KR20160142222A - 브레이크 시스템 - Google Patents

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KR20160142222A
KR20160142222A KR1020160026668A KR20160026668A KR20160142222A KR 20160142222 A KR20160142222 A KR 20160142222A KR 1020160026668 A KR1020160026668 A KR 1020160026668A KR 20160026668 A KR20160026668 A KR 20160026668A KR 20160142222 A KR20160142222 A KR 20160142222A
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substrate unit
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KR1020160026668A
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츠토무 우에노
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 작업자에 의한 검사 작업을 생략할 수 있고, 브레이크 후의 작업 효율을 높이는 것이 가능한 브레이크 시스템을 제공한다.
[해결 수단] 브레이크 장치(18, 21)는, 제1 기판 및 제2 기판이 접합된 기판(G2)을 브레이크시켜 기판 유닛(G3)을 생성한다. 브레이크 장치(18, 21)는, 기판 유닛(G3)을 생성할 때에, 제2 기판에 형성된 단자를 노출시키기 위해서, 단자에 대향하는 제1 기판의 단부를 브레이크시키는 공정을 실행한다. 브레이크 장치(18, 21)에 의해서 브레이크된 단부는, 기판 유닛(G3)의 반송 과정에 있어서 기판 유닛(G3)으로부터 분리된다. 검사부(25, 29)는, 기판 유닛(G3)으로부터 단부가 분리된 것에 의해 단자가 노출되어 있는 것을 검사하고, 단자가 노출되어 있지 않은 기판 유닛(G3)을 반송 경로로부터 이탈시킨다.

Description

브레이크 시스템{BREAK SYSTEM}
본 발명은 기판을 브레이크시킬 때에 이용되는 브레이크 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 패널의 제조 공정에는, 제1 기판 및 제2 기판을 접합시킨, 소위 접합 기판으로부터 액정 패널의 원형이 되는 기판 유닛을 잘라내는 브레이크 공정이 포함된다. 예를 들면, 제1 기판에는 컬러 필터가 형성되고, 제2 기판에는 액정을 구동하기 위한 박막 트랜지스터(TFT) 및 외부접속을 위한 단자가 형성된다. 제2 기판의 단자는, 외부기기와 접속되는 부분이기 때문에, 노출되어 있을 필요가 있다. 이 때문에, 브레이크 공정에는, 제1 기판과 제2 기판을 각각 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시켜 기판 유닛의 외형을 생성하는 공정 외에, 또한, 제2 기판에 형성된 단자를 노출시키기 위하여, 단자에 대향하는 제1 기판의 단부를 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시키는 공정이 포함된다.
이하의 특허문헌 1에는, 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러 필터 기판이 대향해서 접합된 액정 패널에 있어서, 단부를 절단해서 제거함으로써 단자를 노출시키는 액정 패널의 절단 방법이 기재되어 있다.
JP 2003-241173 A
상기한 바와 같이 해서 생성된 기판 유닛은, 그 후, 다시 연마나 세정 등의 후처리 공정에 제공된다. 후처리 공정을 원활하게 진행시키기 위해서는, 브레이크 공정에 있어서 제1 기판의 단부가 확실하게 제거되어서 기판 유닛의 단자가 노출하고 있을 필요가 있다. 이 때문에, 작업자에게는, 기판 유닛마다 단자가 적정하게 노출되어 있는지의 여부를 검사하고, 검사 결과에 의거해서 후처리 공정에 제공해야 할 기판 유닛을 분배하는 작업이 필요로 되고 있었다.
이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 작업자에 의한 검사 작업을 생략할 수 있고, 브레이크 후의 작업 효율을 높이는 것이 가능한 브레이크 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 주된 양상에 따른 브레이크 시스템은, 제1 기판 및 제2 기판이 접합된 기판을 브레이크시켜 기판 유닛을 생성하는 브레이크 장치와, 상기 브레이크 장치에 의해 생성된 상기 기판 유닛을 후단장치에 반송하기 위한 반송부와, 상기 브레이크 장치에 의해 생성된 상기 기판 유닛을 검사하는 검사부를 구비한다. 상기 브레이크 장치는, 상기 기판 유닛을 생성할 때에, 상기 제2 기판에 형성된 단자를 노출시키기 위하여, 상기 단자에 대향하는 상기 제1 기판의 단부를 브레이크시키는 공정을 실행하고, 상기 반송부는, 상기 브레이크 장치에 의해서 브레이크된 상기 단부를 상기 기판 유닛의 반송 과정에 있어서 상기 기판 유닛으로부터 분리시키기 위한 분리 수단을 구비하며, 상기 검사부는, 상기 반송부에 있어서의 상기 기판 유닛의 반송 경로 상의 상기 분리 수단의 하류 측에 배치되고, 상기 분리 수단에 의해 상기 기판 유닛으로부터 상기 단부가 분리된 것에 의해서 상기 단자가 노출되어 있는 것을 검사하여, 상기 단자가 노출되어 있지 않은 상기 기판 유닛을 상기 반송 경로로부터 이탈시킨다.
본 양상에 따른 브레이크 시스템에 따르면, 브레이크 장치에 의해서 생성된 기판 유닛을 후단장치에 반송하는 반송 과정에 있어서, 기판 유닛에 대한 단부의 분리와, 그 검사가 행해지고, 단자가 적정하게 노출된 기판 유닛만이 자동적으로 후단장치에 이송된다. 따라서, 별도로, 작업자가 기판 유닛마다 단자가 적정하게 노출되어 있는지의 여부를 검사하고, 검사 결과에 의거해서 후단장치에 보내야 할 기판 유닛을 분배하는 작업이 불필요해진다. 따라서, 본 양상에 따른 브레이크 시스템에 따르면, 브레이크 후의 작업 효율을 각별히 향상시키는 것이 가능해진다.
본 양상에 따른 브레이크 시스템에 있어서, 상기 브레이크 장치는, 상기 제1 기판이 아래로 향한 상태에서, 상기 제1 기판의 단부를 브레이크시키고, 상기 분리 수단은, 상기 단부가 브레이크된 상기 기판 유닛을 들어올려서, 상기 기판 유닛의 하부면을 반송로로부터 이간시키는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 하면, 기판 유닛이 들어올려진 때에, 단부가 자체 중량에 의해 기판 유닛으로부터 멀어지므로, 단부를 자동적으로 제거할 수 있다.
이 경우에, 상기 반송부는, 상기 분리 수단에 의해서 들어올려진 상기 기판 유닛을 표리 반전시켜서 상기 검사부에 반송하는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 하면, 단자가 위쪽을 향한 상태에서 기판 유닛이 검사부에 반송되므로, 검사부는, 기판 유닛의 위쪽에서 단자가 노출되어 있는 것을 검사할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 벨트 컨베이어에 기판 유닛을 재치(載置)해서 반송하는 바와 같은 경우에, 벨트 컨베이어 위쪽의 빈 공간에 검사부를 간소한 구성으로 용이하게 배치하는 것이 가능해진다.
이 경우에, 상기 반송부는, 상기 기판 유닛을 들어올린 후 표리 반전시켜서 이송하는 제1 이송부와, 표리 반전된 상기 기판 유닛을 수취해서 상기 검사부에 반송하는 제2 이송부를 구비하는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 하면, 기판 유닛의 표리 반전과 검사부에의 주고받기, 즉, 수수를 원활하게 진행시킬 수 있다.
이 경우에, 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부는, 각각, 상기 기판 유닛을 보유부에서 보유해서 선회하도록 구성되고, 상기 제1 이송부의 상기 보유부의 선회 경로의 일부와 상기 제2 이송부의 상기 보유부의 선회 경로의 일부가 평면에서 보아서 서로 중첩되도록 배치되며, 상기 2개의 선회 경로가 서로 중첩되는 위치에 있어서, 상기 기판 유닛이 상기 제1 이송부에서 상기 제2 이송부에 수수된다. 이와 같이 하면, 제1 이송부 및 제2 이송부의 배치 스페이스를 컴팩트하게 집약하면서, 제1 이송부에서부터 제2 이송부로 기판 유닛을 원활하게 수수할 수 있다.
본 양상에 따른 브레이크 시스템에 있어서, 상기 검사부는, 상기 단부가 제거되어서 형성된 절결부의 유무를 광학식 변위 센서에 의해 검지함으로써, 상기 단자가 적정하게 노출되어 있는 것을 검사하는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 하면, 기판 유닛에 접촉하는 일 없이 단자가 노출하고 있는 것을 검사할 수 있다.
이 경우에, 상기 검사부는, 상기 절결부를 횡절하는 방향으로 상기 광학식 변위 센서를 상기 기판 유닛에 대해서 상대적으로 이동시켜서, 상기 기판 유닛에 상기 절결부가 형성되어 있는 것을 검사하는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 하면, 기판 유닛의 전체면을 검사할 경우에 비해서, 절결부가 형성되어 있는 것을 효율적으로 검사할 수 있다.
