JP2013133192A - 搬送装置及び搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、搬送時に発生した異常を検出することができる搬送装置及び搬送方法を提供すること。
【解決手段】被搬送部品を被駆動手段に搭載して搬送する搬送装置であって、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、を有し、搬送監視手段は、被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出したトルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出したトルク微分値を用いて搬送状態を区分する、ことを特徴とする搬送装置により上記の課題が達成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウエハ、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその他の基板を搭載して搬送する場合に、該基板の搬送状態を検出する搬送装置及び搬送方法に関する。

半導体ウエハなどの基板を処理する装置（基板処理装置）には、基板待機部に保管されている基板を基板処理部に搬送するものがある。基板を基板処理部に搬送する方法としては、基板（被搬送部品）を搬送アーム（被駆動手段）に搭載し、その搬送アームをモータなど（駆動手段）の駆動力により移動させることで基板を所望の位置に搬送する方法がある。例えばモータ、プーリ及びベルトなどにより垂直方向及び／又は水平方向の移動機構を構成し、モータの回転駆動力を用いてプーリを回転し、回転しているプーリに掛け渡されたベルトを垂直方向及び／又は水平方向に移動させ、ベルトに連結された搬送アームを移動する。これにより、搬送アームに搭載された基板を所望の位置に搬送することができる。

特許文献１では、ベルトを介した駆動によりトレイを上下動させるスタッカーについて、ベルトの歯飛びをモータの回転速度の変動及び／又はトレイの位置から検出することができる技術を開示している。

特開２０１１−４２４６３号公報

基板処理のスループットを向上させるために、基板搬送時の異常を自動で検出することができる基板の搬送装置が求められている。また、基板搬送時の異常の対処時間を短縮するために、異常の検出と同時に、異常の原因（不具合の箇所）を自動で特定することができる搬送装置が求められている。ここで、異常の原因としては、モータの回転駆動力を伝達するカップリングやその回転軸を支持するベアリングの破損、ベルトの切れ（又はすべり）、搬送アーム（被駆動手段）の干渉及び衝突、搬送アームを所定の方向に案内するガイドの破損などがある。

特許文献１に開示されている技術では、カップリング、ベアリング若しくはガイドの破損又は搬送アームの干渉などの異常を検出することができない場合があった。例えばカップリング等の不具合により摩擦力が増加した場合には、その不具合を検出することができない場合があった。また、モータの回転速度の変動及びトレイの位置から搬送時に異常が発生したか否かを検出することができた場合でも、その異常の原因までを特定することができないときがあった。

本発明は、このような事情の下に為され、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、搬送時に発生した異常を検出することができる搬送装置及び搬送方法を提供することを課題とする。

本発明の一の態様によれば、被搬送部品を被駆動手段に搭載して搬送する搬送装置であって、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された前記被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、前記被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、を有し、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする搬送装置が提供される。また、前記駆動手段は、前記ベルトの移動に対応して回転する従属側プーリを更に含み、前記搬送監視手段は、前記モータの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果又は前記駆動側プーリの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。更に、前記搬送監視手段は、前記従属側プーリに作用する前記ベルトの張力を更に検出し、検出した前記張力を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。

本発明の他の態様によれば、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された前記被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、前記被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、を有し、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする搬送装置であって、前記駆動手段は、前記駆動側プーリ、前記ベルト及び前記モータを防水又は防塵するために該駆動側プーリ等に対向する位置に配置されたシール側ベルト及びシール側プーリを更に含み、前記シール側ベルトは、前記被駆動手段の移動に対応して移動し、前記シール側プーリは、前記シール側ベルトの移動に対応して回転し、前記搬送監視手段は、前記モータの回転動作と前記シール側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。また、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段の加速度を更に検出し、検出した前記加速度を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。更に、前記駆動手段は、所定の位置に前記被駆動手段を移動し、前記搬送監視手段は、前記所定の位置に移動している前記被駆動手段の位置に関する情報を検出し、検出した前記位置に関する情報を更に用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。

本発明のその他の態様によれば、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された前記被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、前記被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、を有し、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする搬送装置であって、前記搬送監視手段は、次の区分（ｉ）乃至（ｖｉ）、（ｉ）前記ベルトのすべり又は切れ、（ｉｉ）前記回転駆動力を伝達するカップリングの破損、（ｉｉｉ）前記被駆動手段の干渉、（ｉｖ）前記被駆動手段の衝突、（ｖ）前記被駆動手段を所定の方向に案内するガイドの破損、（ｖｉ）前記回転駆動力により回転する回転軸を回転可能に支持しているベアリングの破損、のいずれか一つの区分又は複数の区分に前記搬送状態を区分することを特徴とする、搬送装置が提供される。また、出力部及び／又は表示部を更に有し、前記搬送監視手段は、前記搬送状態を検出した結果を前記出力部に出力及び／又は前記表示部に表示することを特徴とする、搬送装置が提供される。

また、本発明のその他の態様によれば、被搬送部品の搬送状態を監視する搬送監視ステップと、前記被搬送部品を被駆動手段に搭載する被搬送部品搭載ステップと、前記被駆動手段をモータの回転駆動力により所定の方向に移動する被駆動手段移動ステップと、を有し、前記搬送監視ステップは、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出するトルク値検出ステップと、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出するトルク微分値算出ステップと、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を区分する搬送状態区分ステップと、を含む、ことを特徴とする搬送方法が提供される。また、前記被駆動手段移動ステップは、前記モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転する駆動側プーリ回転ステップと、回転している該駆動側プーリに掛け渡されているベルトを移動するベルト移動ステップと、該ベルトの移動に対応して従属側プーリを回転させる従属側プーリ回転ステップとを含み、前記搬送状態区分ステップは、前記モータの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果又は前記駆動側プーリの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を区分する、ことを特徴とする、搬送方法が提供される。更に、前記搬送監視ステップは、前記従属側プーリに作用する前記ベルトの張力を検出するベルト張力検出ステップ、前記駆動側プーリ等を防水又は防塵するために該駆動側プーリ等に対向する位置に配置されたシール側プーリの回転動作を検出するシール側プーリ回転検出ステップ、前記被駆動手段の加速度を検出する加速度検出ステップ及び前記被駆動手段の位置に関する情報を検出する被駆動手段位置検出ステップのいずれか一つのステップ又は複数のステップを更に用いて前記搬送状態を区分する、ことを特徴とする、搬送方法が提供される。

本発明によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、搬送時に発生した異常を検出することができる。

本発明の実施形態に係る搬送装置の一例を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係る搬送装置の駆動手段を説明する説明図である。 本発明の実施形態に係る搬送装置の検出結果（正常時及び異常時）の一例を示す説明図である。 本発明の実施例１に係る搬送装置の一例を示す斜視図（概略外観図）である。 本発明の実施例１に係る搬送装置のｘ軸方向駆動部を説明する説明図である。 本発明の実施例１に係る搬送装置のｙ軸方向駆動部を説明する説明図である。 本発明の実施例１に係る搬送装置のｚ軸方向駆動部を説明する説明図である。 本発明の実施例１に係る搬送装置のθ方向回転駆動部を説明する説明図である。 本発明の実施例１に係る搬送装置の搬送状態を監視する動作を説明するフローチャート図である。 本発明の実施例１に係る搬送装置の検出結果（トルク微分値）の一例を示す説明図である。 本発明の実施例１に係る搬送装置の検出結果（トルク値）の一例を示す説明図である。 本発明の実施例２に係る搬送装置の一例を示す概略構成図である。 本発明の実施例２に係る搬送装置の歪検出部の一例を示す概略図である。 本発明の実施例３に係る搬送装置の一例を示す概略構成図である。 本発明の実施例３に係る搬送装置の加速度検出部の一例を示す概略図である。 本発明の実施例３に係る搬送装置の検出結果（加速度）の一例を示す説明図である。 本発明の実施例４に係る搬送装置の一例を示す概略構成図である。 本発明の実施例４に係る搬送装置の一例を示す斜視図（概略外観図）である。

