JP2007298416A - シート状透明体検査装置、シート状透明体の検査方法およびシート状透明体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】明欠陥に対してより信頼性の高い検出を行うことができるシート状透明体検査装置を実現する。
【解決手段】本発明のシート状透明体検査装置１００は、シート状透明体５の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第一の透過光量を得る第一検査手段１０と、シート状透明体５の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明し、シート状透明体５を透過した光を受光して、第二の透過光量を得る第二検査手段２０とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート状透明体の欠陥を検査するシート状透明体検査装置、シート状透明体の検査方法およびシート状透明体の製造方法に関するものである。

シート状透明体を連続的に製造する工程では、シート状透明体の原料に混入した異物、ゲル、シート状透明体内部の気泡や空洞、シート状透明体表面の凹みや疵や突起等に起因した欠陥が発生することがある。これら欠陥は、大きさによってはシート状透明体の品質に与える影響が大きいため、該欠陥を含むシート状透明体は、該欠陥を含む領域を切除しなければ製品として出荷できない場合が生じる。

近年、液晶等に用いる光学フィルムや精密な電子機器部品等に用いる高機能性フィルムにおける欠陥に対する要求規格は厳しくなる傾向にある。このため、これらのシート状透明体の製造はクリーンルームで行われている。

しかしながら、クリーンルーム内で製造を行なった場合でも、シート状透明体の切り屑、埃、繊維状の異物等の混入を完全には防ぐことができない。具体的には、運転員の出入によって衣服から脱落した繊維状の異物や埃が侵入する場合がある。また、シート状透明体の製品規格外の端部をインラインでスリットする工程がある場合、スリットの部分で発生した微小のシート状透明体の切り屑が工程内に飛散することが起こり得る。

このようなシート状透明体の切り屑、埃、繊維状の異物等が、工程内で飛散してシート状透明体の表面に付着することがあり、これらの異物を除去するために粘着ロールや除塵装置が用いられている。しかしながら、上記異物などを完全に取り除くことは現実的には困難である。

上記異物は、有害異物と無害異物とに分類される。有害異物とは、シート状透明体の最終工程の製品として巻き取るまでに、除去することができない異物であり、無害異物（付着異物）とは、最終工程の製品として巻き取るまでに除去することができる異物である。

シート状透明体の生産工程では、シート状透明体に有害異物による欠陥が発生した場合には、迅速に前工程に情報をフィードバックして対処する必要がある。このため、シート状透明体の生産工程の途中で、自動欠陥検査装置などによって検査を行っている。しかしながら、検出する異物の中には無害異物が混在するため、無害異物も有害異物として検出してしまうといった問題があった。

更には、シート状透明体が高速で移動する場合には、例えば、工程の状態によって、シート状透明体の移動方向に対して垂直方向の振動が発生する場合があるため、検出感度を高くすると、外乱によって異物などの実体がない領域を異物欠陥と誤判定するという問題があった。

これらの問題を解決するために、シート状透明体における異物などを検査する検査装置として、様々な装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１では、シート状透明体の移動方向と直交する方向に走査する２式以上の検査カメラを設置し、第一の検査カメラではシート状透明体の法線方向からの透過光を検出し、第二の検査カメラではシート状透明体により屈折した透過光を検出し、両者の検出信号を比較して有害異物と無害異物とを分別する方法が開示されている。
特開平１０−１７６９９５号公報（１９９８年６月３０日公開）

しかしながら、上記従来の構成では、無欠陥のシート状透明体における透過光量と比べて透過光量が減少する暗欠陥を検出することができるが、無欠陥のシート状透明体における透過光量と比べて透過光量が増加する明欠陥を検出することが困難であるという問題を生じる。

一般的に、シート状透明体の空洞欠陥、凹欠陥、疵などの明欠陥は、欠陥のないシート状透明体よりも厚みが薄いことにより、透過光の輝度が高くなることを利用して検出しているが、明欠陥はＳ／Ｎ比が小さく、検出漏れが発生し易い。

明欠陥を検出するための透過光量（輝度信号）のしきい値を、欠陥のない透過光量の値に近づけ、明欠陥の検出感度を向上させることにより、明欠陥の検出漏れを軽減させると、シート状透明体のフラット性や厚み分布や張力分布に起因した縦皺による照明光の乱反射の影響で、欠陥の無い領域を明欠陥として誤検出するといった問題が生じる。

また、シート状透明体の付着異物には、その種類や形状によって検査用照明光を遮ったり、透過したり、もしくは、乱反射したりする場合があり、特許文献１の方法では誤検出は免れないといった問題が生じる。

更には、第一の検査カメラは、シート状透明体の移動方向と直角に交差する方向に走査するため、シート状透明体全面の検査を行うことができず、有害な異物欠陥を見逃す場合が生じるといった問題がある。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、明欠陥に対して信頼性の高い検出を行うことができるシート状透明体検査装置およびシート状透明体の検査方法、並びに該検査方法を用いたシート状透明体の製造方法を実現することにある。

本発明に係るシート状透明体検査装置は、上記課題を解決するために、シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第一の透過光量を得る第一検査手段と、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第二の透過光量を得る第二検査手段と、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における明欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴としている。

上記構成によれば、第一検査手段におけるシート状透明体を透過する光は、シート状透明体の表面に対して法線方向から照射される。よって、明欠陥における第一の透過光量は、無欠陥領域の透過光量に対して増加する。一方、第二検査手段におけるシート状透明体を透過する光は、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で照明される。このため、第二検査手段における明欠陥を透過する光の屈折角は、第一検査手段における明欠陥を透過する光の屈折角と比べて大きくなる。従って、明欠陥における透過光量は、無欠陥における透過光量よりも小さくなる領域が生じるため、無欠陥の透過光量に対する透過光量の増加量の程度（以下、明信号と記す）のみならず、無欠陥の透過光量に対する透過光量の減少量の程度（以下、暗信号と記す）によっても、明欠陥かどうかを判定することができる。

尚、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明することにより、明欠陥において、透過光が集光し易くなり、シート状透明体の表面に対して法線方向から照明した場合よりも、透過光量が大きくなり易い。このため、明信号による検出も高い信頼性で行うことができる。

