JPH0949806A - 鏡面体の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 鏡面体の極く微細な欠陥を少ない台数のカメ
ラで検査するために欠陥の種類や性状に応じた光源と受
光角度を求め、欠陥信号の幅と高さから欠陥の大きさを
判定し、欠陥信号の極性から欠陥の種類を判定し、又、
基準線から欠陥までの距離（Ｘ軸方向とＹ軸方向）を正
確に捉えることによって欠陥の真上に欠陥の種類、大き
さなどをマーキングすることができることを目的とする
ものである。 【解決手段】 所定の角度で鏡面体の表面を照射する棒
状の光源から投光された光の乱反射光を受光して電気信
号に変換する受光器を備えた第１検査手段と、所定の角
度で鏡面体を挟んでその両側に鏡面体の表面を照射する
棒状の光源から投光された光の正反射光と、透過光を受
光して電気信号に変換する受光器を備えた第２検査手段
とから構成された鏡面体の検査装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は鏡面体の検査装置、
更に詳しくは鏡面体の表面に蒸着した反射膜の欠陥の有
無とその性状を検査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の鏡面体の表面欠陥検査はもっぱら
目視で行われていたので、検査結果に個人差があり、そ
の上かなりの時間がかかっていた。又、一般的なシート
などの表面検査はＣＣＤカメラで信号を二値化し、しき
い値を越えたｂｉｔ数を欠陥の大きさとして捉えてい
た。又、従来の表面欠陥検査装置は画像処理で欠陥の種
類を判定している。更に又、鏡面体の欠陥を検出する
と、該欠陥部をマーキング装置で明示する必要がある
が、欠陥部自体を明示することは位置決め誤差などがあ
って、非常に難しく、どうしても欠陥部近傍にマーキン
グされていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前述した如く従来の鏡
面体の表面欠陥検査は、もっぱら目視で行われていたの
で、検査結果に個人差があり、その上かなりの時間がか
かっていた。又、一般的なシートなどの表面検査装置は
ＣＣＤカメラで信号を二値化し、しきい値を越えたｂｉ
ｔ数を欠陥の大きさとして捉えているので、検出すべき
最小の欠陥の３倍程度の分解能を有するカメラが必要
で、検出すべき欠陥サイズが極めて小さいとカメラ台数
を増設しなければならなかった。その上、レーザプリン
ターやＦＡＸなどは、その印字の分解能が上がるにつれ
て使われる鏡面体の微小な傷や欠陥が致命的な問題とな
るので、鏡面体を高精度に検査する必要があり、従来技
術ではどうしてもカメラ台数を増やさなければならなか
った。一方、ガラス板に主としてアルミなどよりなる反
射膜を貼設する蒸着工程の製造装置は大規模化し、鏡面
体のサイズも大型化してきているので、蒸着後の鏡面体
の表面欠陥を検出しようとするとかなりの台数の受光器
が必要となり、設備費も嵩むので経済的な負担が大きか
った。又、前述した如く従来の表面欠陥検査装置は画像
処理で欠陥の種類を判定しているので、ソフトによる画
像処理に時間がかかり、これがボトルネックとなって蒸
着工程の製造ライン速度を上げることが不可能であっ
た。そうかといってハードによる画像処理装置はあまり
にも高価なので簡単には導入することができないといっ
た悩みがあった。更に又、前述した如く鏡面体に欠陥を
検出すると、該欠陥部をマーキング装置で明示する必要
があるが、欠陥部自体を明示することは位置決め誤差な
どがあって非常に難しく、どうしても欠陥部近傍にマー
キングされていた。一方、レーザプリンターやＦＡＸに
使用される鏡面体は、大判の鏡面体を所定のサイズに細
長く裁断されるので、欠陥位置から離れた位置にマーキ
ングすると欠陥のある細長い鏡面体が良品になり、欠陥
のない良品の鏡面体が不良品となってしまう。又、鏡面
体の使用目的によっては許される欠陥もあるので、欠陥
の種類・性状などに応じてそれぞれ識別可能なマーキン
グをすることが好ましいが、そのようなマーキング装置
は存在しなかった。そこで本発明は上記した問題点に鑑
みて発明されたものであって、鏡面体の極く微細な欠陥
を少ない台数のカメラで検査するために、欠陥の種類や
性状に応じた光源と受光角度を求め、欠陥信号の幅と高
さから欠陥の大きさを判定し、欠陥信号の極性から欠陥
の種類を判定し、又、基準線から欠陥までの距離（Ｘ軸
方向とＹ軸方向）を正確に捉えることによって欠陥の真
上に欠陥の種類・大きさなどをマーキングすることがで
きることを目的とするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、次のような鏡面体の検査装置を提供する
ものである。すなわち、所定の角度で鏡面体の表面を照
射する棒状の光源から投光された光の乱反射光を受光し
て、電気信号に変換する受光器を備えた第１検査手段
と、所定の角度で鏡面体を挟んで、その両側に鏡面体の
表面を照射する棒状の光源から投光された光の正反射光
と透過光を受光して電気信号に変換する受光器を備えた
第２検査手段とから構成され、受光器の分解能以上の鏡
面体の欠陥の大きさをｂｉｔ数で、分解能以下の欠陥の
大きさを波高値でそれぞれ判別し、鏡面体の基準線から
欠陥までの距離を時間差で計測して該欠陥の位置を座標
上で確定し、その箇所に所定の記号を印字することをそ
の特徴とするものである。

