JP5885477B2 - 積層基板の検査装置および検査方法 - Google Patents
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Description
上記積層基板の透光性基板側に光を照射する第1光照射手段と、上記積層基板の薄膜側に光を照射する第2光照射手段とを設けるとともに、
上記積層基板を透過する上記第1光照射手段の光軸上で且つ上記積層基板で乱反射する上記第2光照射手段の光軸上に配置された第1光検知手段と、上記積層基板で正反射する上記第2光照射手段の光軸上に配置された第2光検知手段とを設け、
上記第1光照射手段および第2光照射手段により同時に照射された光のうち第1光検知手段および第2光検知手段で検知した光の状態に基づいて上記パターニングの良否を判断する判断手段を具備するものである。
第1光検知手段および第2光検知手段がそれぞれラインセンサカメラであるものである。
上記積層基板の透光性基板側に第1の光を照射するとともに、第1の光の照射と同時に上記積層基板の薄膜側に第2の光を照射し、
上記積層基板を透過した上記第1の光および上記積層基板で乱反射した上記第2の光を検知するとともに、上記積層基板で正反射した上記第2の光を検知し、
検知した第1の光および第2の光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する方法である。
本実施例では、積層基板の一例として、ガラス基板タイプの化合物系薄膜太陽電池を用いる場合について説明する。このようなガラス基板タイプの化合物系薄膜太陽電池は、図3で概略的に説明すると、光を透過させる基板であるガラス基板(透光性基板の一例である)K0と、このガラス基板K0上に形成された金属電極であり到達した光を反射させ得るモリブデン層(金属層の一例である)K1と、このモリブデン層K1上に形成されて到達した光および上記モリブデン層K1で反射した光を吸収する光吸収層と、この光吸収層上にバッファ層を介して形成され光を透過させるとともに電極を構成する透明導電層K3とから構成される。なお、以下では、光吸収層とバッファ層とを特に区別せず、まとめて光吸収層およびバッファ層K2という。また、この光吸収層およびバッファ層K2と、透明導電層K3とは、それぞれ薄膜の一例である。
C1 送り側コンベア
C2 受け側コンベア
1 検査装置
2 エンコーダ
3 操作端末
10 下部照明
11 第1ラインセンサカメラ
12 突き抜け検査用パソコン
13 第1入力部
14 第1基板位置検出部
15 第1判断部
20 上部照明
21 第2ラインセンサカメラ
22 擦れ検査用パソコン
23 第2入力部
24 第2基板位置検出部
25 第2判断部
Claims (4)
- 透光性基板上に金属層が形成されるとともに金属層上に薄膜が形成された積層基板の、薄膜側から形成されたパターニングを検査する検査装置であって、
上記積層基板の透光性基板側に光を照射する第1光照射手段と、上記積層基板の薄膜側に光を照射する第2光照射手段とを設けるとともに、
上記積層基板を透過する上記第1光照射手段の光軸上で且つ上記積層基板で乱反射する上記第2光照射手段の光軸上に配置された第1光検知手段と、上記積層基板で正反射する上記第2光照射手段の光軸上に配置された第2光検知手段とを設け、
上記第1光照射手段および第2光照射手段により同時に照射された光のうち第1光検知手段および第2光検知手段で検知した光の状態に基づいて上記パターニングの良否を判断する判断手段を具備することを特徴とする積層基板の検査装置。 - 第1光照射手段および第2光照射手段が移送中の積層基板に光を照射するものであり、
第1光検知手段および第2光検知手段がそれぞれラインセンサカメラであることを特徴とする請求項1に記載の積層基板の検査装置。 - 判断手段が、積層基板の位置を検出する基板位置検出部と、検出された積層基板の位置および検知された光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する判断部とを具備することを特徴とする請求項1または2に記載の積層基板の検査装置。
- 透光性基板上に金属層が形成されるとともに金属層上に薄膜が形成された積層基板の、薄膜側から形成されたパターニングを検査する検査方法であって、
上記積層基板の透光性基板側に第1の光を照射するとともに、第1の光の照射と同時に上記積層基板の薄膜側に第2の光を照射し、
上記積層基板を透過した上記第1の光および上記積層基板で乱反射した上記第2の光を検知するとともに、上記積層基板で正反射した上記第2の光を検知し、
検知した第1の光および第2の光の状態に基づいてパターニングの良否を判断することを特徴とする積層基板の検査方法。
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