CN106226935A - 断开系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种断开系统，其可以省却操作人员的检查作业，并能提高断开后的作业效率。断开装置(18、21)断开由第一基板和第二基板相贴合而成的基板(G2)而生成基板单元(G3)。断开装置(18、21)在生成基板单元(G3)时，为使形成于第二基板的端子露出而执行断开与端子相对的第一基板的端部的工序。由断开装置(18、21)断开的端部在基板单元(G3)的输送过程中与基板单元(G3)分离。检查部(25、29)检查端子是否随着端部与基板单元(G3)分离而露出，并使未露出端子的基板单元(G3)脱离输送路径。

Description

断开系统

技术领域

本发明涉及在断开基板时使用的断开系统。

背景技术

一般而言，在液晶面板的制造工序中包括断开工序，其中，从由第一基板和第二基板相贴合而成的所谓贴合基板上切离出作为液晶面板的原型的基板单元。例如，彩色滤光片形成于第一基板，用于驱动液晶的薄膜晶体管(TFT)及用于外部连接的端子形成于第二基板。第二基板的端子是与外部设备连接的部分，因而需要露出。为此，在断开工序中除了包括分别沿着划线断开第一基板和第二基板来生成基板单元的外形的工序之外，还包括为使形成于第二基板的端子露出而沿着划线断开与端子相对的第一基板的端部的工序。

在以下的专利文献1中描述了，在薄膜晶体管阵列基板和彩色滤光片基板彼此相对地贴合而成的液晶面板中，通过切断并去除端部而使端子露出的液晶面板的切断方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-241173号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

按上述这样生成的基板单元之后被进一步供给至研磨、清洗等后处理工序。为使后处理工序顺利地进行下去，需要第一基板的端部在断开工序中被确实地去除而使基板单元的端子露出。为此，对操作人员来说，需要进行检查每个基板单元上端子是否适当地露出并基于检查结果分拣出应供于后处理工序的基板单元等作业。

鉴于该技术问题，本发明的目的在于，提供能够省却操作人员的检查作业、并能提高断开后的作业效率的断开系统。

用于解决技术问题的方案

本发明的主要方面涉及的断开系统包括：断开装置，断开由第一基板和第二基板相贴合而成的基板而生成基板单元；输送部，用于将通过所述断开装置生成的所述基板单元送向后续装置；以及检查部，检查通过所述断开装置生成的所述基板单元。所述断开装置在生成所述基板单元时，为使形成于所述第二基板的端子露出而执行断开与所述端子相对的所述第一基板的端部的工序，所述输送部包括用于在所述基板单元的输送过程中使通过所述断开装置断开的所述端部与所述基板单元分离的分离单元，所述检查部在所述输送部中的所述基板单元的输送路径上配置于所述分离单元的下游侧，用于检查所述端子是否随着通过所述分离单元使所述端部与所述基板单元分离而露出，并使未露出所述端子的所述基板单元脱离所述输送路径。

根据本方面涉及的断开系统，在将通过断开装置生成的基板单元送向后续装置的输送过程中，对基板单元进行端部的分离及其检查，只有端子适当露出的基板单元被自动转移至后续装置。因此，无需操作人员另外检查每个基板单元上端子是否适当露出并基于检查结果分拣出应流转至后续装置的基板单元等作业。由此，根据本实施方式的断开系统，能够格外提高断开后的作业效率。

在本方面涉及的断开系统中，可构成为，所述断开装置在所述第一基板朝下的状态下断开所述第一基板的端部，所述分离单元提起被断开所述端部的所述基板单元，从而使所述基板单元的下表面离开输送通路。这样，在提起基板单元时，端部由于自重而与基板单元分离，从而可自动去除端部。

