JP2013115209A - 基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板8の裏面と対向する面に1つ以上の開口部を有する基板支持部材9と、基板8を搭載した基板支持部材9を駆動させて、イオンビーム3の少なくとも一部が基板8上に照射される照射領域とイオンビーム3が基板8上に照射されない非照射領域に基板8を搬送する基板駆動機構と、基板8の下流側でイオンビーム3が照射される位置に配置されたビーム電流計測器11を備えたイオンビーム照射装置1で、照射領域内に基板8が搬送されているときに、ビーム電流計測器11によって計測されたビーム電流の計測値に基づいて、基板割れの有無を検出する。
【選択図】図1
Description
図1のイオンビーム照射装置1は、質量分析機能を備えた装置であったが、質量分析機能を備えていない装置であっても構わない。その場合、図示される質量分析マグネット5と分析スリット6は不要となる。また、イオン源2の例として、図11にバケット型イオン源を挙げたが、これに限らず、従来から知られているバーナス型イオン源や傍熱型イオン源を用いても構わない。さらに、引出電極系4を構成する電極の枚数は、4枚である必要はなく、1枚以上であればよい。その場合、基板が割れていることを検出したタイミングで、イオンビーム3の引き出しに用いられる電極への印加電圧をゼロにするように構成しておけばよい。
2・・・イオン源
3・・・イオンビーム
4・・・引出電極系
7・・・処理室
8・・・基板
9・・・基板支持部材
11・・・ビーム電流計測器
14・・・基板駆動機構
18・・・開口部
Claims (8)
- イオンビームが照射される基板が配置された処理室と、
前記処理室内で、前記基板を支持し、前記基板の裏面と対向する面に1つ以上の開口部を有する基板支持部材と、
前記基板支持部材を前記イオンビームと交差する方向に駆動させることで、前記イオンビームの少なくとも一部が前記基板上に照射される照射領域と前記イオンビームが前記基板上に照射されない非照射領域に前記基板を搬送させて、前記基板の全面にイオンビーム照射処理を行う基板駆動機構と、
前記基板の下流側であって前記イオンビームが照射される位置に配置されているとともに、前記イオンビームの進行方向と前記基板の搬送方向に直交する方向において、前記基板の寸法と実質的に同じか、それよりも大きい寸法を有するビーム電流計測器を備えたイオンビーム照射装置であって、
前記照射領域内に前記基板が搬送されているときに、前記ビーム電流計測器によって計測されたビーム電流の計測値に基づいて、基板割れの有無を検出することを特徴とする基板割れ検出方法。 - 前記照射領域内の領域で、前記基板の搬送方向で前記基板上に前記イオンビームの一部が照射されている遷移領域を除く領域において、前記ビーム電流計測器によって計測されたビーム電流の計測値が所定の閾値を超えた場合に前記基板が割れていると判断することを特徴とする請求項1記載の基板割れ検出方法。
- 前記ビーム電流計測器は、1つのファラデーカップで構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の基板割れ検出方法。
- 前記ビーム電流計測器は、複数のファラデーカップで構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の基板割れ検出方法。
- 請求項1、2、3または4記載の基板割れ検出方法によって、前記基板が割れていることを検出した場合に、前記イオンビームの前記基板への照射を停止させることを特徴とするイオンビーム照射装置の運転方法。
- 前記イオンビームの前記基板への照射を停止させる場合、前記イオンビームの発生源にて、前記イオンビームの発生を停止させることを特徴とする請求項5記載のイオンビーム照射装置の運転方法。
- 前記基板駆動機構は、前記基板が割れていることを検出した後に、所定距離もしくは所定時間、前記基板を減速させながら搬送することを特徴とする請求項5または6記載のイオンビーム照射装置の運転方法。
- 前記基板駆動機構は、前記基板が割れていることを検出した後に、前記イオンビーム照射処理時に前記基板の搬送が開始された位置まで、前記基板を搬送することを特徴とする請求項5または6記載のイオンビーム照射装置の運転方法。
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