信号输出单元输出的信号中，只有与裂纹对应的信号状态与其他信号状态不同。因此，能够检测出基板前端的裂纹。

(5)在该结构中，作为上述第一信号输出单元以及第二信号输出单元的上述照射单元以及受光单元，优选设置有共用的照射单元以及受光单元。

若采用该结构，则能够对第一信号输出单元以及第二信号输出单元的照射单元以及受光单元进行共用化而实现合理且廉价的结构。另外，由第一信号输出单元以及第二信号输出单元的照射单元的光照射位置变为相同的位置，因此在基板宽度方向(与搬送路径的宽度方向相同)的特定的位置上，能够对从基板的前端(搬送方向前端)到后端为止的整体检测出裂纹。

(6)此外，在上述的结构中，优选地，还具有第三信号输出单元，该第三信号输出单元包括能够对沿着上述搬送路径被搬送的基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出与基板的有无对应的信号，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述搬送路径的宽度方向的中央、并且处在上述第二信号输出单元的各照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向下游侧的位置，上述裂纹检测单元基于从第三信号输出单元输出的信号而检测基板的前端，并在进行该检测后，基于从第一以及第二信号输出单元输出的信号来检测上述裂纹。

(7)另外，优选地，具有第四信号输出单元，该第四信号输出单元包括能够对沿着搬送路径被搬送的基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出与基板的有无对应的信号，该第四信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在上述搬送路径的宽度方向的中央、并且处在上述第二信号输出单元的各照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向上游侧的位置，上述裂纹检测单元基于从第四信号输出单元输出的信号而检测基板的后端，并在进行该检测后，忽略从第一以及第二信号输出单元输出的信号。

若采用这些结构，则如在具体实施方式中详细说明了的那样，在发生了基板相对搬送方向倾斜的所谓倾斜搬送时，能够有效地回避对于基板前端、基板后端的裂纹的误检测，从而能够提高裂纹检测的可靠性。

(8)另一方面，本发明的基板处理装置具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，而且，作为上述基板裂纹检测装置而具有上述(2)所述的基板裂纹检测装置。

若采用这样的基板处理装置，则由于内置有上述基板裂纹检测装置，所以，即使在基板搬送速度快的情况下、或者在裂纹微细的情况下，也能够可靠地检测出基板的裂纹。

(9)此外，在该基板处理装置中，优选地，上述基板裂纹检测装置设置在开始搬送基板的搬送开始地点与上述处理单元之间、或在上述处理单元与处理后的基板的搬送结束地点之间的至少一方。

若采用该结构，则在将裂纹的检测位置设定在搬送开始地点与上述处理单元之间时，能够在由处理单元进行处理前事先检测出基板的裂纹并将其剔除，另外，在将裂纹的检测位置设定在处理单元与搬送结束地点之间时，能够在由处理单元进行了处理后将该基板搬出到下一个工序的装置之前检测出基板的裂纹并将其剔除。此外，所谓“搬送结束地点”意味着成为处理对象的基板的终点位置，而并不是限定在该地点停止基板。也就是说，在搬送结束地点一旦使基板停止，或者使基板通过均可。

(10)另外，作为其他具体的结构，上述基板裂纹检测装置配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送开始位置，并且具有：上述第一信号输出单元，其对放置在上述搬送开始位置的基板的搬送方向前端部照射光，并基于该光的受光状态而输出信号；第二信号输出单元，其包括能够对放置在上述搬送开始位置的基板的搬送方向后端部照射光的照射单元与该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出信号，上述裂纹检测单元基于从上述第一以及第二信号输出单元输出的上述信号来检测上述裂纹，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元始终使与该变化对应的信号输出延迟一定期间，从而输出具有上述时间宽度的信号。

若采用该装置，则从外部对搬送开始位置放置了(搬入)基板，进而基于在该基板沿着搬送路径从该搬送开始位置完全搬出为止的期间的各信号输出单元的输出信号，通过裂纹检测单元来检测出裂纹。即，当从外部对搬送开始位置放置了基板时，各信号输出单元的输出信号从不存在基板的状态向存在的状态变化，但此时，在基板存在裂纹时所对应的输出信号不会产生变化，由此裂纹检测单元可对基板的前端部或后端部的裂纹进行检测。另外，当在基板的中间部分(在搬送方向上的基板的中间部分)存在裂纹时，在开始搬送基板之后，由于来自第一信号输出单元的输出信号一旦变化为不存在基板的状态后再次返回到存在基板的状态，由此裂纹检测单元可对该中间部分的裂纹进行检测。此时，第一信号输出单元的输出信号使信号输出延迟一定期间，而输出具有上述时间宽度的信号、也就是输出具有比由裂纹检测单元可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，因此，在基板的搬送速度快的情况下、或在裂纹极其微细的情况下，裂纹检测单元也能够可靠地基于该输出信号而检测出裂纹。

(11)另外，作为其他的具体的结构，上述基板裂纹检测装置配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送开始位置，并且具有：上述第一信号输出单元，其对放置在上述搬送开始位置的基板的搬送方向前端部照射光，并基于该光的受光状态而输出信号；第二信号输出单元，其包括能够对放置在上述搬送开始位置的基板的搬送方向后端部照射光的照射单元与该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出信号，上述裂纹检测单元基于从上述第一以及第二信号输出单元输出的上述信号来检测基板的裂纹，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有上述时间宽度的信号。

在采用该装置的情况下，也是通过裂纹检测单元基于各信号输出单元的输出信号来检测裂纹。即，当从外部对搬送开始位置放置了基板时，各信号输出单元的光的受光状态从不存在基板的状态向存在基板的状态变化，因此，裂纹检测单元基于从各信号输出单元是否输出有与此对应的信号，而对基板的前端部或后端部的裂纹进行检测。另外，当在基板的中间部分(在搬送方向上的基板的中间部分)存在裂纹时，在基板的搬送开始之后，来自第一信号输出单元的输出信号一旦变化为不存在基板的状态后再次返回到存在基板的状态，所以从第一信号输出单元输出与此对应的信号，裂纹检测单元基于该信号来检测基板的裂纹。此时，第一信号输出单元输出具有上述时间宽度的信号、也就是输出具有比由裂纹检测单元可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，因此，即使在基板的搬送速度快的情况下、或在裂纹极其微细的情况下，裂纹检测单元也能够可靠地基于该输出信号而检测裂纹。

(12)此外，在这些基板裂纹检测装置中，优选地，作为上述第一以及第二信号输出单元而分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板宽度方向的两端的位置。

即，由于在基板的角部容易发生裂纹，因此，如上所述，若采用各信号输出单元的上述照射单元的光照射位置被设定于至少包括在基板的宽度方向的两端的位置的结构，则就能够快速地检测出这种在角部的裂纹。

(13)此外，在上述的基板裂纹检测装置中，优选地，除了上述第一以及第二信号输出单元，另外还具有第三信号输出单元，该第三信号输出单元包括向放置在上述搬送开始位置的基板照射光的照射单元和该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出信号，并且，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游侧，上述裂纹检测单元基于从上述第三信号输出单元输出的信号来检测基板的后端，并在对放置在上述搬送开始位置的基板的搬送开始之后，基于对上述后端的检测而结束对该基板的裂纹检测的处理。

若采用该结构，则如在发明的实施方式中详细说明了的那样，在发生了基板相对搬送方向倾斜的状态下被搬送的所谓倾斜搬送的情况下，能够有效地回避对于基板后端的裂纹的误检测，从而能够提高裂纹检测的可靠性。

(14)并且，作为其他具体的结构，上述的基板裂纹检测装置配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送停止位置，并且具有：第二信号输出单元，其包括能够对放置在上述搬送停止位置的基板的搬送方向前端部照射光的照射单元和该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出信号；上述第一信号输出单元，其对放置在上述搬送停止位置的基板的搬送方向后端部照射光，并基于该光的受光状态而输出信号，上述裂纹检测单元基于从上述第一以及第二信号输出单元输出的上述信号来检测基板的裂纹，在上述受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有上述时间宽度的上述信号。

若采用该装置，则裂纹检测单元基于在基板被搬送而被放置在搬送停止位置为止的期间的各信号输出单元的输出信号来检测裂纹。即，当在基板的中间部分或后端存在裂纹时，在基板被放置在搬送停止位置为止的期间，第一信号输出单元的光的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态，并从第一信号输出单元输出由此对应的信号，由此裂纹检测单元检测该裂纹。并且，此时，由于第一信号输出单元输出具有上述时间宽度的信号、也就是输出具有比由裂纹检测单元可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，因此，即使在基板的搬送速度快的情况下、或在裂纹极其微细的情况下，裂纹检测单元也能够可靠地基于该信号而检测裂纹。然后，当继续进行搬送而使基板完全到达上述搬送停止位置时，第二信号输出单元的输出信号从不存在基板的状态变化为存在基板的状态，但此时，在基板前端存在裂纹时所对应的输出信号不会发生变化，由此裂纹检测单元检测出基板的前端部的裂纹。

(15)并且，作为其他具体的结构，上述基板裂纹检测装置配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送停止位置，并且具有：第二信号输出单元，其包括能够对放置在上述搬送停止位置的基板的搬送方向前端部照射光的照射单元和该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出信号；上述第一信号输出单元，其对放置在上述搬送停止位置的基板的搬送方向后端部照射光，并基于该光的受光状态而输出信号，上述裂纹检测单元基于从上述第一以及第二信号输出单元输出的上述信号来检测基板的裂纹，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元始终使与该变化对应的信号输出延迟一定期间，从而输出具有上述时间宽度的信号。

在采用该装置的情况下，裂纹检测单元也基于在基板被搬送而被放置在搬送停止位置为止的期间的各信号输出单元的输出信号来检测裂纹。即，当在基板的中间部分存在裂纹时，在基板被放置在搬送停止位置为止的期间，来自第一信号输出单元的输出信号变化到存在基板的状态后一旦再变化为不存在基板的状态、并再次返回到存在基板的状态，由此裂纹检测单元可检测该裂纹。并且，此时，由于第一信号输出单元始终将与该变化(即，从不存在基板的状态向存在基板的状态的变化)对应的信号输出延迟一定期间，由此输出具有上述时间宽度的信号、也就是输出具有比由裂纹检测单元可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，因此，即使在基板的搬送速度快的情况下、或再裂纹极其微细的情况下，裂纹检测单元也能够可靠地基于该输出信号而检测裂纹。并且，当继续进行搬送而将基板放置在上述搬送停止位置时，虽然第二信号输出单元的输出信号从不存在基板的状态变化为存在基板的状态，但此时，在基板前端存在裂纹时所对应的输出信号不会发生变化，由此裂纹检测单元可检测出在基板的前端部的裂纹。

(16)此外，在这些基板裂纹检测装置中，优选地，作为上述第一以及第二信号输出单元而分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板宽度方向的两端的位置。

即，在基板的角部容易发生裂纹，因此，如上所述，只要采用由各信号输出单元的上述照射单元的光照射位置被设定于至少包括在基板的宽度方向的两端的位置的结构，则就能够快速地检测出这种角部的裂纹。

(17)此外，在上述的基板裂纹检测装置中，除了上述第一以及第二信号输出单元，另外还具有第三信号输出单元，该第三信号输出单元包括在基板停止于上述搬送停止位置的状态下能够向该基板照射光的照射单元和该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态而输出信号，并且，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置设定于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游侧，上述裂纹检测单元基于从上述第三信号输出单元输出的信号来检测基板的前端，并且基于对搬送中的基板的上述前端的检测而开始对该基板的裂纹检测的处理。