一般的に、明欠陥であるかどうかを、明信号により判定する場合は、Ｓ／Ｎ比が小さいため判定の感度は低い。これに対して上記構成では、第一の透過光量の暗信号により、暗欠陥であるかどうかを判定し、暗欠陥ではないと判定した領域の第二の透過光量の暗信号および／または明信号により、該領域が明欠陥であるかどうかを判定することができる。従って、上記構成によれば、明欠陥に対して信頼性の高い検出を行うことができるシート状透明体検査装置を提供することができるという効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体検査装置では、シート状透明体の表面およびその裏面に付着した異物を除去する除塵手段を更に備え、上記欠陥検出手段は、更に、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における有害異物の暗欠陥を検出することが好ましい。

上記構成によれば、第一の検査手段により第一の透過光量を得た後、除塵手段によりシート状透明体の表面およびその裏面に付着した異物を除去し、第二の検査手段により第二の透過光量を得る。これにより、第一の検査手段で暗欠陥と判定された領域が、無害な異物によるものなのか、有害な異物によるものであるかを判定することができる。

従って、上記構成によれば、有害異物の暗欠陥に対してより信頼性の高い検出を行うことができるシート状透明体検査装置を提供することができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体検査装置では、上記欠陥検出手段は、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が大きい側の第一のしきい値と、無欠陥における第二の透過光量を基準として、透過光量が大きい側の第二のしきい値と、無欠陥における第二の透過光量を基準として、透過光量が小さい側の第三のしきい値とを用い、上記欠陥検出手段は、第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きく、且つ第二の透過光量が第二のしきい値よりも大きい領域、および第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きく、且つ第二の透過光量が第三のしきい値よりも小さい領域を明欠陥と判定することが好ましい。

上記構成によれば、第一のしきい値、第二のしきい値および第三のしきい値の値をシート状透明体の種類などに応じて適宜調整することにより、明欠陥に対してより信頼性の高い検出を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体検査装置では、上記欠陥検出手段は、更に、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が小さい側の第四のしきい値を用い、上記欠陥検出手段は、第一の透過光量が、第四のしきい値よりも小さく、且つ、第二の透過光量が、第三のしきい値よりも小さい領域を有害異物の暗欠陥と判定することが好ましい。

上記構成によれば、第四のしきい値の値を、シート状透明体の種類などに応じて適宜調整することにより、有害異物の暗欠陥に対してより信頼性の高い検出を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体検査装置は、シート状透明体を移動させるシート状透明体移動手段を更に備え、シート状透明体の移動方向の上流側から下流側に向かって、第一検査手段、除塵手段、第二検査手段が、この順に配置されていることが好ましい。

上記構成によれば、シート状透明体移動手段を備えているため、シート状透明体を移動させながら連続的に検査を行うことができる。従って、より効率良く検査を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体検査装置は、上記第二検査手段を、シート状透明体の表面と平行で、且つシート状透明体の移動方向と直交する方向に移動させ、位置決め停止させる第二検査手段移動手段を更に備えることが好ましい。

上記構成によれば、第二検査手段移動手段を備えているため、第二検査手段における光を照射する光源（照明）を、幅方向（シート状透明体の移動方向と直交する方向）におけるシート状透明体の全域に対応させて設ける必要がない。このため、上記光源の大きさ（光源が占める空間）を小さくすることができる。

一般的に、第二検査手段を、幅方向におけるシート状透明体の全域に対応させて設ける場合、光を照射する光源を、幅方向に沿って複数個並べて使用しなければならない。この場合、光源の長軸が同一線上に並ぶように、光源を幅方向に沿って配置すると、隣接する光源間の境界線で光源の強度が変化する。このため、隣接する光源を幅方向と直交する方向に交互にずらし、隣接する光源の端部における側面同士が接触するように配置する。従って、シート状透明体の移動方向における光源の幅は、光源単体の幅の略２倍となる。

上記構成では、光源を交互にずらして配置する必要が無いため、光源の占める領域を小さくすることができる。このため、第二検査手段によって第二の透過光量を測定するシート状透明体におけるロールピッチを短くすることができる。ロールピッチを短くすることにより、シート状透明体の振動や縦皺が抑制され、誤検出が抑えられる。従って、上記構成によれば、より信頼性の高い検出を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体検査装置では、上記除塵手段は、エアー吹付けおよび吸引手段、粘着ロール、回転式ブラシロールからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。

上記構成によれば、より効率良くシート状透明体の表面およびその裏面に付着した異物を除去することができる。

本発明に係るシート状透明体検査装置では、上記第一検査手段は、シート状透明体の全面に光を照射し、シート状透明体を透過した光を受光して、シート状透明体の全面における第一の透過光量を得ることが好ましい。

上記構成によれば、シート状透明体の全面に対して第一の透過光量を得るため、シート状透明体の全面に対して検査することができる。従って、シート状透明体の全面に対して漏れなく欠陥を検出することができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の検査方法は、上記課題を解決するために、シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第一の透過光量を得る第一検査工程と、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第二の透過光量を得る第二検査工程と、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における明欠陥を検出する明欠陥検出工程と、を含むことを特徴としている。

上記方法によれば、第一検査工程におけるシート状透明体を透過する光は、シート状透明体の表面に対して法線方向から照射されるため、明欠陥における第一の透過光量は、無欠陥領域の透過光量に対して増加する。

一方、第二検査工程におけるシート状透明体を透過する光は、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で照明される。このため、第二検査工程における明欠陥を透過する光の屈折角は、第一検査工程における明欠陥を透過する光の屈折角と比べて大きくなる。従って、明欠陥における透過光量は、無欠陥における透過光量よりも小さくなる領域が生じるため、明信号のみならず暗信号によっても、明欠陥かどうかを判定することができる。

尚、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明することにより、明欠陥において、透過光が集光し易くなり、シート状透明体の表面に対して法線方向から照明した場合よりも、透過光量が大きくなり易い。このため、明信号による検出も高い信頼性で行うことができる。

