TW201443425A - 一種玻璃檢測裝置 - Google Patents

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本發明公開了一種玻璃檢測裝置,其中,包括檢測單元,檢測單元包括產生光波的光波發生部件與光波發生部件匹配的光波接收部件以及一與光波接收部件連接的結果輸出部件;檢測單元以待檢測玻璃為光波發生部件及光波接收部件之間的傳導介質,並使光波發生部件產生的光波由待檢測玻璃的側面射入並沿待檢測玻璃的長度或寬度方向形成傳導的光路後為設置於對應位置的光波接收部件接收。

Description

一種玻璃檢測裝置
本發明涉及顯示面板加工技術領域,尤其涉及一種玻璃檢測裝置。
在顯示面板生產過程中作為基板的玻璃常因工藝或來料異常幹擾而產生破片等瑕疵,若無法及時發現玻璃的上述瑕疵會造成成品率降低。現有的手段是通過圖像監控設備設備進行監控,但是該方案成本高且不易在傳送過程做即時進行監控,容易造成破片後流影響擴大甚至生產線非正常的停止運作。
現行玻璃破片檢知方式有以下幾種方式:一種是在顯示面板生產設備內玻璃安置位置的角落處安裝光電感應設備以檢測玻璃角落的缺陷,其優點是成本較低,缺點是會因為傳動中玻璃偏移而誤報,且只能檢測四個角落區域;另一種是通過兩個CCD(Charge-coupled Device電荷耦合元件)圖像感測器固定式架設於玻璃基板傳送方向的左右兩側,通過高速的動態圖像捕捉機制掃描整片玻璃基板的兩側區域(一般20mm寬) ,其缺點是成本較高,且只能檢測玻璃兩邊邊緣存在的缺陷;還有一種自動光學檢測方式,微距圖像傳感設備檢測,類似簡易的臺式放大鏡,增強了光學清晰度和放大倍率,但也存在無法及時攔檢,設備成本高,無法對每片都進行檢測等缺陷。

針對以上所述的問題,本發明提供了一種成本較低,檢測範圍大的玻璃檢測裝置。
具體技術方案如下所示:一種玻璃檢測裝置,其中,包括檢測單元,所述檢測單元包括產生光波的光波發生部件與所述光波發生部件匹配的光波接收部件以及一與所述光波接收部件連接的結果輸出部件;
所述檢測單元以待檢測玻璃為所述光波發生部件及所述光波接收部件之間的傳導介質,並使所述光波發生部件產生的光波由所述待檢測玻璃的側面射入並沿所述待檢測玻璃的長度或寬度方向形成傳導的光路後為設置於對應位置的所述光波接收部件接收,所述結果輸出部件根據所述光波接收部件是否接收到的所述光波發生部件產生的光波信號以及所述光波接收部件接收到的所述光波信號的強度輸出對應的結果。
優選的,所述檢測單元至少有兩組,至少兩組所述檢測單元以每組所述檢測單元中的光路均平行於所述待檢測玻璃寬度方向的邊,或者以每組所述檢測單元中的光路均平行於所述待檢測玻璃長度方向的邊的形式設置。
優選的,至少兩組所述檢測單元,其中一組所述檢測單元被設置於所述待檢測玻璃寬度方向的一邊附近,其中另一組所述檢測單元被設置於所述待檢測玻璃寬度方向對應的另一邊附近,且兩組所述檢測單元的光路均位於所述待檢測玻璃的範圍內。
優選的,所述光波發生部件的位置高於或者低於所述待檢測玻璃平面,並以向上傾斜或者向下傾斜的角度使光線射入所述待檢測玻璃。
優選的,所述光波接收部件設置有用於防止從所述待檢測玻璃以外的傳導介質接收光波的遮罩。
優選的,所述結果輸出部件為以顏色區分結果的指示燈。
優選的,所述結果輸出部件為以聲音區分結果的蜂鳴器。
優選的,所述結果輸出部件為與執行機構連接的控制裝置,所述控制裝置根據檢測結果以及預置策略控制所述執行機構動作。
一種片匣,應用於顯示面板加工工藝中盛放玻璃基板,所述片閘設有多層玻璃基板容置空間,其中,每層所述容置空間均設置上述的玻璃檢測裝置。
優選的,所述結果輸出部件為以顏色區分結果的指示燈,所述指示燈設置於每層所述容置空間上對應每個檢測單元的位置處。
優選的,所述結果輸出部件為以聲音區分結果的蜂鳴器,所述蜂鳴器設置於所述片閘上對應每個檢測單元的位置處。
優選的,所述結果輸出部件為與同所述片閘協同工作的機械臂連接的控制裝置,所述控制裝置根據檢測結果以及預置策略控制所述機械臂動作。
一種玻璃傳送裝置,應用於顯示面板加工過程中水準的傳送玻璃基板,其中,設置有上述玻璃檢測裝置。
優選的,所述結果輸出部件為以顏色區分結果的指示燈,所述指示燈設置於所述玻璃傳送裝置上對應所述檢測裝置中每個檢測單元的位置處。
優選的,所述結果輸出部件為以聲音區分結果的蜂鳴器,所述蜂鳴器設置於所述玻璃傳送裝置上對應所述檢測裝置中每個檢測單元的位置處。
優選的,包括傳送機構,所述結果輸出部件為與所述傳送機構連接的控制裝置,所述控制裝置根據檢測結果以及預置策略控制所述傳送機構動作。
一種顯示面板加工設備,其中,所述顯示面板加工設備包括上述的片匣。
一種顯示面板加工設備,其中,所述顯示面板加工設備包括上述的玻璃傳送裝置。
本發明的有益效果是:利用玻璃的導光性、光性及直射性,通過玻璃產生破片、裂片等瑕疵後造成光源折射或者衰減的現象,使在玻璃另一側的光波接收部件接收不到光波或者接收到的光波強度變弱,從而實現對玻璃瑕疵的檢測,構造簡單,成本低廉,且破片檢測範圍更廣,可用於檢測玻璃非破片的玻璃裂片情況。