【０００５】

【発明の実施の形態】本発明は所定の角度で鏡面体の表
面を照射する棒状の光源から投光された光の乱反射光を
受光して、電気信号に変換する受光器を備えた第１検査
手段と、所定の角度で鏡面体を挟んで、その両側に鏡面
体の表面を照射する棒状の光源から投光された光の正反
射光と透過光を受光して電気信号に変換する受光器を備
えた第２検査手段とから構成された鏡面体の検査装置を
特徴とするものである。これを図面に基づいて詳細に説
明する。第１図は本発明になる鏡面体の検査工程を示す
説明図で、蒸着装置（Ａ）でガラス板表面にアルミなど
よりなる反射膜を蒸着した鏡面体（１）はコンベア
（２）でシート押接装置（Ｂ）へ送られる。シート押接
装置（Ｂ）では、粘着シートを移動する鏡面体（１）の
反射膜の上に押しつけることにより反射膜表面の塵埃や
異物などを除去し、更に蒸着装置（Ａ）の運転条件の変
化等による反射膜の蒸着強度不足の部分を強制的に剥離
して反射膜が蒸着されていないピンホールを敢えて形成
することにより、以下の検査を容易にするものである。
図２はシート押接装置（Ｂ）の説明図で、粘着部を下方
に付設した粘着シート（５）は、ローラ（６）からロー
ラ（７）を経て、ローラ（８）に巻かれ、ローラ（７）
はその真下を矢印方向に移動する鏡面体（１）に所定の
圧で押接している。そして粘着シート（５）の巻き速度
は鏡面体（１）の移動速度と同調しているので鏡面体
（１）に蒸着された反射膜上の塵埃や異物などは完全に
除去されるものである。シート押接装置（Ｂ）を通過し
た鏡面体（１）はコンベア（２）で移動し、在荷センサ
ー（３）が鏡面体（１）の到達を検知する。そして検査
装置（Ｃ）内に検査中の鏡面体（１）が存在していなけ
れば鏡面体（１）はそのまま検査装置（Ｃ）内に移動す
るが、前走する鏡面体がまだ検査中の場合は該鏡面体の
検査が終了するまでコンベアは停止し、鏡面体（１）は
待機している。後述する検査装置（Ｃ）では、第１・２
検査手段で反射膜のキズ・異物・ピンホール・反射ムラ
などの欠陥の有無やその性状を検査して情報処理をおこ
ない、該欠陥の位置を座標軸上で確定し、欠陥の種類と
性状が記録され、記憶される。

【０００６】検査が終了した鏡面体（１）はコンベア
（２）でシート貼設装置（Ｄ）に運ばれ、鏡面体（１）
の反射膜の上にシートを貼設して反射膜に傷がついたり
塵埃などが付着したりするのを防ぐ。図３はシート貼設
装置（Ｄ）の説明図で、粘着シート（１０）は元ローラ
（９）から対接ローラ（１１）（１２）を経て鏡面体
（１）全面に貼られる。そしてローラ（１２）は昇降自
在なので、下降して真下を走行する鏡面体（１）を押接
しながら、粘着シート（１０）を鏡面体（１）表面の反
射膜に貼設する。（１３）はカッターである。シートの
貼設に際して、反射膜とシートの間に空気が入ったりシ
ワができないように密着して貼設することが好ましく、
その結果後述するマーキング作業で印字したマークは容
易に識別することができる。