在这种情况下，可构成为，所述输送部将由所述分离单元提起的所述基板单元正反翻转并送向所述检查部。如此一来，由于基板单元在端子朝向上侧的状态下被送至检查部，从而检查部能够从基板单元的上方检查端子是否露出。因此，例如，在将基板单元载置于传送带上进行输送这样的情况下，能够以简单的构成容易地将检查部配置于传送带上方的空闲空间。

在这种情况下，可构成为，所述输送部包括：第一转移部，提起所述基板单元后，将该基板单元正反翻转并转移；以及第二转移部，接收正反翻转后的所述基板单元并将该基板单元送向所述检查部。这样，能够顺利地推进基板单元的正反翻转和向检查部的交接。

在这种情况下，所述第一转移部和所述第二转移部分别构成为通过保持部保持所述基板单元并使该基板单元旋转，所述第一转移部的所述保持部的旋转路径的局部和所述第二转移部的所述保持部的旋转路径的局部配置成在俯视观察时相互重合，在两条所述旋转路径相互重合的位置上，所述基板单元从所述第一转移部交接至所述第二转移部。这样，能够在紧凑地节约第一转移部和第二转移部的配置空间的同时，将基板单元顺利地从第一转移部交接至第二转移部。

在本方面涉及的断开系统中，可构成为，所述检查部利用光学式位移传感器检测通过去除所述端部而形成的缺口部的有无，从而检查所述端子是否适当露出。这样，无需与基板单元接触即可检查端子是否露出。

在这种情况下，可构成为，所述检查部使所述光学式位移传感器相对于所述基板单元在横穿所述缺口部的方向上相对地移动，从而检查在所述基板单元上是否形成有所述缺口部。这样，与检查基板单元的整面的情况相比，能够高效地检查是否形成有缺口部。

在这种情况下，所述输送部包括将所述基板单元向所述输送路径的下游输送的传送装置，所述传送装置的输送方向设定为横穿所述缺口部的方向，所述检查部向由所述传送装置输送的所述基板单元照射光来检测所述缺口部的有无。这样，无需为了检查而格外设置使光学式位移传感器相对于基板单元相对移动的单元，从而能够实现构成的简化。

发明效果

如上所述，根据本发明，能够提供可省却操作人员的检查作业、并能提高断开后的作业效率的断开系统。

本发明的效果或意义通过以下所示的实施方式的说明将更为明确。不过，以下所示的实施方式只不过为实施本发明时的一个例示而已，本发明并不受以下实施方式中所记载的内容的任何限制。

附图说明

图1为示出实施方式所涉及的断开系统的构成的示意图。

图2为示出实施方式所涉及的基板的断开步骤的图。

图3的(a)为示出实施方式所涉及的断开装置的构成的侧视图，图3的(b)、(c)分别为示出实施方式所涉及的第一基板及第二基板被断开时的状态的侧视图。

图4的(a)、(b)为示出实施方式所涉及的断开单元的从保持部件开始的基板侧构成的截面图。

图5为示出实施方式所涉及的断开单元的构成的截面图。

图6的(a)、(b)为详细示出实施方式所涉及的基板的断开情况的图。

图7的(a)、(b)为分别示出实施方式所涉及的上游侧及下游侧的断开单元的构成的示意图。

图8为示出实施方式所涉及的检查在基板上形成有缺口部的构成的图。

图9的(a)～(d)为示出实施方式所涉及的检查部的详细构成的图。

图10的(a)～(d)为示出实施方式所涉及的检查部的构成的侧视图。

图11为示出实施方式所涉及的断开系统的处理的流程图。

图12为示出变更例所涉及的检查在基板上形成有缺口部的构成的图。

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的实施方式。需要注意的是，在各图中为方便起见附带了相互正交的XYZ轴。X-Y平面与水平面平行，Z轴正方向为垂直向上方向。

图1为示出断开系统1的构成的示意图。

在断开系统1的上游侧(X轴负侧)设有用于对基板G1设置划线的划线装置(未图示)。断开系统1接收从划线装置输送来的基板G1，通过沿划线断开基板G1而生成基板G2，通过沿划线断开基板G2而生成作为液晶面板原型的基板单元G3。