1...光波發生部件
2...光波接收部件
3...遮罩
4...待檢測玻璃
第一圖係本發明一種玻璃檢測裝置的實施例的裝置結構示意圖;
第二圖係本發明一種玻璃檢測裝置的實施例的技術原理示意圖;
第三圖係本發明一種片匣的實施例的結構示意圖;
第四圖係本發明一種玻璃檢測裝置的實施例的適用工藝示意圖。

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明,但不作為本發明的限定。
如第一圖所示,為本發明一種玻璃檢測裝置實施例的裝置結構示意圖,其中,包括檢測單元,檢測單元包括產生光波的光波發生部件1與光波發生部件1匹配的光波接收部件2以及一與光波接收部件2連接的結果輸出部件(圖中未示出);檢測單元以待檢測玻璃4為光波發生部件1及光波接收部件2之間的傳導介質,並使光波發生部件1產生的光波由待檢測玻璃4的側面射入並沿待檢測玻璃4的長度或寬度方向形成傳導的光路後為設置於對應位置的光波接收部件2接收,結果輸出部件根據光波接收部件2是否接收到的光波發生部件1產生的光波信號以及光波接收部件2接收到的光波信號的強度輸出對應的結果。例如,若光波接收部件2接收的光波信號的強度低於某預設值,則結果輸出部件輸出的結果為異常;若光波接收部件2接收的光波信號的強度介於某預設範圍內,則結果輸出部件輸出的結果為正常。本實施例的裝置結構可以全面檢測待檢測玻璃,檢測的精度較為精確,可以及時的去處破損的玻璃,提高良率。
如第二圖所示,當待檢測玻璃4出現破片、裂片等瑕疵時由光波發生部件1產生的光波信號於待檢測玻璃4的破片或者裂片處發生折射或者衰減,導致光波接收部件2接收不到光波信號或者接收到的光波信號強度弱,由結果輸出部件根據光波接收部件2接收到的光波信號的情況輸出結果已完成檢測過程。上述技術方案由待檢測玻璃4側邊射入光波信號,可防止由於待檢測玻璃4發生彎曲而造成的誤判斷。其中較優的實施方式是,結果輸出部件可以採用以顏色區分結果的指示燈、或者採用以聲音區分結果的蜂鳴器,當然也可以採用與一額外的執行機構連接的控制裝置,控制裝置根據檢測結果以及預置策略控制執行機構動作。
在本發明的一種具體實施例中,光波發生部件1可採用位置高於或者低於待檢測玻璃4平面形式進行設置,並以傾斜的角度使光線射入待檢測玻璃4,可以是向上傾斜也可以是向下傾斜,傾斜設置的目的是使光波發生部件1發出的光波信號不能直接通過待檢測玻璃4以外的傳導介質(如空氣)傳導至光波接收部件2。這樣通過將光波發生裝置1傾斜一個角度後將光打在待檢測玻璃4側邊,光源再經由待檢測玻璃4當作傳導介質將光源投射到光波接收部件2,能夠最大程度上避免光波發生裝置1產生的光波信號通過空氣傳導直接幹擾到光電接收器,以防止發生誤報。進一步的,為防止誤報,還可以通過對光波接收部件2設置接收光波信號強度的門限值,使光波接收部件2忽略低於門限值強度的光波信號從而防止誤報,其中上述門限值也可設置於結果接收部件中,由結果接收部件判斷門限值進而輸出結果。
在本發明的一種具體實施例中,光波接收部件2設置有用於防止從待檢測玻璃4以外的傳導介質接收光波的遮罩3。通過光波接收部件2的遮罩3對待檢測玻璃4以外光源進行遮蔽,可以對光波接收部件2的接收範圍進行限定,從而避免光波發生部件1發出的光波信號直接幹擾到光電接收器,防止發生誤報。
在本發明的一種具體實施例中,檢測單元可至少設置兩組,至少兩組檢測單元以每組檢測單元中的光路均平行於待檢測玻璃4寬度方向的邊,或者以每組檢測單元中的光路均平行於待檢測玻璃4長度方向的邊的形式設置。
進一步的,其中一組檢測單元可被設置於待檢測玻璃4寬度方向的一邊附近,其中另一組檢測單元可被設置於待檢測玻璃4寬度方向對應的另一邊附近,且兩組檢測單元的光路均位於待檢測玻璃4的範圍內。這樣可以對玻璃易受損的四邊進行更為有效快捷的檢測,提高檢測效率。進一步的,檢測單元可設置於待檢測玻璃4四邊20mm範圍內,從而更有利於檢測出待檢測玻璃4的瑕疵。