【０００７】シートを貼った鏡面体（１）はコンベア
（２）でマーキング装置（Ｅ）に運ばれる。在荷センサ
ー（４）が鏡面体（１）の到達を検知し、マーキング装
置（Ｅ）内に鏡面体（１）が存在していなければ該鏡面
体（１）はマーキング装置（Ｅ）内に移動し、検査装置
（Ｃ）の情報処理部に記憶していた欠陥の座標上の位置
を図１１に示すＸＹロボット（１４）に、欠陥の種類と
大きさをインクジェットプリンター（１５）にそれぞれ
指示し、シートの上から欠陥の真上に欠陥の種類と欠陥
の大きさを印字する。一方マーキング装置（Ｅ）内に前
走する鏡面体（１）が存在していればコンベア（２）は
該鏡面体のマーキングが完了するまで待機している。

【０００８】次に第４図で検査装置（Ｃ）について説明
する、検査装置（Ｃ）内は投光、受光を効果的にし、余
分な光を遮るために暗室状態となっている。図４は平面
図、図５は側面図であって、鏡面体（１）はコンベア
（２）と接続するクラッチ内蔵ローラコンベア（２ａ）
で運ばれて検査装置（Ｃ）内に移動する。在荷センサー
（４８）が鏡面体（１）の到達を検知すると、コンベア
（２ａ）のクラッチがＯＦＦとなってローラは自由に回
動するので、鏡面体（１）はローラの惰性で進んでスト
ッパー（１６）（１７）に当接し、跳ね返って若干戻っ
てフリーな状態で停止する。その時点でストッパー（１
６）（１７）は下降する。（１８）（１８）はコンベア
（２ａ）の両側に配設され、コンベア（２ａ）の上を部
材が架橋している移動台車で、該移動台車はモータ（１
９）の軸に連結するボール螺子（２０）と噛合している
ので、鏡面体（１）の移動方向に所定の速度で自在に移
動するものである。そして移動台車（１８）上にはシリ
ンダー（２１）・（２２）・チャッキングアーム（２
３）（２４）がそれぞれ搭載されている。

【０００９】まず、シリンダー（２１）を作動してシリ
ンダー杆を限度長延伸してチャッキングアーム（２３）
を所定の距離移動して鏡面体（１）の側面に接近せしめ
続いてシリンダー（２２）を作動してチャッキングアー
ム（２４）で鏡面体 （１）の他側面をチャッキンアー
ム（２３）側に押しつける。シリンダー（２２）で鏡面
体（１）を押す力はシリンダー（２１）のそれよりも弱
く設定されているので鏡面体（１）はチャッキングアー
ム（２３）で規制された位置で停止する。（２５）（２
６）（２７）はチャッキングアーム（２３）内側に付設
した位置決め板であり、（２８）（２９）はチャッキン
グアーム（２４）内側に付設した位置決め板で、該位置
決め板は耐摩耗性でかつ滑り特性のある合成樹脂で加工
され、取替え・移動自在となっている。

【００１０】次にチャッキングアーム（２３）（２４）
後端に付設するプッシャー（３０）（３１）が作動し
て、鏡面体（１）の長手方向の側面の両端を移動方向に
押し、鏡面体（１）の他の長手方向の側面を位置決め板
（２７）（２９）に当接せしめる。その結果、鏡面体
（１）は位置決め板（２５）（２６）（２８）の３点
と、（２７）（２９）の２点で規制され、位置決めされ
る。鏡面体（１）を強制的に規制すると歪みが残ったり
移動途中で位置ズレが生じる可能性があるので、これを
避けるために、フリーな状態で位置決めされている鏡面
体（１）の位置を再度調節する。すなわち、プッシャー
（３０）（３１）、シリンダー（２１）（２２）の作動
を一旦解除した後、再度作動して上記した動作を繰り返
して鏡面体（１）の位置を決める。２回の作動で鏡面体
（１）はフリーな状態で所定位置に位置決めされる。