若采用该结构，则如在发明的实施方式中详细说明了的那样，在发生了基板相对搬送方向倾斜的状态下被搬送的所谓倾斜搬送时，能够回避对于基板前端的裂纹的误检测，从而能够提高裂纹检测的可靠性。

(18)另一方面，本发明的基板处理装置，具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，而且，上述基板裂纹检测装置配置在上述搬送路径中的基板的搬送开始位置，并且作为该基板裂纹检测装置而具有上述(10)或(11)所述的基板裂纹检测装置。

若采用该结构，则能够在由处理单元进行处理前快速检测出基板的裂纹并将其剔除。

(19)另一方面，本发明的基板处理装置，具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，而且，上述基板裂纹检测装置配置在上述搬送路径中的基板的搬送停止位置，并且作为该基板裂纹检测装置而具有上述(14)或(15)所述的基板裂纹检测装置。

若采用该结构，则在由处理单元进行了处理后、且在该基板被搬出到下一个工序的装置之前，能够检测出基板的裂纹并将其快速剔除。

若采用本发明的上述(1)～(7)的基板裂纹检测装置，则即使在基板搬送速度快的情况下、或者在裂纹微细的情况下，也能够可靠地检测出裂纹。并且，即使由裂纹检测单元可处理的最小时间宽度变大，也通过将从信号输出单元输出的上述信号的时间宽度设定为比其更大，而能够可靠地检测出微细的裂纹，因此不必使用可处理微小信号的高性能的控制装置等，而能够以简单且廉价的结构来检测出基板的裂纹。

另外，若采用本发明的上述(8)以及(9)的基板处理装置，则由于具有如上所述的基板裂纹检测装置，所以能够更加可靠地检测出搬送中的基板的裂纹并将其剔除。因此，对于因存在裂纹的基板被提供到接下来的工序而发生事故等情况，能够防范于未然。

另外，若采用上述(10)～(13)的基板裂纹检测装置，则从外部对搬送开始位置放置基板，进而利用该基板沿着搬送路径从该搬送开始位置完全搬出为止的期间，而能够良好地检测基板的裂纹。并且，设置分别具有对基板照射光的照射单元以及受光单元的第一以及第二信号输出单元，并基于其信号输出状态而检测基板的裂纹，从而能够以简单的结构检测基板的裂纹。在此基础上，从第一信号输出单元作为与基板的裂纹对应的信号而输出具有始终比由裂纹检测单元可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，所以也能够以高精度检测出基板的裂纹。

另外，若采用本发明的上述(14)～(17)的基板裂纹检测装置，则利用基板被搬送而被完全放置在搬送停止位置为止的期间，而能够良好地检测基板的裂纹。并且，设置分别具有对基板照射光的照射单元以及受光单元的第一以及第二信号输出单元，并基于其信号输出状态而检测基板的裂纹，从而能够以简单的结构检测基板的裂纹。在此基础上，从第一信号输出单元作为与基板的裂纹对应的信号而输出具有始终比由裂纹检测单元可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，所以也能够以高精度检测出基板的裂纹。

另外，若采用本发明的上述(18)的基板处理装置，则由于具有如上所述的基板裂纹检测装置，所以能够在搬送开始位置快速地检测出基板的裂纹并将其剔除。因此，对于因存在裂纹的基板被提供到接下来的处理而发生事故等情况，能够防范于未然。

另外，若采用本发明的上述(19)的基板处理装置，则由于具有如上所述的基板裂纹检测装置，所以能够在搬送开始位置快速地检测出基板的裂纹并将其剔除。因此，对于因存在裂纹的基板被提供到接下来的处理而发生事故等情况，能够防范于未然。

另外，本发明提供一种基板裂纹检测装置，用于检测沿着搬送路径被搬送的基板的裂纹，其特征在于，具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，多个上述信号输出单元分别包括能够对基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，上述裂纹检测单元在上述基板通过上述照射单元照射光的照射位置的期间，基于对应于此而从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、多个第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，在上述受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，即，输出具有基于预先设定的计时器值的有计时信号，多个上述第二信号输出单元将上述受光单元排列在上述搬送路径的宽度方向上，并且基于上述受光单元的受光状态来分别输出与基板的有无对应的信号，即，分别输出无计时信号，在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置位于上述搬送路径的宽度方向的中央，并且位于上述第二信号输出单元的各照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游侧，上述第三信号输出单元基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的无计时信号，如果从上述第三信号输出单元输出与存在基板的状态对应的无计时信号，则上述裂纹检测单元开始监视基板的裂纹，在从多个上述第二信号输出单元输出互不相同的状态的信号时，上述裂纹检测单元检测基板上的其搬送方向前端的裂纹，另一方面，在从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号时，上述裂纹检测单元检测上述搬送方向前端的上游侧的位置的基板裂纹。

另外，本发明提供一种基板裂纹检测装置，用于检测沿着搬送路径被搬送的基板的裂纹，其特征在于，具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，多个上述信号输出单元分别包括能够对基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，上述裂纹检测单元在上述基板通过上述照射单元照射光的照射位置的期间，基于对应于此而从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、多个第二信号输出单元、第四信号输出单元，来作为上述信号输出单元，在上述受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，即，输出具有基于预先设定的计时器值的有计时信号，多个上述第二信号输出单元将上述受光单元排列在上述搬送路径的宽度方向上，并且基于上述受光单元的受光状态来分别输出与基板的有无对应的信号，即，分别输出无计时信号，在上述第四信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置位于上述搬送路径的宽度方向的中央，并且位于上述第二信号输出单元的各照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游侧，上述第四信号输出单元基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的无计时信号，在从多个上述第二信号输出单元输出互不相同的状态的信号时，上述裂纹检测单元检测基板上的其搬送方向前端的裂纹，另一方面，在从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号时，上述裂纹检测单元检测上述搬送方向前端的上游侧的位置的基板裂纹，如果从上述第四信号输出单元输出与不存在基板的状态对应的无计时信号，则上述裂纹检测单元结束监视基板的裂纹。

另外，本发明提供一种基板裂纹检测装置，配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送开始位置，其特征在于，具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，多个上述信号输出单元分别包括能够对放置在上述搬送开始位置的基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，上述裂纹检测单元基于从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，上述第一信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向前端部照射光的上述照射单元，并且，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元基于预先设定的计时器值，使对应于该变化的信号输出延迟规定时间，从而输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的有计时信号，上述第二信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向后端部照射光的上述照射单元，并且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的信号，即，输出无计时信号，上述第三信号输出单元包括能够向上述基板照射光的上述照射单元，而且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无的状态对应的信号，即，输出无计时信号，其中，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述基板的搬送方向前端部，并且位于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游侧，上述第一以及第二信号输出单元分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板的宽度方向两端的多个位置上，在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置被设定在基板的上述宽度方向的中央，在基板搬送开始后，如果从上述第二信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测放置在上述搬送开始位置上的基板上的搬送方向后端的裂纹，另一方面，如果从上述第一信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测该基板上的上述搬送方向前端的裂纹，另外，在基板搬送开始后，如果从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号，则上述裂纹检测单元检测基板的中途部分的裂纹，如果从上述第三信号输出单元输出表示不存在基板的状态的无计时信号，则上述裂纹检测单元结束监视基板的裂纹。

另外，本发明提供一种基板裂纹检测装置，配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送开始位置，其特征在于，具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，多个上述信号输出单元分别包括能够对放置在上述搬送开始位置的基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，上述裂纹检测单元基于从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，上述第一信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向前端部照射光的上述照射单元，并且，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，即，输出具有基于预先设定的计时器值的有计时信号，上述第二信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向后端部照射光的上述照射单元，并且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的信号，即，输出无计时信号，上述第三信号输出单元包括能够向上述基板照射光的上述照射单元，而且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无的状态对应的信号，即，输出无计时信号，其中，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述基板的搬送方向前端部，并且位于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游侧，上述第一以及第二信号输出单元分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板的宽度方向两端的多个位置上，在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置被设定在基板的上述宽度方向的中央，在基板搬送开始后，如果从上述第二信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测放置在上述搬送开始位置上的基板上的搬送方向后端的裂纹，另一方面，如果从上述第一信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测该基板上的上述搬送方向前端的裂纹，另外，在基板搬送开始后，如果从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号，则上述裂纹检测单元检测基板的中途部分的裂纹，如果从上述第三信号输出单元输出表示不存在基板的状态的无计时信号，则上述裂纹检测单元结束监视基板的裂纹。

另外，本发明提供一种基板裂纹检测装置，配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送停止位置，其特征在于，具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，多个上述信号输出单元分别包括能够对放置在上述搬送停止位置的基板照射光的照射单元和该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，上述裂纹检测单元基于从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，上述第一信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向后端部照射光的上述照射单元，并且，在上述受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，即，输出具有基于预先设定的计时器值的有计时信号，上述第二信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向前端部照射光的上述照射单元，并且基于上述受光单元的受光状态来分别输出与基板的有无对应的信号，即，分别输出无计时信号，上述第三信号输出单元包括能够向上述基板照射光的上述照射单元，而且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的信号，即，输出无计时信号，其中，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述基板的搬送方向后端部，并且位于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游侧，上述第一以及第二信号输出单元分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板的宽度方向两端的多个位置上，在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置被设定在基板的上述宽度方向的中央，在基板搬送过程中，如果从上述第三信号输出单元输出表示存在基板的状态的无计时信号，则上述裂纹检测单元开始监视基板的裂纹，在基板搬送停止后，如果从上述第二信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测放置在上述搬送停止位置上的基板上的搬送方向前端的裂纹，另外，在基板搬送过程中以及基板搬送停止后，如果从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号，则上述裂纹检测单元检测基板上的上述搬送方向的后端或中途部分的裂纹。

另外，本发明提供一种基板裂纹检测装置，配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送停止位置，其特征在于，具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，多个上述信号输出单元分别包括能够对放置在上述搬送停止位置的基板照射光的照射单元和该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，上述裂纹检测单元基于从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，上述第一信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向后端部照射光的上述照射单元，并且，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元基于预先设定的计时器值，使对应于该变化的信号输出延迟规定时间，从而输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的有计时信号，上述第二信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向前端部照射光的上述照射单元，并且基于上述受光单元的受光状态来分别输出与基板的有无对应的信号，即，分别输出无计时信号，上述第三信号输出单元包括能够向上述基板照射光的上述照射单元，而且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的信号，即，输出无计时信号，其中，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述基板的搬送方向后端部，并且位于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游侧，上述第一以及第二信号输出单元分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板的宽度方向两端的多个位置上，在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置被设定在基板的上述宽度方向的中央，在基板搬送过程中，如果从上述第三信号输出单元输出表示存在基板的状态的无计时信号，则上述裂纹检测单元开始监视基板的裂纹，在基板搬送停止后，如果从上述第二信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测放置在上述搬送停止位置上的基板上的搬送方向前端的裂纹，另外，在基板搬送过程中以及基板搬送停止后，如果从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号，则上述裂纹检测单元检测基板上的上述搬送方向的后端或中途部分的裂纹。

另外，本发明提供一种基板处理装置，具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，该基板处理装置的特征在于，作为上述基板裂纹检测装置而具有上述的基板裂纹检测装置。

另外，本发明提供一种基板处理装置，具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，该基板处理装置的特征在于，上述基板裂纹检测装置配置在上述搬送路径中的基板的搬送开始位置，并且作为该基板裂纹检测装置而具有上述的基板裂纹检测装置。