一般的に、明欠陥であるかどうかを、無欠陥の透過光量に対する透過光量の増加量の程度（以下、明信号と記す）により判定する場合は、Ｓ／Ｎ比が小さいため判定の感度は低い。これに対して上記方法では、第一の透過光量の暗信号により、暗欠陥であるかどうかを判定し、暗欠陥ではないと判定した領域の第二の透過光量の暗信号および／または明信号により、該領域が明欠陥であるかどうかを判定することができる。従って、上記方法によれば、明欠陥に対して信頼性の高い検出を行うことができるという効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の検査方法では、シート状透明体の表面およびその裏面に付着した異物を除去する除塵工程を更に含み、上記除塵工程を、第一検査工程後、第二検査工程前に行い、上記欠陥検出工程は、更に、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における有害異物の暗欠陥を検出することが好ましい。

上記方法によれば、第一の検査工程により第一の透過光量を得た後、除塵工程によりシート状透明体の表面およびその裏面に付着した異物を除去し、第二の検査工程により第二の透過光量を得ることにより、第一の検査工程で暗欠陥と判定された領域が、無害な異物によるものなのか、有害な異物によるものであるかを判定することができる。

具体的には、第一の透過光量の暗信号により、暗欠陥であるかどうかを判定した後、暗欠陥であると判定した領域の第二の透過光量の暗信号により、該領域が有害異物による暗欠陥であるか無害異物による暗欠陥であるかを判定することができる。従って、上記方法によれば、有害異物の暗欠陥に対して信頼性の高い検出を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の検査方法では、上記欠陥検出工程は、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が大きい側の第一のしきい値と、無欠陥における第二の透過光量を基準として、透過光量が大きい側の第二のしきい値と、無欠陥における第二の透過光量を基準として、透過光量が小さい側の第三のしきい値とを用い、上記欠陥検出工程は、第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きく、且つ第二の透過光量が第二のしきい値よりも大きい領域、および第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きく、且つ第二の透過光量が第三のしきい値よりも小さい領域を明欠陥と判定することが好ましい。

上記方法によれば、第一のしきい値、第二のしきい値および第三のしきい値の値をシート状透明体の種類などに応じて適宜調整することにより、明欠陥に対してより信頼性の高い検出を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の検査方法では、上記欠陥検出工程は、更に、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が小さい側の第四のしきい値を用い、上記欠陥検出工程は、第一の透過光量が、第四のしきい値よりも小さく、且つ、第二の透過光量が、第三のしきい値よりも小さい領域を有害異物の暗欠陥と判定することが好ましい。

上記方法によれば、第四のしきい値の値を、シート状透明体の種類などに応じて適宜調整することにより、有害異物の暗欠陥に対してより信頼性の高い検出を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の検査方法では、シート状透明体を移動させて、連続的に第一検査工程、除塵工程および第二検査工程を行なうことが好ましい。

上記方法によれば、シート状透明体を移動させるため、連続的にシート状透明体の検査を行うことができる。従って、より効率良く検査を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の検査方法では、上記第二検査工程を、第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きい領域および第一の透過光量が第四のしきい値よりも小さい領域のみに対して行うことが好ましい。

上記方法によれば、上記第二検査工程を、第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きい領域および第一の透過光量が第四のしきい値よりも小さい領域のみに対して行うため、上記第二検査工程を行なうための装置を、幅方向（シート状透明体の移動方向と直交する方向）におけるシート状透明体の全域に対応させて設ける必要がない。このため、第二検査工程によって第二の透過光量を測定するシート状透明体におけるロールピッチを短くすることができる。ロールピッチを短くすることにより、シート状透明体の振動や縦皺をより抑制することができる。従って、上記方法によれば、より信頼性の高い検出を行うことができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の検査方法では、上記除塵工程は、エアー吹付けおよび吸引手段、粘着ロール、回転式ブラシロールからなる群より選択される少なくとも１つの手段を用いて行うことが好ましい。

上記方法によれば、より効率良くシート状透明体の表面およびその裏面に付着した異物を除去することができる。

本発明に係るシート状透明体の検査方法では、上記第一検査工程では、シート状透明体の全面に光を照射し、シート状透明体を透過した光を受光して、シート状透明体の全面における第一の透過光量を得ることが好ましい。

上記方法によれば、シート状透明体の全面に対して第一の透過光量を得るため、シート状透明体の全面に対して検査することができる。従って、シート状透明体の全面に対して漏れなく欠陥を検出することができるという更なる効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の製造方法は、上記課題を解決するために、上記本発明に係るシート状透明体の検査方法により、シート状透明体を検査する工程を含むことを特徴としている。

上記方法によれば、上記本発明のシート状透明体の検査方法により、シート状透明体を検査するため、シート状透明体における明欠陥に対してより信頼性の高い検出を行うことができる。従って、明欠陥の少ないシート状透明体を効率良く製造することができるという効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体検査装置は、以上のように、シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第一の透過光量を得る第一検査手段と、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第二の透過光量を得る第二検査手段と、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における明欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴としている。

このため、明欠陥に対して信頼性の高い検出を行うことができるシート状透明体検査装置を提供することができるという効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の検査方法は、以上のように、シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第一の透過光量を得る第一検査工程と、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第二の透過光量を得る第二検査工程と、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における明欠陥を検出する明欠陥検出工程とを含むことを特徴としている。

このため、明欠陥に対して信頼性の高い検出を行うことができるという効果を奏する。

本発明に係るシート状透明体の製造方法は、以上のように、上記本発明に係るシート状透明体の検査方法により、シート状透明体を検査する工程を含むことを特徴としている。

このため、明欠陥の少ないシート状透明体を効率良く製造することができるという効果を奏する。

本発明の一実施形態について図１〜図４に基づいて説明すると以下の通りである。

尚、本明細書において、「シート状透明体」とは、特定の波長の光を透過し、形状がシート状物であるものを意味する。透過する上記光は、可視光には、限定されず、透過光量を検出することができれば、紫外光であっても赤外光であってもかまわない。

また、「明欠陥」とは、シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して得られる透過光量が、無欠陥の領域における透過光量と比較して増加する、無欠陥のシート状透明体よりも厚さが薄い、空洞欠陥、凹欠陥、疵などの欠陥を意味する。

また、「暗欠陥」とは、シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して得られる透過光量が、無欠陥の領域における透過光量と比較して減少する、光を遮ったり吸収する性質の異物による欠陥が挙げられる。