基板G1为从中切离出基板单元G3的母基板，由第一基板和第二基板相互贴合而成的所谓贴合基板而构成。彩色滤光片形成于第一基板，用于驱动液晶的薄膜晶体管(TFT)及用于外部连接的端子形成于第二基板。第一基板和第二基板隔着密封材料而相贴合，并向通过第一基板、第二基板和密封材料形成的区域注入有液晶。划线沿着密封材料形成于第一基板的外侧面和第二基板的外侧面。基板G1以第一基板位于下面一侧(Z轴负侧)的方式从划线装置输送至断开系统1。

断开系统1包括：传送装置11、13、17、19、20、22、26、30、34、断开装置12、18、21、转移部14、15、31、32、引导件16、33、旋转转移部23、24、27、28、以及检查部25、29。

传送装置11将从上游的划线装置输送而来的基板G1向X轴正方向输送。断开装置12包括分别配置于基板G1的第一基板侧及第二基板侧的断开单元12a。从Z轴方向看，两个断开单元12a位于传送装置11和传送装置13之间。断开装置12通过两个断开单元12a断开基板G1而生成基板G2。传送装置13将生成的基板G2向X轴正方向输送，并将其定位于转移部14、15的保持位置。

转移部14、15构成为能够沿着在Y轴方向上延伸的引导件16而在Y轴方向上移动。转移部14、15通过从上侧吸附定位于传送装置13上的保持位置的基板G2而将基板G2向上方提起。转移部14使提起的基板G2向Y轴正方向移动并旋转90度而载置于传送装置17上。转移部15使提起的基板G2向Y轴负方向移动并旋转90度而载置于传送装置20上。从基板G1生成的基板G2通过转移部14、15而被交替输送至传送装置17、20。

传送装置17将基板G2向X轴正方向输送。断开装置18包括分别配置于基板G2的第一基板侧及第二基板侧的断开单元18a。从Z轴方向看，两个断开单元18a位于传送装置17和传送装置19之间。断开装置18通过两个断开单元18a断开基板G2而生成基板单元G3。传送装置19将生成的基板单元G3向X轴正方向输送，并将其定位于传送装置19的X轴正侧的端部。

同样地，传送装置20将基板G2向X轴正方向输送。断开装置21包括分别配置于基板G2的第一基板侧及第二基板侧的断开单元21a。从Z轴方向看，两个断开单元21a位于传送装置20和传送装置22之间。断开装置21通过两个断开单元21a断开基板G2而生成基板单元G3。传送装置22将生成的基板单元G3向X轴正方向输送，并将其定位于传送装置22的X轴正侧的端部。

旋转转移部23将定位于传送装置19的X轴正侧的端部的基板单元G3提起并使提起的基板单元G3正反翻转而交接给旋转转移部24。旋转转移部24将从旋转转移部23接收到的基板单元G3交接给检查部25。检查部25对基板单元G3检查是否通过断开装置18适当进行了断开。旋转转移部24将通过检查判定为适当的基板单元G3载置于传送装置26的X轴负侧的端部。传送装置26将基板单元G3向X轴正方向输送，并将其定位于传送装置26的X轴正侧的端部。

同样地，旋转转移部27将定位于传送装置22的X轴正侧的端部的基板单元G3提起并使提起的基板单元G3正反翻转后将其交接给旋转转移部28。旋转转移部28将从旋转转移部27接收到的基板单元G3交接给检查部29。检查部29对基板单元G3检查是否通过断开装置21适当进行了断开。旋转转移部28将通过检查判定为适当的基板单元G3载置于传送装置30的X轴负侧的端部。传送装置30将基板单元G3向X轴正方向输送，并将其定位于传送装置30的X轴正侧的端部。