이 경우에, 상기 반송부는, 상기 기판 유닛을 상기 반송 경로의 하류에 반송하는 컨베이어를 구비하고, 상기 컨베이어의 반송 방향이 상기 절결부를 횡절하는 방향으로 설정되어 있으며, 상기 검사부는, 상기 컨베이어에 의해 반송되는 상기 기판 유닛에 광을 조사해서 상기 절결부의 유무를 검지한다. 이와 같이 하면, 별도로, 검사를 위하여 광학식 변위 센서를 기판 유닛에 대해서 상대적으로 이동시키는 수단을 설치할 필요가 없기 때문에, 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따르면, 작업자에 의한 검사 작업을 생략할 수 있고, 브레이크 후의 작업 효율을 높이는 것이 가능한 브레이크 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타낸 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은, 이하의 실시형태에 기재된 것으로 하등 제한되는 것은 아니다.
도 1은 실시형태에 따른 브레이크 시스템의 구성을 나타낸 모식도;
도 2는 실시형태에 따른 기판이 브레이크되는 순서를 나타낸 도면;
도 3(b) 및 도 3(c)는, 각각, 실시형태에 따른 제1 기판 및 제2 기판이 브레이크될 때의 상태를 나타낸 측면도;
도 4(a) 및 도 4(b)는, 실시형태에 따른 브레이크 유닛의 보유부재로부터 기판 측의 구성을 나타낸 단면도;
도 5는 실시형태에 따른 브레이크 유닛의 구성을 나타낸 단면도;
도 6(a) 및 도 6(b)는 실시형태에 따른 기판이 브레이크되는 것을 상세히 나타낸 도면;
도 7(a) 및 도 7(b)는, 각각, 실시형태에 따른 상류측 및 하류측의 브레이크 유닛의 구성을 나타낸 모식도;
도 8은 실시형태에 따른 기판에 대해서 절결부가 형성되어 있는 것을 검사하는 구성을 나타낸 도면;
도 9(a) 내지 도 9(d)는 실시형태에 따른 검사부의 상세한 구성을 나타낸 도면;
도 10(a) 내지 도 9(d)는 실시형태에 따른 검사부의 구성을 나타낸 측면도;
도 11은 실시형태에 따른 브레이크 시스템에 의한 처리를 나타낸 순서도;
도 12는 변경예에 따른 기판에 대해서 절결부가 형성되어 있는 것을 검사하는 구성을 나타낸 도면.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 또, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 XYZ축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 정방향은 연직상 방향이다.
도 1은 브레이크 시스템(1)의 구성을 나타낸 모식도이다.
브레이크 시스템(1)의 상류측(X축 부측)에는, 기판(G1)에 대해서 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 장치(도시 생략)가 설치되어 있다. 브레이크 시스템(1)은, 스크라이브 장치로부터 반송되는 기판(G1)을 입수하여, 기판(G1)을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시킴으로써 기판(G2)을 생성하고, 기판(G2)을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시킴으로써, 액정 패널의 원형이 되는 기판 유닛(G3)을 생성한다.
기판(G1)은, 기판 유닛(G3)이 잘라내지는 마더 기판이며, 제1 기판과 제2 기판이 서로 접합된, 소위 접합 기판에 의해서 구성되어 있다. 제1 기판에는 컬러 필터가 형성되어 있고, 제2 기판에는 액정을 구동하기 위한 박막 트랜지스터(TFT) 및 외부접속을 위한 단자가 형성되어 있다. 제1 기판과 제2 기판은 밀봉재를 개재해서 접합되어 있고, 제1 기판과, 제2 기판과, 밀봉재에 의해서 형성되는 영역에 액정이 주입되어 있다. 스크라이브 라인은, 밀봉재를 따라서 제1 기판의 외측면과 제2 기판의 외측면에 형성되어 있다. 기판(G1)은, 하부면 측(Z축 부측)에 제1 기판이 위치하도록, 스크라이브 장치로부터 브레이크 시스템(1)으로 반송된다.
브레이크 시스템(1)은, 컨베이어(11, 13, 17, 19, 20, 22, 26, 30, 34)와, 브레이크 장치(12, 18, 21)와, 이송부(14, 15, 31, 32)와, 가이드(16, 33)와, 회전 이송부(23, 24, 27, 28)와, 검사부(25, 29)를 구비한다.
컨베이어(11)는, 상류의 스크라이브 장치로부터 반송된 기판(G1)을 X축 정방향으로 반송한다. 브레이크 장치(12)는, 기판(G1)의 제1 기판 측 및 제2 기판 측에 각각 배치된 브레이크 유닛(12a)을 구비한다. 2개의 브레이크 유닛(12a)은, Z축 방향에서 보아서, 컨베이어(11)와 컨베이어(13) 사이에 위치한다. 브레이크 장치(12)는, 2개의 브레이크 유닛(12a)에 의해, 기판(G1)을 브레이크시켜 기판(G2)을 생성한다. 컨베이어(13)는, 생성된 기판(G2)을 X축 정방향으로 반송하고, 이송부(14, 15)에 의한 보유 위치에 위치 부여한다.
이송부(14, 15)는, Y축 방향으로 뻗은 가이드(16)를 따라서 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이송부(14, 15)는, 컨베이어(13) 상의 보유 위치에 위치 부여된 기판(G2)을 위쪽으로부터 흡착함으로써 위쪽으로 끌어올린다. 이송부(14)는, 끌어올린 기판(G2)을 Y축 정방향으로 이동시키고, 90도 회전시켜서 컨베이어(17) 상에 재치한다. 이송부(15)는, 끌어올린 기판(G2)을 Y축 부방향으로 이동시키고, 90도 회전시켜서 컨베이어(20) 상에 재치한다. 기판(G1)으로부터 생성된 기판(G2)은, 이송부(14, 15)에 의해, 교대로 컨베이어(17, 20)에 반송된다.
컨베이어(17)는, 기판(G2)을 X축 정방향으로 반송한다. 브레이크 장치(18)는, 기판(G2)의 제1 기판 측 및 제2 기판 측에 각각 배치된 브레이크 유닛(18a)을 구비한다. 2개의 브레이크 유닛(18a)은, Z축 방향에서 보아서, 컨베이어(17)와 컨베이어(19) 사이에 위치한다. 브레이크 장치(18)는, 2개의 브레이크 유닛(18a)에 의해, 기판(G2)을 브레이크시켜 기판 유닛(G3)을 생성한다. 컨베이어(19)는, 생성된 기판 유닛(G3)을 X축 정방향으로 반송하고, 컨베이어(19)의 X축 정측의 단부에 위치 부여한다.
마찬가지로, 컨베이어(20)는, 기판(G2)을 X축 정방향으로 반송한다. 브레이크 장치(21)는 기판(G2)의 제1 기판 측 및 제2 기판 측에 각각 배치된 브레이크 유닛(21a)을 구비한다. 2개의 브레이크 유닛(21a)는, Z축 방향에서 보아서, 컨베이어(20)와 컨베이어(22) 사이에 위치한다. 브레이크 장치(21)는, 2개의 브레이크 유닛(21a)에 의해, 기판(G2)을 브레이크시켜 기판 유닛(G3)을 생성한다. 컨베이어(22)는, 생성된 기판 유닛(G3)을 X축 정방향으로 반송하고, 컨베이어(22)의 X축 정측의 단부에 위치 부여한다.
회전 이송부(23)는, 컨베이어(19)의 X축 정측의 단부에 위치 부여된 기판 유닛(G3)을 끌어올리고, 끌어올린 기판 유닛(G3)을 표리 반전시켜서 회전 이송부(24)에 인도한다. 회전 이송부(24)는, 회전 이송부(24)로부터 수취한 기판 유닛(G3)을 검사부(25)에 인도한다. 검사부(25)는, 기판 유닛(G3)에 대해서, 브레이크 장치(18)에 의한 브레이크가 적정하게 행해진 것을 검사한다. 회전 이송부(24)는, 검사에 의해 적정이라고 판정된 기판 유닛(G3)을 컨베이어(26)의 X축 부측의 단부에 재치한다. 컨베이어(26)는, 기판 유닛(G3)을 X축 정방향으로 반송하고, 컨베이어(26)의 X축 정측의 단부에 위치 부여한다.