また、「有害異物」とは、シート状透明体の最終工程の製品として巻き取るまでに、除去することができない異物であり、シート状透明体の原料に混入した異物、ゲル、シート状透明体内部の気泡や空洞、シート状透明体表面の凹みや疵や突起などが挙げられる。尚、有害異物には、明欠陥のものと暗欠陥のものとが存在する。また、有害異物が、各種規定した大きさを越えて品質規格外となった領域を、有害異物欠陥という。

また、「無害異物」とは、シート状透明体の最終工程の製品として巻き取るまでに、後工程で除去することができる異物であり、衣服から脱落した繊維状の異物や埃や、シート状透明体の製品規格外の端部をインラインでスリットする工程において発生する微小のシート状透明体の切り屑などがシート状透明体表面に付着した異物が挙げられる。

また、「誤検出」とは、シート状透明体の振動の影響や、シート状透明体のフラット性や厚み分布や張力分布に起因した縦皺の影響などにより、自動欠陥検査において、実際にシート状透明体に欠陥がない状態でも欠陥として誤って検出することをいう。

また、「明信号」とは、無欠陥領域の透過光量よりも透過光量が大きい信号を意味し、「暗信号」とは、無欠陥の透過光量よりも透過光量が小さい信号を意味する。

本実施の形態に係るシート状透明体の検査方法は、シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第一の透過光量を得る第一検査工程と、シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第二の透過光量を得る第二検査工程と、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における欠陥を検出する欠陥検出工程とを含む。

シート状透明体の上記検査方法は、例えば、図１に示すシート状透明体検査装置を用いることによって実施することができる。以下に、本実施の形態に係るシート状透明体検査装置について説明する。

図１は、本実施の形態に係るシート状透明体検査装置の概略構成を示す斜視図である。また、図２は、上記シート状透明体検査装置における第二検査装置の概略構成を示す平面図である。

図１に示すように、本実施の形態に係るシート状透明体検査装置１００では、シート状透明体５は、ロール（シート状透明体移動手段）３１〜３６により、図中の矢印の方向に所定の速度で移動し、連続的に検査される。シート状透明体検査装置１００では、シート状透明体５の移動方向の上流側から下流側に向かって、シート状透明体５の第一の透過光量を求める第一検査手段１０、シート状透明体５の表面およびその裏面に付着した無害異物を除去するエアー吹付けおよび吸引手段（除塵手段）２１、シート状透明体５の第二の透過光量を求める第二検査手段２０が、この順に設けられている。また、シート状透明体検査装置１００は、第一検査手段１０および第二検査手段２０から送信された第一の透過光量および第二の透過光量に基づいて、欠陥の判定を行なう欠陥検出手段２２と、第一検査手段１０からの第一の透過光量に基づいてエアー吹付けおよび吸引手段（除塵手段）２１の駆動を制御する除塵制御手段２３とを備えている。

第一検査手段１０は、照明３と、検査用カメラ２と、処理部１とを備える。照明３は、シート状透明体５の幅方向（シート状透明体５の移動方向に対して直交する方向）における全領域を同時に照射することができ、シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照射するように設けられている。検査用カメラ２は、シート状透明体５を挟んで照明３と対向して設けられている。第一検査手段１０では、照明３によりシート状透明体５に対して光を照射し、検査用カメラ２によりシート状透明体５を透過した光を検出し、処理部１により、検出した光から第一の透過光量を求め、第一の透過光量を、その座標データと共に欠陥検出手段２２に送信する。

第二検査手段２０は、照明１３と、検査用カメラ１２と、処理部１１とを備える。照明１３は、図２に示すように、シート状透明体５の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照射するように設けられており、検査用カメラ１２は、シート状透明体５を挟んで照明１３と対向して設けられている。第二検査手段２０では、照明１３によりシート状透明体５に対して光を照射し、検査用カメラ１２によりシート状透明体５を透過した光を検出し、処理部１１により、検出した光から第二の透過光量を求め、第二の透過光量を、その座標データと共に欠陥検出手段２２に送信する。

尚、照明１３は、シート状透明体５の幅方向における全領域を同時に照射する構成とはなっておらず、第二検査手段移動手段（図示せず）により、第一の透過光量により欠陥（明欠陥または暗欠陥）と判断された領域に、検査用カメラ１２と共にシート状透明体５の幅方向に移動して、該領域における第二の透過光量を測定する。

エアー吹付けおよび吸引手段２１は、シート状透明体５の表面側と裏面側とに、エアーを送風するエアー吹付け部２１ａとエアー吸引部２１ｂとを、それぞれ１組づつ備えており、それぞれの面におけるエアー吹付け部２１ａとエアー吸引部２１ｂとは互いが対向するように設けられている。エアー吹付けおよび吸引手段２１は、シート状透明体５のそれぞれの面に対して、エアー吹付け部２１ａによりエアーを吹付け、異物を飛ばし、該異物をエアー吸引部２１ｂによって吸引することにより、シート状透明体５に付着した無害異物を除去する。

欠陥検出手段２２は、第一検査手段１０から送信される第一の透過光量と、第二検査手段２０から送信される第二の透過光量とを比較することにより、欠陥の有無の判定を行なう。以下に、図３を用いて、欠陥検出手段２２による欠陥の判定について説明する。

図３は、本実施の形態に係る欠陥検出手段２２による欠陥の判定の流れを示すフローチャートである。

欠陥検出手段２２は、特定の領域毎に、図３に示す流れで、該領域が無欠陥であるか、明欠陥であるか、誤検出であるか、若しくは暗欠陥であるかを判定する。更に、暗欠陥である場合には、該暗欠陥が有害異物であるのか、無害異物であるのかについて判定する。

一般的に、明欠陥であるかどうかを、無欠陥のシート状透明体５の透過光量に対する透過光量の増加量の程度（明信号）により判定する場合は、Ｓ／Ｎ比が小さいため判定の感度は低い。これに対して本実施の形態に係るシート状透明体検査装置１００では、第二検査手段２０は、検査用カメラ１２と照明１３との光軸と、シート状透明体５とによって成す角度が垂直よりも小さい角度となるように配置され、シート状透明体５の表面に対して、光を斜めから照明する構成となっている。これにより、シート状透明体５の明欠陥におけるコントラストを強調させることができる。例えば、明欠陥が、すり鉢状の凹欠陥の場合には、斜めから照明することによって陰影が生じるため、明欠陥を、無欠陥のシート状透明体５の透過光量に対する透過光量の減少量の程度（暗信号）により検出することが可能となる。