添付の図面を参照しながら、本発明の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面の中の記載で、同一又は対応する部材又は部品には、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面は、部材もしくは部品間の相対比を示すことを目的とせず、したがって、具体的な寸法は、以下の限定的でない実施形態に照らし、当業者により決定することができる。

本発明の実施形態に係る搬送装置１００を用いて、本発明を説明する。なお、本発明は、本実施形態以外でも、被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することにより被搬送部品を搬送する場合に、その搬送状態が正常であるか及び／又は異常であるかを検出するものであれば、いずれのものにも用いることができる。

（搬送装置の構成）
本発明の実施形態に係る搬送装置１００の構成を、図１及び図２を用いて説明する。

図１は、本実施形態に係る搬送装置１００の概略構成図を示す。図２（ａ）は、搬送装置１００の駆動手段３０の要部の拡大図を示す。図２（ｂ）は、駆動手段３０のモータ３１Ｍｘ等の概略構成図を示す。

図１に示すように、本実施形態に係る搬送装置１００は、被搬送部品を搭載した被駆動手段２０を駆動手段３０によって移動することにより、被搬送部品を所望の位置に搬送する装置である。また、搬送装置１００は、搬送監視手段４０により、被搬送部品を搬送しているときに、被駆動手段２０の搬送の動作が正常であるか又は異常であるか（以下、「搬送状態」という）を検出する装置である。更に、搬送装置１００は、Ｉ／Ｆ手段５０により、搬送監視手段４０が検出した搬送状態などを出力する装置である。

搬送装置１００は、本実施形態では、搬送装置１００全体の各構成に動作を指示し、その動作を制御する制御手段１０と、搬送される被搬送部品を搭載する被駆動手段２０と、モータの回転駆動力により被駆動手段２０を所定の方向に移動する駆動手段３０と、モータのトルク値Ｔの時間に対する微分値（以下、「トルク微分値ｄＴ」という）を用いて搬送状態を監視する搬送監視手段４０と、を有する。また、搬送装置１００は、本実施形態では、制御手段１０が制御するときに用いる搬送条件及び搬送監視手段４０が搬送状態を監視するときに用いる監視条件などを搬送装置１００外部から搬送装置１００に入力し、搬送装置１００外部に搬送監視手段４０が検出した搬送状態などを出力するＩ／Ｆ手段（インターフェース手段）５０を有する。

ここで、被搬送部品とは、半導体ウエハ、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその他の基板を含む。

制御手段１０は、搬送装置１００の各構成（後述する搬送監視手段４０など）に動作を指示し、各構成の動作を制御する手段である。制御手段１０は、本実施形態では、Ｉ／Ｆ手段５０（後述する入力部５１）により入力された搬送条件等に基づいて、駆動手段３０（後述）を制御する。また、制御手段１０は、Ｉ／Ｆ手段５０により入力された監視条件等に基づいて、搬送監視手段４０（後述）を制御する。更に、制御手段１０は、監視結果などをＩ／Ｆ手段５０（後述する出力部５２及び表示部５３）に出力する。

被駆動手段２０は、搬送される被搬送部品を搭載する手段である。また、被駆動手段２０は、被搬送部品を搭載した状態で駆動手段３０によって移動される手段である。

駆動手段３０は、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、回転している駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、移動しているベルトに連結された被駆動手段２０を所定の方向に移動する手段である。駆動手段３０は、本実施形態では、ｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向及びθ方向（回転方向）に被駆動手段２０を移動するｘ軸方向駆動部３１ｘ、ｙ軸方向駆動部３１ｙ、ｚ軸方向駆動部３１ｚ及びθ方向回転駆動部３１θを備える。ここで、ｘ軸方向とは、鉛直方向に対して垂直な平面内で、搬送装置１００に対して離間する方向である（例えば実施例１のｘ軸方向（図４））。ｙ軸方向とは、鉛直方向に対して垂直な平面内で、ｘ軸方向に対して垂直な方向である（例えば実施例１のｙ軸方向（図４））。ｚ軸方向とは、ｘ軸方向及びｙ軸方向に対して垂直な方向である（例えば実施例１のｚ軸方向（図４））。また、θ方向とは、ｘ軸及びｙ軸を含む平面（ｘｙ平面）に垂直となる軸を回転軸に回転する方向である（例えば実施例１のθ方向（図４））。

図２を用いて、本実施形態に係る搬送装置１００のｘ軸方向駆動部３１ｘの構成を具体的に説明する。

図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、ｘ軸方向駆動部３１ｘは、本実施形態では、駆動の動力源となるモータ３１Ｍｘと、モータ３１Ｍｘの回転駆動力を伝達するカップリング３１Ｃｘと、カップリング３１Ｃｘから伝達された回転駆動力により回転される駆動側プーリ３１Ｑｘと、駆動側プーリ３１Ｑｘに掛け渡されたベルト（例えばタイミングベルト）３１Ｂｘと、を有する。

ｘ軸方向駆動部３１ｘは、モータ３１Ｍｘの回転駆動力により駆動側プーリ３１Ｑｘを回転することによって、駆動側プーリ３１Ｑｘに掛け渡されたベルト３１Ｂｘを移動（旋回）し、ベルト３１Ｂｘに連結された被駆動手段２０（図１）を所定の方向（ｘ軸方向）に移動することができる。このとき、ｘ軸方向駆動部３１ｘ（駆動手段３０）は、被駆動手段２０に搭載した被搬送部品を所定の方向に搬送することができる。

ここで、モータ３１Ｍｘとカップリング３１Ｃｘとは、モータ３１Ｍｘの回転軸３１Ｍｘｓ（図２（ｂ））とカップリング３１Ｃｘの回転軸３１Ｃｘｓとを介して連結されている。また、駆動側プーリ３１Ｑｘとベルト３１Ｂｘとは、駆動側プーリ３１Ｑｘの外周部の歯型形状３１Ｑｘｃ（図２（ａ））と無端状のベルト３１Ｂｘの内面部の歯型形状３１Ｂｘｃとがかみ合う（歯合する）ことで、駆動側プーリ３１Ｑｘの回転に連動してベルト３１Ｂｘを移動（旋回）することができる。

また、ｘ軸方向駆動部３１ｘは、被駆動手段２０とベルト３１Ｂｘの一部とを連結するスライダ（例えば図５（ｂ）の３１Ｓｘ）と、スライダを所定の方向に案内するガイド（例えば図５（ｂ）の３１Ｇｘ）と、ベルト３１Ｂｘを掛け渡されてベルト３１Ｂｘの移動に対応して回転される従属側プーリ（例えば図５（ｂ）の３１Ｐｘ）と、駆動側プーリ３１Ｑｘ及びベルト３１Ｂｘ等を防水又は防塵するために駆動側プーリ３１Ｑｘ等に対向する位置に配置されたシール側ベルト及びシール側プーリ（例えば図５（ｂ）の３１ＢＲｘ及び３１Ｒｘ）と、駆動側プーリの回転軸を回転可能に支持しているベアリング（不図示）と、を有する。