마찬가지로, 회전 이송부(27)는, 컨베이어(22)의 X축 정측의 단부에 위치 부여된 기판 유닛(G3)을 끌어올리고, 끌어올린 기판 유닛(G3)을 표리 반전시켜서 회전 이송부(28)에 인도한다. 회전 이송부(28)는, 회전 이송부(27)로부터 수치한 기판 유닛(G3)을 검사부(29)에 인도한다. 검사부(29)는, 기판 유닛(G3)에 대해서, 브레이크 장치(21)에 의한 브레이크가 적정하게 행해진 것을 검사한다. 회전 이송부(28)는, 검사에 의해 적정이라고 판정된 기판 유닛(G3)을 컨베이어(30)의 X축 부측의 단부에 재치한다. 컨베이어(30)는, 기판 유닛(G3)을 X축 정방향으로 반송하고, 컨베이어(30)의 X축 정측의 단부에 위치 부여한다.
이송부(31, 32)는, Y축 방향으로 뻗은 가이드(33)를 따라서 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이송부(31, 32)는, 각각, 컨베이어(26, 30)의 X축 정측의 단부에 위치 부여된 기판 유닛(G3)을 위쪽으로부터 흡착함으로써 끌어올린다. 이송부(31, 32)는, 각각, 끌어올린 기판 유닛(G3)을 Y축 부방향 및 Y축 정방향으로 이동시키고, 컨베이어(34)의 X축 부측의 단부에 재치한다. 컨베이어(34)는, 기판 유닛(G3)을 X축 정방향으로 반송하고, 후단의 연마 및 세정을 행하는 장치(도시 생략)에 반출한다. 이렇게 해서, 브레이크 시스템(1)에 의한 처리가 종료된다.
도 2는 기판(G1)으로부터, 기판(G2)과 기판 유닛(G3)이 생성되는 순서를 나타낸 도면이다. 도 2는, 브레이크 시스템(1) 내를 반송되는 기판(G1, G2) 및 기판 유닛(G3)을, 위쪽에서부터 본 도면이다. 또, 기판(G2)과 기판 유닛(G3)에 대해서는 대응하는 측면도도 아울러서 도시되어 있다.
브레이크 시스템(1)에 반송되는 기판(G1)은, 상류의 스크라이브 장치에 의해서 스크라이브 라인(L1 내지 L5)이 형성되어 있다. 스크라이브 라인(L1)은, 기판(G1)의 제1 기판의 하부면에 있어서 Y축 방향을 따라서 형성되어 있다. 스크라이브 라인(L2)은, 기판(G1)의 제2 기판의 상부면에 있어서 Y축 방향을 따라서 형성되어 있다. Z축 방향에서 보아서, 스크라이브 라인(L1, L2)의 위치는 같다. 스크라이브 라인(L3, L5)은, 기판(G1)의 제1 기판의 하부면에 있어서 X축 방향을 따라서 형성되어 있다. 스크라이브 라인(L4)은, 기판(G1)의 제2 기판의 상부면에 있어서 X축 방향을 따라서 형성되어 있다. Z축 방향에서 보아서, 스크라이브 라인(L3, L4)의 위치는 같고, 스크라이브 라인(L3, L4)의 위치와 스크라이브 라인(L5)의 위치는 다르다.
기판(G1)의 스크라이브 라인(L1, L2)이 브레이크 장치(12)에 의한 브레이크 위치에 반송되면, 브레이크 장치(12)에 의해, 제1 기판과 제2 기판이 각각 스크라이브 라인(L1, L2)을 따라서 브레이크된다. 이것에 의해, 기판(G2)이 생성된다. 생성된 기판(G2)은, 도 1에 나타낸 이송부(14, 15)에 의해, Y축 정방향 및 Y축 부방향으로 반송된 후, Z축 방향에서 보아서 시계 방향으로 90도 회전되어, 컨베이어(17, 20)에 재치된다.
다음에, 기판(G1)의 스크라이브 라인(L5)이 브레이크 장치(18)에 의한 브레이크 위치에 반송되면, 브레이크 장치(18)에 의해, 제1 기판이 스크라이브 라인(L5)을 따라서 브레이크된다. 또한, 기판(G2)의 스크라이브 라인(L3, L4)이 브레이크 장치(18)에 의한 브레이크 위치에 반송되면, 브레이크 장치(18)에 의해, 제1 기판이 스크라이브 라인(L3)을 따라서 브레이크되고, 제2 기판이 스크라이브 라인(L4)을 따라서 브레이크된다. 이것에 의해, 기판 유닛(G3)이 생성된다.
이때, 스크라이브 라인(L3, L5) 사이에 상당하는 제1 기판의 단부(G2a)(사선부분)가 분리되므로, 생성되는 기판 유닛(G3)에는 Y축 방향으로 뻗은 절결부(G3a)가 형성된다. 이와 같이 단부(G2a)가 분리되어 절결부(G3a)가 형성되면, 제2 기판에 형성되어 있는 단자가 노출되게 된다.
마찬가지로, 기판(G2)의 스크라이브 라인(L3, L4, L5)이 브레이크 장치(21)에 의한 브레이크 위치에 반송되면, 브레이크 장치(21)에 의해, 제1 기판이 스크라이브 라인(L3, L5))을 따라서 브레이크되고, 제2 기판이 스크라이브 라인(L4)을 따라서 브레이크된다. 이것에 의해, 기판 유닛(G3)이 생성되고, 생성되는 기판 유닛(G3)에는 절결부(G3a)가 형성된다.
도 3(a)는 브레이크 장치(12)를 Y축 부방향에서 보았을 경우의 측면도이다.
브레이크 장치(12)는, 전술한 바와 같이 2개의 브레이크 유닛(12a)을 구비한다. 2개의 브레이크 유닛(12a)은, 컨베이어(11) 위를 반송되는 기판(G1)을 개재해서 서로 대향하여 배치되어 있고, 기판(G1)을 대칭면으로 해서 서로 대칭인 구성을 갖는다. 이하, 도 3(a)을 참조하여, 위쪽의 브레이크 유닛(12a)의 구성에 대해서 설명한다.
브레이크 유닛(12a)은, 보유부재(101)와, 가이드(102)와, 실린더(103)와, 슬라이딩 부재(104)와, 보유부재(105)와, 수용부(106)와, 브레이크 바(107)를 구비한다.
보유부재(101)는, 브레이크 시스템(1) 내에 고정적으로 설치되어 있고, Z축 방향으로 뻗은 가이드(102) 및 로드(103a)를 구비하는 실린더(103)를 보유한다. 슬라이딩 부재(104)는, 가이드(102)를 따라서 Z축 방향으로 슬라이딩 가능하게 구성되어 있다. 실린더(103)의 로드(103a)의 하단은, 슬라이딩 부재(104)의 상부면에 설치되어 있다. 실린더(103)의 로드(103a)가 Z축 방향으로 이동함으로써, 슬라이딩 부재(104)가 가이드(102)를 따라서 Z축 방향으로 이동한다. 보유부재(105)는 슬라이딩 부재(104)의 하부면에 설치되어 있고, 수용부(106)는 보유부재(105)의 하부면에 설치되어 있다.
수용부(106) 내에는, 기판(G1)의 스크라이브 라인(L1, L2)을 따라서 Y축 방향으로 뻗는 브레이크 바(107)가 배치되어 있다. 브레이크 바(107)의 하단에는, Y축 방향으로 뻗는 단부(107a)가 형성되어 있다. 브레이크 바(107)는, 수용부(106)의 내부에 있어서, 후술하는 기구에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 수용부(106)의 하단에는, Y축 방향으로 뻗는 2개의 받침부(106a)가 형성되어 있고, 2개의 받침부(106a)는 브레이크 바(107)를 사이에 끼우는 위치에 있다. 또, 수용부(106), 브레이크 바(107), 및 수용부(106)의 내부의 기구에 대해서는, 추후에 도 4(a) 내지 도 5를 참조해서 설명한다.
도 3(b)는 기판(G1)의 아래쪽의 제1 기판이 브레이크될 때의 상태를 나타낸 측면도이며, 도 3(c)는 기판(G1)의 위쪽의 제2 기판이 브레이크될 때의 상태를 나타내는 측면도이다.
기판(G1)이 X축 정방향으로 반송되어서, 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인(L1, L2)이 브레이크 바(107)의 단부(107a)의 위치에 합치되면, 도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 브레이크 장치(12)가 구동된다. 구체적으로는, 위쪽의 브레이크 바(107)가 아래쪽 방향으로 구동됨으로써, 위쪽의 브레이크 바(107)의 단부(107a)가 제2 기판에 압압된다. 또한, 아래쪽의 로드(103a)가 위쪽 방향으로 구동됨으로써, 아래쪽의 수용부(106)의 받침부(106a)가 제1 기판에 압압된다.
이와 같이, 제2 기판의 스크라이브 라인(L2)에 단부(107a)가 압압되고, 제1 기판의 스크라이브 라인(L1)으로부터 X축 정방향 및 X축 부방향으로 소정 폭만큼 벗어난 위치에 받침부(106a)가 압압된다. 이것에 의해, 제1 기판이 스크라이브 라인(L1)을 따라서 브레이크된다. 제1 기판의 브레이크에 대해서는, 추후에 도 6(a)를 참조해서 상세히 설명한다.