欠陥検出手段２２は、図３に示すように、工程Ｓ_１および工程Ｓ_２により、各領域における第一の透過光量を、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が大きい側のしきい値Ｔ_１（第一のしきい値）、または無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が小さい側のしきい値Ｔ₄（第四のしきい値）から逸脱した場合に、該領域を欠陥と判定する。すなわち、しきい値Ｔ_１よりも第一の透過光量が大きい場合には、上記領域は、シート状透明体５内部の空洞やゲル、シート状透明体表面の凹みや疵等の欠陥（明欠陥）と判定し（工程Ｓ_１）、透過光量が小さい側のしきい値Ｔ₄よりも第一の透過光量が小さい場合には、上記領域は、光を遮ったり、吸収したりする性質の欠陥（暗欠陥）であると判定する（工程Ｓ_２）。このとき、暗欠陥と判定した領域の中には、有害異物のみならず、上述した無害欠陥（付着異物）や誤検出も含まれている可能性がある。

上記しきい値Ｔ_１は、無欠陥における第一の透過光量よりも所定量だけ大きい値に設定される。しきい値Ｔ_１は、無欠陥における第一の透過光量よりも、無欠陥における第一の透過光量の明信号における変動幅の２倍以上大きい値に設定することが好ましい。つまり、Ｓ／Ｎ比が２以上となるようにしきい値Ｔ_１を設定することが好ましい。

また、上記しきい値Ｔ₄は、無欠陥における第一の透過光量よりも所定量だけ小さい値に設定される。しきい値Ｔ₄は、無欠陥における第一の透過光量よりも、無欠陥における第一の透過光量の暗信号における変動幅の２倍以上小さい値に設定することが好ましい。つまり、Ｓ／Ｎ比の絶対値が２以上となるようにしきい値Ｔ_４を設定することが好ましい。

また、第一の透過光量は、欠陥検出手段２２により、シート状透明体５における幅方向で光量分布として検出され、しきい値Ｔ_１若しくはＴ₄から逸脱した領域の光量分布の凹凸の幅から異物欠陥の幅を算出する。さらに、しきい値Ｔ_１若しくはＴ₄から逸脱した領域の光量分布を時系列に積算することにより、異物欠陥の最大幅や面積を算出することができる。

欠陥検出手段２２が、第一の透過光量により欠陥（明欠陥および暗欠陥）と判定した場合、欠陥検出手段２２は第二検査手段２０に、シート状透明体５の幅方向の位置（以下、幅方向座標と記す）と、検出した時間とシート状透明体５の移動速度とから換算したシート状透明体５の移動方向の位置（以下、移動方向座標と記す）とからなる座標データを送信する。また、同時に、欠陥検出手段２２は第二検査手段２０に、検出した欠陥について、欠陥の種類（暗欠陥または明欠陥）や、シート状透明体５の幅方向および移動方向における最大直径や、面積等の検出データを送信する。

また、寸法や形状などの情報および欠陥の座標データは、除塵制御手段２３にも送信され、第一の透過光量で欠陥と判定した場合には、除塵制御手段２３はエアー吹付けおよび吸引手段２１に対して駆動信号を送信し、上記欠陥と判定された領域が吸引手段２１を通過するタイミングで、吸引手段２１を駆動させる。

座標データを受信した第二検査手段２０は、座標データに基づいて、欠陥と判定された領域が、第二検査手段２０の検査用カメラ１２の検査視野を通過するタイミングに合わせて、第二検査手段２０における検査用カメラ１２と照明１３とを連動させて、シート状透明体５の幅方向で、上記座標データに基づいた位置に移動させ、第二の透過光量を測定する。

第二検査手段２０から、第二の透過光量が送信された後、欠陥検出手段２２は、図３に示す工程Ｓ_３〜工程Ｓ_５により、第一の透過光量により欠陥と判定した領域における第二の透過光量を、無欠陥のシート状透明体５の第二の透過光量を基準として、透過光量が大きい側のしきい値Ｔ_２（第二のしきい値）、透過光量が小さい側のしきい値Ｔ_３（第三のしきい値）とそれぞれ比較することにより、最終的に上記領域が明欠陥であるか、無害の暗欠陥であるか、有害の暗欠陥であるか、若しくは誤検出であるかを判定する。

具体的には、図３に示すように、工程Ｓ_１により明欠陥と判定した領域に対しては、工程Ｓ_３に進み、無欠陥のシート状透明体５の第二の透過光量を基準として、透過光量が大きい側のしきい値Ｔ_２と、上記領域の第二の透過光量を比較する。第二の透過光量が、しきい値Ｔ_２よりも大きい場合には、上記領域を明欠陥と判定する。第二の透過光量が、しきい値Ｔ_２よりも大きくない場合には、工程Ｓ_４に進み、無欠陥のシート状透明体５の第二の透過光量を基準として、透過光量が小さい側のしきい値Ｔ_３と、上記領域の第二の透過光量を比較する。そして、第二の透過光量が、しきい値Ｔ_３よりも小さい場合には、上記領域を明欠陥と判定し、第二の透過光量が、しきい値Ｔ_３よりも小さくない場合には、上記領域の判定は誤検出であると判定する。

一方、工程Ｓ_２により暗欠陥と判定した領域に対しては、工程Ｓ_５に進み、無欠陥のシート状透明体５の第二の透過光量を基準として、透過光量が小さい側のしきい値Ｔ_３と、上記領域の第二の透過光量を比較する。第二の透過光量が、しきい値Ｔ_３よりも小さい場合には、上記領域を有害異物と判定し、第二の透過光量が、しきい値Ｔ_３よりも小さくない場合には、上記領域を無害異物と判定する。

上記しきい値Ｔ_２は、無欠陥における第二の透過光量よりも所定量だけ大きい値に設定される。しきい値Ｔ_２は、無欠陥における第一の透過光量よりも、無欠陥における第一の透過光量の明信号における変動幅の２倍以上大きい値に設定することが好ましい。つまり、Ｓ／Ｎ比が２以上となるようにしきい値Ｔ_２を設定することが好ましい。