转移部31、32构成为能够沿着在Y轴方向上延伸的引导件33而在Y轴方向上移动。转移部31、32分别通过从上侧吸附被定位于传送装置26、30的X轴正侧的端部的基板单元G3而将基板单元G3提起。转移部31、32分别使提起的基板单元G3向Y轴负方向及Y轴正方向移动，将其载置于传送装置34的X轴负侧的端部。传送装置34将基板单元G3向X轴正方向输送，将其输出至后面的进行研磨及清洗的装置(未图示)。这样，断开系统1的处理结束。

图2为示出从基板G1生成基板G2和基板单元G3的步骤的图。图2为从上侧观察在断开系统1内输送的基板G1、G2和基板单元G3的图。需要注意的是，对基板G2和基板单元G3还一并示出了对应的侧视图。

输送至断开系统1的基板G1通过上游的划线装置而形成有划线L1～L5。划线L1在基板G1的第一基板的下表面沿Y轴方向形成。划线L2在基板G1的第二基板的上表面沿Y轴方向形成。从Z轴方向看，划线L1、L2的位置相同。划线L3、L5在基板G1的第一基板的下表面沿X轴方向形成。划线L4在基板G1的第二基板的上表面沿X轴方向形成。从Z轴方向看，划线L3、L4的位置相同，划线L3、L4的位置与划线L5的位置不同。

当基板G1的划线L1、L2被输送至断开装置12的断开位置时，第一基板和第二基板分别被断开装置12沿划线L1、L2断开。由此，生成基板G2。通过图1所示的转移部14、15将生成的基板G2沿Y轴正方向及Y轴负方向输送后，将生成的基板G2从Z轴方向看顺时针旋转90度而载置于传送装置17、20上。

接着，当基板G2的划线L5被输送至断开装置18的断开位置时，第一基板被断开装置18沿划线L5断开。并且，当基板G2的划线L3、L4被输送至断开装置18的断开位置时，第一基板被断开装置18沿划线L3断开，第二基板被断开装置18沿划线L4断开。由此，生成基板单元G3。

此时，相当于划线L3、L5之间的第一基板的端部G2a(斜线部分)分离，从而在生成的基板单元G3上形成沿Y轴方向延伸的缺口部G3a。这样，当端部G2a分离而形成缺口部G3a时，形成于第二基板的端子露出。

同样地，当基板G2的划线L3、L4、L5被输送至断开装置21的断开位置时，第一基板被断开装置21沿划线L3、L5断开，第二基板被断开装置21沿划线L4断开。由此，生成基板单元G3，在生成的基板单元G3上形成缺口部G3a。

图3的(a)为从Y轴负方向观察断开装置12时的侧视图。

如上所述，断开装置12包括两个断开单元12a。两个断开单元12a隔着在传送装置11上输送的基板G1而彼此相对地配置，具有以基板G1为对称面的彼此对称的构成。以下参照图3的(a)对上侧的断开单元12a的构成进行说明。

断开单元12a包括：保持部件101、引导件102、气缸103、滑动部件104、保持部件105、收容部106、及断开棒107。

保持部件101固定地设置于断开系统1内，保持沿Z轴方向延伸的引导件102及具有杆103a的气缸(汽缸)103。滑动部件104构成为能够沿引导件102在Z轴方向上滑动。气缸103的杆103a的下端设置于滑动部件104的上表面。通过气缸103的杆103a在Z轴方向上移动，从而滑动部件104沿着引导件102在Z轴方向上移动。保持部件105设置于滑动部件104的下表面，收容部106设置于保持部件105的下表面。

在收容部106内配置有沿着基板G1的划线L1、L2在Y轴方向上延伸的断开棒107。在断开棒107的下端形成有沿Y轴方向延伸的端部107a。断开棒107在收容部106的内部以通过后述的机构能够在Z轴方向上移动的方式而被支承。在收容部106的下端形成有沿Y轴方向延伸的两个承接部106a，两个承接部106a位于将断开棒107夹在其间的位置。需要注意的是，收容部106、断开棒107及收容部106内部的机构将在后面参照图4的(a)～图5进行说明。