제1 기판이 브레이크되면, 기판(G1)의 위치는 이동되는 일 없이, 다음에, 도 3(c)에 나타낸 바와 같이, 브레이크 장치(12)가 구동된다. 구체적으로는, 위쪽의 브레이크 바(107)가 위쪽 방향으로 구동되고, 위쪽의 로드(103a)가 아래쪽 방향으로 구동됨으로써, 위쪽의 수용부(106)의 받침부(106a)가 제2 기판에 압압된다. 또한, 아래쪽의 로드(103a)가 아래쪽 방향으로 구동되고, 아래쪽의 브레이크 바(107)가 위쪽 방향으로 구동됨으로써, 아래쪽의 브레이크 바(107)의 단부(107a)가 제1 기판에 압압된다.
이와 같이, 제1 기판의 스크라이브 라인(L1)에 단부(107a)가 압압되고, 제2 기판의 스크라이브 라인(L2)으로부터 X축 정방향 및 X축 부방향으로 소정 폭만큼 벗어난 위치에 받침부(106a)가 압압된다. 이것에 의해, 제2 기판이 스크라이브 라인(L2)을 따라서 브레이크된다. 제2 기판의 브레이크에 대해서는, 추후에 도 6(b)를 참조해서 상세히 설명한다.
도 4(a) 및 도 4(b)와 도 5는 위쪽의 브레이크 유닛(12a)의 보유부재(105)로부터 아래쪽의 구성을 나타낸 단면도이다. 도 4(a)는, 도 4(b)에 나타낸 A1-A2 단면도이며, 도 4(b)는 도 4(a)에 나타낸 B1-B2 단면도이고, 도 5는 도 4(a) 및 도 4(b)에 나타낸 C1-C2 단면도이다. A1-A2 단면은 XZ 평면에 평행한 단면이고, B1-B2 단면은 YZ 평면에 평행한 단면이며, C1-C2 단면은 XY 평면에 평행한 단면이다.
도 4(a) 및 도 4(b)와 도 5에 나타낸 바와 같이, 수용부(106)는, YZ 평면에 평행한 2개의 벽부(106b) 및 XZ 평면에 평행한 2개의 벽부(106c) 로 이루어진다. 도 4(a) 및 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 받침부(106a)는, 2개의 벽부(106b)의 하단에 형성되어 있다. 받침부(106a)의 외측면이 수용부(106)의 안쪽 방향으로 경사져 있는 것에 의해, 받침부(106a)의 X축 방향의 폭(스크라이브 라인(L1, L2)을 수평방향으로 횡절하는 방향의 폭)은, 기판(G1)으로 접근함에 따라서 좁아지고 있다. 2개의 벽부(106c)의 하단은, 받침부(106a)의 하단보다도 위에 위치 부여되어 있다.
벽부(106b, 106c)에 둘러싸인 공간 내에, 모터(201)와, 볼 나사(202)와, 지지부재(203, 204)와, 브레이크 바(107)가 수용되어 있다. 모터(201)는 보유부재(105)의 하부면에 설치되어 있다. 볼 나사(202)는 모터(201)의 회전축에 고정되어 있다. 지지부재(203)는 볼 나사(202)의 너트에 고정되어 있다. 지지부재(204)의 상단은 지지부재(203)의 하부면에 고정되어 있다. 지지부재(204)의 하단은 2개로 나뉘어져 있다. 지지부재(204)의 2개의 하단은 Y축 방향으로 떨어진 위치에 있고, 이 하단에 브레이크 바(107)가 고정되어 있다. 브레이크 바(107)의 단부(107a)의 측면이 경사져 있는 것에 의해, 단부(107a)의 X축 방향의 폭은, 기판(G1)으로 접근함에 따라서 좁아지고 있다. 즉, 브레이크 바(107)의 단부(107a)는 V자 형상으로 형성되어 있다.
도 4(a) 및 도 4(b)와 도 5에 나타낸 바와 같이, 벽부(106c)의 안쪽면에는 오목부(106d)가 형성되어 있다. Y축 정측과 Y축 부측의 벽부(106c)의 오목부(106d)에, 각각, 브레이크 바(107)의 Y축 정측과 Y축 부측의 단부가 수용되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 마찬가지로, 기판(G1)의 Y축 방향의 폭을 W1, Y축 정측의 벽부(106c)의 안쪽면과 Y축 부측의 벽부(106c)의 안쪽면의 간격을 W2, Y축 정측의 오목부(106d)의 Y축 정측면과 Y축 부측의 오목부(106d)의 Y축 부측면의 간격을 W3, Y축 정측의 벽부(106c)의 외측면과 Y축 부측의 벽부(106c)의 외측면의 간격을 W4라고 하면, W1 내지 W4의 관계는, W1 < W2 < W3 < W4로 되어 있다. 브레이크 바(107)의 X축 방향의 폭을 W5, 오목부(106d)의 X축 방향의 폭을 W6이라고 하면, W5, W6의 관계는, W5 < W6으로 되어 있다.
도 4(a) 및 도 4(b)를 참조하면, 브레이크 바(107)가 아래쪽 방향으로 이동될 경우, 볼 나사(202)의 너트가 아래쪽 방향으로 이동하도록 모터(201)가 구동된다. 이것에 의해, 브레이크 바(107)를 지지하는 지지부재(203, 204)가 아래쪽 방향으로 이동되고, 브레이크 바(107)가 아래쪽 방향으로 이동된다. 다른 한편, 브레이크 바(107)가 위쪽 방향으로 이동될 경우, 볼 나사(202)의 너트가 위쪽 방향으로 이동하도록 모터(201)가 구동된다. 이것에 의해, 브레이크 바(107)를 지지하는 지지부재(203, 204)가 위쪽 방향으로 이동되고, 브레이크 바(107)가 위쪽 방향으로 이동된다. 이때, 브레이크 바(107)는, 오목부(106d)에 안내됨으로써, 확실하게 상하 방향으로만 이동된다.
도 6(a) 및 도 6(b)는, 수용부(106)의 받침부(106a) 및 브레이크 바(107)의 단부(107a)에 의해, 기판(G1)이 브레이크되는 것을 상세히 나타낸 도면이다. 도 6(a) 및 도 6(b)는 도 4(a)와 마찬가지의 A1-A2 단면도이다.
도 6(a)에 나타낸 바와 같이, 제1 기판이 브레이크될 경우, 위쪽의 브레이크 바(107)의 단부(107a)가 제2 기판에 압압되고, 아래쪽의 수용부(106)의 받침부(106a)가 제1 기판의 하부면에 압압된다. 이때, 기판(G1)이 아래쪽 방향으로 휨으로써, 제1 기판이 브레이크된다. 도 6(b)에 나타낸 바와 같이, 제2 기판이 브레이크될 경우, 위쪽의 수용부(106)의 받침부(106a)가 제2 기판에 압압되고, 아래쪽의 브레이크 바(107)의 단부(107a)가 제1 기판에 압압된다. 이때, 기판(G1)이 위쪽 방향으로 휨으로써, 제2 기판이 브레이크된다.
이상, 도 3(a) 내지 도 6(b)를 참조해서, 브레이크 장치(12)의 구성과, 브레이크 장치(12)가 기판(G1)을 브레이크시키는 동작에 대해서 설명했지만, 브레이크 장치(18)의 구성과, 브레이크 장치(18)가 기판(G2)을 브레이크시키는 동작도 거의 마찬가지이고, 브레이크 장치(21)의 구성과, 브레이크 장치(21)가 기판(G2)을 브레이크시키는 동작도 거의 마찬가지이다.
도 7(a)는 브레이크 장치(12)의 위쪽의 브레이크 유닛(12a)을 나타낸 모식도이며, 도 7(b)는 브레이크 장치(18, 21)의 위쪽의 브레이크 유닛(18a, 21a)을 나타낸 모식도이다. 또, 브레이크 장치(18, 21)는, 서로 같은 구성을 갖고 있다.
도 7(a) 및 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 브레이크 유닛(18a, 21a)은, 브레이크 유닛(12a)과 비교해서, 보유부재(105), 수용부(106), 및 브레이크 바(107)의 Y축 방향의 길이가 짧은 점에 있어서 다르다. 브레이크 유닛(18a, 21a)의 그 밖의 구성은, 브레이크 유닛(12a)과 마찬가지이다.
또, 브레이크 유닛(18a, 21a)에 있어서도, 도 5에 나타낸 W1 내지 W4의 길이의 관계는 마찬가지로 설정되어 있다. 즉, 도 5에 있어서, W1을 기판(G2)의 Y축 방향의 폭으로 하고, W2 내지 W4를 브레이크 유닛(18a, 21a)이 대응하는 길이로 하면, W1 내지 W4의 관계는, 브레이크 유닛(12a)의 경우와 마찬가지로 W1 < W2 < W3 < W4로 된다.