如第三圖所示,本發明的實施例中還包括一種片匣,應用於顯示面板加工工藝中盛放玻璃基板,片閘設有多層玻璃基板容置空間,其中,每層容置空間均設置上述的玻璃檢測裝置。其中,結果輸出部件(圖中未示出)可採用以顏色區分結果的指示燈,當採用指示燈作為結果輸出部件時,指示燈可設置於每層容置空間上對應每個檢測單元的位置處。也可以採用以聲音區分結果的蜂鳴器作為結果輸出部件,當採用蜂鳴器作為結果輸出部件時,蜂鳴器可設置於片閘上對應每個檢測單元的位置處。還可以採用與同片閘協同工作的機械臂連接的控制裝置作為結果輸出部件,機械臂一般用以於片閘中存取玻璃基板,控制裝置可根據玻璃檢測裝置的檢測結果以及預置策略控制機械臂動作,如當玻璃檢測裝置的某個檢測單元檢測到某容置空間中的玻璃基板存在瑕疵時,控制裝置拒絕機械臂從該容置空間中取用玻璃基板,或者控制裝置控制機械臂將該容置空間中的玻璃基板取出,放入報廢區中。
本發明的實施例中還包括一種玻璃傳送裝置,應用於顯示面板加工過程中水準的傳送玻璃基板,其中,設置有上述玻璃檢測裝置。其中,結果輸出部件可採用以顏色區分結果的指示燈,當採用指示燈作為結果輸出部件時,指示燈可設置於玻璃傳送裝置上對應檢測裝置中每個檢測單元的位置處。也可以採用以聲音區分結果的蜂鳴器作為結果輸出部件,當採用蜂鳴器作為結果輸出部件時,蜂鳴器可設置於玻璃傳送裝置上對應檢測裝置中每個檢測單元的位置處。還可以採用與玻璃傳送裝置的傳送機構連接的控制裝置,控制裝置根據檢測結果以及預置策略控制傳送機構動作。如當玻璃檢測裝置檢測發現傳送機構上傳送的玻璃基板存在瑕疵時,控制裝置可控制傳送機構停止傳送,以避免有瑕疵的玻璃基板被送入下一工藝的腔體中。該方式還可與指示燈以及蜂鳴器結合使用,當傳送機構停止傳送時由指示燈或者蜂鳴器發出警告提示。
於上述技術方案基礎上,進一步的,上述提到的控制裝置可由PLC(Programmable Logic Controller,可編程邏輯控制器)實現。PLC是顯示面板加工設備中較常用的控制方式,因此以PLC實現上述控制裝置不必增加額外的硬體配置,有利於降低設備成本。
本發明的實施例中還包括一種顯示面板加工設備,其中,顯示面板加工設備包括上述的片匣。
本發明的實施例中還包括一種顯示面板加工設備,其中,顯示面板加工設備包括上述的玻璃傳送裝置。
如第四圖所示工藝本發明的玻璃檢測裝置還可整合入顯示面板加工步驟中,由於顯示面板的每道工藝都是對玻璃基板表面或者玻璃基板上進行加工,所以從玻璃基板的側邊射入光波信號不會影響工藝過程。顯示面板生產過程中每一道工藝都可能產生破片或者裂片,也都有被破片或者裂片污染的風險。最即時的方法為在每一工藝前後的緩衝區域均裝上玻璃檢測裝置,以及裝在搬運玻璃基板的片匣上通過上述的玻璃檢測裝置進行即時監控。
在本發明一種玻璃檢測裝置的具體實施例中,玻璃檢測裝置可應用於自動光學檢測步驟中的玻璃檢測,上述的自動光學檢驗步驟可設置於閘極工藝中光刻步驟和濕式蝕刻步驟之間或者閘極工藝剝離步驟與有源區工藝清洗步驟之間、或者源極/漏極工藝玻璃步驟與接觸孔工藝清洗步驟之間或者ITO透明電極圖元工藝中剝離步驟之後。並可根據前後工藝的特性,選擇在進行光學檢測後是否對出現瑕疵的玻璃進行修復,從而減少損耗。
本發明的玻璃檢測裝置,利用玻璃的導光性、光性及直射性,通過玻璃產生破片、裂片等瑕疵後造成光源折射或者衰減的現象,使在玻璃另一側的光波接收部件接收不到光波或者接收到的光波強度變弱,從而實現對玻璃瑕疵的檢測,構造簡單,成本低廉,且破片檢測範圍更廣,可用於檢測玻璃非破片的玻璃裂片情況。
以上所述僅為本發明較佳的實施例,並非因此限制本發明的實施方式及保護範圍,對於本領域技術人員而言,應當能夠意識到凡運用本發明說明書及圖示內容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案,均應當包含在本發明的保護範圍內。