ここで、シール側ベルトは、被駆動手段２０の移動に対応して移動（旋回）する。また、シール側プーリは、シール側ベルトの移動に対応して回転する。

ｙ軸方向駆動部３１ｙ、ｚ軸方向駆動部３１ｚ及びθ方向回転駆動部３１θの構成は、ｘ軸方向駆動部３１ｘの構成と基本的に同様のため、説明を省略する。なお、以後の説明において、ｙ軸方向駆動部３１ｙ、ｚ軸方向駆動部３１ｚ及びθ方向回転駆動部３１θの構成要素の記号には、ｘ軸方向駆動部３１ｘと同様に、添え字にｙ、ｚ又はθを付記する。

搬送監視手段４０（図１）は、モータ（３１Ｍｘ等）のトルク微分値ｄＴを用いて、搬送状態を検出（監視）する手段である。搬送監視手段４０は、モータ（３１Ｍｘ等）のトルク値Ｔ等を検出する搬送状態検出部４１と、検出したトルク値Ｔ等に基づいて搬送状態を解析する搬送状態解析部４２と、を有する。

搬送状態検出部４１は、本実施形態では、被駆動手段２０を移動するのに必要なモータ（３１Ｍｘ等）のトルク値Ｔを検出し、検出したトルク値Ｔに基づいてトルク微分値ｄＴを算出する。また、搬送状態検出部４１は、モータ（３１Ｍｘ等）、駆動側プーリ（３１Ｑｘ等）、従属側プーリ（３１Ｐｘ等）及びシール側プーリ（３１Ｒｘ等）の回転動作を検出する。

具体的には、搬送状態検出部４１は、モータ（３１Ｍｘ等）に設置したトルク検出器（不図示）により、例えば搬送状態が正常の時に図３（ａ）のトルク値及び図３（ｂ）のトルク微分値を検出することができる。また、搬送状態検出部４１は、例えば搬送状態が異常の時に図３（ｃ）のトルク値及び図３（ｄ）のトルク微分値を検出することができる。ここで、搬送状態が異常の時には、搬送状態が正常の時と比較して、被駆動手段２０を移動するのに必要なモータ（３１Ｍｘ等）のトルク値Ｔのトルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ（図３（ｄ））の値が増加する。すなわち、搬送監視手段４０は、後述する搬送状態解析部４２により、トルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐの値を検出（算出）することで、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを解析することができる。

また、搬送状態検出部４１は、モータ（３１Ｍｘ等）、駆動側プーリ（３１Ｑｘ等）、従属側プーリ（３１Ｐｘ等）及び／又はシール側プーリ（３１Ｒｘ等）に設置したエンコーダ（不図示）により、所定のサンプリング周期（所定の時間）毎のエンコーダ値Ｅｎ（エンコーダが取得する情報）を検出する。また、搬送状態検出部４１は、検出したエンコーダ値Ｅｎに基づいて、モータ（３１Ｍｘ等）、駆動側プーリ（３１Ｑｘ等）、従属側プーリ（３１Ｐｘ等）及び／又はシール側プーリ（３１Ｒｘ等）の回転動作を検出することができる。

搬送状態解析部４２は、本実施形態では、搬送状態検出部４１が算出したトルク微分値ｄＴを用いて、搬送状態を検出する。また、搬送状態解析部４２は、本実施形態では、搬送状態検出部４１が検出したエンコーダ値Ｅｎに基づいてモータ（３１Ｍｘ等）、駆動側プーリ（３１Ｑｘ等）、従属側プーリ（３１Ｐｘ等）及び／又はシール側プーリ（３１Ｒｘ等）の回転動作を比較し、比較した比較結果に基づいて搬送状態を検出する。更に、搬送状態解析部４２は、本実施形態では、検出した搬送状態に基づいて、次の区分（ｉ）乃至（ｖｉ）のいずれか一つの区分又は複数の区分に搬送状態を区分することができる。

ここで、本実施形態に係る区分は、（ｉ）ベルト（３１Ｂｘ等）のすべり（例えば歯飛び）又は切れ、（ｉｉ）回転駆動力を伝達するカップリング（３１Ｃｘ等）の破損、（ｉｉｉ）被駆動手段２０の干渉、（ｉｖ）被駆動手段２０の衝突、（ｖ）被駆動手段２０を所定の方向に案内するガイド（３１Ｇｘ等）の破損、（ｖｉ）回転駆動力により回転する回転軸を回転可能に支持しているベアリングの破損、である。なお、本発明に係る区分は上記区分に限定されるものではない。

搬送状態解析部４２は、具体的には、算出したトルク微分値ｄＴ、検出したトルク値Ｔ、及び、モータ（３１Ｍｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作の比較結果を用いて、ベルト（３１Ｂｘ等）のすべりを検出する（例えば後述する実施例１の図１０（ｂ）のピーク値ｄＴｐ及び図１１（ｂ）の異常波形Ｔｎを検出する）。また、搬送状態解析部４２は、算出したトルク微分値ｄＴ、検出したトルク値Ｔ、及び、モータと従属側プーリとの回転動作の比較結果を用いて、被駆動手段２０の干渉を検出する（例えば図１０（ｂ）のピーク値ｄＴｐ及び図１１（ｃ）の異常波形Ｔｎ）。更に、搬送状態解析部４２は、算出したトルク微分値ｄＴ、検出したトルク値Ｔ、及び、モータと従属側プーリとの回転動作の比較結果を用いて、ベルト（３１Ｂｘ等）の切れ及びカップリング（３１Ｃｘ等）の破損を検出する（例えば図１０（ｂ）のピーク値ｄＴｐ及び図１１（ｄ）の異常波形Ｔｎ）。

また、搬送状態解析部４２は、算出したトルク微分値ｄＴ、検出したトルク値Ｔ、及び、モータと従属側プーリとの回転動作の比較結果を用いて、被駆動手段２０の衝突を検出する（例えば図１０（ｂ）のピーク値ｄＴｐ及び図１１（ｅ）のピーク値Ｔｐ）。また、搬送状態解析部４２は、算出したトルク微分値ｄＴ、検出したトルク値Ｔ、及び、モータと従属側プーリとの回転動作の比較結果を用いて、ガイド（３１ＧＢｘ等）の破損及びベアリングの破損を検出する（例えば図１０（ａ）及び図１１（ｆ）のピーク値Ｔｐ）。

なお、搬送状態解析部４２は、搬送状態検出部４１が算出したトルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ、トルク値Ｔのピーク値Ｔｐ又は異常波形Ｔｎを用いて、ピーク値ｄＴｐ等と所定の閾値を比較することにより、搬送状態を検出してもよい。また、搬送状態解析部４２は、駆動側プーリ（３１Ｑｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作の比較結果を用いて、搬送状態を検出してもよい。あるいは、搬送状態解析部４２は、モータ（３１Ｍｘ等）とシール側プーリ（３１Ｒｘ等）との回転動作の比較結果を用いて、搬送状態を検出してもよい。

ここで、所定の閾値とは、被搬送部品の重量及び搬送条件並びに搬送装置の仕様に対応する値とすることができる。また、所定の閾値を、実験及び数値計算等により予め定められる値とすることができる。

更に、搬送状態解析部４２は、監視結果として、検出した搬送状態に対応する区分の情報を後述するＩ／Ｆ手段５０に出力することができる。

Ｉ／Ｆ手段５０は、搬送装置１００外部と情報の入出力を行なう情報伝達手段又は情報通信手段である。Ｉ／Ｆ手段５０は、本実施形態では、検出条件、搬送条件及び監視条件などを外部から搬送装置１００に入力する入力部５１と、検出結果、算出結果及び監視結果などを搬送装置１００外部に出力する出力部５２と、検出結果、算出結果及び監視結果などを表示する表示部５３と、を有する。なお、Ｉ／Ｆ手段５０は、公知の技術を用いることができる。