图3的(b)为示出基板G1的下侧的第一基板被断开时的状态的侧视图，图3的(c)为示出基板G1的上侧的第二基板被断开时的状态的侧视图。

向X轴正方向输送基板G1，如图3的(a)所示，当划线L1、L2对准断开棒107的端部107a的位置时，如图3的(b)所示，驱动断开装置12。具体而言，通过向下驱动上侧的断开棒107，从而上侧的断开棒107的端部107a被压抵于第二基板。并且，通过向上驱动下侧的杆103a，从而下侧的收容部106的承接部106a被压抵于第一基板。

这样，端部107a被压抵于第二基板的划线L2，承接部106a被压抵于在X轴正方向及X轴负方向上与第一基板的划线L1错开规定宽度的位置。由此，第一基板沿着划线L1被断开。有关第一基板的断开将在后面参照图6的(a)详细说明。

在第一基板被断开后，基板G1的位置不动，接着，如图3的(c)所示，驱动断开装置12。具体而言，通过向上驱动上侧的断开棒107，并向下驱动上侧的杆103a，从而上侧的收容部106的承接部106a被压抵于第二基板。并且，通过向下驱动下侧的杆103a，并向上驱动下侧的断开棒107，从而下侧的断开棒107的端部107a被压抵于第一基板。

这样，端部107a被压抵于第一基板的划线L1，承接部106a被压抵于在X轴正方向及X轴负方向上与第二基板的划线L2错开规定宽度的位置。由此，第二基板沿着划线L2被断开。有关第二基板的断开将在后面参照图6的(b)详细说明。

图4的(a)、(b)和图5为示出上侧的断开单元12a的保持部件105以下的构成的截面图。图4的(a)为图4的(b)所示的A1-A2截面图，图4的(b)为图4的(a)所示的B1-B2截面图，图5为图4的(a)、(b)所示的C1-C2截面图。A1-A2截面为平行于XZ平面的截面，B1-B2截面为平行于YZ平面的截面，C1-C2截面为平行于XY平面的截面。

如图4的(a)、(b)和图5所示，收容部106包括与YZ平面平行的两个壁部106b以及与XZ平面平行的两个壁部106c。如图4的(a)、(b)所示，承接部106a形成于两个壁部106b的下端。承接部106a的外侧面向收容部106的内侧方向倾斜，从而承接部106a在X轴方向上的宽度(沿水平方向横穿划线L1、L2的方向的宽度)随着接近基板G1而变窄。两个壁部106c的下端位于承接部106a的下端之上。

在被壁部106b、106c包围的空间内收容有：电机201、滚珠丝杠202、支承部件203、204、和断开棒107。电机201设置于保持部件105的下表面。滚珠丝杠202固定于电机201的旋转轴。支承部件203固定于滚珠丝杠202的螺母。支承部件204的上端固定于支承部件203的下表面。支承部件204的下端分为两个。支承部件204的两个下端位于在Y轴方向上分离的位置，断开棒107固定于该下端。由于断开棒107的端部107a的侧面倾斜，因此，端部107a在X轴方向上的宽度随着接近基板G1而变窄。即，断开棒107的端部107a形成为V字形。

如图4的(a)、(b)和图5所示，在壁部106c的内侧面形成有凹部106d。断开棒107的Y轴正侧和Y轴负侧的端部分别收容于Y轴正侧和Y轴负侧的壁部106c的凹部106d。