1...光波發生部件
2...光波接收部件
3...遮罩
4...待檢測玻璃

Claims (18)

  1. 【第1項】
    一種玻璃檢測裝置,其特徵在於,包括檢測單元,所述檢測單元包括產生光波的光波發生部件與所述光波發生部件匹配的光波接收部件以及一與所述光波接收部件連接的結果輸出部件;
    所述檢測單元以待檢測玻璃為所述光波發生部件及所述光波接收部件之間的傳導介質,並使所述光波發生部件產生的光波由所述待檢測玻璃的側面射入並沿所述待檢測玻璃的長度或寬度方向形成傳導的光路後為設置於對應位置的所述光波接收部件接收,所述結果輸出部件根據所述光波接收部件是否接收到的所述光波發生部件產生的光波信號以及所述光波接收部件接收到的所述光波信號的強度輸出對應的結果。
  2. 【第2項】
    如申請專利範圍第1項之玻璃檢測裝置,其特徵在於,所述檢測單元至少有兩組,至少兩組所述檢測單元以每組所述檢測單元中的光路均平行於所述待檢測玻璃寬度方向的邊,或者以每組所述檢測單元中的光路均平行於所述待檢測玻璃長度方向的邊的形式設置。
  3. 【第3項】
    如申請專利範圍第2項之玻璃檢測裝置,其特徵在於,至少兩組所述檢測單元,其中一組所述檢測單元被設置於所述待檢測玻璃寬度方向的一邊附近,其中另一組所述檢測單元被設置於所述待檢測玻璃寬度方向對應的另一邊附近,且兩組所述檢測單元的光路均位於所述待檢測玻璃的範圍內。
  4. 【第4項】
    如申請專利範圍第1項之玻璃檢測裝置,其特徵在於,所述光波發生部件的位置高於或者低於所述待檢測玻璃平面,並以向上傾斜或者向下傾斜的角度使光線射入所述待檢測玻璃。
  5. 【第5項】
    如申請專利範圍第1項之玻璃檢測裝置,其特徵在於,所述光波接收部件設置有用於防止從所述待檢測玻璃以外的傳導介質接收光波的遮罩。
  6. 【第6項】
    如申請專利範圍第1項之玻璃檢測裝置,其特徵在於,所述結果輸出部件為以顏色區分結果的指示燈。
  7. 【第7項】
    如申請專利範圍第1項之玻璃檢測裝置,其特徵在於,所述結果輸出部件為以聲音區分結果的蜂鳴器。
  8. 【第8項】
    如申請專利範圍第1項之玻璃檢測裝置,其特徵在於,所述結果輸出部件為與執行機構連接的控制裝置,所述控制裝置根據檢測結果以及預置策略控制所述執行機構動作。
  9. 【第9項】
    一種片匣,其特徵在於,應用於顯示面板加工工藝中盛放玻璃基板,所述片閘設有多層玻璃基板容置空間,每層所述容置空間均設置如申請專利範圍第1項至第8項任意一項之玻璃檢測裝置。
  10. 【第10項】
    如申請專利範圍第9項之片匣,其特徵在於,所述結果輸出部件為以顏色區分結果的指示燈,所述指示燈設置於每層所述容置空間上對應每個檢測單元的位置處。
  11. 【第11項】
    如申請專利範圍第9項之片匣,其特徵在於,所述結果輸出部件為以聲音區分結果的蜂鳴器,所述蜂鳴器設置於所述片閘上對應每個檢測單元的位置處。
  12. 【第12項】
    如申請專利範圍第9項之片匣,其特徵在於,所述結果輸出部件為與同所述片閘協同工作的機械臂連接的控制裝置,所述控制裝置根據檢測結果以及預置策略控制所述機械臂動作。
  13. 【第13項】
    一種玻璃傳送裝置,其特徵在於,應用於顯示面板加工過程中水準的傳送玻璃基板,設置有如申請專利範圍第1項至第5項任意一項之玻璃檢測裝置。
  14. 【第14項】
    如申請專利範圍第13項之玻璃傳送裝置,其特徵在於,所述結果輸出部件為以顏色區分結果的指示燈,所述指示燈設置於所述玻璃傳送裝置上對應所述檢測裝置中每個檢測單元的位置處。
  15. 【第15項】
    如申請專利範圍第13項之玻璃傳送裝置,其特徵在於,所述結果輸出部件為以聲音區分結果的蜂鳴器,所述蜂鳴器設置於所述玻璃傳送裝置上對應所述檢測裝置中每個檢測單元的位置處。
  16. 【第16項】
    如申請專利範圍第13項之玻璃傳送裝置,其特徵在於,包括傳送機構,所述結果輸出部件為與所述傳送機構連接的控制裝置,所述控制裝置根據檢測結果以及預置策略控制所述傳送機構動作。