実施例に係る搬送装置を用いて、本発明を説明する。

（実施例１）
（搬送装置の構成）
本発明の実施例１に係る搬送装置１１０の構成を、図１及び図４〜図８を用いて説明する。図４は、本実施例に係る搬送装置１１０の斜視図である。図５（ａ）及び図５（ｂ）は、搬送装置１１０のｘ軸方向駆動部３１ｘ（駆動手段３０）及び搬送アーム部２１（被駆動手段２０）の斜視図及び平面図である。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、搬送装置１１０のｙ軸方向駆動部３１ｙの斜視図及び平面図である。図７（ａ）及び図７（ｂ）は、搬送装置１１０のｚ軸方向駆動部３１ｚを含む搬送装置１１０の斜視図及び平面図である。図８は、搬送装置１１０のθ方向回転駆動部３１θの平面図である。

なお、以後の説明において、本実施例に係る搬送装置１１０の構成は、前述の実施形態の搬送装置１００の構成と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。

図４に示すように、本実施例に係る搬送装置１１０は、被搬送部品を搭載した被駆動手段２０を駆動手段３０によって移動することにより、被搬送部品を所望の位置に搬送する装置である。搬送装置１１０は、本実施例では、駆動手段３０により、被駆動手段２０をｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向及びθ方向に移動することができる。これにより、搬送装置１１０は、被駆動手段２０に搭載した被搬送部品をｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向及びθ方向（図中のＭｘ、Ｍｙ、Ｍｚ及びＭθ方向）に搬送することができる。

被駆動手段２０は、本実施例では、２枚の基板を搭載することができるピック部を備える搬送アーム部２１を有する。なお、本発明の被駆動手段２０は、本実施例の搬送アーム部２１に限定されるものではない。

図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、ｘ軸方向駆動部３１ｘは、本実施例では、駆動の動力源となるモータ３１Ｍｘと、モータ３１Ｍｘの回転駆動力を伝達するカップリング３１Ｃｘと、カップリング３１Ｃｘから伝達された回転駆動力により回転される駆動側プーリ３１Ｑｘと、駆動側プーリ３１Ｑｘに掛け渡されたベルト３１Ｂｘと、を有する。また、ｘ軸方向駆動部３１ｘは、被駆動手段２０とベルト３１Ｂｘの一部とを連結するスライダ３１Ｓｘと、スライダ３１Ｓｘを所定の方向（ｘ軸方向駆動部３１ｘの場合はｘ方向）に案内するガイド３１Ｇｘと、ベルト３１Ｂｘを掛け渡されてベルト３１Ｂｘの移動に対応して回転される従属側プーリ３１Ｐｘと、被駆動手段２０の移動に対応して移動（旋回）するシール側ベルト３１ＢＲｘと、シール側ベルト３１ＢＲｘの移動に対応して回転するシール側プーリ３１Ｒｘと、を含む。

図６、図７及び図８のｙ軸方向駆動部３１ｙ、ｚ軸方向駆動部３１ｚ及びθ方向回転駆動部３１θの構成は、ｘ軸方向駆動部３１ｘと基本的に同様のため、説明を省略する。

（搬送する動作）
図５〜図８を用いて、本実施例に係る搬送装置１１０の搬送方法（被駆動手段移動ステップ）を具体的に説明する。

先ず、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、搬送装置１１０は、被搬送部品をｘ軸方向（図中のＭｘ方向）に搬送するため、ｘ軸方向駆動部３１ｘのモータ３１Ｍｘの回転駆動力により駆動側プーリ３１Ｑｘを回転し（駆動側プーリ回転ステップ）、駆動側プーリ３１Ｑｘに掛け渡されたベルト３１Ｂｘを移動する（ベルト移動ステップ）。このとき、ｘ軸方向駆動部３１ｘは、ベルト３１Ｂｘに連結された被駆動手段２０（図５（ａ））をｘ軸方向に移動する。また、ｘ軸方向駆動部３１ｘは、ベルト３１Ｂｘの移動に対応して従属側プーリ３１Ｐｘを回転する（従属側プーリ回転ステップ）。これにより、搬送装置１１０は、被駆動手段２０に搭載した被搬送部品をｘ軸方向に搬送することができる。

次に、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、搬送装置１１０は、被搬送部品をｙ軸方向（図中のＭｙ方向）に搬送するため、ｙ軸方向駆動部３１ｙのモータ３１Ｍｙにより、ｘ軸方向の搬送と同様の動作で、被駆動手段２０（図５（ａ））をｙ軸方向に移動する。これにより、搬送装置１１０は、被駆動手段２０に搭載された被搬送部品をｙ軸方向に搬送することができる。

また、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、搬送装置１１０は、被搬送部品をｚ軸方向（図中のＭｚ方向）に搬送するため、ｚ軸方向駆動部３１ｚのモータ３１Ｍｚにより、ｘ軸方向の搬送と同様の動作で、被駆動手段２０（図５（ａ））をｚ軸方向に移動する。これにより、搬送装置１１０は、被駆動手段２０に搭載された被搬送部品をｚ軸方向に搬送することができる。

更に、図８に示すように、搬送装置１１０は、被搬送部品をθ方向（図中のＭθ方向）に搬送（回転）するため、θ方向回転駆動部３１θのモータ３１Ｍθの回転駆動力により駆動側プーリ３１Ｑθ（不図示）を回転し（駆動側プーリ回転ステップ）、駆動側プーリ３１Ｑθに掛け渡されたベルト３１Ｂθを移動する（ベルト移動ステップ）。このとき、θ方向回転駆動部３１θは、ベルト３１Ｂθに連結された従属側プーリ３１Ｐθ（及び従属側プーリ３１Ｐθに連結された被駆動手段２０（図５（ａ）））をθ方向に回転することができる（従属側プーリ回転ステップ）。これにより、搬送装置１１０は、被駆動手段２０に搭載した被搬送部品をθ方向に搬送することができる。

なお、ｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向及びθ方向の搬送の順番は上記に限定されるものではない。すなわち、搬送装置１１０は、ｘ軸方向駆動部３１ｘ、ｙ軸方向駆動部３１ｙ、ｚ軸方向駆動部３１ｚ及びθ方向回転駆動部３１θにより、任意のタイミングで任意の搬送方向に被搬送部品を搬送することができる。

（搬送状態を監視する動作）
本発明の実施例１に係る搬送装置１１０が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する搬送方法（搬送監視ステップ）を、図９〜図１１を用いて説明する。図９は、本実施例に係る搬送装置１１０の搬送状態を監視する搬送方法のフローチャート図を示す。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、搬送装置１１０のトルク微分値の正常時の検出結果及び異常時の検出結果の例を示す。図１１（ａ）は、搬送装置１１０の正常時のトルク値の検出結果の例を示す。図１１（ｂ）〜（ｆ）は、搬送装置１１０の異常時のトルク値の検出結果の例を示す。

図９に示すように、ステップＳ９０１において、本実施例に係る搬送装置１１０は、先ず、入力部５１（インターフェース手段５０）によって入力される情報等に基づいて、制御手段１０の制御により搬送状態の監視を開始する。また、搬送装置１１０は、被搬送部品を被駆動手段２０に搭載する（被搬送部品搭載ステップ）。その後、ステップＳ９０２に進む。