如图5所示，在将基板G1的Y轴方向的宽度设为W1、将Y轴正侧的壁部106c的内侧面与Y轴负侧的壁部106c的内侧面的间隔设为W2、将Y轴正侧的凹部106d的Y轴正侧面与Y轴负侧的凹部106d的Y轴负侧面的间隔设为W3、将Y轴正侧的壁部106c的外侧面与Y轴负侧的壁部106c的外侧面的间隔设为W4时，W1～W4的关系为W1＜W2＜W3＜W4。将断开棒107在X轴方向上的宽度设为W5、将凹部106d在X轴方向上的宽度设为W6时，W5、W6的关系为W5＜W6。

参照图4的(a)、(b)，在断开棒107要向下移动的情况下，驱动电机201，使滚珠丝杠202的螺母向下移动。由此，支承断开棒107的支承部件203、204向下移动，断开棒107向下移动。相反，在断开棒107要向上移动的情况下，驱动电机201，使滚珠丝杠202的螺母向上移动。由此，支承断开棒107的支承部件203、204向上移动，断开棒107向上移动。此时，沿凹部106d引导断开棒107，从而使断开棒107可靠地仅在上下方向上移动。

图6的(a)、(b)为详细示出基板G1被收容部106的承接部106a及断开棒107的端部107a断开的图。图6的(a)、(b)为与图4的(a)同样的A1-A2截面图。

如图6的(a)所示，在要断开第一基板的情况下，上侧的断开棒107的端部107a被压抵于第二基板，下侧的收容部106的承接部106a被压抵于第一基板的下表面。此时，基板G1向下弯曲，从而第一基板被断开。如图6的(b)所示，在要断开第二基板的情况下，上侧的收容部106的承接部106a被压抵于第二基板，下侧的断开棒107的端部107a被压抵于第一基板。此时，基板G1向上弯曲，从而第二基板被断开。

以上，参照图3的(a)～图6的(b)对断开装置12的构成、断开装置12断开基板G1的动作进行了说明，但断开装置18的构成、断开装置18断开基板G2的动作也大致相同，断开装置21的构成、断开装置21断开基板G2的动作也大致相同。

图7的(a)为示出断开装置12的上侧的断开单元12a的示意图，图7的(b)为示出断开装置18、21的上侧的断开单元18a、21a的示意图。需要注意的是，断开装置18、21具有彼此相同的构成。

如图7的(a)、(b)所示，断开单元18a、21a与断开单元12a相比，在保持部件105、收容部106及断开棒107在Y轴方向上的长度短这一点上不同。断开单元18a、21a的其它构成均与断开单元12a相同。

此外，在断开单元18a、21a中也同样地设定图5所示的W1～W4的长度关系。即，在图5中，如果将基板G2在Y轴方向上的宽度设为W1、将断开单元18a、21a的对应长度设为W2～W4的话，W1～W4的关系与断开单元12a时同样，为W1＜W2＜W3＜W4。

并且，断开装置18的两个断开单元18a隔着基板G2配置成彼此相对，具有以基板G2为对称面而相互对称的构成。同样地，断开装置21的两个断开单元21a隔着基板G2配置成彼此相对，具有以基板G2为对称面而相互对称的构成。因此，断开装置18、21与断开装置12同样，能够断开基板G2。

下面说明用于检查在基板单元G3上形成有缺口部G3a的构成及处理。这里，传送装置19、26、旋转转移部23、24及检查部25与传送装置22、30、旋转转移部27、28及检查部29分别具有以XZ平面为对称面的对称的构成。因此，以下说明检查通过断开装置18生成的基板单元G3的情况，省略对检查通过断开装置21生成的基板单元G3的情况的说明。

图8为从上侧观察包括传送装置19、26、旋转转移部23、24及检查部25的周边的构成的图。在图8中为方便起见省略了断开装置18的图示。

旋转转移部23包括：在Z轴方向上延伸的轴310、以轴310为中心旋转的旋转体320、和设置于旋转体320的侧面的四个驱动部330。驱动部330包括：支承部331、支承于支承部331的轴332、设置于轴332前端的吸附垫支承部333、和由吸附垫支承部333支承的吸附垫334。驱动部330相对于旋转体320进行升降，并使轴332以该轴332为中心旋转，使吸附垫334内进出空气。通过驱动驱动部330，从而经由吸附垫334使基板单元G3升降并正反翻转。