また、上記しきい値Ｔ_３は、無欠陥における第一の透過光量よりも所定量だけ小さい値に設定される。しきい値Ｔ_３は、無欠陥における第一の透過光量よりも、無欠陥における第一の透過光量の暗信号における変動幅の２倍以上小さい値に設定することが好ましい。つまり、Ｓ／Ｎ比の絶対値が２以上となるようにしきい値Ｔ_３を設定することが好ましい。

尚、本実施の形態では、工程Ｓ_４および工程Ｓ_５で用いるしきい値として、しきい値Ｔ_３のみを用いたが、工程Ｓ_４および工程Ｓ_５では、必ずしも同じしきい値を用いる必要は無く、条件などによっては別々のしきい値を用いてもよい。

また、工程Ｓ_５で有害異物と判定した場合でも、第二の透過光量により検出した欠陥が、第一の透過光量により検出した欠陥の幅方向および移動方向の座標からズレが生じているとき、この欠陥はエアー吹付けおよび吸引手段２１によってシート状透明体５の表面を移動したと認識して、付着異物（無害異物）であると判定する。このズレを判定するしきい値は、検査用カメラ１２の検出誤差、検査用カメラ１２の位置決め誤差、シート状透明体５の振動や撓み等の影響を算出し、ズレが生じ得る最大値以上に設定することが好ましい。

そして、第一検査手段１０で検出した欠陥の幅方向および移動方向の座標と、第二検査手段２０で検出した有害異物の座標とが合致し、かつ、第一検査手段１０および第二検査手段２０により検出した欠陥および有害異物の各々の最大直径や面積等が合致した場合には、欠陥検出手段２２は、この欠陥はエアー吹付けおよび吸引手段２１によって除去できない有害異物として判定する。

上述したように、本実施の形態に係る欠陥検出手段２２では、暗欠陥のみならず、検出感度の低い明欠陥に対しても信頼性の高い検出を行うことができる。

本実施の形態では、第二の透過光量により、明欠陥と誤検知とを分別することができるため、しきい値Ｔ_１の値を小さくすることができ、第一の透過光量における明欠陥の検出感度を向上させることができる。このため、従来は見逃していた明欠陥を検出することが可能である。つまり、しきい値Ｔ_１の値を、無欠陥を含んでしまうが、明欠陥を全て検出することができるような小さい値に設定し、工程Ｓ_３で、よりＳ／Ｎ比の高い暗信号および／または明信号により明欠陥と無欠陥（誤検出）とを正確に分別することにより、明欠陥に対して信頼性の高い検出を行うことができる。

更には、エアー吹付けおよび吸引手段（除塵手段）２１により、シート状透明体５の表面およびその裏面に付着した無害異物を除去する除塵工程を行なうことにより、第一の光量により暗欠陥と判定した領域を、有害異物の暗欠陥であるか、無害異物の暗欠陥であるかについて判定することができる。

本実施の形態では、第一検査手段１０の検査用カメラ２は、シート状透明体５の幅方向、およびシート状透明体５の移動方向の両方向おいて、検出が要求される最小の寸法の欠陥を検出することができる精度を有していることが好ましい。

例えば、検査用カメラ２として、一次元ＣＣＤセンサを用いる場合、シート状透明体５の幅方向は、検出が要求される欠陥の最小の寸法に対して、好ましくは１／４以下のサイズの分解能となるように検査視野を設定する。例えば、欠陥の最小の寸法が３０μｍの場合、検査用カメラ２の分解能は８μｍ以下であることが好ましい。

また、検査用カメラ２のシート状透明体５の移動方向の検出精度は、検出が要求される最小の異物欠陥の寸法に対して、好ましくは１／４以下のサイズの分解能となるように設定する。すなわち、シート状透明体５の移動方向における分解能は、シート状透明体５の移動速度に検査用カメラ２の最高走査周期を乗じた値の１／４以下に設定することが好ましい。このようにシート状透明体５の幅方向と移動方向とで分解能を設定すれば、一次元ＣＣＤセンサのビットのバラツキや、検査用カメラ２による欠陥の走査タイミングを考慮してもシート状透明体５全面積の欠陥の検査が可能となる。

本実施の形態のように、シート状透明体５の幅方向における全領域を漏れなく検査する場合で、且つ検査用カメラ２の視野がシート状透明体５の幅の長さよりも狭い場合には、シート状透明体５の幅方向における全領域を検査できるように、複数の検査用カメラ２をシート状透明体５の幅方向に並べて設置する。また、第一検査手段１０の照明３の有効幅に対して、シート状透明体５の幅の方が長い場合も同様にして、複数の照明３を並べて配置する。照明３を、幅方向におけるシート状透明体５の全域に対応させて配置する場合、光を照射する照明３を、幅方向に沿って複数個並べて使用しなければならないが、照明３の長軸が同一線上に並ぶように、照明３をシート状透明体５の幅方向に沿って配置すると、隣接する照明３間の境界線で照明３の強度が変化する。このため、隣接する照明３をシート状透明体５の幅方向と直交する方向に交互にずらし、隣接する照明３の端部における側面同士が接触するように配置することが好ましい。

また、欠陥に対してより信頼性の高い検出を行うためには、誤検出を低減させるために、透過光量を測定する領域におけるシート状透明体５の振動や縦皺を抑制させることが好ましい。シート状透明体５の振動や縦皺を抑制するためには、第一検査手段１０におけるシート状透明体５を移動させるロール３１・３２間のロールピッチＬ_１および第二検査手段２０におけるシート状透明体５を移動させるロール３５・３６間のロールピッチＬ_２を極力短くすることが好ましい。

本実施の形態では、第二検査手段２０の照明１３は、走査移動することによってシート状透明体５の幅方向における全領域の第二の透過光量を測定することができるため、第一検査手段１０のように、照明３を複数台設置する必要がない。このため、ロールピッチＬ_２は、ロールピッチＬ_１よりも短くすることができる。これにより、第一検査手段１０で検査するシート状透明体５と比べて、第二検査手段２０で検査するシート状透明体５の振動や縦皺が軽減される。

また、図２に示すように、照明１３の光軸と、シート状透明体５の表面とが成す角度は、ロール３５およびロール３６の高さを調整することにより、垂直（９０°）よりも小さい角度となるように調節される。言い換えれば、照明１３からの光のシート状透明体５への入射角θは、０°を超えるように調節される。