또한, 브레이크 장치(18)의 2개의 브레이크 유닛(18a)은, 기판(G2)을 개재해서 서로 대향하여 배치되어 있고, 기판(G2)을 대칭면으로 해서 서로 대칭인 구성을 갖는다. 마찬가지로, 브레이크 장치(21)의 2개의 브레이크 유닛(21a)은, 기판(G2)을 개재해서 서로 대향하여 배치되어 있고, 기판(G2)을 대칭면으로 해서 서로 대칭인 구성을 갖는다. 따라서, 브레이크 장치(18, 21)는, 브레이크 장치(12)와 마찬가지로 해서, 기판(G2)을 브레이크시킬 수 있다.
다음에, 기판 유닛(G3)에 대해서 절결부(G3a)가 형성되어 있는 것을 검사하기 위한 구성 및 처리에 대해서 설명한다. 여기에서, 컨베이어(19, 26), 회전 이송부(23, 24) 및 검사부(25)와, 컨베이어(22, 30), 회전 이송부(27, 28) 및 검사부(29)는, 각각 XZ 평면을 대칭면으로 해서 대칭인 구성으로 되어 있다. 따라서, 이하에서는, 브레이크 장치(18)에 의해서 생성된 기판 유닛(G3)을 검사할 경우에 대해서 설명하고, 브레이크 장치(21)에 의해 생성된 기판 유닛(G3)을 검사할 경우에 대해서는 설명을 생략한다.
도 8은, 컨베이어(19, 26), 회전 이송부(23, 24) 및 검사부(25)를 포함하는 주변의 구성을, 위쪽에서부터 본 도면이다. 도 8에서는, 편의상, 브레이크 장치(18)의 도시가 생략되어 있다.
회전 이송부(23)는, Z축 방향으로 뻗는 축(310)과, 축(310)을 중심으로 해서 회전하는 회전체(320)와, 회전체(320)의 측면에 설치된 4개의 구동부(330)를 구비한다. 구동부(330)는, 지지부(331)와, 지지부(331)에 지지된 축(332)과, 축(332)의 선단에 설치된 흡착 패드 지지부(333)와, 흡착 패드 지지부(333)에 의해서 지지된 흡착 패드(334)를 구비한다. 구동부(330)는, 회전체(320)에 대해서 승강하고, 축(332)을 해당 축(332)을 중심으로 회전시켜, 흡착 패드(334) 내의 공기를 출입시킨다. 구동부(330)가 구동됨으로써, 기판 유닛(G3)이, 흡착 패드(334)를 개재해서 승강 및 표리 회전된다.
회전 이송부(24)는, Z축 방향으로 뻗는 축(410)과, 축(410)을 중심으로 해서 회전하는 회전체(420)와, 회전체(320)의 하부면에 설치된 4개의 구동부(430)를 구비한다. 구동부(430)는 흡착 패드(431)를 구비한다. 구동부(430)는, 흡착 패드(431)를 회전체(420)에 대해서 승강시켜, 흡착 패드(431) 내의 공기를 출입시킨다. 구동부(430)가 구동됨으로써, 기판 유닛(G3)이, 흡착 패드(431)를 개재해서 승강된다. 검사부(25)는, 컨베이어(510)와, 2개의 레일(520)과, 게이트(530)와, 센서(540)와, 이송부(550)를 구비한다.
브레이크 장치(18)에 의해서 생성된 기판 유닛(G3)은, 컨베이어(19)에 의해서 X축 정방향으로 반송되어, 컨베이어(19)의 X축 정측의 위치(P1)에 위치 부여된다. 위치(P1)의 기판 유닛(G3)은, 흡착 패드(334)에 의해 흡착되어, 컨베이어(19)의 반송로로부터 끌어올려진다.
여기에서, 분리된 제1 기판의 단부(G2a)도, 컨베이어(19)에 의해서 기판 유닛(G3)과 함께 X축 정방향으로 반송된다. 그리고, 기판 유닛(G3)이 구동부(330)의 흡착 패드(334)에 의해 들어올려지고, 기판 유닛(G3)의 하부면이 컨베이어(19)의 반송로로부터 이간되었을 때에, 단부(G2a)는, 자체 중량에 의해서 기판 유닛(G3)으로부터 멀어진다. 즉, 구동부(330)는 단부(G2a)를 기판 유닛(G3)으로부터 분리시킨다. 기판 유닛(G3)으로부터 멀어져 컨베이어(19) 상에 남겨진 단부(G2a)는, 더욱 X축 정방향으로 반송되어서 컨베이어(19)의 X축 정측에 낙하됨으로써 회수된다.
또, 단부(G2a)는, 브레이크 장치(18)의 브레이크 후, 검사부(25)에 이송될 때까지의 사이에, 상기 이외의 수단에 의해서 기판 유닛(G3)으로부터 분리되어도 된다. 예를 들면, 단부(G2a)는, 컨베이어(17, 19) 사이로부터 아래로 낙하됨으로써 분리되어도 되거나, 에어를 내뿜어 컨베이어(19)로부터 낙하시킴으로써 분리되어도 되거나, 다른 흡착 패드에 의해 흡착되어서 제거되어도 된다.
계속해서, 회전체(320)가 위쪽으로부터 보아서 반시계 방향으로 90도 회전되어, 위치(P1)에 있어서 끌어올려진 기판 유닛(G3)이, 위치(P2)에 위치 부여된다. 그리고, 축(332)이 해당 축(332)을 중심으로 회전되어, 위치(P2)의 기판 유닛(G3)이 표리 반전된다. 이것에 의해, 기판 유닛(G3)의 절결부(G3a)가 상부면 측으로 향하게 된다. 계속해서, 회전체(320)이 위쪽으로부터 보아서 반시계 방향으로 90도 회전되어, 위치(P2)의 기판 유닛(G3)이 위치(P3)에 위치 부여된다.
계속해서, 위치(P3)의 기판 유닛(G3)은, 회전 이송부(23)의 흡착 패드(334)에 지지된 상태로부터, 회전 이송부(24)의 흡착 패드(431)에 흡착된 상태로 옮겨진다. 그리고, 회전체(420)가 위쪽으로부터 보아서 시계 방향으로 90도 회전되고, 기판 유닛(G3)이, 컨베이어(510)의 X축 정측의 위치(P4)에 재치된다. 또, 기판 유닛(G3)이 위치(P4)에 재치되면, 회전체(420)가 45도 회전되어, 구동부(430)가 검사부(25)에 의한 검사에 방해가 되지 않는 위치로 퇴피된다.
계속해서, 게이트(530)가, 레일(520) 위를 X축 정방향으로 이송되어, 위치(P4)의 기판 유닛(G3)의 바로 위에 위치 부여된다. 그리고, 센서(540)가, 이송부(550)에 의해서 Y축 부방향으로 이송된다. 센서(540)의 검출 신호에 의거해서, 위치(P4)의 기판 유닛(G3)에 절결부(G3a)가 형성되어 있는 것이 검사된다. 검사부(25)의 상세한 구성에 대해서는, 추후에 도 9(a) 내지 도 9(d)를 참조해서 설명한다.
절결부(G3a)가 형성되어 있지 않다고 판정되면, 위치(P4)의 기판 유닛(G3)이, 컨베이어(510)에 의해서 X축 부방향으로 반송되어, 컨베이어(510)의 X축 부측에 낙하된다. 컨베이어(510)의 X축 부측에는 도시하지 않은 회수부가 설치되어 있고, 절결부(G3a)가 형성되어 있지 않은 기판 유닛(G3)은 회수부에 회수된다. 다른 한편, 절결부(G3a)가 형성되어 있다고 판정되면, 위치(P4)의 기판 유닛(G3)이, 다시 회전 이송부(24)의 흡착 패드(431)에 의해 끌어올려진다. 그리고, 회전체(420)가 위쪽에서부터 보아서 시계 방향으로 90도 회전되어, 위치(P4)에 있어서 끌어올려진 기판 유닛(G3)이, 컨베이어(26)의 X축 부측의 위치(P5)에 재치된다. 위치(P5)의 기판 유닛(G3)은, 컨베이어(26)에 의해 X축 정방향으로 반송되어, 컨베이어(26)의 X축 정측의 위치(P6)에 위치 부여된다.
위치(P6)의 기판 유닛(G3)은, 이송부(31)의 흡착 패드(31a)에 의해 끌어려진다. 그리고, 이송부(31)가 가이드(33)를 따라서 Y축 부방향으로 이동하고, 기판 유닛(G3)이 컨베이어(34) 상에 재치된다. 컨베이어(34) 상에 재치된 기판 유닛(G3)은, 컨베이어(34)에 의해 X축 정방향으로 반송되어, 후단의 장치에 반출된다.