【００１１】鏡面体（１）のチャッキングが終了したこ
とを在荷センサー（３２）が検知すると、コンベア
（２）上で鏡面体（１）の長手方向に配設された第１検
査手段である複数基の反射用カメラ（３３）（本実施例
では後述する３基のカメラ）が作動して検査を開始す
る。検査が終了するとモータ（１９）を作動して移動台
車（１８）を移動せしめて鏡面体（１）を所定の速度で
運び、在荷センサー（３４）が鏡面体（１）を検知する
とコンベア（２）上で鏡面体の長手方向に配設された第
２検査手段である透過・反射用カメラ（３５）（本実施
例では後述する３基のカメラ）が作動して検査を開始す
る。検査方法については後述する。

【００１２】すべての検査が終了すると、プッシャー
（３０）（３１）、シリンダー（２１）（２２）の作動
を解除して元の位置に後退せしめ、鏡面体（１）を規制
から開放する。そしてモータ（１９）を逆に作動して台
車（１８）を元の位置に復帰せしめ、ストッパー（１
６）（１７）を起立せしめて次の鏡面体（１）の検査に
備えるものである。一方検査が終了した鏡面体（１）は
クラッチが入ったコンベア（２ａ）で検査装置（Ｃ）の
外へ運ばれ、在荷センサー（３６）が鏡面体（１）を検
知するとコンベア（２ａ）のクラッチはＯＦＦとなる。
次に鏡面体（１）の検査方法について、図９、図１０に
基づいて説明する。鏡面体（１）の検査は第１検査手段
である図９の反射用カメラ（３３）と、第２検査手段で
ある図１０の透過・反射用カメラ（３５）でおこなわれ
る。図９は第１図検査手段である反射用カメラ（３３）
と反射用光源（３７）の位置関係を示している。図にお
いて（３３）は鏡面体（１）の真上で、かつ該鏡面体
（１）の移動方向に直交する方向で一直線状となって垂
設する複数基の反射用カメラである。

【００１３】そして、光源（３７）は反射用カメラ（３
３）の光軸から１０°傾斜して鏡面体（１）の反射膜に
向かって配置されている。したがって、反射用光源（３
７）から出た光は１０°の角度から鏡面体（１）に投光
されるので、鏡面体（１）から反射した光は反射用カメ
ラ（３３）に受光されない。しかし、鏡面体（１）の反
射膜上に異物などがあったり傷がついて表面が凹凸状に
なっていると、反射用光源（３７）から出た光はこれら
の欠陥部に当たって散乱し、その散乱光の一部が反射用
カメラ（３３）に受光され、それが欠陥信号となる。こ
こで光源（３７）が反射用カメラ（３３）の光軸に対し
て１０°傾斜させているのは、光源（３７）からの光が
傷・異物などに当たると散乱し、散乱光による信号レベ
ルは投光軸から１０°傾斜した位置でピークに達するこ
とが実験で判明したからである。しかし傾斜角度を１０
°に特に限定するものではない。図６において、（Ａ）
は欠陥信号、（Ｂ）は検査範囲、（Ｃ）は検査開始から
欠陥までのゲート時間、（Ｄ）はクロック数、（Ｅ）は
ゲート時間（Ｃ）とクロック数（Ｄ）のＡＮＤを示す。
カメラの分解能は検査範囲とｂｉｔ数で決定され、本発
明では１ｂｉｔが６５μｍとすることにより、鏡面体
（１）の基準線（鏡面体（１）の移動方向右側面）から
欠陥までの位置は、（Ｅ）のクロック数に６５μｍを掛
けた積から求められる。（Ｘ軸方向）。又、鏡面体
（１）は一定速度で移動しているので、センサー（３
２）が検知して検査を開始した時点から欠陥検出までの
時間を計測することにより、鏡面体（１）の流れ方向の
位置（Ｙ軸方向）を確定することができる。

【００１４】図７において（Ｆ）は欠陥信号（Ａ）を拡
大したもの、（Ｇ）は２値化信号、（Ｈ）はクロック数
を示す。前記したように欠陥の大きさはクロック数
（Ｈ）に６５μｍを掛けた積から求められる。ところが
６５μｍ以下の欠陥の大きさは欠陥信号の波高値と略比
例しているので、あらかじめ決められた欠陥検出基準に
基づいてしきい値を設定し、そのしきい値が６５μｍ以
上のときはｂｉｔ数で、しきい値が６５μｍ以下のとき
は波高値でそれぞれ欠陥の大きさを確定し、さらにそれ
ぞれを、例えば大・中・小のような３区分に区分けす
る。図１０は第２検査手段である透過反射用カメラ（３
５）と、反射用光源（３８）と透過用光源（３９）の位
置関係を示している。（３８）は鏡面体（１）の垂直軸
からカメラ（３５）の反射側に１０°傾斜して配設され
ている照度ムラの少ない棒状の反射用光源である。（３
９）は透過、反射用カメラ（３５）の光軸の延長上で鏡
面体（１）の下位に配置されている照度ムラの少ない棒
状の透過用光源である。