次に、ステップＳ９０２において、搬送装置１１０は、モータ（３１Ｍｘ等）の回転駆動力により、被駆動手段２０を所定の方向（ｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向及びθ方向）に移動する（被駆動手段移動ステップ）。このとき、搬送装置１１０は、搬送状態検出部４１（搬送監視手段４０）により、被駆動手段２０を移動するのに必要なモータ（３１Ｍｘ等）のトルク値Ｔを検出する（トルク値検出ステップ）。検出後、ステップＳ９０３に進む。

ステップＳ９０３において、搬送装置１１０は、搬送状態検出部４１により、検出したトルク値Ｔに基づいて、トルク微分値ｄＴを算出（検出）する（トルク微分値検出ステップ）。算出後、ステップＳ９０４に進む。

ステップＳ９０４において、搬送装置１１０は、搬送状態検出部４１により、モータ（３１Ｍｘ等）若しくは駆動側プーリ（３１Ｑｘ等）及び従属側プーリ（３１Ｐｘ等）の回転動作を検出する。また、搬送装置１１０は、搬送状態検出部４１により、シール側プーリ（３１Ｒｘ等）の回転動作を検出してもよい（シール側プーリ回転検出ステップ）。検出後、ステップＳ９０５に進む。

ステップＳ９０５において、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２（搬送監視手段４０）により、搬送状態を解析し、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。

具体的には、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、搬送状態検出部４１が算出したトルク微分値ｄＴ及び検出したトルク値Ｔに基づいて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。ここで、正常のときのトルク微分値ｄＴ及びトルク値Ｔは図１０（ａ）及び図１１（ａ）となる。搬送状態解析部４２は、搬送状態検出部４１が検出したトルク微分値ｄＴ及びトルク値Ｔと予め記憶しておいた正常時のトルク微分値ｄＴ及びトルク値Ｔとを比較することにより、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。なお、搬送状態解析部４２は、搬送状態検出部４１が算出したトルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ（例えば図１０（ｂ））又はトルク値Ｔのピーク値Ｔｐ（例えば図１１（ｆ））若しくは異常波形Ｔｎ（例えば図１１（ｂ））を用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断してもよい。

また、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、モータ（３１Ｍｘ等）若しくは駆動側プーリ（３１Ｑｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作を比較し、比較した比較結果を更に用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。ここで、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、モータ（３１Ｍｘ等）若しくは駆動側プーリ（３１Ｑｘ等）とシール側プーリ（３１Ｒｘ等）との回転動作を比較してもよい。このとき、搬送状態解析部４２は、モータ（３１Ｍｘ等）等と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）等との回転動作の差分が所定の差分以上になったときに、搬送状態が異常であると判断することができる。なお、所定の差分とは、被搬送部品の重量及び搬送条件並びに搬送装置の仕様に対応する値とすることができる。また、所定の差分を、実験及び数値計算等により予め定められる値とすることができる。

その後、搬送装置１１０は、搬送状態が正常であると判断したときは、ステップＳ９０８に進む。搬送状態が異常であると判断したときは、ステップＳ９０６に進む。

次に、ステップＳ９０６において、搬送装置１１０は、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分する（搬送状態区分ステップ）。

具体的には、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、搬送状態検出部４１が算出したトルク微分値ｄＴ（図１０（ｂ））及び検出したトルク値Ｔ（図１１（ｂ）〜（ｆ））に基づいて、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分することができる。また、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、モータ（３１Ｍｘ等）の回転動作と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）の回転動作とを比較した比較結果を用いて、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分することができる。搬送装置１１０が搬送状態を区分した結果（監視結果）の一例を表１に示す。

表１に示すように、搬送状態解析部４２は、上記のトルク微分値ｄＴ、トルク値Ｔ及び回転動作の比較結果を用いて、ベルト（３１Ｂｘ等）のすべり及び切れ、カップリング（３１Ｃｘ等）の破損、被駆動手段２０の干渉及び衝突、並びに、ガイド（３１Ｇｘ等）の破損及びベアリング（３１ＢＲｘ等）の破損のいずれかに対応する区分に搬送状態を区分することができる。

具体的には、搬送装置１１０は、本実施例では、搬送状態解析部４２により、トルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ及びトルク値Ｔの異常波形Ｔｎが図１０（ｂ）及び図１１（ｂ）となる場合で、モータ（３１Ｍｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作の差分が所定の差分以上になったときに、搬送状態の異常の原因を「ベルト（３１Ｂｘ等）のすべり（又は歯飛び）」と特定することができる。このとき、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「ベルトのすべり（又は歯飛び）」で「異常」と区分することができる。

同様に、搬送装置１１０は、トルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ及びトルク値Ｔの異常波形Ｔｎが図１０（ｂ）及び図１１（ｃ）となる場合で、モータと従属側プーリとの回転動作の差分が所定の差分未満になったときに、搬送状態の異常の原因を「被駆動手段２０の干渉」と特定することができる。このとき、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「被駆動手段の干渉」で「異常」と区分することができる。

また、搬送装置１１０は、トルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ及びトルク値Ｔの異常波形Ｔｎが図１０（ｂ）及び図１１（ｄ）となる場合で、モータと従属側プーリとの回転動作の差分が所定の差分以上になったときに、搬送状態の異常の原因を「ベルト（３１Ｂｘ等）の切れ及びカップリング（３１Ｃｘ等）の破損」と特定することができる。このとき、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「ベルトの切れ及びカップリングの破損」で「異常」と区分することができる。

また、搬送装置１１０は、トルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ及びトルク値Ｔのピーク値Ｔｐが図１０（ｂ）及び図１１（ｅ）となる場合で、モータと従属側プーリとの回転動作の差分が所定の差分未満になったときに、搬送状態の異常の原因を「被駆動手段２０の衝突」と特定することができる。このとき、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「被駆動手段の衝突」で「異常」と区分することができる。

また、搬送装置１１０は、トルク微分値ｄＴ及びトルク値Ｔのピーク値Ｔｐが図１０（ａ）及び図１１（ｆ）となる場合で、モータと従属側プーリとの回転動作の差分が所定の差分未満になったときに、搬送状態の異常の原因を「ガイド（３１Ｇｘ等）の破損及びベアリングの破損」と特定することができる。このとき、搬送装置１１０は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「ガイドの破損及びベアリングの破損」で「異常」と区分することができる。

搬送装置１１０は、区分の動作を終了した後、ステップＳ９０７に進む。

次に、ステップＳ９０７において、搬送装置１１０は、出力部５２及び／又は表示部５３（Ｉ／Ｆ手段５０）に搬送監視手段４０が搬送状態を検出した結果（搬送状態解析部４２が区分した結果など）を出力する。出力を完了すると、ステップＳ９０８に進む。なお、搬送装置１１０は、搬送状態が異常となるのを未然に防止するため、ステップＳ９０２〜Ｓ９０４の検出結果に基づいて、搬送状態に関する情報を警告のため出力部５２及び／又は表示部５３に出力してもよい。

ステップＳ９０８において、搬送装置１１０は、制御手段１０により、搬送状態を監視する動作を終了するか否かを判断する。すなわち、制御手段１０は、入力部５１（インターフェース手段５０）により入力された監視条件などに基づいて、搬送状態の監視を終了するか否かを判断する。監視を終了するときは、図中のＥＮＤに進む。監視を継続するときは、ステップＳ９０２に戻る。