シート状透明体５に対して、照明１３からの光を、斜め方向から照射させることにより、第二の透過光量における明欠陥のコントラストを強調させることができる。シート状透明体５への照明１３からの光の入射角θは、明欠陥のコントラストの強調度合によって適宜調節し、好ましくは、５°〜３０°の範囲で調節する。

第二の透過光量における明欠陥のコントラストの強調について、図４を用いて、より具体的に説明する。

図４は、第二の透過光量における明欠陥のコントラストの変化を説明するための平面図である。

図４に示すように、明欠陥（凹欠陥）５０では、無欠陥の領域よりもシート状透明体５の厚さが薄いため、明欠陥５０を透過する光５２は、無欠陥の第二の透過光量よりも大きくなる。

しかしながら、第二検査手段２０（図１参照）におけるシート状透明体５を透過する光は、シート状透明体５の表面に対して９０°よりも小さい角度で照明される。このため、第二検査手段２０における明欠陥５０を透過する光の屈折角は、第一検査手段１０における明欠陥を透過する光の屈折角と比べて大きくなる。これにより、図４に示す光５１のように、明欠陥５０に入射する光の一部は、明欠陥５０の湾曲部の表面（界面）を透過する際に屈折したり、臨界角以上の光の入射角で入射することにより反射するため、検査用カメラ１２に到達する光量が著しく低下する。

従って、第二の透過光量における明欠陥のコントラストは強調され、明欠陥５０における第二の透過光量は、無欠陥における第二の透過光量よりも小さくなる領域が生じる。このため、第二の透過光量により、明信号のみならず暗信号によっても明欠陥を判定することができる。

尚、図４には示していないが、明欠陥を透過する光の一部が集光して光量が増加する場合もある。

第二の透過光量を測定する領域におけるシート状透明体５の傾きの方向は、本実施の形態のように下流側（ロール３５側）が高くなっていてもよいし、上流側（ロール３６側）が高くなっていてもよい。シート状透明体５に対して、照明１３からの光を、斜め方向から照明させることができれば、第二の透過光量における明欠陥のコントラストを強調させることができる。

尚、上述の説明では、除塵手段としてエアー吹付けおよび吸引手段２１を用いた場合について説明したが、これに限るものではない。エアー吹付けおよび吸引手段２１は、シート状透明体の物性や工程によっては適さない場合もあり、設置スペースなどの諸条件も考慮した上で、従来公知の除塵手段を、適宜選択若しくは組み合わせることが好ましい。例えば、エアー吹付けおよび吸引手段２１は、粘着ロールや回転式ブラシロールであってもよく、これらを併用したものでもよい。

粘着ロールは、スリット部分で発生したシート状透明体５の切り屑を除去するのに効果的であり、エアー吹付けおよび吸引手段２１と併用することが好ましい。

回転式ブラシロールは、シート状透明体５の移動方向と逆に回転するブラシロールを、シート状透明体５と接触させ、ブラシロールによって飛散した付着異物を吸引する装置であり、例えば、（株）伸興製ターボクリーナ（ＴＵＲＢＯ−ＳＳ型）が使用できる。ブラシロールとシート状透明体５との接触度合は、シート状透明体５の表面に疵が生じないことを確認しながら、付着異物の除去性能が最も良好となるように調節することが好ましい。更には、回転式ブラシロールを用いる場合には、回転式ブラシロールの入口側と出口側に除電装置を設置し、異物の再付着を防止することが好ましい。

また、上述の説明では、エアー吹付けおよび吸引手段２１は、除塵制御手段２３により間欠駆動する構成である場合について説明したが、これに限るものではない。常時起動していてもよい。但し、本実施形態のように、エアー吹付けおよび吸引手段２１が間欠駆動する構成の場合は、消費電力が抑制されるため好ましい。

また、上述の説明では、第一検査手段１０および第二検査手段２０が、それぞれ処理部１・１１を備える構成について説明したが、これに限るものではない。第一検査手段１０および第二検査手段２０が、処理部１・１１を備えないで、欠陥検出手段２２が処理部１・１１を備える構成であってもよい。つまり、第二検査手段２０が、任意の領域に移動し、該領域に対して光を照明し、第二の透過光量を得る構成である場合、処理部１１は、照明１３および検査用カメラ１２と共に移動しなくてもよい。

また、上述の説明では、第二検査手段２０が、任意の領域に移動し、該領域に対して光を照明し、第二の透過光量を得る構成である場合について説明したが、これに限るものではない。第一検査手段１０と同様に移動しない構成であり、シート状透明体５の幅方向における全領域を同時に照射することができる照明１３と、シート状透明体５の幅方向における全領域からの透過光を同時に検出することができる検査用カメラ１２とを備える構成であってもよい。第二検査手段２０が第二の透過光量を得ることができれば、本実施形態と略同様の効果が得られる。

但し、本実施形態のように、第二検査手段２０が、任意の領域に移動する構成である場合には、照明１３を交互にずらして配置する必要が無いため、ロール３５とロール３６とのロールピッチＬ_２を短くすることができる。このため、シート状透明体の振動や縦皺をより抑制することができ、より信頼性の高い検出を行うことができるため好ましい。

更には、本実施の形態に係るシート状透明体５の製造方法は、上述した本実施の形態に係るシート状透明体５の検査方法により、シート状透明体５を検査する工程を含む。

これにより、上記シート状透明体の検査方法により、シート状透明体５を検査するため、より高い信頼性でシート状透明体５における異常異物の暗欠陥と明欠陥とを検出することができる。

更には、上記シート状透明体５の製造方法では、上記検査結果に基づいて、シート状透明体５における明欠陥と判定した領域および異常異物の暗欠陥と判定した領域を除去する欠陥領域除去工程を含むことが好ましい。上記欠陥領域除去工程としては、本実施の形態に係るシート状透明体５の検査方法により、明欠陥と判定した領域および異常異物の暗欠陥と判定した領域を除去することができれば特には限定されず、従来公知の構成を用いることができる。