  17. 【第17項】
    一種顯示面板加工設備,其特徵在於,所述顯示面板加工設備包括如申請專利範圍第9項至第12項任意一項之片匣。
  18. 【第18項】
    一種顯示面板加工設備,其特徵在於,所述顯示面板加工設備包括如申請專利範圍第13項至16項任意一項之玻璃傳送裝置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104391427A (zh) * 2014-12-17 2015-03-04 合肥鑫晟光电科技有限公司 掩模板检测装置及方法、掩模板清洗装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016186936A1 (en) * 2015-05-15 2016-11-24 Corning Incorporated Glass articles with laser cut edges and methods for making the same
CN105738383A (zh) * 2016-03-09 2016-07-06 武汉华星光电技术有限公司 基板破片检测装置和基板加工设备
CN106525869B (zh) * 2016-11-09 2024-03-22 芜湖东旭光电科技有限公司 玻璃边部缺陷检测方法及其装置和系统
CN108242122A (zh) * 2016-12-23 2018-07-03 浙江金徕镀膜有限公司 一种用于清理切磨导致破碎的玻璃的报警装置
CN106597709A (zh) * 2017-01-06 2017-04-26 武汉华星光电技术有限公司 基板检测装置、显示面板加工系统及显示面板加工方法
CN106770334B (zh) * 2017-02-21 2019-06-25 连云港同达科技有限公司 一种用于钢化玻璃的自动化检测平台及其检测方法
CN107219233A (zh) * 2017-05-22 2017-09-29 武汉华星光电技术有限公司 一种检测玻璃基板破损和裂纹的装置及方法
CN107247056A (zh) * 2017-05-25 2017-10-13 中航三鑫股份有限公司 在线检测玻璃原片杂质的方法
CN113418468A (zh) * 2021-06-28 2021-09-21 宁波图锐自动化设备有限公司 一种玻璃曲率和轮廓度检测装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009222485A (ja) * 2008-03-14 2009-10-01 Omron Corp 光学式センサ装置およびその設置状態確認方法
DE102009050711A1 (de) * 2009-10-26 2011-05-05 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Rissen in Halbleitersubstraten
CN102636498B (zh) * 2012-03-22 2014-04-16 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的检测装置及检测方法
CN202693496U (zh) * 2012-07-26 2013-01-23 北京京东方光电科技有限公司 一种玻璃基板的检测系统

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104391427A (zh) * 2014-12-17 2015-03-04 合肥鑫晟光电科技有限公司 掩模板检测装置及方法、掩模板清洗装置
CN104391427B (zh) * 2014-12-17 2019-07-05 合肥鑫晟光电科技有限公司 掩模板检测装置及方法、掩模板清洗装置

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