【００１５】したがって、反射用光源（３８）から出た
光は鏡面体（１）に当たり、反射して透過・反射用カメ
ラ（３５）に受光されるが、反射膜が薄く反射率の低下
した部分に反射用光源（３８）の光が当たると、透過・
反射用カメラ（３５）に受光する光が減衰し、欠陥信号
となる。また異物や傷などに当たると、光が散乱し透過
・反射用カメラ（３５）への受光が減衰し、欠陥信号と
なる。一方、透過用光源（３９）から出た光は通常は反
射膜に遮られ透過・反射用カメラ（３５）に受光されな
いが、反射膜にピンホールなどがあると透過用光源（３
９）からの光は反射膜をを透過し、反射用光源（３８）
からの反射光に加算されて透過・反射用カメラ（３５）
に受光され、これも欠陥信号となるものである。鏡面体
（１）の垂直軸に対し、カメラ（３５）と反射用光源
（３８）が鏡面体の垂直軸に対してそれぞれ１０°傾斜
しているのは、この傾斜角度でもっとも欠陥が捉えやす
いからである。

【００１６】図８において（Ｉ）は欠陥信号、（Ｊ）は
検査範囲信号、（Ｋ）は検査開始からピンホールまでの
ゲート時間、（Ｌ）は検査開始から反射ムラまでのゲー
ト時間、（Ｍ）はクロック数、（Ｎ）は（Ｋ）と（Ｍ）
のＡＮＤ、（０）は（Ｌ）と（Ｍ）のＡＮＤをそれぞれ
示す。鏡面体（１）の基準線から欠陥までの位置（Ｘ
軸）は（Ｎ）または（Ｏ）に６５μｍを掛けた積で求め
られ、センサー（３４）が検知して透過・反射用カメラ
（３５）が検査を開始してから欠陥検出までの時間を計
測することにより、鏡面体（１）の移動方向の位置（Ｙ
軸）が確定される。上記したように反射用カメラ（３
３）と透過・反射用カメラ（３５）で鏡面体（１）を２
回検査した結果、反射用カメラ（３３）で検出した欠陥
の位置と透過・反射用カメラ（３５）で検出した増光側
欠陥の位置が一致した時はその欠陥は異物であり、それ
が細長い形状であれば傷である。又、反射用カメラ（３
３）では検出できず透過・反射用カメラ（３５）で検出
した増光側欠陥はピンホールであり、透過・反射用カメ
ラ（３５）で検出した減衰側欠陥は反射ムラである。そ
して、異物・傷・ピンホール・反射ムラの４種類の欠陥
は、上記したようにその大きさによって例えば大・中・
小に３区分され、それぞれに所定の記号がマーキングさ
れる。

【００１７】次に図１１、図１２に基づいてマーキング
装置（Ｅ）について説明する。図１１は平面図、図１２
は側面図である。マーキング装置（Ｅ）は、コンベア
（２）・ストッパー（４０）（４１）・プッシャー（４
２）（４３）・基準位置用サイドプッシャー（４４）
（４５）・サイドプッシャー（４６）（４７）・ＸＹロ
ボット（１４）・インクジェットプリンター（１５）で
形成されており、ＸＹロボット（１４）・インクジェッ
トプリンター（１５）は既に公知のもので特に限定する
ものではない。コンベア（２）で移動してきた鏡面体
（１）はストッパー（４０）（４１）に当接して停止す
る。続いて基準位置用サイドプッシュー（４４）（４
５）が作動して基準位置を出し、サイドプッシャー（４
６）（４７）も作動して鏡面体（１）を挟み込む。サイ
ドプッシャー（４６）（４７）の力は基準位置用サイド
プッシャー（４４）（４５）よりも小さく設定されてい
るので、基準位置がずれることはない。次にプッシャー
（４２）（４３）が作動して鏡面体（１）を後から押
し、鏡面体（１）をストッパー（４０）（４１）に当接
させる。しかし鏡面体（１）はその両側をプッシャー
（４４）（４５）（４６）（４７）で規制されているの
で、プッシャー（４２）（４３）で鏡面体（１）を押し
ても該鏡面体（１）がストッパー（４０）（４１）に当
接しないこともある。その際はまずプッシャー（４２）
（４３）の作動を、続いてサイドプッシャー（４４）
（４５）（４６）（４７）の作動を解除して、鏡面体
（１）をフリーな状態にして元の状態に復帰せしめた
後、再度各プッシャーとストッパーを順次作動せしめて
鏡面体（１）をフリーな状態で正規の位置に位置決めす
るのが好ましい。プッシャー（４４）（４５）（４６）
（４７）ストッパー（４０）（４１）先端には、対摩耗
性・滑り特性がある合成樹脂製の位置決め板がそれぞれ
付設している。