도 9(a) 내지 도 9(d)는 검사부(25)의 구성을 나타낸 도면이다. 도 9(a) 및 도 9(c)는 검사부(25)의 사시도이고, 도 9(b) 및 도 9(d)는, 각각, 도 9(a) 및 도 9(c)를 위쪽에서부터 본 도면이다. 도 9(a) 내지 도 9(d)에는 위치(P4)에 있는 기판 유닛(G3)이 도시되어 있다.
2개의 레일(520)은, 컨베이어(510)의 Y축 정측과 Y축 부측에 위치하고, 브레이크 시스템(1) 내에 고정되어 있다. 게이트(530)는, 2개의 레일(520) 위를 X축 방향으로 슬라이딩 가능해지도록 구성되어 있다. 센서(540)는, 게이트(530)의 Y축 방향으로 뻗는 부재의 하부면 측에, 이송부(550)에 의해서 지지되어 있다. 센서(540)는, 이송부(550)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 센서(540)는, 도시하지 않은 레이저 광원 및 수광소자를 구비하는 광학식 변위 센서이다. 센서(540)는, 레이저 광원으로부터 Z축 부방향으로 레이저 광을 출사하고, 물체에 의해서 반사된 레이저 광을 수광소자에 의해서 수광한다. 센서(540)는, 수광소자 상의 수광위치를 검출 신호로서 출력한다. 센서(540)의 검출 신호에 의거해서, 삼각 거리측정 방식에 의해 센서(540)로부터 대상물까지의 거리가 취득된다.
도 9(a) 및 도 9(b)에 나타낸 바와 마찬가지로, 컨베이어(510)의 위치(P4)에 기판 유닛(G3)이 재치되면, 게이트(530)가 2개의 레일(520)을 따라서 X축 정방향으로 이송되어, 도 9(c) 및 도 9(d)에 나타낸 바와 같이, 센서(540)가 위치(P4)의 기판 유닛(G3)의 바로 위에 위치 부여된다. 센서(540)가 기판 유닛(G3)의 바로 위에 위치 부여되면, 센서(540)로부터 레이저 광이 출사되고, 센서(540)가 Y축 부방향으로 이송된다.
도 10(a) 내지 도 10(d)는 검사부(25)를 X축 부방향에서 본 측면도이다.
센서(540)가 위치(P4)의 기판 유닛(G3)의 바로 위에 위치 부여되고, 센서(540)의 레이저 광원으로부터 레이저 광이 출사되면, 도 10(a)에 나타낸 바와 마찬가지로, 기판 유닛(G3)에 의해서 반사된 레이저 광이 센서(540)의 수광소자에 의해 수광된다. 그리고, 도 10(a)에 나타낸 상태로부터, 센서(540)가 Y축 부방향으로 이송된다.
적정하게 절결부(G3a)가 형성되어 있을 경우, 도 10(a)에 나타낸 상태로부터 센서(540)가 Y축 부방향으로 소정 거리만큼 이송되면, 도 10(b)에 나타낸 바와 같이, 센서(540)로부터 Z축 부방향의 대상물까지의 거리가, 절결부(G3a)의 Z축 방향의 폭만큼 길어진다. 이와 같이, 센서(540)를 Y축 부방향으로 소정 거리만큼 이송했을 때에, 센서(540)로부터 Z축 부방향의 대상물까지의 거리가 절결부(G3a)의 Z축 방향의 폭만큼 길어질 경우, 이 기판 유닛(G3)에 절결부(G3a)가 형성되어 있다고 판정된다.
다른 한편, 적정하게 절결부(G3a)가 형성되어 있지 않을 경우, 도 10(a)에 나타낸 상태로부터 센서(540)가 Y축 부방향으로 소정 거리만큼 이송되어도, 도 10(c)에 나타낸 바와 같이, 센서(540)로부터 Z축 부방향의 대상물까지의 거리는 거의 변하지 않는다. 이와 같이, 센서(540)를 Y축 부방향으로 소정 거리만큼 이송했을 때, 센서(540)로부터 Z축 부방향의 대상물까지의 거리가 거의 변하지 않을 경우, 이 기판 유닛(G3)에 절결부(G3a)가 형성되어 있지 않다고 판정된다.
또, 도 10(d)에 나타낸 바와 같이, 센서(540)를 더욱 Y축 부방향으로 이송해도 된다. 이와 같이 하면, 센서(540)로부터 대상물까지의 거리가 2단계로 변화된 경우에, 절결부(G3a)가 형성되어 있다고 판정할 수 있다. 다른 한편, 센서(540)로부터 대상물까지의 거리가 1단계밖에 변화되지 않은 경우에는, 절결부(G3a)가 형성되지 않고 있다고 판정할 수 있다.
도 11은 브레이크 시스템(1)에 의한 처리를 나타낸 순서도이다.
기판(G1)이 브레이크 장치(12)에 의해 브레이크되면, 기판(G2)이 생성된다(S11). 생성된 기판(G2)은, 브레이크 장치(18, 21)에 반송된다(S12). 기판(G2)이 브레이크 장치(18, 21)에 의해 브레이크되면, 기판 유닛(G3)이 생성된다(S13). 브레이크 장치(18)에 의해 생성된 기판 유닛(G3)은 컨베이어(19)와 회전 이송부(23, 24)에 의해 검사부(25)에 반송되고, 브레이크 장치(21)에 의해 생성된 기판 유닛(G3)은 컨베이어(22)와 회전 이송부(27, 28)에 의해 검사부(29)에 반송된다(S14).
검사부(25, 29)는, 기판 유닛(G3)에 절결부(G3a)가 형성되어 있는 것을 검사한다(S15). 절결부(G3a)가 형성되어 있지 않을 경우(S16: 아니오), 기판 유닛(G3)은, 컨베이어(510)에 의해 X축 부방향으로 반송됨으로써 반송 경로로부터 이탈되어, 회수부에 회수된다(S17). 절결부(G3a)가 형성되어 있을 경우(S16: 예), 기판 유닛(G3)은 후단의 장치에 반출된다(S18). 구체적으로는, 검사부(25)에 있는 기판 유닛(G3)은, 회전 이송부(24)와, 컨베이어(26)와, 이송부(31)와, 컨베이어(34)에 의해, 후단의 장치에 반출된다. 검사부(29)에 있는 기판 유닛(G3)은, 회전 이송부(28)와, 컨베이어(30)와, 이송부(32)와, 컨베이어(34)에 의해, 후단의 장치에 반출된다.
<실시형태의 효과>
본 실시형태에 따르면, 이하의 효과가 발휘된다.
브레이크 장치(18, 21)에 의해서 생성된 기판 유닛(G3)을 후단장치에 반송하는 반송 과정에 있어서, 기판 유닛(G3)에 대한 단부(G2a)의 분리와, 그 검사가 행해지고, 단자가 적정하게 노출된 기판 유닛(G3)만이 자동적으로 후단장치에 이송된다. 따라서, 별도로, 작업자가 기판 유닛(G3)마다 단자가 적정하게 노출되어 있는지의 여부를 검사하고, 검사 결과에 의거해서 후단장치에 보내야 할 기판 유닛(G3)을 가른다고 하는 작업이 불필요해진다. 따라서, 본 실시형태의 브레이크 시스템(1)에 따르면, 브레이크 후의 작업 효율을 각별히 향상시키는 것이 가능해진다.
브레이크 장치(18, 21)는, 제1 기판이 하부면 측을 향한 상태에서, 제1 기판의 단부(G2a)를 브레이크시키고, 구동부(330)는, 단부(G2a)가 브레이크된 기판 유닛(G3)을 컨베이어(19, 22)로부터 들어올리고, 기판 유닛(G3)의 하부면을 컨베이어(19, 22)의 반송로에서 이간시킨다. 이것에 의해, 기판 유닛(G3)이 들어올려질 때에, 단부(G2a)가 자중에 의해 기판 유닛(G3)으로부터 떨어지므로, 단부(G2a)를 자동적으로 제거할 수 있다.
회전 이송부(23, 27)는, 각각, 컨베이어(19, 22)로부터 들어올린 기판 유닛(G3)을 표리 반전시켜서, 검사부(25, 29)에 반송한다. 이것에 의해, 단자가 위쪽을 향한 상태에서 기판 유닛(G3)이 검사부(25, 29)에 반송되므로, 검사부(25, 29)는, 기판 유닛(G3)의 위쪽에서 단자가 노출되어 있는 것을 검사할 수 있다. 따라서, 본 실시형태와 마찬가지로, 기판 유닛(G3)이 재치된 컨베이어(510)의 위쪽의 공간에, 검사에 이용하는 센서(540)를 간소한 구성으로 용이하게 배치하는 것이 가능해진다.