另外，本发明提供一种基板处理装置，具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，该基板处理装置的特征在于，上述基板裂纹检测装置配置在上述搬送路径中的基板的搬送停止位置，并且作为该基板裂纹检测装置而具有上述的基板裂纹检测装置。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的基板处理装置(具备本发明的基板裂纹检测装置的基板处理装置)的示意图。

图2是表示基板裂纹检测装置的结构的区块图。

图3是表示基板裂纹检测装置的结构的区块图(详图)。

图4是说明第一、第二基板检测传感器的各传感头的配置的示意图。

图5是表示来自基板检测传感器的输出信号的时序图。

图6是表示控制部对裂纹检测动作的控制的一个例子的流程图。

图7是表示在是为不存在裂纹的基板的情况下来自基板检测传感器的信号输出状态的时序图。

图8A是表示存在裂纹的基板的一个例子的俯视图。

图8B是表示在是为图8A所示的基板的情况下来自各基板检测传感器的信号输出状态的时序图。

图9A是表示存在裂纹的基板的一个例子的俯视图。

图9B是表示在图9A的情况下来自各基板检测传感器的信号输出状态的时序图。

图10是表示第二实施方式的基板处理装置(基板裂纹检测装置)的结构的区块图。

图11是说明第一、第二基板检测传感器、前端检测传感器、后端检测传感器的各传感头的配置的示意图。

图12是表示控制部对裂纹检测动作的控制的一个例子的流程图。

图13是表示在是为不存在裂纹的基板的情况下来自基板检测传感器的信号输出状态的时序图。

图14A是表示存在裂纹的基板的一个例子的俯视图。

图14B是表示在是为图14A所示的基板的情况下来自各基板检测传感器的信号输出状态的时序图。

图15A是表示存在裂纹的基板的一个例子的俯视图。

图15B是表示在图15A的情况下来自各基板检测传感器的信号输出状态的时序图。

图16是表示本发明的第三实施方式的基板处理装置的示意图。

图17是表示上游侧裂纹检测装置的结构的区块图。

图18是表示上游侧裂纹检测装置的结构的区块图(详图)。

图19是表示来自传感器的输出信号的时序图。

图20是表示控制部对裂纹检测动作的控制的一个例子的流程图。

图21是表示在将不存在裂纹的基板放置在搬送开始位置的情况下来自各传感器的信号输出状态的时序图。

图22A是表示存在裂纹的基板的一个例子的俯视图。

图22B是表示在将图22A所示的基板放置在搬送开始位置的情况下来自各传感器的信号输出状态的时序图。

图23是表示从搬送开始位置搬送了不存在裂纹的基板时(基板搬送状态)的各传感器的信号输出状态的时序图。

图24A是表示存在裂纹的基板的一个例子的俯视图。

图24B是表示在搬送了图24A所示的基板时来自各传感器的信号输出状态的时序图。

图25是表示下游侧裂纹检测装置的结构的区块图。

图26是表示下游侧裂纹检测装置的结构的区块图(详图)。

图27是表示控制部对裂纹检测动作的控制的一个例子的流程图。

图28是表示在将不存在裂纹的基板从处理部搬送到基板导出部(搬送停止位置)时来自各传感器的信号输出状态的时序图。

图29A是表示存在裂纹的基板的一个例子的俯视图。

图29B是表示在将图29A所示的基板搬送到基板导出部(搬送停止位置)时来自各传感器的信号输出状态的时序图。

图30A是表示存在裂纹的基板的一个例子的俯视图。

图30B是表示在将图30A所示的基板搬送到基板导出部(搬送停止位置)时来自各传感器的信号输出状态的时序图。

图31是表示基板检测传感器的各传感头的配置例的示意图。

图32是表示基板裂纹检测装置的另外结构的区块图。

具体实施方式

<第一实施方式>

图1示意性地表示本发明的第一实施方式的基板处理装置(内置有本发明的基板裂纹检测装置的基板处理装置)。

如该图所示，基板处理装置1以如下方式构成：以串联的方式具备基板导入部2、处理部3(相当于本发明的处理单元)以及基板导出部4，并具有搬送基板B的搬送机构、例如辊式输送机5，通过上述搬送机构对导入到上述基板导入部2的基板B进行搬送，同时在处理部3中实施各种处理，然后从基板导出部4导出到下一个工序。此外，在以下的说明中，以基板B的搬送方向为基准，针对该搬送方向的位置关系使用“上游侧”、“下游侧”，另外，针对基板B，将搬送方向下游侧称为前端，将上游侧称为后端。另外，针对基板B以及搬送路径，将与搬送方向垂直的方向称为宽度方向。

在上述基板导入部2中配置有上游侧接收装置10、基板裂纹检测装置12。上游侧接收装置10是一种将基板B导入到基板导入部2的装置，例如具有如下结构：具有机械手，将通过输送机等从上个工序搬送过来的基板B转载到辊式输送机5(以下，简称为输送机5)上。此外，在输送机5侧以可进出(升降)的方式设置有升降销，基板B从上述机械手转载到升降销上之后，通过下降升降销而被装载到输送机5上。

基板裂纹检测装置12是一种检测基板B的裂纹的装置，其具有如下结构：以固定的方式配置在规定的搬送开始地点、即基板B的导入地点与处理部3之间，并对通过输送机5的驱动而向处理部3被搬送的基板B的裂纹(包括缺损)非接触地进行检测。此外，针对该基板裂纹检测装置12，在后面进行详细叙述。

在该实施方式中，上述处理部3由药洗部3A、水洗部3B以及干燥部3C构成，这些各部3A～3B按该顺序从上游侧依次被配置。

药洗部3A是对由输送机5搬送的基板B的上下表面供给规定的药液并对基板B进行清洗(药洗)的部分，而且，隔着输送机5而在其上下两侧具有多个药液供给喷嘴21，并且具备刷洗处理用的刷22。

水洗部3B是对由输送机5搬送的基板B供给清洗水并进行清洗(水洗)的部分，而且，将其内部从上游侧起按顺序划分为低压水供给部24、高压水供给部25、超声波清洗水供给部26以及纯水供给部27，并在各供给部24～27中的输送机5的上下两侧，分别配置有清洗水供给用的喷嘴24a～27a等。

干燥部3C是对从水洗部3B(纯水供给部27)所导出的基板B实施干燥处理的部分，而且，在其内部以隔着输送机5的方式配置有上下一对风刀28。

此外，在该实施方式的基板处理装置1中，虽然处理部3采用主要对基板B进行清洗并干燥的结构，但处理部3的具体的结果并不仅限定于此，而也可以采用进行其他处理的结构。

在上述基板导出部4配置有下游侧接收装置14、基板裂纹检测装置12。下游侧接收装置14是一种从基板导出部4导出基板B的装置，而且具有如下结构：与上游侧接收装置10同样地具有机械手，通过该机械手拾取输送机5上的基板B并将其搬送到下一个工序。此外，在基板导出部4中的输送机5，也以可进出(升降)的方式设置有升降销，所以基板B先通过升降销的上升而从输送机5上被提升，然后以通过机械手从其下侧支撑的状态从输送机5上被拾取。

基板裂纹检测装置12是一种对从干燥部3C导出到基板导出部4的基板B的裂纹进行检测的装置，其与设置在基板导入部2中的基板裂纹检测装置基本上相同。基板导出部4的基板裂纹检测装置12具有如下结构：其以固定的方式配置在干燥部3C与规定的搬送终点、即利用下游侧接收装置14的基板B的导出地点之间，并对从干燥部3C所搬出的基板B的裂纹进行检测。

在如上所述的基板处理装置1中，将导入到基板导入部2的基板B由上述输送机5搬送，从而依次实施在药洗部3A中的药洗处理、在水洗部3B中的水洗处理、以及在干燥部3C中的干燥处理，然后从基板导出部4搬出到下一个工序。并且，在这样的一系列的处理中，由基板导入部2、或者基板导出部4的各基板裂纹检测装置12检测出裂纹时，立即被剔除。

图2以区块图表示设置在基板导入部2以及基板导出部4中的上述基板裂纹检测装置12的结构。

如该图所示，基板裂纹检测装置12具有第一基板检测传感器30A、第二基板检测传感器30B以及控制部38。

各基板检测传感器30A、30B具有如下结构：分别具有传感放大器36、和经由光纤35而与其相连接的传感头32，并且，对由输送机5所搬送的基板B分别照射光的同时接收其反射光，并将与其受光状态对应的规定的信号输出到上述控制部38。此外，需要区分各基板检测传感器30A、30B的传感头32时，分别称为第一传感头32a、第二传感头32b。

图3表示基板检测传感器30A、30B的具体的结构。如该图所示，在基板检测传感器30A、30B的传感放大器36上设置有由LED(Light EmittingDiode：发光二极管)等构成的发光部40和受光部42，并且，经由光纤35而将发光部40的光引导到传感头32的同时照射基板B，并再次经由传感头32以及光纤35而将由基板B反射的光引导到受光部42而进行受光。

传感头32由光纤头部33与光点透镜(Spot Lens)34构成，如该图所示，对输送机5上的基板B从其正上方以点状(pinpoint)(在该实施方式中投光光点直径为0.5mm左右)照射从发光部40导出的光。

此外，如图4所示，第一传感头32a以及第二传感头32b配置在搬送路径的宽度方向(在该图中为上下方向)的两端，并且在上述方向上排成一列。由此，相对于被搬送的基板B，光的照射位置分别位于其宽度方向两端的部分。

返回到图3，在传感放大器36中还设置有信号输出电路44。该信号输出电路44包括信号输出部46与计时部48而作为其功能结构。

信号输出部46是根据由受光部42的光的受光状态而将信号输出到控制部38的部分，在受光部42的受光电平比预先设定的受光电平低时输出接通信号，在超过该受光电平时输出断开信号。也就是说，如图5(信号输出(无计时))所示，在与传感头32相对向的位置若不存在基板B，则输出接通信号，在存在基板B时输出断开信号。

另一方面，计时部48例如由单触发计时器(One-Shot Timer)构成，根据从信号输出部46输出的信号的变化向控制部38输出脉冲信号，具体地说，如图5(信号输出(单触发计时))所示，通常输出断开信号，而在信号输出部46的输出信号从断开信号变为接通信号时，输出规定脉冲宽度(时间宽度)T1的接通信号。此外，在计时部48设定计时器值，以使该接通信号的脉冲宽度T1比由控制部38可处理的最小时间宽度大，而且，在该买施万式中设定计时器值，以使脉冲宽度比控制部38的信号取样周期(检测周期)更大。

即，在该基板裂纹检测装置12中，传感头32以及传感放大器36相当于本发明(发明内容(4))的第一信号输出单元，而且，在传感头32以及传感放大器36中除了计时部48以外的部分相当于第二信号输出单元。

此外，在以下的说明中，将从信号输出部46输出的信号称为无计时输出信号，将从计时部48输出的信号称为有计时输出信号。

上述控制部38是控制基板裂纹检测装置12的部分，其由执行逻辑运算的公知的CPU等构成，而且，通过以预先设定的取样周期(检测周期)检测出从各基板检测传感器30A、30B输出的信号，而检测出基板B的裂纹。即，在该实施方式中，该控制部38相当于本发明的裂纹检测单元。

此外，控制部38与省略图示的总体上控制基板处理装置1的控制器相连接，因此在检测出基板B的裂纹时，可将该信息的信号(裂纹检测信号)输出到控制器。此时，控制器控制输送机5的驱动而使搬送中的基板B停止，并控制图外的报警装置等的驱动而向操作员报告。