【００１８】鏡面体（１）の基準位置が確定されると、
検査装置の情報処理部からＸＹロボット（１４）に欠陥
の番号と位置情報が送信され、該ＸＹロボット（１４）
はそれらの情報を基に座標上で示された欠陥の位置を正
確に捉えるように作動する。一方、検査装置の情報処理
部からインクジェットプリンター（１５）にも欠陥の番
号・種類・大きさなど全ての情報が送られる。ファック
スやプリンター等の光学系に使われる鏡面体は、例えば
１５ｍｍ幅に細長く裁断されるので、欠陥位置からずれ
てマーキングされると欠陥品が良品となったり、あるい
は良品が欠陥品となったりする。したがって欠陥の程度
を示す例えば×・△・のマーキングの中心に欠陥部が位
置するように印字しなければならない。そのために反射
用カメラ（３３）や透過・反射用カメラ（３５）の位置
ずれ、検査装置（Ｃ）・マーキング装置（Ｅ）内の鏡面
体（１）の位置合わせ・位置決め誤差などを補正する必
要がある。その補正方法は、まず鏡面体（１）の検査に
入る前に鏡面体（１）と同一サイズの金属板を検査工程
に流す。該金属板には、鏡面体の欠陥に相当する複数の
微細な孔を所定の位置に穿設する。そして、鏡面体の検
査と同一の要領で検査をおこない、その検査結果から上
記の微細な孔の位置を算出する。一方、金属板に穿設さ
れた微細な孔の位置は既に確定しているので、「確定し
ている位置」と「算出した位置」とを勘案してカメラや
鏡面体の位置ズレの補正値を求める。以上の補正によ
り、ＸＹロボット（１４）は欠陥の正確な位置を捉え、
インクジェットプリンター（１５）がその位置に到来し
たらインクジェットプリンター（１５）に印字の指令を
送る。そして、欠陥の種類である傷・異物・ピンホール
・反射ムラを例えばＫ・Ｂ・Ｐ・Ｍの文字で表示し、そ
の大きさを３区分して例えば×・△・の記号で表示する
とすれば、ピンホールのような大欠陥であればＰ×、傷
のような中欠陥であればＫ△とマーキングされる。そし
て、これらのマーキングは何れも欠陥部の真上に文字が
くるように印字される。したがって欠陥が鏡面体（１）
の端部に存在する場合は、文字が鏡面体からはみ出るの
で、その場合は×Ｐ・△Ｋというように記号を先行して
印字する。本発明での文字の大きさは径が４ｍｍであ
る。当然ながら欠陥情報だけでなく製品番号・ロットナ
ンバーなど必要な情報を所定の位置に印字することも可
能である。

【００１９】全ての欠陥情報が鏡面体（１）の表面に貼
設した反射膜上に印字されると、プッシャー（４２）
（４３）が後退し、ストッパー（４０）（４１）は下降
して、基準位置用サイドプッシャー（４４）（４５）と
サイドプッシャー（４６）（４７）は元の位置に復帰
し、鏡面体（１）は規制から開放されてフリーとなる。
続いてローラコンベア（２）が作動して鏡面体（１）は
マーキング装置（Ｅ）から搬出され、ストッパー（４
０）（４１）は上昇して次の鏡面体のマーキングに備え
るものである。