회전 이송부(23, 27)는, 들어올린 기판 유닛(G3)을 표리 반전시켜, 회전 이송부(24, 28)는, 각각, 회전 이송부(23, 27)로부터 기판 유닛(G3)을 수취해서 검사부(25, 29)에 반송한다. 이것에 의해, 기판 유닛(G3)의 표리 반전과 검사부(25, 29)에의 수수를 원활하게 진행시킬 수 있다.
회전 이송부(23, 24)는, 각각, 기판 유닛(G3)을 흡착 패드에 의해 보유해서 선회하도록 구성되어 있다. 또한, 회전 이송부(23)의 흡착 패드(334)의 선회 경로의 일부와, 회전 이송부(24)의 흡착 패드(431)의 선회 경로의 일부가 평면에서 보아서 서로 중첩되도록 배치되어, 2개의 선회 경로가 서로 중첩되는 위치에 있어서, 기판 유닛(G3)이 회전 이송부(23)로부터 회전 이송부(24)에 수수된다. 이것에 의해, 회전 이송부(23, 24)의 배치 스페이스를 컴팩트하게 집약하면서, 회전 이송부(23)로부터 회전 이송부(24)에 기판 유닛(G3)을 원활하게 수수할 수 있다. 마찬가지로, 회전 이송부(27, 28)의 배치 스페이스를 컴팩트하게 집약하면서, 회전 이송부(27)로부터 회전 이송부(28)에 기판 유닛(G3)을 원활하게 수수할 수 있다.
검사부(25, 29)는, 단부(G2a)가 제거되어서 형성된 절결부(G3a)의 유무를 광학식 변위 센서로 이루어진 센서(540)에 의해 검지함으로써, 단자가 적정하게 노출되어 있는 것을 검사한다. 이것에 의해, 기판 유닛(G3)에 접촉하는 일 없이 단자가 노출되어 있는 것을 검사할 수 있다.
검사부(25, 29)는, 위치(P4)의 기판 유닛(G3)에 대해서 Y축 부방향으로 센서(540)를 이동시키고, 기판 유닛(G3)에 절결부(G3a)가 형성되어 있는 것을 검사한다. 이것에 의해, 기판 유닛(G3)의 전면을 검사할 경우에 비해서, 절결부(G3a)가 형성되어 있는 것을 효율적으로 검사할 수 있다.
기판(G1, G2)의 제1 기판을 브레이크시킬 경우, 제1 기판 측에 배치된 브레이크 유닛(12a, 18a, 21a)의 2개의 받침부(106a)가 제1 기판을 지지한 상태에서, 제2 기판 측에 배치된 브레이크 유닛(12a, 18a, 21a)의 브레이크 바(107)가 제2 기판에 압압된다. 다른 한편, 기판(G1, G2)의 제2 기판을 브레이크시킬 경우, 제2 기판 측에 배치된 브레이크 유닛(12a, 18a, 21a)의 2개의 받침부(106a)가 제2 기판을 지지한 상태에서, 제1 기판 측에 배치된 브레이크 유닛(12a, 18a, 21a)의 브레이크 바(107)가 제1 기판에 압압된다. 이와 같이, 본 실시형태에 따른 브레이크 장치(12, 18, 21)에 따르면, 2개의 브레이크 유닛을 제1 기판 측과 제2 기판 측에 대향하도록 배치함으로써, 제1 기판 및 제2 기판을 같은 위치에서 브레이크시킬 수 있다. 따라서, 간소한 구성으로 기판(G1, G2)을 브레이크시키는 것이 가능해진다.
<변경예>
이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 하등 제한되는 것은 아니고, 또한, 본 발명의 실시형태도 상기 이외에 각종 변경이 가능하다.
예를 들면, 상기 실시형태에서는, 제1 기판이 아래쪽을 향하고 제2 기판이 위쪽을 향한 상태에서 브레이크가 행해졌지만, 제1 기판이 위쪽을 향하고 제2 기판이 아래쪽을 향한 상태에서 브레이크가 행해져도 된다. 이 경우, 스크라이브 라인(L5)은 상부면 측에 형성되고, 브레이크 장치(18, 21)에 의해 기판 유닛(G3)이 생성되었을 때, 절결부(G3a)는 위쪽을 향하고 있다. 이와 같이, 브레이크 직후에 있어서 절결부(G3a)가 위쪽을 향하고 있을 경우, 회전 이송부(23, 27)에 의해 기판 유닛(G3)이 표리 반전될 필요는 없다.
단, 이 경우, 분리된 단부(G2a)가 기판 유닛(G3) 위에 남은 상태가 된다. 따라서, 기판 유닛(G3)이 검사부(25, 29)에 반송되기 전에, 기판 유닛(G3)에 실려 있는 단부(G2a)가, 에어의 내뿜기 등에 의해서 제거된다.
또, 상기 실시형태에서는, 브레이크 장치(18, 21)에 의해서 브레이크된 기판 유닛(G3)은, 각각, 회전 이송부(23, 27)에 의해서 표리 반전되었지만, 이것으로 한정되지 않고, 표리 반전되지 않아도 된다. 이 경우, 검사부(25, 29)에 있어서 절결부(G3a)는 하부면 측을 향하고 있기 때문에, 검사부(25, 29)는, 기판 유닛(G3)의 아래쪽으로부터 절결부(G3a)가 형성되어 있는 것을 검사하게 된다. 이 경우, 예를 들면, 검사부(25, 29)는, 레이저 광을 투과하는 검사대 밑에서부터, 혹은, 기판 유닛(G3)이 재치된 대의 간극을 개재해서 밑에서부터, 절결부(G3a)의 유무를 검출하도록 구성된다. 그러나, 이렇게 하면, 상기 실시형태에 비해서 검사부(25, 29)의 구성이 복잡하게 되어 버린다. 따라서, 상기 실시형태와 같이, 절결부(G3a)가 위쪽을 향한 상태에서, 검사부(25, 29)는, 위쪽에서부터 절결부(G3a)가 형성되어 있는 것을 검사하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시형태에서는, 절결부(G3a)가 형성되어 있지 않다고 판정된 기판 유닛(G3)은, 컨베이어(510)의 X축 부측에 있는 회수부에 회수되었다. 그렇지만, 이것으로 한정되지 않고, 절결부(G3a)가 형성되어 있지 않다고 판정된 기판 유닛(G3)은, 표리 반전시킨 뒤, 재차 컨베이어(17) 또는 컨베이어(20)에 반송되어도 된다. 이 경우, 브레이크 장치(18) 또는 브레이크 장치(21)에 의해서, 스크라이브 라인(L5)을 따라서 제1 기판이 다시 브레이크된다.
또, 상기 실시형태에서는, 검사부(25, 29)는, 기판 유닛(G3)을 X축 방향으로 반송하기 위한 컨베이어(510)를 구비했지만, 기판 유닛(G3)을 반송하기 위한 컨베이어로서, 각각 컨베이어(26, 30)를 이용해도 된다.
도 12는 이 경우의 검사부(25)의 구성을 나타낸 도면이다. 이 경우의 검사부(25)로부터는, 컨베이어(510)와, 레일(520)과, 이송부(550)가 생략되어 있다. 게이트(530)는, 컨베이어(26)의 중간위치 부근에 걸치도록 브레이크 시스템(1) 내에 고정되어 있고, 센서(540)는 게이트(530)의 Y축 방향으로 뻗는 부재의 하부면에 고정되어 있다.
도 12를 참조하면, 회전 이송부(24)는, 회전 이송부(23)로부터 기판 유닛(G3)을 수취하면, 수취한 기판 유닛(G3)을 컨베이어(26) 상의 위치(P5)에 재치한다. 위치(P5)의 기판 유닛(G3)은, 컨베이어에 의해서 X축 정방향으로 반송된다. 이때, 센서(540)에 의해서, X축 정방향으로 진행되는 기판 유닛(G3)에 대해서 상부면까지의 거리가 검출되고, 상기 실시형태와 마찬가지로, 절결부(G3a)가 형성되어 있는 것이 검사된다. 절결부(G3a)가 형성되어 있지 않으면, 기판 유닛(G3)은, 컨베이어(26)의 X축 정측에 낙하되어, 도시하지 않은 회수부에 회수된다. 절결부(G3a)가 형성되어 있으면, 기판 유닛(G3)은 위치(P6)에 위치 부여된다. 그리고, 절결부(G3a)가 형성되어 있는 기판 유닛(G3)은, 상기 실시형태와 마찬가지로 후단의 장치에 반출된다.