接着，根据图6的流程图，针对上述控制部38对基板的裂纹检测的控制进行说明。此外，这里针对设置在基板导入部2中的基板裂纹检测装置12的情况进行说明，而对于设置在基板导出部4中的基板裂纹检测装置12的基本的控制也与其相同。

当基板搬入到基板导入部2、且输送机5被驱动而开始搬送基板B时，控制部38等待从各基板检测传感器30A、30B所输出的无计时输出信号变为断开信号，并且，若任何一方变为断开信号，则开始监视基板B(步骤S1、S2)。也就是说，当基板B的前端到达传感头32的位置(即、光的照射位置)时，以上述取样周期开始对从各基板检测传感器30A、30B输出的信号的检测。

接着，判断各基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号是否两者均为断开信号(步骤S3)，并且，在这里被判断为“否”时，判断为在基板B的前端存在裂纹(步骤S7)，并转移至步骤S9而向上述控制器输出裂纹检测信号。由此停止搬送基板B，并使各种报警装置启动而向操作员报告。

与此相对，在步骤S3中判断为“是”时，进一步判断各基板检测传感器30A、30B的有计时输出信号中的至少一方是否为接通信号(步骤S4)。然后，在这里被判断为“否”时，进一步判断各基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号是否两者均为接通信号，也就是说判断基板B是否通过了两传感头32的位置(步骤S5)，在这里被判断为“是”时，结束对基板B的监视(步骤S6)。

与此相对，在步骤S4中被判断为“是”时，判断为在基板B上存在裂纹(步骤S8)，更详细地说，判断为在基板B的除前端以外的部分存在裂纹，并转移至步骤S9而向上述控制器输出裂纹检测信号。

接着，利用图7～图9，针对基于这种由控制部38的控制的裂纹检测动作的具体例子，与作用效果一起进行说明。

图7是表示在是为不存在裂纹的正常基板的情况下来自各基板检测传感器30A、30B的信号输出状态的时序图。

如该图所示，首先，在基板B是正常的基板的情况下，当基板B随着搬送而其前端到达传感头32a、32b的位置时，各基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号从接通信号变为断开信号，由此控制部38开始裂纹监视(t1时刻)。此时，由于双方的无计时输出信号同时变为断开信号，所以控制部38判断在基板B的前端不存在裂纹。

然后，接着搬送基板B，当基板B通过各传感头32a、32b的位置时，各基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号从断开信号同时变为接通信号，由此控制部38的裂纹监视结束(t2时刻)。

在这期间(t1时刻～t2时刻)，由于无计时输出信号均没有从断开信号变为接通信号，所以各基板检测传感器30A、30B的有计时输出信号不会从断开信号变为接通信号，因此，控制部38判断在基板B不存在裂纹。

此外，当基板B通过各传感头32a、32b的位置时，无计时输出信号从断开信号变为接通信号，其结果，虽然各基板检测传感器30A、30B的有计时输出信号从断开信号变为接通信号，但由于在该时刻对裂纹的监视已被结束，所以控制部38忽略该信号。因此，不会误检测为存在裂纹。

与此相对，例如在图8A所示，在既是基板B的中间部分、又是其宽度方向的一端(第二传感头32b一侧)的位置上存在裂纹的基板B被搬送过来时，如图8B所示，在控制部38开始裂纹监视之后(t1时刻)，第二基板检测传感器30B的无计时输出信号从断开信号变为接通信号(t2时刻)。也就是说，由于存在裂纹而导致反射光减少，所以受光部42的受光电平下降，因此第二基板检测传感器30B的无计时输出信号会从断开信号变为接通信号。

并且，与此相伴，第二基板检测传感器30B的有计时输出信号变为接通信号(t2时刻～t3时刻)，由此控制部38判断在基板B的中间部分存在裂纹。此时，如上所述，由于有计时输出信号(接通信号)的脉冲宽度T1被设置为比控制部38的取样周期大的值，所以即使在裂纹微细的情况下、或者基板B的搬送速度快的情况下，控制部38也能够可靠地检测出该有计时输出信号(接通信号)，因此能够可靠地检测出基板B的裂纹。

另外，作为其他例子，例如如图9A所示，在既是基板B的前端、又是其宽度方向的一端(第一传感头32a一侧)的位置上存在裂纹的基板B被搬送过来时，如图9B所示，第二基板检测传感器30B的无计时输出信号从断开信号变为接通信号，从而控制部38开始裂纹监视(t1时刻)。并且，其后，迟延一段时间而第一基板检测传感器30A的无计时输出信号从接通信号变为断开信号(t2时刻)。也就是说，由于裂纹部分而导致受光部42的受光电平的下降，其结果，第一基板检测传感器30A的无计时输出信号的切换时间被延迟。因此，控制部38基于该期间(t1时刻～t2时刻)的各无计时输出信号的信号状态，判断在基板B的前端存在裂纹。

此外，图8B中的时刻t4、图9B中的t3分别表示控制部38对基板B的裂纹监视结束的时刻。

如上所示，在该基板处理装置1中，在基板导入部2以及基板导出部4设置基板裂纹检测装置12，而在基板B为存在裂纹的基板时，检测出该裂纹并停止搬送基板B，并且使报警装置启动而向操作员报告，从而能够在早期检测出存在裂纹的基板B而将其剔除。因此，能够将存在裂纹的基板B被搬入到处理部3、或者在处理部3的处理中产生了裂纹的基板B被搬出到下一个工序的情况防范于未然，由此能够将对基板B实施本来就不需要的处理、或导致设备故障的事故的发生防范于未然。

特别是，对于基板裂纹检测装置12，使用反射型基板检测传感器30A、30B而基于基板B的有无检测来检测出基板B的裂纹，并在此基础上，在基板B存在裂纹时，从基板检测传感器30A、30B输出如上所述的有计时输出信号(接通信号)、即具有始终比控制部38的取样周期大的脉冲宽度T1的信号，由此，在基板B的搬送速度快的情况下、或裂纹微细的情况下，也能够由控制部38可靠地检测出裂纹，所以对基板检测裂纹的可靠性极高。因此，具有能够更加可靠地防治上述事故的优点。

并且，如上所述，使其输出比控制部38的取样周期大的脉冲宽度的有计时输出信号(接通信号)，从而在控制部38中不必将信号的取样周期设定很高而也能够以高精度检测出微细的裂纹。因此，不必在控制部38上使用例如处理速度快的高性能的CPU等，也能够检测出微细的裂纹，其结果，具有能够使基板裂纹检测装置12采用简单且廉价的结构的优点。

<第二实施方式>

第二实施方式的基板处理装置1与第一实施方式的基板处理装置的基本结构相同，但是，基板裂纹检测装置12的结构在如下几点上不同。此外，在以下的说明中，对于与第一实施方式相同的部分赋予相同的附图标记并省略其说明，而主要针对不同点进行说明。

图10以区块图表示第二实施方式的基板裂纹检测装置12的结构。如该图所示，基板裂纹检测装置12在第一实施方式的基础上还具备前端检测传感器30C、后端检测传感器30D，并且，控制部38基于从这些传感器30A～30D输出的信号而检测出基板B的裂纹。此外，在该基板裂纹检测装置12中，前端检测传感器30C相当于本发明(发明内容(6))的第三信号输出单元，后端检测传感器30D相当于本发明(发明内容(7))的第四信号输出单元。

前端检测传感器30C以及后端检测传感器30D的结构基本上与上述基板检测传感器30A、30B相同，但在传感放大器36上没有设置计时部48的点上与基板检测传感器30A、30B的结构不同。也就是说，前端检测传感器30C以及后端检测传感器30D采用从信号输出部46只输出与受光部42的受光状态对应的信号的结构。

如图11所示，前端检测传感器30C的传感头32(根据需要称为前端侧传感头32c)配置在既是基板检测传感器30A、30B的各传感头32a、32b的排列方向的大致中央(搬送路径的宽度方向的中央)、又是比这些传感头32a、32b稍靠下游一侧的位置。另一方面，后端检测传感器30D的传感头32(根据需要称为后端侧传感头32d)与前端侧传感头32c同样地位于上述各传感头32a、32b的中央，但配置在比这些传感头32a、32b稍靠上游一侧的位置。

接着，根据图12的流程图，针对上述控制部38对基板的裂纹检测的控制进行说明。此外，这里虽然对设置在基板导入部2中的基板裂纹检测装置12的情况进行说明，但对于设置在基板导出部4中的基板裂纹检测装置12的基本的控制也与其相同。

当基板搬入到基板导入部2而输送机5被驱动并开始搬送基板B时，控制部38等待由前端检测传感器30C检测到基板B，也就是说，等待到前端检测传感器30C的无计时输出信号变为断开信号后开始对基板B的监视(步骤S21、S22)。

接着，判断各基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号是否两方均都变为断开信号(步骤S3)，在这里被判断为“否”时，判断为在基板B的前端存在裂纹(步骤S27)，并转移至步骤S29而向上述控制器输出裂纹检测信号，然后，停止搬送基板B，并使各种报警装置启动而向操作员报告。

与此相对，在步骤S23中被判断为“是”时，进一步判断各基板检测传感器30A、30B的有计时输出信号中至少一方是否为接通信号(步骤S24)。然后，在这里被判断为“否”时，判断由后端检测传感器30D是否检测出基板B的后端的通过、也就是判断后端检测传感器30D的无计时输出信号是否两者均都变为接通信号(步骤S25)，在这里被判断为“是”时，结束对基板B的监视(步骤S26)。

与此相对，在步骤S24中被判断为“是”时，判断为在基板B中的除了其前端以外的部分存在裂纹(步骤S28)，并转移至步骤S29而向上述控制器输出裂纹检测信号。

接着，利用图13～图15，针对这种基于控制部38的控制的裂纹检测动作进行说明。

图13是表示在基板B为不存在裂纹的正常的基板的情况下来自各传感器30A～30D的信号输出状态的时序图。

如该图所示，在基板B为正常的基板的情况下，随着基板B的搬送，按后端检测传感器30D、两个基板检测传感器30A、30B、前端检测传感器30C的顺序而它们的无计时输出信号从接通信号变为断开信号。并且，在来自前端检测传感器30C的无计时输出信号变为断开信号的时刻，控制部38开始裂纹监视(t2时刻)。此时，由于基板检测传感器30A、30B双方的无计时输出信号都是断开信号，所以控制部38判断在基板B的前端不存在裂纹。

然后，继续搬送基板B，当基板B通过后端侧传感头32d的位置时，后端检测传感器30D的无计时输出信号从断开信号变为接通信号，由此控制部38的裂纹监视结束(t3时刻)。

在这期间(t2时刻～t3时刻)，由于基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号均都没有从断开信号变为接通信号，所以各基板检测传感器30A、30B的有计时输出信号不会从断开信号变为接通信号，因此，控制部38判断在基板B不存在裂纹。

与此相对，例如如图14A所示，在既是基板B的中间部分、又是其宽度方向的一端(第二传感头32b一侧)的位置上存在裂纹的基板B被搬送过来时，如图14B所示，在控制部38开始裂纹监视之后(t2时刻)，因存在裂纹而第二基板检测传感器30B的无计时输出信号从断开信号变为接通信号(t3时刻)，与此相伴，第二基板检测传感器30B的有计时输出信号仅在一定期间T1变为接通信号(t3时刻～t4时刻)。因此，控制部38判断在基板B的中间部分存在裂纹。