【００２０】本発明は以上説明したように、反射用カメ
ラ（３３）と透孔、反射用カメラ（３５）で鏡面体
（１）を２回検査して欠陥の種類と位置を検出できるも
のであって、受光器の分解能以上の鏡面体の欠陥の大き
さをｂｉｔ数で、分解能以下の欠陥の大きさを波高値で
それぞれ判別できるものであり、鏡面体の基準線から欠
陥までの距離を時間差で計測して該欠陥の位置を座標上
で確定し、その箇所に所定の記号を印字することができ
るものである。

【００２１】

【実施例】以下本発明の実施例について説明すると、鏡
面体は９００×６００×４ｍｍのガラス表面にアルミな
どよりなる反射膜が蒸着装置（Ａ）で形成され、コンベ
アでシート押接装置（Ｂ）へ送られて反射膜表面の塵埃
や異物などが除去され、次いで検査装置（Ｃ）の第１、
２検査手段で反射膜の傷、異物、ピンホール、反射ムラ
などの欠陥の有無やその性状が検査される。第１検査手
段に用いられる反射用カメラ（３３）には分解能が５０
００ｂｉｔのカメラ３基が用いられる。又これに用いら
れる光源（３７）は照度ムラの少ない棒状の反射用光源
が用いられ、その光源は石英で加工された１５φ・長さ
１ｍの円柱の両端にリフレクターとランプを付設し、円
柱の最底部の周面６ｍｍの長手方向にわたって反射塗料
が塗布されているものを用いた。本実施例での反射用光
源（３７）の出力は１３，０００ルックスである。又、
第２検査手段に用いられる透過反射用カメラ（３５）は
鏡面体の移動方向に直交する方向で一直線となって３基
配置され、その分解能が５０００ｂｉｔのカメラを用い
た。

【００２２】第２検査手段に用いられる反射用光源（３
８）は鏡面体（１）の垂直軸からカメラ（３５）の反対
側に１０°傾斜して配設されている照度ムラの少ない棒
状の反射用光源で、該光源は石英で加工された１５φ・
長さ１ｍの円柱の両端にリフレクターとランプを付設
し、円柱の最底部の周面６ｍｍの長手方向にわたって反
射塗料が塗布されているものである。 本実施例での反
射用光源（３８）の出力は３００ルックスである。（３
９）は透過・反射用カメラ（３５）の光軸の延長上で鏡
面体（１）の下位に配置されている、照度ムラの少ない
棒状の透過用光源で、該光源は石英で加工された１５φ
・長さ１ｍの円柱の両端にリフレクターとランプを付設
し、円柱の最底部の周面６ｍｍの長手方向にわたって反
射塗料が塗布されているものを用いた。又、本実施例で
の反射用光源（３９）の出力は１５００ルックスであ
り、該光源（３９）には鏡面体（１）の反射膜近傍で集
光するようにシリンドリカルレンズが取付けられて照度
アップが施されたものを用いた。

【００２３】以上の如き本発明になる鏡面体の検査装置
は、分解能が５０００ｂｉｔのカメラを３基配設し、６
５μｍ以下の欠陥に対しては欠陥検出のしきい値を電圧
レベルで設定して見掛けの分解能を上げたのでカメラの
台数を大幅に減らすことができた。したがって、従来の
表面検査装置のように検出すべき最小の欠陥の３倍程度
の分解能を有するカメラを使用し、欠陥サイズが極小と
なるとカメラの台数を大幅に増設しなければならないと
いうことがなくなった。そのうえ、透過光と反射光を同
時に受光して欠陥信号の極性の違いから欠陥の判定を可
能にしたことによりカメラの台数は減り、正反射光と乱
反射光の組合せにより欠陥の種別を区分けすることも可
能とした。すなわち、カメラ（３３）で鏡面体の傷と異
物を、カメラ（３５）で鏡面体のピンホールと反射ムラ
をそれぞれ検出し、さらに各欠陥毎にその大きさによっ
て３段階に区分けすることができた。又、従来のマーキ
ング装置では欠陥の近傍に点・線等のマークをするのが
限界であったが、本発明ではチャッキング部の位置決め
誤差やマーキング部の位置決め誤差、あるいはカメラの
位置ズレなどを事前に補正することにより、欠陥の真上
に欠陥の種別を表示する文字を印字することができた。