또, 도 12에 나타낸 바와 같이, 검사부(25)가 다른 컨베이어를 이용할 경우, 검사부(25)는, 컨베이어(26)의 X축 부측의 단부 부근에 설치되어도 되고, 컨베이어(19)의 중간위치 부근에 설치되어도 된다. 또한, 검사부(25, 29)가, 기판 유닛(G3)을 반송하기 위한 컨베이어로서 컨베이어(34)를 이용해도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 검사부(25)에서 검사가 행해진 후, 기판 유닛(G3)은, 회전 이송부(24)에 의해 컨베이어(26)에 반송되고, 검사부(29)에 의해 검사가 행해진 후, 기판 유닛(G3)은, 회전 이송부(28)에 의해 컨베이어(30)에 반송되었다. 그러나, 이것으로 한정되지 않고, 컨베이어(26, 30)와, 이송부(31, 32)와, 가이드(33)가 생략되고, 검사부(25, 29)에서 검사가 행해진 후, 기판 유닛(G3)은, 각각 회전 이송부(24, 28)에 의해 컨베이어(34)까지 반송되어도 된다.
컨베이어(19) 위의 기판 유닛(G3)은, 회전 이송부(23, 24)에 의해서, 선회하면서 검사부(25)와 컨베이어(26)에 이송되고, 컨베이어(22) 위의 기판 유닛(G3)은, 회전 이송부(27, 28)에 의해, 선회하면서 검사부(29)와 컨베이어(30)에 이송되었다. 그러나, 회전 이송부(23, 24, 27, 28) 대신에, 기판 유닛(G3)을 직선적으로 이송하는 이송부가 설치되어도 된다. 단, 이 경우, 상기 실시형태와 비교해서, 이송부의 설치 스페이스가 커져 버린다. 따라서, 상기 실시형태와 같이, 회전 이송부(23, 24, 27, 28)에 의해서 기판 유닛(G3)이 이송되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시형태에서는, 브레이크 장치(12)에 있어서, 2개의 브레이크 유닛(12a)은 서로 같은 구성으로 되고, 브레이크 장치(18)에 있어서, 2개의 브레이크 유닛(18a)은 서로 같은 구성으로 되며, 브레이크 장치(21)에 있어서, 2개의 브레이크 유닛(21a)는 서로 같은 구성으로 되었다. 그러나, 이것으로 한정되지 않고, 2개의 브레이크 유닛은 반드시 같은 구성이 아니어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 모터(201)와 볼 나사(202)는, 지지부재(204)에 의해 2개소에서 브레이크 바(107)를 지지했지만, 이것으로 한정되지 않고, 지지부재(204)에 의해 3개소 이상에서 브레이크 바(107)를 지지해도 된다. 이 경우, 지지부재(204)는, Y축 방향으로 떨어진 3개소 이상의 부위에서 브레이크 바(107)에 고정된다. 또한, 브레이크 장치(18, 21)에서는, 브레이크 바(107)의 Y축 방향의 길이는 짧기 때문에, 모터(201) 및 볼 나사(202)는, 지지부재(204)에 의해 1개소에서 브레이크 바(107)를 지지해도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 도 4(a) 및 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 벽부(106c)의 기판 측의 단부는, 받침부(106a)의 기판 측의 단부보다도, 기판으로부터 벗어난 위치로 하였다. 그러나, 이것으로 한정되지 않고, Z축 방향에 있어서, 벽부(106c)의 기판 측의 단부는, 받침부(106a)의 기판 측의 단부와 같은 위치이어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 받침부(106a)는, 도 4(a)에 나타낸 형상으로 되었지만, 이것으로 한정되지 않고, 다른 형상이어도 된다. 예를 들면, 받침부(106a)의 안쪽면도 수용부(106)의 외측방향으로 경사져 있는 것에 의해, Y축 방향에서 보아서, 받침부(106a)가 V자 형상으로 형성되어도 된다. 또한, Y축 방향에서 보아서, 받침부(106a)의 외측면 및 안쪽면이 원호 형상으로 형성되어도 된다. 또한, Y축 방향에서 보아서, 받침부(106a)는 직사각형으로 형성되어도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 수용부(106)의 기판 측의 단부에, 연속적으로 받침부(106a)가 형성되었지만, 이것으로 한정되지 않고, 부분적으로 받침부(106a)가 형성되어도 된다. 또한, 받침부(106a)의 형성되는 방향은, 스크라이브 라인에 평행한 것으로 했지만, 스크라이브 라인과 평행하지 않아도 된다. 또한, 받침부(106a)는, 직선 형상으로 형성되었지만, 사행하고 있어도 된다.
본 발명의 실시형태는, 특허청구의 범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적당히, 각종 변경이 가능하다.
1: 브레이크 시스템 18, 21: 브레이크 장치
19, 22, 26, 30, 34: 컨베이어(반송부)
23, 27: 회전 이송부(반송부, 제1 이송부)
24, 28: 회전 이송부 (반송부, 제2 이송부)
25, 29: 검사부 31, 32: 이송부(반송부)
330: 구동부(분리 수단) 334, 431: 흡착 패드(보유부)
540: 센서(광학식 변위 센서) G2: 기판
G2a: 단부 G3: 기판 유닛
G3a: 절결부

Claims (8)

  1. 제1 기판 및 제2 기판이 접합된 기판을 브레이크시켜 기판 유닛을 생성하는 브레이크 장치와,
    상기 브레이크 장치에 의해 생성된 상기 기판 유닛을 후단장치에 반송하기 위한 반송부와,
    상기 브레이크 장치에 의해 생성된 상기 기판 유닛을 검사하는 검사부를 포함하되,
    상기 브레이크 장치는, 상기 기판 유닛을 생성할 때에, 상기 제2 기판에 형성된 단자를 노출시키기 위해서, 상기 단자에 대향하는 상기 제1 기판의 단부를 브레이크시키는 공정을 실행하고,
    상기 반송부는, 상기 브레이크 장치에 의해 브레이크된 상기 단부를 상기 기판 유닛의 반송 과정에 있어서 상기 기판 유닛으로부터 분리시키기 위한 분리 수단을 구비하며,
    상기 검사부는, 상기 반송부에 있어서의 상기 기판 유닛의 반송 경로 상의 상기 분리 수단의 하류측에 배치되어, 상기 분리 수단에 의해 상기 기판 유닛으로부터 상기 단부가 분리된 것에 의해 상기 단자가 노출되어 있는 것을 검사하고, 상기 단자가 노출되어 있지 않은 상기 기판 유닛을 상기 반송 경로로부터 이탈시키는 것을 특징으로 하는 브레이크 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 브레이크 장치는, 상기 제1 기판이 아래로 향한 상태에서, 상기 제1 기판의 단부를 브레이크시키고,
    상기 분리 수단은, 상기 단부가 브레이크된 상기 기판 유닛을 들어올려서, 상기 기판 유닛의 하부면을 반송로에서 이간시키는 것을 특징으로 하는 브레이크 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 반송부는, 상기 분리 수단에 의해 들어올려진 상기 기판 유닛을 표리 반전시켜서 상기 검사부에 반송하는 것을 특징으로 하는 브레이크 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 반송부는, 상기 기판 유닛을 들어올린 후 표리 반전시켜서 이송하는 제1 이송부와, 표리 반전된 상기 기판 유닛을 수취해서 상기 검사부에 반송하는 제2 이송부를 구비하는 것을 특징으로 하는 브레이크 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부는, 각각, 상기 기판 유닛을 보유부에서 보유해서 선회하도록 구성되고, 상기 제1 이송부의 상기 보유부의 선회 경로의 일부와 상기 제2 이송부의 상기 보유부의 선회 경로의 일부가 평면에서 보아서 서로 중첩되도록 배치되며,
    상기 2개의 선회 경로가 서로 중첩되는 위치에 있어서, 상기 기판 유닛이, 상기 제1 이송부로부터 상기 제2 이송부로 수수되는 것을 특징으로 하는 브레이크 시스템.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 검사부는, 상기 단부가 제거되어서 형성된 절결부의 유무를 광학식 변위 센서에 의해 검지함으로써, 상기 단자가 적정하게 노출되어있는 것을 검사하는 것을 특징으로 하는 브레이크 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 검사부는, 상기 절결부를 횡절하는 방향으로 상기 광학식 변위 센서를 상기 기판 유닛에 대해서 상대적으로 이동시키고, 상기 기판 유닛에 상기 절결부가 형성되어 있는 것을 검사하는 것을 특징으로 하는 브레이크 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 반송부는, 상기 기판 유닛을 상기 반송 경로의 하류에 반송하는 컨베이어를 구비하고, 상기 컨베이어의 반송 방향이 상기 절결부를 횡절하는 방향으로 설정되어 있으며,
    상기 검사부는, 상기 컨베이어에 의해 반송되는 상기 기판 유닛에 광을 조사해서 상기 절결부의 유무를 검지하는 것을 특징으로 하는 브레이크 시스템.
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