作为另外其他例子，例如图15A所示，在既是基板B的前端、又是其宽度方向的一端(第一传感头32a一侧)的位置上存在裂纹的基板B被搬送过来时，如图15B所示，例如在控制部38开始裂纹监视的时刻(t2时刻)之后，第一基板检测传感器30A的无计时输出信号变为断开信号(t3时刻)。因此，控制部38基于该期间(t2时刻～t3时刻)的各基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号的信号状态而判断在基板B的前端存在裂纹。

此外，图14B中的时刻t5、图15B中的时刻t4分别表示控制部38对基板B的裂纹监视结束的时刻。

如上所示，在第二实施方式的基板裂纹检测装置12中，基于前端检测传感器30C对基板B前端的检测来开始控制部38的裂纹监视，基于后端检测传感器30D对基板B的通过检测来结束控制部38的裂纹监视，在该点上与第一实施方式的装置的结构以及控制内容不同。并且，由于具有这种不同点，其结果，若采用第二实施方式的基板裂纹检测装置12，则具有进一步能够提高对基板B的前端或后端的裂纹检测精度的优点。

即，在搬送如图11所示的矩形基板B时，通常在以其前端与搬送方向大致垂直的方式保持基板B的姿势的状态下进行搬送，但是，例如如图11的双点划线所示，有时也会存在发生基板B以稍微倾斜的姿势被搬送的所谓倾斜搬送的情况。此时，如果采用第一实施方式的基板裂纹检测装置12的结构，则随着基板B的搬送，首先，第二基板检测传感器30B的无计时输出信号变为断开信号，然后第一基板检测传感器30A的无计时输出信号变为断开信号，其结果，处于与图9B所示的情况同样的信号输出状态，由此控制部38会误认为在基板B的前端存在裂纹。同样，也对于基板B的后端，第二基板检测传感器30B的无计时输出信号变为接通信号，然后第一基板检测传感器30A的无计时输出信号变为接通信号，其结果，控制部38会误认为在基板B的后端存在裂纹。

与此相对，若采用第二实施方式的基板裂纹检测装置12，则预先考虑可能会发生的基板B的倾斜，并根据该倾斜，而使前端侧传感头32c的位置相对两个传感头32a、32b向下游侧偏移，以使基板的前端始终在该前端到达两个传感头32a、32b的位置之后到达前端侧传感头32c，从而能够防止如上所述的伴随着基板B的倾斜搬送的裂纹的误检测。这一点，对于基板B的后端侧也相同。因此，若采用该第二实施方式的结构，则能够提高对于基板B的前端或后端的裂纹检测的精度，从而，相应地，能够进一步提高裂纹检测的可靠性。

此外，在第二实施方式中，如上所述，前端侧传感头32c以及后端侧传感头32d相对各传感头32a、32b而向搬送方向偏移，其结果，在从各基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号被切换为断开信号、到开始监视基板B之间(例如，图13的t1时刻～t2时刻之间)，在基板B的前端会产生未监视部分。同样，在从监视基板B结束到各基板检测传感器30A、30B的无计时输出信号被切换为接通信号之间(例如，图13的t3时刻～t4时刻之间)，在基板B的后端会产生未监视部分。但是，即使产生这样的未监视部分，只要考虑可能会在基板B的前端以及后端产生的裂纹的大小而预先设定前端侧传感头32c以及后端侧传感头32d的配置位置，则实质上不会给检测精度带来影响。

<第三实施方式>

图16示意性地表示第三实施方式的基板处理装置。

第三实施方式的基板处理装置1与第一实施方式的基板处理装置的基本结构相同，但如该图所示，取代上述基板裂纹检测装置12，而在基板导入部2中配置有上游侧裂纹检测装置11，在基板导出部4中配置有下游侧裂纹检测装置15。此外，在以下的说明中，对于与第一实施方式相同的部分赋予相同附图标记并省略其说明，而主要针对不同点进行详细说明。

上游侧裂纹检测装置11是一种检测导入到基板导入部2中的基板B的裂纹的装置，其具有如下结构：其以固定的方式配置在既是规定的搬送开始位置P1、即上述机械手搬入基板B的位置、又是输送机5的下方的位置上，并以非接触的方式检测搬入到搬送开始位置P1的基板B的裂纹(包括缺损)。

另一方面，下游侧裂纹检测装置15是一种检测从干燥部3C导出到基板导出部4中的基板B的裂纹的装置，其与上游侧裂纹检测装置11类似。下游侧裂纹检测装置15具有如下的结构：其以固定的方式配置在既是规定的搬送停止位置P2、即上述机械手拾取基板B的位置、又是输送机5的下方的位置上，并以非接触的方式检测在处理部3中进行了处理之后搬入到搬送停止位置P2的基板B的裂纹(包括缺损)。

上游侧裂纹检测装置11以及下游侧裂纹检测装置15以如下的方式构成。

(上游侧裂纹检测装置)

图17以区块图表示上游侧裂纹检测装置11的结构。如该图所示，上游侧裂纹检测装置11具有第一前端传感器60A、第二前端传感器60B、第一后端传感器60C、第二后端传感器60D、结束传感器60E以及控制部68A。

各传感器60A～60E以如下方式构成：分别具有传感放大器66、和经由光纤65而与其相连接的传感头62(根据需要适当使用附图标记62a～62e)，并且，对由输送机5搬送的基板B分别照射光的同时接收其反射光，并将与其受光状态对应的规定的信号输出到上述控制部68A。

图18表示各传感器60A～60E的具体的结构。如该图所示，在各传感器60A～60E的传感放大器66设置有由LED(Light Emitting Diode：发光二极管)等构成的发光部70和受光部72，经由光纤75而将来自发光部70的光引导到传感头62的同时照射基板B，再次经由传感头62以及光纤75而将由基板B反射的光引导到受光部72而进行受光。

各传感器60A～60E的传感头62具有光纤头部63，对输送机5上的基板B从其正下方照射从发光部70导出的光。特别是，如该图所示，关于前端传感器60A、60B的各传感头62a、62b，在光纤头63的前端设置有光点透镜64，从而以点状(在该实施方式中，投光光点直径为0.5mm左右)对基板B照射光。这是由于，如后所述，前端传感器60A、60B是在搬送开始后伴随着其移动而检测基板B的裂纹的传感器，因此需要提高其检测精度。此外，对于其他传感器60C～60E的传感头62c～62e，也可以采用设置有光点透镜64的结构。

各传感器60A～60E的传感头62a～62e的配置如图17所示。即，在基板B被放置在搬送开始位置P1的状态下、也就是在由上述机械手搬入了基板B并通过升降销的下降而将基板B装载到输送机5上的状态下，前端传感器60A、60B的各传感头62a、62b以向宽度方向排成一列的方式配置在既是基板B的前端、又是与其宽度方向的两端对应的位置上。另外，后端传感器60C、60D的各传感头62c、62d以向宽度方向排成一列的方式配置在既是基板B的后端、又是与其宽度方向的两端对应的位置上。由此，传感头62a～62d的各光的照射位置位于基板B的角部。此外，结束传感器60E的传感头60e配置在既是基板B的前端中央、又是在基板B的搬送方向上比前端传感器60A、60B的各传感头62a、62b稍靠上游一侧(在图17中为左侧)的位置上。

返回到图18，在各传感器60A～60E的传感放大器66中还设置有信号输出部76。该信号输出部76根据受光部72的受光状态向控制部68A输出信号。

这里，关于在各传感器60A～60E中的后端传感器60C、60D以及结束传感器60E的各传感放大器66，信号输出部76如以下方式构成：在受光部72的受光电平比预先设定的受光电平低时输出接通信号，在超过该受光电平时输出断开信号。也就是说，如图19(信号输出(无计时))所示，在与传感头62相对向的位置不存在基板B时输出接通信号，而存在基板B时输出断开信号。

与此相对，关于前端传感器60A、60B的各传感放大器66，在信号输出部76内置有断开延迟计时器(off delay timer)，而在受光部72的受光电平比预先设定的受光电平低时输出接通信号、在超过该受光电平时输出断开信号的这一点上与其他传感器相同，但与其他传感器不同而仅使从接通信号向断开信号的变化延迟一定时间。也就是说，如图19(信号输出(断开延迟计时))所示，在与传感头62相对向的位置不存在基板B时输出接通信号，而存在基板B时输出断开信号，同时在从不存在基本B的状态向存在基板的状态变化时使其信号输出的时刻延迟一定期间T1。此外，该一定期间T1即断开延迟计时器78的计时器设定值被设定成因基板B存在裂纹而被输出的信号的时间宽度比由控制部68A可处理的最小时间宽度大，并且，在该实施方式中被设定为时间宽度例如比处理部68A的信号的取样周期(检测周期)大。

即，在该实施方式中，前端传感器60A、60B相当于本发明(发明内容(10))的第一信号输出单元，后端传感器60C、60D相当于第二信号输出单元。另外，结束传感器60E相当于本发明发明内容(13)的第三信号输出单元。此外，在以下的说明中，将从后端传感器60C、60D以及结束传感器60E的各传感放大器66输出的信号称为无计时输出信号，将从前端传感器60A、60B的各传感放大器66输出的信号称为有计时输出信号。

上述控制部68A是控制上游侧裂纹检测装置11的部分，其由执行逻辑运算的公知的CPU等构成，并且，通过以预先设定的取样周期(检测周期)而检测出从各传感器60A～60E输出的信号，从而检测出基板B的裂纹。

该控制部68A与图外的控制器相连接，而在检测出基板B的裂纹时，将该信息的信号(裂纹检测信号)输出到控制器。此时，控制器控制输送机5的驱动而使基板B的搬送停止，并控制图外的报警装置等的驱动而向操作员报告。

接着，根据图20的流程图，针对上述控制部68A对基板的裂纹检测的控制进行说明。

首先，等待由上游侧接收装置10的机械手将基板B搬入到基板导入部2的上述搬送开始位置P1，而当基板B被搬入时，仅待机前端传感器60A、60B的上述断开延迟计时器78的计时器设定值(一定的时间T1)，并利用该时间进行规定的搬入结束确认、例如进行关于机械手的退避、或者升降销的下降完毕的确认(步骤S31、S32)。若经过了该时间，则在维持静止状态的情况下开始对基板B的裂纹监视(即裂纹的检测处理)(步骤S33)。具体地说，控制部68A以上述取样周期开始检测从前端传感器60A、60B以及后端传感器60C、60D输出的信号。

然后，判断各传感器60A～60D的输出信号是否全部均为断开信号(步骤S34)，在这里被判断“为”否时，判断在基板B的角部存在裂纹(步骤S39)，并转移至步骤S41而向上述控制器输出裂纹检测信号。由此停止基板B的搬送，并使各种报警装置启动而向操作员报告。

与此相对，在步骤S34中被判断为“是”时，结束在静止状态下的对基板B的裂纹检测，并等待输送机5的驱动而开始在搬送状态下对基板B的裂纹检测(步骤S35)。

然后，判断前端传感器60A、60B的有计时输出信号中的至少一方是否为接通信号(步骤S36)，在这里被判断为“否”时，进一步判断基板B的后端是否通过了结束传感器60E的传感头62e的位置、即结束传感器60E的无计时输出信号是否从断开信号变为接通信号(步骤S37)，在这里被判断为“是”时，结束对基板B的监视(步骤S38)。

与此相对，在步骤S36中被判断为“是”时，判断在基板B上存在裂纹(步骤S40)，也就是说，判断在基板B的除了角部以外的部分存在裂纹，并转移至步骤S41而向上述控制器输出裂纹检测信号。