以上より、本発明の実施例１に係る搬送装置１１０によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、被駆動手段を移動するのに必要なモータのトルク値の微分値を検出することができるので、検出したトルク微分値を用いて搬送時に発生した異常を検出することができる。また、本実施例に係る搬送装置１１０によれば、モータ等の回転動作と従属側プーリ等の回転動作とを比較した比較結果を更に用いることができるので、搬送時に発生した異常を検出することができる。更に、本実施例に係る搬送装置１１０によれば、（ｉ）ベルトのすべり又は切れ、（ｉｉ）回転駆動力を伝達するカップリングの破損、（ｉｉｉ）被駆動手段の干渉、（ｉｖ）被駆動手段の衝突、（ｖ）被駆動手段を所定の方向に案内するガイドの破損、（ｖｉ）回転駆動力により回転する回転軸を回転可能に支持しているベアリングの破損、のいずれか一つの区分又は複数の区分に搬送状態を区分することができる。

（実施例２）
（搬送装置の構成）
本発明の実施例２に係る搬送装置２００の構成を、図１２及び図１３を用いて説明する。図１２は、本発明の実施例２に係る搬送装置２００の概略構成図を示す。図１３（ａ）は、搬送状態が正常時の歪検出部３１ｘｅ等の例を示す。図１３（ｂ）は、搬送状態が異常時の歪検出部３１ｘｅ等の例を示す。なお、以後の説明において、本実施例に係る搬送装置２００の構成は実施例１の搬送装置１１０の構成と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。

図１２に示すように、本実施例に係る搬送装置２００の駆動手段３０は、ｘ軸方向駆動部３１ｘ、ｙ軸方向駆動部３１ｙ、ｚ軸方向駆動部３１ｚ及びθ方向回転駆動部３１θに歪検出部３１ｘｅ、３１ｙｅ、３１ｚｅ及び３１θｅを更に含む。ここで、歪検出部（３１ｘｅ、３１ｙｅ、３１ｚｅ及び３１θｅ）とは、ベルト（３１Ｂｘ、３１Ｂｙ、３１Ｂｚ及び３１Ｂθ）の張力により従属側プーリ（３１Ｐｘ、３１Ｐｙ、３１Ｐｚ及び３１Ｐθ）に発生する歪を検出するものである。

図１３を用いて、歪検出部３１ｘｅ等を具体的に説明する。

図１３に示すように、歪検出部３１ｘｅ等は、従属側プーリ３１Ｐｘ等の支持部材又は回転軸などに配置することができる。歪検出部３１ｘｅ等は、ベルト３１Ｂｘ等の張力により従属側プーリ３１Ｐｘ等に発生する歪を検出する。すなわち、搬送装置２００は、歪検出部３１ｘｅ等による歪の変化量を検出することにより、ベルト３１Ｂｘ等の張力の増加及び減少を検出することができる。これにより、搬送装置２００は、ベルト３１Ｂｘ等の張力の増加又は減少に基づいて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。

（搬送状態を監視する動作）
本発明の実施例２に係る搬送装置２００が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する搬送方法（搬送監視ステップ）を、図９を用いて説明する。なお、本実施例に係る搬送装置２００の動作は、実施例１の搬送装置１１０の動作と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。

図９に示すように、本実施例に係る搬送装置２００は、実施例１の搬送装置１１０の動作と同様に、ステップＳ９０１乃至ステップＳ９０４を実行する。また、搬送装置２００は、ステップＳ９０４の後に、歪検出部３１ｘｅ等により従属側プーリ３１Ｐｘ等に発生する歪を検出する（ベルト張力検出ステップ）。

搬送装置２００は、その後、ステップＳ９０５に進む。

ステップＳ９０５において、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２（搬送監視手段４０）により、搬送状態を解析し、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。搬送装置２００が搬送状態を判断する動作は、実施例１と同様のため、説明を省略する。

次に、ステップＳ９０６において、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分する（搬送状態区分ステップ）。ここで、搬送装置２００は、本実施例では、歪検出部３１ｘｅ等が検出した歪の変化量を更に用いて、ベルト３１Ｂｘ等の張力の増加及び減少を解析することができる。これにより、搬送状態解析部４２は、ベルト３１Ｂｘ等の張力の変化量（増減量）を更に用いて、異常の原因の「ベルトの切れ」と「カップリングの破損」とを区別することができる。また、搬送状態解析部４２は、同様に、「ガイドの破損」と「ベアリングの破損」とを区別することができる。

搬送装置２００が搬送状態を解析した監視結果の例を表２及び表３に示す。

表２に示すように、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、トルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ及びトルク値Ｔの異常波形Ｔｎが図１０（ｂ）及び図１１（ｄ）となる場合で、モータ（３１Ｍｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作の差分が所定の差分以上になったとき、かつ、歪検出部（３１ｘｅ等）が検出した歪の変化量が所定の値以上のときに、搬送状態の異常の原因を「ベルトの切れ」と特定することができる。このとき、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「ベルトの切れ」で「異常」と区分することができる。ここで、所定の値とは、被搬送部品の重量及び搬送条件並びに搬送装置の仕様に対応する値とすることができる。また、所定の値を、実験及び数値計算等により予め定められる値とすることができる。なお、所定の値は、以後の説明でも、上記と同様に定めることができる。

また、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、トルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ及びトルク値Ｔの異常波形Ｔｎが図１０（ｂ）及び図１１（ｄ）となる場合で、モータ（３１Ｍｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作の差分が所定の差分以上になったとき、かつ、歪の変化量が所定の値未満のときに、搬送状態の異常の原因を「カップリングの破損」と特定することができる。このとき、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「カップリングの破損」で「異常」と区分することができる。

次に、表３に示すように、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、トルク微分値ｄＴ及びトルク値Ｔのピーク値Ｔｐが図１０（ａ）及び図１１（ｆ）となる場合で、モータ（３１Ｍｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作の差分が所定の差分未満になったとき、かつ、歪検出部（３１ｘｅ等）が検出した歪の変化量が所定の値以上のときに、搬送状態の異常の原因を「ガイドの破損」と特定することができる。このとき、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「ガイドの破損」で「異常」と区分することができる。

また、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、トルク微分値ｄＴ及びトルク値Ｔが図１０（ａ）及び図１１（ｆ）となる場合で、モータ（３１Ｍｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作の差分が所定の差分未満になったとき、かつ、歪検出部歪３１ｘｅ等が検出した歪の変化量が所定の値未満のときに、搬送状態の異常の原因を「ベアリングの破損」と特定することができる。このとき、搬送装置２００は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「ベアリングの破損」で「異常」と区分することができる。

その後の搬送装置２００の動作は、実施例１の搬送装置１１０の動作と同様のため、説明を省略する。

以上より、搬送装置２００が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する動作を終了する。

以上により、本発明の実施例２に係る搬送装置２００によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、被駆動手段を移動するのに必要なモータのトルク値の微分値を検出することができるので、検出したトルク微分値を用いて搬送時に発生した異常を検出することができる。また、本実施例に係る搬送装置２００によれば、モータ等の回転動作と従属側プーリ等の回転動作とを比較した比較結果を更に用いることができるので、搬送時に発生した異常を検出することができる。更に、本実施例に係る搬送装置２００によれば、従属側プーリに作用するベルトの張力の変化量を検出することができるので、検出した変化量を更に用いて異常の原因の「ベルトの切れ」と「カップリングの破損」とを区分することができる。また、本実施例に係る搬送装置２００によれば、検出した変化量を更に用いて「ガイドの破損」と「ベアリングの破損」とを区分することができる。

（実施例３）
（搬送装置の構成）
本発明の実施例３に係る搬送装置３００の構成を、図１４及び図１５を用いて説明する。図１４は、本実施例に係る搬送装置３００の概略構成図を示す。また、図１５（ａ）は、本実施例に係る搬送装置３００の加速度検出部２２ａが配置された被駆動手段２０の斜視図を示す。図１５（ｂ）は、加速度検出部２２ａの加速度センサの例を示す。なお、以後の説明において、本実施例に係る搬送装置３００の構成は、実施例１の搬送装置１１０の構成と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。