本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

本発明のシート状透明体検査装置は、明欠陥に対して信頼性の高い検出を行うことができるため、様々な種類のシート状透明体の欠陥の検査に好適に用いることができる。

本実施の形態に係るシート状透明体検査装置の概略構成を示す斜視図である。 上記シート状透明体検査装置における第二検査装置の概略構成を示す平面図である。 上記シート状透明体検査装置における欠陥検出手段による異物の判定の流れを示すフローチャートである。 第二の透過光量における明欠陥のコントラストの変化を説明するための平面図である。

符号の説明

１ 処理部
２ 検査用カメラ
３ 照明
５ シート状透明体
１０ 第一検査手段
１１ 処理部
１２ 検査用カメラ
１３ 照明
２０ 第二検査手段
２１ エアー吹付けおよび吸引手段（除塵手段）
２２ 欠陥検出手段
２３ 除塵制御手段
３１ ロール（シート状透明体移動手段）
３２ ロール（シート状透明体移動手段）
３３ ロール（シート状透明体移動手段）
３４ ロール（シート状透明体移動手段）
３５ ロール（シート状透明体移動手段）
３６ ロール（シート状透明体移動手段）
５０ 明欠陥
１００ シート状透明体検査装置

Claims (17)

1. シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第一の透過光量を得る第一検査手段と、
   シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第二の透過光量を得る第二検査手段と、
   第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における明欠陥を検出する欠陥検出手段と、
   を備えることを特徴とするシート状透明体検査装置。
2. シート状透明体の表面およびその裏面に付着した異物を除去する除塵手段を更に備え、
   上記欠陥検出手段は、更に、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における有害異物の暗欠陥を検出することを特徴とする請求項１に記載のシート状透明体検査装置。
3. 上記欠陥検出手段は、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が大きい側の第一のしきい値と、無欠陥における第二の透過光量を基準として、透過光量が大きい側の第二のしきい値と、無欠陥における第二の透過光量を基準として、透過光量が小さい側の第三のしきい値とを用い、
   上記欠陥検出手段は、第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きく、且つ第二の透過光量が第二のしきい値よりも大きい領域、および第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きく、且つ第二の透過光量が第三のしきい値よりも小さい領域を明欠陥と判定することを特徴とする請求項２に記載のシート状透明体検査装置。
4. 上記欠陥検出手段は、更に、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が小さい側の第四のしきい値を用い、
   上記欠陥検出手段は、第一の透過光量が、第四のしきい値よりも小さく、且つ、第二の透過光量が、第三のしきい値よりも小さい領域を有害異物の暗欠陥と判定することを特徴とする請求項３に記載のシート状透明体検査装置。
5. シート状透明体を移動させるシート状透明体移動手段を更に備え、
   シート状透明体の移動方向の上流側から下流側に向かって、第一検査手段、除塵手段、第二検査手段が、この順に配置されていることを特徴とする請求項４に記載のシート状透明体検査装置。
6. 上記第二検査手段を、シート状透明体の表面と平行で、且つシート状透明体の移動方向と直交する方向に移動させ、位置決め停止させる第二検査手段移動手段を更に備えることを特徴とする請求項５に記載のシート状透明体検査装置。
7. 上記除塵手段は、エアー吹付けおよび吸引手段、粘着ロール、回転式ブラシロールからなる群より選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項２〜６の何れか１項に記載のシート状透明体検査装置。
8. 上記第一検査手段は、シート状透明体の全面に光を照射し、シート状透明体を透過した光を受光して、シート状透明体の全面における第一の透過光量を得ることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載のシート状透明体検査装置。
9. シート状透明体の表面に対して法線方向から光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第一の透過光量を得る第一検査工程と、
   シート状透明体の表面に対して９０°よりも小さい角度で光を照明し、シート状透明体を透過した光を受光して、第二の透過光量を得る第二検査工程と、
   第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における明欠陥を検出する欠陥検出工程と、
   を含むことを特徴とするシート状透明体の検査方法。
10. シート状透明体の表面およびその裏面に付着した異物を除去する除塵工程を更に含み、
    上記除塵工程を、第一検査工程後、第二検査工程前に行い、
    上記欠陥検出工程は、更に、第一の透過光量と第二の透過光量とを比較することにより、シート状透明体における有害異物の暗欠陥を検出することを特徴とする請求項９に記載のシート状透明体の検査方法。
11. 上記欠陥検出工程では、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が大きい側の第一のしきい値と、無欠陥における第二の透過光量を基準として、透過光量が大きい側の第二のしきい値と、無欠陥における第二の透過光量を基準として、透過光量が小さい側の第三のしきい値とを用い、
    上記欠陥検出工程では、第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きく、且つ第二の透過光量が第二のしきい値よりも大きい領域、および第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きく、且つ第二の透過光量が第三のしきい値よりも小さい領域を明欠陥と判定することを特徴とする請求項１０に記載のシート状透明体の検査方法。
12. 上記欠陥検出工程では、更に、無欠陥における第一の透過光量を基準として、透過光量が小さい側の第四のしきい値を用い、
    上記欠陥検出工程では、第一の透過光量が、第四のしきい値よりも小さく、且つ、第二の透過光量が、第三のしきい値よりも小さい領域を有害異物の暗欠陥と判定することを特徴とする請求項１１に記載のシート状透明体の検査方法。
13. シート状透明体を移動させて、連続的に第一検査工程、除塵工程および第二検査工程を行なうことを特徴とする請求項１２に記載のシート状透明体の検査方法。
14. 上記第二検査工程を、第一の透過光量が第一のしきい値よりも大きい領域および第一の透過光量が第四のしきい値よりも小さい領域のみに対して行うことを特徴とする請求項１３に記載のシート状透明体の検査方法。
15. 上記除塵工程は、エアー吹付けおよび吸引手段、粘着ロール、回転式ブラシロールからなる群より選択される少なくとも１つの手段を用いて行うことを特徴とする請求項１０〜１４の何れか１項に記載のシート状透明体の検査方法。
16. 上記第一検査工程では、シート状透明体の全面に光を照射し、シート状透明体を透過した光を受光して、シート状透明体の全面における第一の透過光量を得ることを特徴とする請求項９〜１５の何れか１項に記載のシート状透明体の検査方法。
17. 請求項９〜１６の何れか１項に記載のシート状透明体の検査方法により、シート状透明体を検査する工程を含むことを特徴とするシート状透明体の製造方法。

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