接着，利用图21～图24，针对这种基于控制部68A的控制的裂纹检测动作的具体例子，与作用效果一起进行说明。

图21是表示由机械手将不存在裂纹的正常基板B放置在搬送开始位置P1时的前端传感器60A、60B以及后端传感器60C、60D的各信号输出状态的时序图。

如该图所示，在基板B是正常的基板的情况下，当基板B搬送到搬送开始位置P1时，后端传感器60C、60D的无计时输出信号大致同时从接通信号变为断开信号(t1时刻)。然后，从此仅延迟一定时间T1而前端传感器60A、60B的有计时输出信号大致同时从接通信号变为断开信号(t2时刻)，然后，所有的输出信号均都维持为断开信号，直到开始搬送基板B为止。因此，当基板B被放置在搬送开始位置P1并经过设定时间后开始裂纹监视时(图20的步骤S33)，如上所述，任一输出信号均都是断开信号，所以控制部68A判断在基板B的角部不存在裂纹。

与此相对，在基板B是存在裂纹的基板时，例如如图22A所示，在既是前端又是其一侧的角部(第二前端传感器60B的传感头62b一侧)、以及既是后端又是其一侧的角部(第一后端传感器60C的传感头62c一侧)存在裂纹的基板B被搬入到搬送开始位置P1时，如图22B所示，第二前端传感器60B的有计时输出信号以及第一后端传感器60C的无计时输出信号均都没有变为断开信号而维持接通信号。也就是说，因存在裂纹而不会反射光，所以第二前端传感器60B以及第一后端传感器60C仍维持原来的状态而输出接通信号。因此，控制部68A判断在基板B的前端角部(传感头62b一侧)以及后端角部(传感头62c一侧)存在裂纹。

接着，图23是表示在对被放置在搬送开始位置P1的不存在裂纹的正常的基板B开始了搬送后的前端传感器60A、60B以及结束传感器60E的各信号输出状态的时序图。

在基板B被放置在搬送开始位置P1后的t3时刻开始搬送时，基板B向下游侧移动，并伴随着该移动而结束传感器60E以及各前端传感器60A、60B的输出信号依次从断开信号切换成接通信号(t4、t5时刻)，而在基板B从搬送开始位置P1完全送出的时刻、也就是结束传感器60E的输出信号变为接通信号的时刻，控制部68A结束对裂纹的监视(t4时刻)。

在这期间(t3时刻～t4时刻)，由于输出信号均都不会从断开信号变为接通信号，所以控制部68A判断在基板B的除了角部以外的部分也不存在裂纹。此外，当在t3时刻开始搬送基板B时，虽然随着基板B的移动而后端传感器60C、60D的无计时输出信号从断开信号变为接通信号，但在该图中将其省略。

与此相对，例如如图24A所示，在既是基板B的中间部分、又是其宽度方向的一端(第二前端传感器60B的传感头62b一侧)的位置上存在裂纹时，如图24B所示，在开始搬送基板B之后，当该裂纹的部分通过传感头62b的位置时，第二前端传感器60B的有计时输出信号根据该裂纹而变化(t4时刻～t6时刻)。也就是说，因存在裂纹而会导致反射光的减少，因此会导致受光部72的受光电平暂时下降，其结果，第二基板检测传感器60B的有计时输出信号会从断开信号变为接通信号之后再次变为断开信号，由此控制部68A判断在基板B的中间部分存在裂纹。

此时，在从不存在基板B的状态变为存在基板的状态的情况下，如上所述，第二前端传感器60B使信号输出的时刻延迟一定期间T1，并将该期时间T1设定为使伴随基板B的裂纹而输出的信号的时间宽度(t4时刻～t6时刻)比由控制部68A可处理的最小时间宽度大，因此，即使在裂纹微细的情况下、或者基板B的搬送速度快的情况下，控制部68A也能够可靠地检测出该有计时输出信号(接通信号)，从而能够可靠地检测出位于基板B的该中间部分的裂纹。

此外，在该图中，t5时刻表示基板B的裂纹部分通过了第二前端传感器60B的传感头62b的时刻。

如上所述，上游侧裂纹检测装置11以如下方式构成：在由上游侧接收装置10(机械手)放置在搬送开始位置P1的基板B为存在裂纹的基板时，首先，在静止状态下检测出在基板B的角部的裂纹之后，在到基板B从搬送开始位置P1完全被送出为止的期间，可检测出在基板B的除了角部以外的部分的裂纹。并且，在检测出裂纹时，向基板处理装置1的上述控制器输出检测信号而停止基板B的搬送，并使报警装置启动而向操作员报告，从而能够在早期剔除该基板B。

(下游侧裂纹检测装置15)

图25以区块图表示下游侧裂纹检测装置15的结构。如该图所示，下游侧裂纹检测装置15采用与上游侧裂纹检测装置11类似的结构，具有第一前端传感器60F、第二前端传感器60G、第一后端传感器60H、第二后端传感器60I、开始传感器60J以及控制部68B。

各传感器60F～60J的结构分别与上游侧裂纹检测装置11的各传感器60A～60E基本相同，但其结构在以下几点上不同(此外，在以下的说明中，为了避免重复说明而对于与上游侧裂纹检测装置11相同的结构要素赋予相同的附图标记并省略其说明)。

首先，如图26所示，在下游侧裂纹检测装置15中的前端传感器60F、60G的信号输出部76(传感放大器66)中没有内置计时器，并且，各前端传感器60F、60G只输出无计时信号，即在与传感头62相对向的位置不存在基板B时输出接通信号，而存在基板B时输出断开信号(参照图19的信号输出(无计时))。另外，在各前端传感器60F、60G的传感头62f、62g上也没有设置光点透镜64。

另一方面，在后端传感器60H、60I的信号输出部76(传感放大器66)内置有单触发计时器79，通常输出断开信号，而仅在受光部72的受光电平从比预先设定的受光电平高的状态变化为低的状态时输出一定期间的接通信号。也就是说，如图19(信号输出(单触发计时))所示，只有在从在与传感头62相对向的位置存在基板B的状态切换为不存在基板B的状态时输出规定脉冲宽度T2的接通信号。单触发计时器79的计时器设定值、即上述脉冲宽度T2被设定成比由控制部68B可处理的最小时间宽度大，而且，在该实施方式中被设定成至少比控制部68B中的信号的取样周期(检测周期)大的脉冲宽度。

此外，如后所述，下游侧裂纹检测装置15的各后端传感器60H、60I伴随着基板B的移动而检测出其裂纹，因此，为了提高检测精度而在传感头62h、62i上设置有光点透镜64。

各传感器60F～60J的传感头62f～62j的配置如图25所示。即，在基板B被放置在搬送停止位置P2的状态下、也就是在处理部3中处理结束了的基板B搬入到搬送停止位置P2而静止的状态下，前端传感器60F、60G的各传感头62f、62g以向宽度方向排成一列的方式配置在既是基板B的前端、又是与其宽度方向的两端对应的位置上。另外，后端传感器60H、60I的各传感头62h、62i以向宽度方向排成一列的方式配置在既是基板B的后端、又是与其宽度方向的两端对应的位置上。由此，传感头62f～62i的各光的照射位置位于基板B的角部。此外，开始传感器60J的传感头60j配置在既是基板B的后端中央、又是在基板B的搬送方向上比后端传感器60H、60I的各传感头62h、62i稍靠下游一侧(在图25中为右侧)的位置。

此外，在该实施方式中，前端传感器60F、60G相当于本发明(发明内容(14))的第二信号输出单元，后端传感器60H、60I相当于第一信号输出单元，开始传感器60J相当于本发明(发明内容(17))的第三信号输出单元。

控制部68B是控制下游侧裂纹检测装置15的部分，其与上游侧裂纹检测装置11同样而由执行逻辑运算的公知的CPU等构成，并且，通过以预先设定的取样周期(检测周期)检测出从各传感器60F～60J输出的信号，从而检测出基板B的裂纹，并在检测出基板B的裂纹时，将其信息的信号(裂纹检测信号)输出到上述控制器。

接着，根据图27中的流程图，针对上述控制部68B对基板的裂纹检测的控制进行说明。

首先，当清洗以及干燥处理结束了的基板B从处理部3搬送到基板导入部2时，控制部68B等待开始传感器60J的无计时输出信号从接通信号变为断开信号，并在搬送状态下开始对基板B的裂纹监视(步骤S51～S53)。

然后，首先判断各后端传感器60H、60I的有计时输出信号中的至少一方是否为接通信号(步骤S54)，在这里被判断为“是”时，判断在基板B的除了前端角部以外的部分存在裂纹(步骤S59)，并转移至步骤S61而向上述控制器输出裂纹检测信号。由此停止搬送基板B，并使各种报警装置启动而向操作员报告。

与此相对，在步骤S54中被判断为“否”时，进一步等待前端传感器60F、60G的无计时输出信号中的至少一方变为断开信号、也就是等待基板B完全放置在搬送停止位置P2，然后结束在搬送状态下对基板B的裂纹监视，并开始在静止状态下对基板B的裂纹监视(步骤S56)。

然后，判断两个前端传感器60F、60G的无计时输出信号是否均都是断开信号(步骤S57)，在这里被判断为“是”时，在经过了预先设定的一定时间后结束对基板B的监视(步骤S58)。

与此相对，在步骤S57中被判断为“否”时，判断为在基板B的前端存在裂纹(步骤S60)、也就是判断在基板B的前端角部部分存在裂纹，并转移至步骤S61而向上述控制器输出裂纹检测信号。

接着，利用图28～图30，针对这种基于控制部68B的控制的裂纹检测动作的具体例子，与作用效果一起进行说明。

图28是表示在不存在裂纹的基板B从处理部3被搬出时的各传感器60F～60J的信号输出状态的时序图。

如该图所示，在基板B为正常的基板的情况下，当伴随着基板B的搬送而其前端到达搬送停止位置P2时，首先，开始传感器60J的无计时输出信号从接通信号变为断开信号，由此控制部68开始裂纹监视(t2时刻)。此外，在该图中的t1时刻表示基板B的前端通过了各后端传感器60H、60I的传感头62h、62i的位置的时刻。

然后，继续搬送基板B，当基板B完全搬入到搬送停止位置P2时，各前端传感器60F、60G的无计时输出信号从接通信号大致同时变为断开信号(t3时刻)，并在经过了预先设定的一定时间后结束控制部68B对基板B的监视(t4时刻)。

在这期间(t2时刻～t4时刻)，在正常的基板B的情况下，由于后端传感器60H、60I的有计时输出信号均都没有从断开信号变为接通信号，另外在t4时刻前端传感器60F、60G的无计时输出信号均都没有被切换为断开信号，由此控制部68B判断在基板B不存在裂纹。

此外，其后，当搬送停止位置P2的基板B被基板处理装置14的机械手拾取时(t5时刻)，虽然在该时刻后端传感器60H、60I的有计时输出信号从断开信号变为接通信号，但在该时刻裂纹监视已被结束，所以控制部68B忽略该信号。因此，不会误检测为存在裂纹。

与此相对，例如如图29A所示，在既是基板B的中间部分、又是其宽度方向的一端(第二后端传感器60I的传感头62i一侧)的位置上存在裂纹时，如图29B所示，在开始搬送基板B之后，该裂纹部分通过传感头62b的位置时，第二后端传感器60I的有计时输出信号由于该裂纹而变化(t3时刻～t5时刻)。也就是说，因存在裂纹而会导致反射光的减少，从而导致受光部72的受光电平暂时下降，其结果，第二后端传感器60I的有计时输出信号变为接通信号(t3时刻～t5时刻)，由此控制部68B判断在基板B的中间部分存在裂纹。此时，如上所述，由于有计时输出信号(接通信号)的脉冲宽度T2被设定为比控制部38的取样周期大的值，所以即使在裂纹微细的情况下、或者基板搬送速度快的情况下，控制部68B也能够可靠地检测出该有计时输出信号(接通信号)，从而能够可靠地检测出在基板B的该中间部分的裂纹。