図１４に示すように、本実施例に係る搬送装置３００は、被駆動手段２０の加速度を検出する加速度検出部２２ａを更に含む。

図１５に示すように、加速度検出部２２ａは、本実施例では、搬送アーム部２１（被駆動手段２０）に配置され、搬送アーム部２１の加速度を検出することができる。すなわち、本実施例に係る搬送装置３００は、加速度検出部２２ａが検出した加速度を更に用いて、被駆動手段２０の搬送状態を検出することができる。また、搬送装置３００は、検出した加速度を更に用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。なお、搬送装置３００は、速度検出部（不図示）を用いて、被駆動手段２０の速度又はその速度から算出した加速度に基づいて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断してもよい。

（搬送状態を監視する動作）
本発明の実施例３に係る搬送装置３００が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する搬送方法（搬送監視ステップ）を、図９及び図１６を用いて説明する。図１６（ａ）は、搬送状態が正常時の加速度の検出結果の例を示す。図１６（ｂ）は、搬送状態が異常時の加速度の検出結果の例を示す。なお、本実施例に係る搬送装置３００の動作は、実施例１の搬送装置１１０の動作と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。

図９に示すように、本実施例に係る搬送装置３００は、実施例１の搬送装置１１０の動作と同様に、ステップＳ９０１乃至ステップＳ９０４を実行する。また、搬送装置３００は、ステップＳ９０４の後に、被駆動手段２０の加速度検出部２２ａにより、被駆動手段２０の加速度を更に検出する（加速度検出ステップ）。具体的には、搬送装置３００は、図１６（ａ）に示すように、正常時の搬送状態の加速度を検出することができる。また、搬送装置３００は、図１６（ｂ）に示すように、異常時の搬送状態の加速度を検出することができる。

搬送装置３００は、その後、ステップＳ９０５に進む。

ステップＳ９０５において、搬送装置３００は、搬送状態解析部４２（搬送監視手段４０）により、搬送状態を解析し、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。搬送装置３００が搬送状態を判断する動作は、実施例１と同様のため、説明を省略する。なお、搬送状態解析部４２は、加速度検出部２２ａが検出した加速度のピーク値Ａｐ（図１６（ａ））を用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断してもよい。

次に、ステップＳ９０６において、搬送装置３００は、搬送状態解析部４２により、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分する（搬送状態区分ステップ）。ここで、搬送装置３００は、本実施例では、加速度検出部２２ａが検出した加速度を更に用いて、搬送状態を解析することができる。これにより、搬送状態解析部４２は、異常の原因を「被駆動手段の干渉」と特定することができる。搬送装置３００が搬送状態を解析した監視結果の例を表４に示す。

表４に示すように、搬送装置３００は、搬送状態解析部４２により、トルク微分値ｄＴのピーク値ｄＴｐ及びトルク値Ｔの異常波形Ｔｎが図１０（ｂ）及び図１１（ｃ）となる場合で、モータ（３１Ｍｘ等）と従属側プーリ（３１Ｐｘ等）との回転動作の差分が所定の差分未満になったとき、かつ、加速度検出部２２ａが検出した加速度のピーク値Ａｐが所定の値未満のときに、搬送状態の異常の原因を「被駆動手段の干渉」と特定することができる。このとき、搬送装置３００は、搬送状態解析部４２により、搬送状態を「被駆動手段の干渉」で「異常」と区分することができる。

その後の搬送装置３００の動作は、実施例１の搬送装置１１０の動作と同様のため、説明を省略する。

以上より、本発明の実施例３に係る搬送装置３００によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、被駆動手段を移動するのに必要なモータのトルク値の微分値を検出することができるので、検出したトルク微分値を用いて搬送時に発生した異常を検出することができる。また、本実施例に係る搬送装置３００によれば、モータ等の回転動作と従属側プーリ等の回転動作とを比較した比較結果を更に用いることができるので、搬送時に発生した異常を検出することができる。更に、本実施例に係る搬送装置３００によれば、被駆動手段２０の加速度を検出することができるので、異常の原因を「被駆動手段の干渉」と区分（特定）することができる。

（実施例４）
（搬送装置の構成）
本発明の実施例４に係る搬送装置４００の構成を、図１７及び図１８を用いて説明する。図１７は、本実施例に係る搬送装置４００の概略構成図を示す。また、図１８は、位置検出部３１ｘｐ等が配置された搬送装置４００の斜視図を示す。なお、以後の説明において、本実施例に係る搬送装置４００の構成は、実施例１の搬送装置１１０の構成と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。

図１７に示すように、本実施例に係る搬送装置４００は、駆動手段３０のｘ軸方向駆動部３１ｘ、ｙ軸方向駆動部３１ｙ、ｚ軸方向駆動部３１ｚ及びθ方向回転駆動部３１θに配置された位置検出部３１ｘｐ、３１ｙｐ、３１ｚｐ及び３１θｐ並びに３１ｈｐを更に含む。ここで、位置検出部３１ｘｐ等とは、被駆動手段２０を検出するものである。

図１８を用いて、位置検出部３１ｘｐ等の配置を説明する。図１８に示すように、搬送装置４００の駆動手段３０は、ｘ軸方向駆動部３１ｘ、ｙ軸方向駆動部３１ｙ及びｚ軸方向駆動部３１ｚに、位置検出部３１ｘｐ、３１ｙｐ及び３１ｚｐを配置している。また、搬送装置４００は、被駆動手段２０の待機位置（イニシャルポジション、ホームポジション）に位置検出部３１ｈｐを配置している。なお、θ方向回転駆動部３１θに配置する位置検出部３１θｐの図示は、位置検出部３１ｘｐ等と同様のため、省略する。

搬送装置３００は、位置検出部３１ｘｐ等が被駆動手段２０を夫々検出できるか否かに基づいて、被駆動手段２０の位置を特定することができる。すなわち、搬送装置３００は、位置検出部３１ｘｐ等の検出結果により、被駆動手段２０の位置に関する情報を検出することができる。これにより、搬送装置４００は、検出した被駆動手段２０の位置に関する情報を更に用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。

（搬送状態を監視する動作）
本発明の実施例４に係る搬送装置４００が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する搬送方法（搬送監視ステップ）を、図９を用いて説明する。なお、本実施例に係る搬送装置４００の動作は、実施例１の搬送装置１１０の動作と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。

図９に示すように、本実施例に係る搬送装置４００は、実施例１の搬送装置１１０の動作と同様に、ステップＳ９０１乃至ステップＳ９０４を実行する。また、搬送装置４００は、位置検出部３１ｘｐ等により、被駆動手段２０の位置に関する情報を更に検出する（被駆動手段位置検出ステップ）。搬送装置４００は、その後、ステップＳ９０５に進む。

ステップＳ９０５において、搬送装置４００は、搬送状態解析部４２（搬送監視手段４０）により、搬送状態を解析し、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。搬送装置４００が搬送状態を判断する動作は、実施例１と同様のため、説明を省略する。なお、搬送状態解析部４２は、位置検出部３１ｘｐ等が検出した検出結果を用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断してもよい。