【００２４】

【発明の効果】本発明に係わる鏡面体欠陥検査装置は、
コンベア、プッシャー、ストッパー、センサー、光源、
カメラ、ＸＹロボット、インクジェットプリンターなど
はすべて中央のＣＰＵで制御し作動され、ほとんど無人
化で検査がおこなわれるので生産性はは著しく向上し、
検査結果の精度も高いものであり、そのうえ下記のよう
な著しい効果が期待される。 (1) 欠陥の大きさを欠陥信号の大きさで求めることに
より、カメラの分解能以下の欠陥が検査でき、カメラの
台数を減らすことができた。 (2) 欠陥信号の極性と透過性・反射光の組合せにより
欠陥の種類を弁別することができた。 (3) 鏡面体の位置決めを補正することにより、位置決
め精度が向上し、欠陥の真上にマーキングすることが可
能となった。 (4) 鏡面体を細長く裁断しても不良品を良品とするよ
うなトラブルの発生を解消することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】鏡面体の検査工程を示す平面図

【図２】シート押接装置の説明図

【図３】シート貼設装置の説明図

【図４】検査装置の平面図

【図５】同上の側面図

【図６】欠陥信号、検査範囲信号、検査開始から欠陥ま
でのゲートの時間、クロック数ゲート時間とクロック数
のＡＮＤを示す信号の説明図

【図７】欠陥信号を拡大したもの、２値化信号、クロッ
ク数を示す説明図

【図８】欠陥信号、検査範囲信号、検査開始からピンホ
ールまでのゲート時間、検査開始から反射ムラのまでの
ゲート時間、クロック数の信号の説明図

【図９】第１検査手段を示す説明図

【図１０】第２検査手段を示す説明図

【図１１】マーキング装置の平面図

【図１２】同上の側面図

【符号の説明】

Ａ 蒸着装置 Ｂ シート押接装置 Ｃ 検査装置 Ｄ シート貼設装置 Ｅ マーキング装置 １ 鏡面体 ２ コンベア 2a クラッチ内蔵ローラコンベア ３ 在荷センサー ４ 在荷センサー ５ 粘着シート ６ 元ローラ ７ 押圧ローラ ８ 巻取りローラ ９ 元ローラ 10 粘着シート 11 対接ローラ 12 対接ローラ 13 カッター 14 ＸＹロボット 15 プリンター 16 ストッパー 17 ストッパー 18 移動台車 19 モータ 20 ボール螺子 21 シリンダー 22 シリンダー 23 チャッキングアーム 24 チャッキングアーム 25 位置決め板 26 位置決め板 27 位置決め板 28 位置決め板 29 位置決め板 30 プッシャー 31 プッシャー 32 在荷センサー 33 反射用カメラ 34 在荷センサー 35 透過反射用カメラ 36 在荷センサー 37 反射用光源 38 反射用光源 39 透過用光源 40 ストッパー 41 ストッパー 42 プッシャー 43 プッシャー 44 プッシャー 45 プッシャー 46 サイドプッシャー 47 サイドプッシャー

フロントページの続き (72)発明者 石垣 秀倫 静岡県富士市鮫島２番地の１ 旭エンジニ アリング株式会社内 (72)発明者 落合 明夫 静岡県小笠郡菊川町本所2219−８ (72)発明者 小林 康志 静岡県藤枝市高岡４丁目７番13号 (72)発明者 小林 明芳 静岡県島田市元島田246−６ (72)発明者 木村 健始 東京都中央区八重洲１丁目３番８号 大洋 商事株式会社内 (72)発明者 石崎 光 東京都中央区八重洲１丁目３番８号 大洋 商事株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の角度で鏡面体の表面を照射する棒
   状の光源から投光された光の乱反射光を受光して電気信
   号に変換する受光器を備えた第１検査手段と所定の角度
   で鏡面体を挟んでその両側に鏡面体の表面を照射する棒
   状の光源から投光された光の正反射光と透過光を受光し
   て電気信号に変換する受光器を備えた第２検査手段とか
   ら構成されたことを特徴とする鏡面体の検査装置
2. 【請求項２】 受光器の分解能以上の鏡面体の欠陥の大
   きさをｂｉｔ数で、分解能以下の欠陥の大きさを波高値
   でそれぞれ判別することを特徴とする上記請求項１記載
   の鏡面体の検査装置。
3. 【請求項３】 鏡面体の基準線から欠陥までの距離を時
   間差で計測して該欠陥の位置を座標上で確定し、その箇
   所に所定の記号を印字することを特徴とする上記請求項
   １、２記載の鏡面体の検査装置。