此外，在该图中，t4时刻表示基板B的裂纹部分通过了第二前端传感器60B的传感头62b的时刻，t6时刻表示控制部68B结束监视的时刻。

另外，作为其他例子，而例如如图30A所示，在既是基板B的前端、又是其宽度方向的一端(第一前端传感器60F的传感头62f一侧)的位置上存在裂纹的基板B被搬送过来时，如图30B所示，即使在基板B完全被搬入到搬送停止位置P2的时刻(t2时刻)，第一前端传感器60F的无计时输出信号也没有被切换为断开信号，由此控制部68B判断在基板B的前端角部存在裂纹。此外，在该图中，t3时刻表示控制部68B对基板B的裂纹监视的结束时刻。

如上所述，下游侧裂纹检测装置15以如下方式构成：在从处理部3搬送到基板导出部4(搬送停止位置P2)的基板B存在裂纹时，首先，在搬送状态下检测出在基板B的除了前端角部以外的裂纹，然后，当基板B完全被放置到搬送停止位置P2时，对前端角部的裂纹进行检测。并且，在检测出裂纹时，向基板处理装置1的上述控制器输出裂纹检测信号而停止对基板B的搬送，并使报警装置启动而向操作员报告，由此，在处理部3中进行了处理后在基板B发生有裂纹时，能够在早期检测出该基板B并将其剔除。

关于这样的第三实施方式的基板处理装置1，也通过上游侧裂纹检测装置11检测出在位于搬送开始位置P1的基板B的裂纹，另一方面，通过下游侧裂纹检测装置15检测出在位于搬送停止位置P2的基板B的裂纹，因此，与第一以及第二实施方式同样，能够将存在裂纹的基板B被搬入到处理部3、或者在处理部3的处理中产生了裂纹的基板B被搬出到下一个工序的情况防范于未然。

并且，关于该第三实施方式的基板处理装置1，也在搬送开始位置P1或搬送停止位置P2，在基板B移动的情况下，作为与基板B的裂纹对应的信号而输出具有始终比由控制部68A、68B可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，由此，即使在搬送速度快的情况下、或者在裂纹微细的情况下，也能够可靠地检测裂纹，所以能够以高精度检测出基板的裂纹。

另外，关于上游侧裂纹检测装置11，如上所述那样设置结束传感器60E，并基于该结束传感器60E对基板后端的检测而结束控制部68A的裂纹监视，另一方面，关于下游侧裂纹检测装置15，如上所述那样设置开始传感器60J，并基于该开始传感器60J对基板前端的检测而开始控制部68B的裂纹监视，因此，与第二实施方式的装置同样，也具有能够有效地回避对在基板B的前端或后端的裂纹的误检测的优点。

即，在基板导入部2中从搬送开始位置P1搬送基板B时，有时会发生基板B以稍微倾斜的姿势被搬送的所谓倾斜搬送的情况。此时，如果在上游侧裂纹检测装置11没有设置结束传感器60E，则基板B的后端通过前端传感器60A、60B的各传感头62a、62b的时刻会发生偏差，而导致控制部68A误认为在基板B的后端存在裂纹。与此相对，设置结束传感器60E，并基于该结束传感器60E对基板后端的检测而结束控制部68A的裂纹监视，则可预先考虑可能会发生的基板B的倾斜，并使该传感头62e的位置相对两个传感头62a、62b向上游侧偏移，从而使基板后端在基板后端通过前端传感器60A、60B的传感头62a、62b中的任一方之前始终都会通过结束传感器60E的传感头62e，因此能够有效地防止伴随着基板B的倾斜搬送的、如上所述的对于基板后端的裂纹的误检测。同样地，在基板B被搬送到基板导出部4(搬送停止位置P2)时，若基板B被倾斜搬送，则基板B的前端通过后端传感器60H、60I的各传感头62h、62i的时刻也会发生偏差，其结果，导致控制部68B误认为在基板B的前端存在裂纹，但通过预先考虑可能会发生的基板B的倾斜而设定开始传感器60J的位置，而能够有效地防止伴随着基板B的倾斜搬送的对于基板前端的裂纹的误检测。

此外，关于上游侧裂纹检测装置11，结束传感器60E的传感头62e相对前端传感器60A、60B的各传感头62a、62b向搬送方向上游侧偏移，其结果，在从对基板B的监视结束到基板后端通过各传感头62a、62b的位置为止的期间(例如，图23的t4时刻～t5时刻)，在基板B的后端会产生未监视部分。同样地，关于下游侧裂纹检测装置15，开始传感器60J的传感头62j相对后端传感器60H、60I的各传感头62j、62i而向搬送方向的下游侧偏移，其结果，在从基板前端通过了各传感头62j、62i的位置到对基板B的监视开始为止的期间(例如，图28的t1时刻～t2时刻)，在基板B的前端会产生未监视部分。但是，由于在上游侧裂纹检测装置11中通过后端传感器60C、60D能够检测基板B的后端，而在下游侧裂纹检测装置15中通过前端传感器60F、60G能够检测基板B的前端，所以实质上不会受到影响。

<变形例>

此外，针对以上说明的各实施方式的基板处理装置1，例如可以采用如下的结构来作为其变形例。

(1)在第一实施方式的基板裂纹检测装置12中，设置有两个基板检测传感器30A、30B，并将它们的传感头32a、32b配设在基板B的宽度方向的两端相对向的位置(即，使各传感头32a、32b的光的照射位置位于宽度方向的两端)，但是这是由于基板B的裂纹多为发生在其宽度方向的两端，所以这是出于能够以较少的基板检测传感器的数目高效地检测基板B的裂纹的想法，因此，理所当然地，如图31所示，也可以设置更多的基板检测传感器，并使这些传感头32排列在基板的宽度方向。在这一点上，关于第二实施方式也相同。另外，关于第三实施方式中的上游侧裂纹检测装置11以及下游侧裂纹检测装置15的各传感器60A～60D、传感器60F～60I的传感头62也相同。

(2)在第一以及第二实施方式中，采用反射型的传感器而作为基板检测传感器30A、30B，但例如如图32所示，也可以采用具备经由光纤35而与发光部40相连接的投光侧头部32a(32b)、和同样经由光纤35而与受光部42相连接的受光侧头部32a’(32b’)的透过型传感器。在这一点上，关于第三实施方式的上游侧裂纹检测装置11的各传感器60A～60E、以及下游侧裂纹检测装置15的各传感器60F～60J也相同。

(3)在第一以及第二实施方式中，以基于受光部42的受光状态而输出无计时输出信号与有计时输出信号的双方的方式构成基板检测传感器30A、30B，但是，理所当然地，也可以设置具有光的照射单元以及受光单元(传感头32、发光部40、受光部42)、且只输出有计时输出信号的专用传感器，另一方面，另外设置具有光的照射单元以及受光单元、且只输出无计时输出信号的专用传感器。但是，如上所述，若输出无计时输出信号与有计时输出信号的单元采用共用照射单元以及受光单元的结构，则具有能够合理且廉价地构成基板裂纹检测装置12的优点。

(4)在第一以及第二实施方式的基板检测传感器30A、30B中，计时部48由单触发计时器构成，并基于从信号输出部46输出的信号的变化(从断开信号向接通信号的变化)而输出规定脉冲宽度T1的接通信号，但也可以例如由断开延迟计时器构成计时部48，并经由计时部48而输出从信号输出部46输出的信号，从而生成仅使无计时输出信号从接通信号向断开信号变化的时刻延迟规定时间的信号(有计时输出信号)并进行输出。也就是说，例如若在基板B的中间部分(搬送方向的中间部分)存在裂纹，则与该裂纹对应而无计时输出信号从断开信号变为接通信号之后再次变为断开信号(参照图8B)，因此，使其经由以断开延迟计时器构成的计时部48，而使在与该裂纹对应部分的信号中从接通信号向断开信号变化的时刻延迟。此时，只要设定上述延迟时间(即计时部48的计时器值)而使与裂纹对应部分的信号的时间宽度成为始终比由控制部38可处理的最小时间宽度大的时间宽度，则就与上述实施方式同样，控制部38能够可靠地检测出在有计时输出信号中与裂纹对应部分的信号，其结果，能够更加可靠地检测出微细的裂纹。

(5)在第三实施方式中，采用在信号输出部76内置有断开延迟计时器78的传感器而作为上游侧裂纹检测装置11的前端传感器60A、60B，由此，在不存在基板B时输出接通信号，在存在基板B时输出断开信号的同时，当从不存在基板B的状态变化为存在基板的状态时，使该信号输出的时刻延迟一定期间，但也可以例如在前端传感器60A、60B的信号输出部76中，取代上述断开延迟计时器78而内置单触发计时器。也就是说，在从不存在基板B的状态切换到存在基板B的状态时，输出规定脉冲宽度的接通信号、也就是输出具有比由控制部68A可处理的最小时间宽度大的时间宽度的脉冲信号也可。

但是，如上述实施方式所述，若采用内置有断开延迟计时器78的结构，则在基板B上存在裂纹时，在存在该裂纹的部分，有计时输出信号立即会从断开信号切换为接通信号(参照图24B的t4时刻)，所以有利于响应性。因此，作为上游侧裂纹检测装置11的各前端传感器60A、60B的信号输出部76，而内置有断开延迟计时器78的信号输出部是有效的。

(6)在第三实施方式中，采用在信号输出部76内置有单触发计时器79的传感器而作为下游侧裂纹检测装置15的后端传感器60H、60I，由此，在从存在基板B的状态切换为不存在基板B的状态时，输出规定脉冲宽度T2的接通信号、也就是输出具有比由控制部68B可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，但也可以例如在后端传感器60H、60I的信号输出部76中，取代上述单触发计时器79而内置断开延迟计时器，从而在不存在基板B时输出接通信号，在存在基板B时输出断开信号，同时，在从不存在基板B的状态变化为存在基板的状态时，使该信号输出的时刻延迟一定期间，并在该结构的基础上，设定其延迟时间，而使伴随着基板B的裂纹而输出的信号的时间宽度比由控制部68B可处理的最小时间宽度大。

(7)虽然在实施方式中没有特别进行说明，但在各传感器30A、30B、60A～60E、传感器60F～60J的传感放大器36、66中，例如内置对受光部42、72的受光电平的变化量(微分值)进行计算的计算电路，在其变化量超过一定值时，输出一定的脉冲信号、即输出具有比由控制部38、68A、68B可处理的最小时间宽度大的时间宽度的脉冲信号也可。即，当向细裂纹等还没完全变成裂纹或缺损的损伤部位照射光时，由于光的受光电平在短时间内大幅度变化，所以若采用如上所述的结构，则对于细裂纹等损伤也能够提高其检测精度。

(8)在第三实施方式中，为了作为与基板B的裂纹对应的信号而输出如上所述的信号、即为了输出具有比由控制部68A、68B可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，而在信号输出部76内置了断开延迟计时器78或单触发计时器79，但是，通过在信号输出部76中内置例如接通延迟计时器(on delay timer)而输出同样的信号也可。