次に、ステップＳ９０６において、搬送装置４００は、搬送状態解析部４２により、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分する。ここで、搬送装置４００は、本実施例では、位置検出部３１ｘｐ等が検出した被駆動手段２０の位置に関する情報を更に用いて、搬送状態を解析することができる。すなわち、搬送装置４００は、位置検出部３１ｘｐ等により、被駆動手段２０が所定の位置に位置するか否かを検出することができる。例えば表１の「被駆動手段イニシャライズ動作」において、被駆動手段２０を待機位置に移動することができない場合には、搬送装置４００は、異常の原因を「ベルト切れ及びカップリングの破損」と区分（特定）することができる。

その後の搬送装置４００の動作は、実施例１の搬送装置１１０の動作と同様のため、説明を省略する。

以上より、本発明の実施例４に係る搬送装置４００によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、被駆動手段を移動するのに必要なモータのトルク値の微分値を検出することができるので、検出したトルク微分値を用いて搬送時に発生した異常を検出することができる。また、本実施例に係る搬送装置４００によれば、モータ等の回転動作と従属側プーリ等の回転動作とを比較した比較結果を更に用いることができるので、搬送時に発生した異常を検出することができる。更に、本実施例に係る搬送装置４００によれば、被駆動手段２０の位置を検出することができるので、検出した被駆動手段２０の位置に基づいて搬送時に発生した異常を検出することができる。
以上により、実施形態及び実施例を参照しながら本発明を説明したが、本発明はこれらに限定されることなく、添付の特許請求の範囲に照らし、種々に変形又は変更することが可能である。

１００、１１０、２００、３００、４００：搬送装置
１０ ： 制御手段
２０ ： 被駆動手段
２１ ： 搬送アーム部、 ２２ａ ： 加速度検出部
３０ ： 駆動手段
３１ｘ、３１ｙ、３１ｚ、３１θ： ｘ軸方向駆動部、ｙ軸方向駆動部、ｚ軸方向駆動部、θ方向回転駆動部
３１ｘｅ、３１ｙｅ、３１ｚｅ、３１θｅ： 歪検出部
３１ｘｐ、３１ｙｐ、３１ｚｐ、３１θｐ、３１ｈｐ： 位置検出部
３１Ｍｘ、３１Ｍｙ、３１Ｍｚ、３１Ｍθ： モータ
３１Ｂｘ、３１Ｂｙ、３１Ｂｚ、３１Ｂθ： ベルト（タイミングベルトなど）
３１ＢＲｘ、３１ＢＲｙ、３１ＢＲｚ： シール側ベルト（タイミングベルトなど）
３１Ｂｘｃ、３１Ｂｙｃ、３１Ｂｚｃ、３１Ｂθｃ：ベルトの歯
３１Ｃｘ、３１Ｃｙ、３１Ｃｚ、３１Ｃθ： カップリング
３１Ｐｘ、３１Ｐｙ、３１Ｐｚ、３１Ｐθ： 従属側プーリ
３１Ｑｘ、３１Ｑｙ、３１Ｑｚ、３１Ｑθ： 駆動側プーリ
３１Ｒｘ、３１Ｒｙ、３１Ｒｚ： シール側プーリ
３１Ｇｘ、３１Ｇｙ、３１Ｇｚ： ガイド
３１Ｓｘ、３１Ｓｙ、３１Ｓｚ： スライダ
４０ ： 搬送監視手段
４１ ： 搬送状態検出部、 ４２ ： 搬送状態解析部
５０ ： Ｉ／Ｆ手段（インターフェース手段）
５１ ： 入力部、 ５２ ： 出力部、 ５３ ： 表示部
Ｔ ： トルク値、 Ｔｐ：トルク値のピーク値、Ｔｎ：トルク値の異常波形成分
ｄＴ ： トルク微分値、 ｄＴｐ ： トルク微分値のピーク値
Ｅｎ ： エンコーダ値

Claims (11)

1. 被搬送部品を被駆動手段に搭載して搬送する搬送装置であって、
   モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された前記被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、
   前記被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、
   を有し、
   前記搬送監視手段は、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を検出する、
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 前記駆動手段は、前記ベルトの移動に対応して回転する従属側プーリを更に含み、
   前記搬送監視手段は、前記モータの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果又は前記駆動側プーリの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を検出する、
   ことを特徴とする、請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記搬送監視手段は、前記従属側プーリに作用する前記ベルトの張力を更に検出し、検出した前記張力を更に用いて、前記搬送状態を検出する、
   ことを特徴とする、請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記駆動手段は、前記駆動側プーリ、前記ベルト及び前記モータを防水又は防塵するために該駆動側プーリ等に対向する位置に配置されたシール側ベルト及びシール側プーリを更に含み、
   前記シール側ベルトは、前記被駆動手段の移動に対応して移動し、
   前記シール側プーリは、前記シール側ベルトの移動に対応して回転し、
   前記搬送監視手段は、前記モータの回転動作と前記シール側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を検出する、
   ことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送装置。
5. 前記搬送監視手段は、前記被駆動手段の加速度を更に検出し、検出した前記加速度を更に用いて、前記搬送状態を検出する、
   ことを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の搬送装置。
6. 前記駆動手段は、所定の位置に前記被駆動手段を移動し、
   前記搬送監視手段は、前記所定の位置に移動している前記被駆動手段の位置に関する情報を検出し、検出した前記位置に関する情報を更に用いて前記搬送状態を検出する、
   ことを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の搬送装置。
7. 前記搬送監視手段は、次の区分（ｉ）乃至（ｖｉ）、
   （ｉ）前記ベルトのすべり又は切れ、（ｉｉ）前記回転駆動力を伝達するカップリングの破損、（ｉｉｉ）前記被駆動手段の干渉、（ｉｖ）前記被駆動手段の衝突、（ｖ）前記被駆動手段を所定の方向に案内するガイドの破損、（ｖｉ）前記回転駆動力により回転する回転軸を回転可能に支持しているベアリングの破損、
   のいずれか一つの区分又は複数の区分に前記搬送状態を区分することを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の搬送装置。
8. 出力部及び／又は表示部を更に有し、
   前記搬送監視手段は、前記搬送状態を検出した結果を前記出力部に出力及び／又は前記表示部に表示することを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の搬送装置。
9. 被搬送部品の搬送状態を監視する搬送監視ステップと、
   前記被搬送部品を被駆動手段に搭載する被搬送部品搭載ステップと、
   前記被駆動手段をモータの回転駆動力により所定の方向に移動する被駆動手段移動ステップと、
   を有し、
   前記搬送監視ステップは、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出するトルク値検出ステップと、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出するトルク微分値算出ステップと、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を区分する搬送状態区分ステップと、を含む、
   ことを特徴とする搬送方法。
10. 前記被駆動手段移動ステップは、前記モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転する駆動側プーリ回転ステップと、回転している該駆動側プーリに掛け渡されているベルトを移動するベルト移動ステップと、該ベルトの移動に対応して従属側プーリを回転させる従属側プーリ回転ステップとを含み、
    前記搬送状態区分ステップは、前記モータの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果又は前記駆動側プーリの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を区分する、
    ことを特徴とする、請求項９に記載の搬送方法。
11. 前記搬送監視ステップは、前記従属側プーリに作用する前記ベルトの張力を検出するベルト張力検出ステップ、前記駆動側プーリ等を防水又は防塵するために該駆動側プーリ等に対向する位置に配置されたシール側プーリの回転動作を検出するシール側プーリ回転検出ステップ、前記被駆動手段の加速度を検出する加速度検出ステップ及び前記被駆動手段の位置に関する情報を検出する被駆動手段位置検出ステップのいずれか一つのステップ又は複数のステップを更に用いて前記搬送状態を区分する、ことを特徴とする、請求項９又は１０に記載の搬送方法。

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