(9)各实施方式的传感器30A～30D、60A～60E、60F、60G、60J等的输出信号，均被逻辑设定为在“不存在”基板B的状态下输出接通信号、在“存在”的状态下输出断开信号，但是，理所当然地，也可以进行相反的逻辑设定。即，在“存在”基板的状态下输出接通信号，在“不存在”的状态下输出断开信号也可。

(10)各实施方式的传感器30A～30D、60A、60B、60H、60I均都在传感头32(32a～32d)、62(62a、62b、62h、62i)上具有光点透镜34、64，但这并不是必须的。但是，为了更加可靠地检测微细的裂纹，而优选设置光点透镜34、64。

(11)在各实施方式中，采用控制部38、68A、68B与基板处理装置1的控制器相互独立的结构，但是，理所当然地，基板处理装置1的控制器兼有控制部38、68A、68B的功能也可。也就是说，采用上述控制器作为本发明的裂纹检测单元而发挥功能的结构也可。

Claims (14)

1.一种基板裂纹检测装置，用于检测沿着搬送路径被搬送的基板的裂纹，其特征在于，

具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，

多个上述信号输出单元分别包括能够对基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，

上述裂纹检测单元在上述基板通过上述照射单元照射光的照射位置的期间，基于对应于此而从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；

该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、多个第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，

在上述受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，即，输出具有基于预先设定的计时器值的有计时信号，

多个上述第二信号输出单元将上述受光单元排列在上述搬送路径的宽度方向上，并且基于上述受光单元的受光状态来分别输出与基板的有无对应的信号，即，分别输出无计时信号，

在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置位于上述搬送路径的宽度方向的中央，并且位于上述第二信号输出单元的各照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游侧，上述第三信号输出单元基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的无计时信号，

如果从上述第三信号输出单元输出与存在基板的状态对应的无计时信号，则上述裂纹检测单元开始监视基板的裂纹，在从多个上述第二信号输出单元输出互不相同的状态的信号时，上述裂纹检测单元检测基板上的其搬送方向前端的裂纹，另一方面，在从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号时，上述裂纹检测单元检测上述搬送方向前端的上游侧的位置的基板裂纹。

2.如权利要求1所述的基板裂纹检测装置，其特征在于，

具有多个上述第一信号输出单元，并且，这些第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置排列在上述搬送路径的宽度方向上。

3.如权利要求1或2所述的基板裂纹检测装置，其特征在于，

作为上述第一信号输出单元以及第二信号输出单元的上述照射单元以及受光单元，设置有共用的照射单元以及受光单元。

4.一种基板裂纹检测装置，用于检测沿着搬送路径被搬送的基板的裂纹，其特征在于，

具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，

多个上述信号输出单元分别包括能够对基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，

上述裂纹检测单元在上述基板通过上述照射单元照射光的照射位置的期间，基于对应于此而从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；

该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、多个第二信号输出单元、第四信号输出单元，来作为上述信号输出单元，

在上述受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，即，输出具有基于预先设定的计时器值的有计时信号，

多个上述第二信号输出单元将上述受光单元排列在上述搬送路径的宽度方向上，并且基于上述受光单元的受光状态来分别输出与基板的有无对应的信号，即，分别输出无计时信号，

在上述第四信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置位于上述搬送路径的宽度方向的中央，并且位于上述第二信号输出单元的各照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游侧，上述第四信号输出单元基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的无计时信号，

在从多个上述第二信号输出单元输出互不相同的状态的信号时，上述裂纹检测单元检测基板上的其搬送方向前端的裂纹，另一方面，在从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号时，上述裂纹检测单元检测上述搬送方向前端的上游侧的位置的基板裂纹，如果从上述第四信号输出单元输出与不存在基板的状态对应的无计时信号，则上述裂纹检测单元结束监视基板的裂纹。

5.如权利要求4所述的基板裂纹检测装置，其特征在于，

具有多个上述第一信号输出单元，并且，这些第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置排列在上述搬送路径的宽度方向上。

6.如权利要求4或5所述的基板裂纹检测装置，其特征在于，

作为上述第一信号输出单元以及第二信号输出单元的上述照射单元以及受光单元，设置有共用的照射单元以及受光单元。

7.一种基板裂纹检测装置，配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送开始位置，其特征在于，

具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，

多个上述信号输出单元分别包括能够对放置在上述搬送开始位置的基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，

上述裂纹检测单元基于从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；

该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，

上述第一信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向前端部照射光的上述照射单元，并且，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元基于预先设定的计时器值，使对应于该变化的信号输出延迟规定时间，从而输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的有计时信号，

上述第二信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向后端部照射光的上述照射单元，并且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的信号，即，输出无计时信号，

上述第三信号输出单元包括能够向上述基板照射光的上述照射单元，而且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无的状态对应的信号，即，输出无计时信号，其中，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述基板的搬送方向前端部，并且位于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游侧，

上述第一以及第二信号输出单元分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板的宽度方向两端的多个位置上，

在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置被设定在基板的上述宽度方向的中央，

在基板搬送开始后，如果从上述第二信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测放置在上述搬送开始位置上的基板上的搬送方向后端的裂纹，另一方面，如果从上述第一信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测该基板上的上述搬送方向前端的裂纹，另外，在基板搬送开始后，如果从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号，则上述裂纹检测单元检测基板的中途部分的裂纹，如果从上述第三信号输出单元输出表示不存在基板的状态的无计时信号，则上述裂纹检测单元结束监视基板的裂纹。

8.一种基板裂纹检测装置，配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送开始位置，其特征在于，

具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，

多个上述信号输出单元分别包括能够对放置在上述搬送开始位置的基板照射光的照射单元和上述光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，

上述裂纹检测单元基于从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；

该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，

上述第一信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向前端部照射光的上述照射单元，并且，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，即，输出具有基于预先设定的计时器值的有计时信号，

上述第二信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向后端部照射光的上述照射单元，并且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的信号，即，输出无计时信号，

上述第三信号输出单元包括能够向上述基板照射光的上述照射单元，而且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无的状态对应的信号，即，输出无计时信号，其中，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述基板的搬送方向前端部，并且位于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游侧，

上述第一以及第二信号输出单元分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板的宽度方向两端的多个位置上，

在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置被设定在基板的上述宽度方向的中央，

在基板搬送开始后，如果从上述第二信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测放置在上述搬送开始位置上的基板上的搬送方向后端的裂纹，另一方面，如果从上述第一信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测该基板上的上述搬送方向前端的裂纹，另外，在基板搬送开始后，如果从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号，则上述裂纹检测单元检测基板的中途部分的裂纹，如果从上述第三信号输出单元输出表示不存在基板的状态的无计时信号，则上述裂纹检测单元结束监视基板的裂纹。

9.一种基板裂纹检测装置，配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送停止位置，其特征在于，

具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，

多个上述信号输出单元分别包括能够对放置在上述搬送停止位置的基板照射光的照射单元和该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，

上述裂纹检测单元基于从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；

该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，

上述第一信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向后端部照射光的上述照射单元，并且，在上述受光单元的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，上述第一信号输出单元输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号，即，输出具有基于预先设定的计时器值的有计时信号，

上述第二信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向前端部照射光的上述照射单元，并且基于上述受光单元的受光状态来分别输出与基板的有无对应的信号，即，分别输出无计时信号，

上述第三信号输出单元包括能够向上述基板照射光的上述照射单元，而且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的信号，即，输出无计时信号，其中，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述基板的搬送方向后端部，并且位于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游侧，

上述第一以及第二信号输出单元分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板的宽度方向两端的多个位置上，

在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置被设定在基板的上述宽度方向的中央，在基板搬送过程中，如果从上述第三信号输出单元输出表示存在基板的状态的无计时信号，则上述裂纹检测单元开始监视基板的裂纹，在基板搬送停止后，如果从上述第二信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测放置在上述搬送停止位置上的基板上的搬送方向前端的裂纹，另外，在基板搬送过程中以及基板搬送停止后，如果从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号，则上述裂纹检测单元检测基板上的上述搬送方向的后端或中途部分的裂纹。

10.一种基板裂纹检测装置，配置在沿着搬送路径将基板从规定的搬送开始位置搬送到搬送停止位置的装置的上述搬送停止位置，其特征在于，

具有裂纹检测单元和多个信号输出单元，

多个上述信号输出单元分别包括能够对放置在上述搬送停止位置的基板照射光的照射单元和该光的受光单元，而且基于该受光单元的受光状态来输出信号，

上述裂纹检测单元基于从上述信号输出单元输出的信号来检测基板的裂纹；

该基板裂纹检测装置具有第一信号输出单元、第二信号输出单元、第三信号输出单元，来作为上述信号输出单元，

上述第一信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向后端部照射光的上述照射单元，并且，在上述受光单元的受光状态从不存在基板的状态变化为存在基板的状态时，上述第一信号输出单元基于预先设定的计时器值，使对应于该变化的信号输出延迟规定时间，从而输出具有始终比由上述裂纹检测单元能够处理的最小时间宽度大的时间宽度的有计时信号，

上述第二信号输出单元，具有能够对上述基板的搬送方向前端部照射光的上述照射单元，并且基于上述受光单元的受光状态来分别输出与基板的有无对应的信号，即，分别输出无计时信号，

上述第三信号输出单元包括能够向上述基板照射光的上述照射单元，而且基于上述受光单元的受光状态来输出与基板的有无对应的信号，即，输出无计时信号，其中，该第三信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置位于上述基板的搬送方向后端部，并且位于上述第一信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游侧，

上述第一以及第二信号输出单元分别具有多个信号输出单元，这些第一以及第二信号输出单元的上述照射单元照射光的照射位置被设定在至少包括与基板搬送方向垂直的上述基板的宽度方向两端的多个位置上，

在上述第三信号输出单元中，上述照射单元照射光的照射位置被设定在基板的上述宽度方向的中央，

在基板搬送过程中，如果从上述第三信号输出单元输出表示存在基板的状态的无计时信号，则上述裂纹检测单元开始监视基板的裂纹，在基板搬送停止后，如果从上述第二信号输出单元输出表示不存在基板的状态的信号，则上述裂纹检测单元检测放置在上述搬送停止位置上的基板上的搬送方向前端的裂纹，另外，在基板搬送过程中以及基板搬送停止后，如果从上述第一信号输出单元输出上述有计时信号，则上述裂纹检测单元检测基板上的上述搬送方向的后端或中途部分的裂纹。

11.一种基板处理装置，具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，该基板处理装置的特征在于，

作为上述基板裂纹检测装置而具有权利要求1或2所述的基板裂纹检测装置。

12.如权利要求11所述的基板处理装置，其特征在于，

上述基板裂纹检测装置设置在开始搬送基板的搬送开始地点与上述处理单元之间的位置，或者上述处理单元与处理后的基板的搬送结束地点之间的位置中的至少一个位置上。

13.一种基板处理装置，具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，该基板处理装置的特征在于，

上述基板裂纹检测装置配置在上述搬送路径中的基板的搬送开始位置，并且作为该基板裂纹检测装置而具有权利要求7或8所述的基板裂纹检测装置。

14.一种基板处理装置，具有：基板的搬送路径；处理单元，其对沿着上述搬送路径被搬送的基板实施规定的处理；基板裂纹检测装置，其检测沿着上述搬送路径被搬送的基板的裂纹，该基板处理装置的特征在于，

上述基板裂纹检测装置配置在上述搬送路径中的基板的搬送停止位置，并且作为该基板裂纹检测装置而具有权利要求9或10所述的基板裂纹检测装置。

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