旋转转移部24包括：在Z轴方向上延伸的轴410、以轴410为中心旋转的旋转体420、和设置于旋转体420的下表面的四个驱动部430。驱动部430包括吸附垫431。驱动部430使吸附垫431相对于旋转体420进行升降，并使吸附垫431内进出空气。通过驱动驱动部430，从而经由吸附垫431使基板单元G3升降。检查部25包括传送装置510、两个轨道520、门530、传感器540、和转移部550。

通过断开装置18生成的基板单元G3被传送装置19向X轴正方向输送，并被定位于传送装置19的X轴正侧的位置P1。位置P1的基板单元G3被吸附垫334吸附，从传送装置19的输送通路上被提起。

这里，分离的第一基板的端部G2a也与基板单元G3一起被传送装置19向X轴正方向输送。然后，当基板单元G3被驱动部330的吸附垫334提起而使基板单元G3的下表面离开传送装置19的输送通路时，端部G2a由于自重而与基板单元G3分离。也就是说，驱动部330使端部G2a与基板单元G3分离。与基板单元G3分离而留在传送装置19上的端部G2a被进一步向X轴正方向输送并在传送装置19的X轴正侧下落而被回收。

需要注意的是，也可以在断开装置18进行断开之后至转移至检查部25的期间通过上述以外的装置使端部G2a从基板单元G3分离。例如，端部G2a既可以通过从传送装置17、19之间向下落下而被分离，也可以通过喷吹空气而使其从传送装置19落下而分离，还可以用其它的吸附垫进行吸附而将其除去。

接着，旋转体320从上侧观察向逆时针方向旋转90度，将在位置P1提起的基板单元G3定位于位置P2。然后，轴332以该轴332为中心旋转，使位置P2的基板单元G3正反翻转。由此，基板单元G3的缺口部G3a朝向上面侧。接着，旋转体320从上侧观察向逆时针方向旋转90度，将位置P2的基板单元G3定位于位置P3。

接着，位置P3的基板单元G3从被旋转转移部23的吸附垫334支承的状态转变至被旋转转移部24的吸附垫431吸附的状态。然后，旋转体420从上侧观察向顺时针方向旋转90度，将基板单元G3载置于传送装置510的X轴正侧的位置P4。需要注意的是，当将基板单元G3载置于了位置P4时，旋转体420旋转45度，驱动部430避让至不妨碍检查部25的检查的位置。

接着，门530在轨道520上向X轴正方向移动，并位于位置P4的基板单元G3的正上方。并且，通过转移部550使传感器540向Y轴负方向移动。基于传感器540的检测信号，检查在位置P4的基板单元G3上是否形成有缺口部G3a。有关检查部25的详细构成将在后面参照图9的(a)～(d)进行说明。

当判定未形成有缺口部G3a时，位置P4的基板单元G3被传送装置510向X轴负方向输送，并在传送装置510的X轴负侧掉落。在传送装置510的X轴负侧设有未图示的回收部，未形成有缺口部G3a的基板单元G3被回收部回收。另一方面，当判定形成有缺口部G3a时，再次通过旋转转移部24的吸附垫431将位置P4的基板单元G3提起。并且，旋转体420从上侧观察向顺时针方向旋转90度，将在位置P4提起的基板单元G3载置于传送装置26的X轴负侧的位置P5。位置P5的基板单元G3被传送装置26向X轴正方向输送，并定位于传送装置26的X轴正侧的位置P6。

通过转移部31的吸附垫31a将位置P6的基板单元G3提起。然后，转移部31沿着引导件33向Y轴负方向移动，将基板单元G3载置于传送装置34上。载置于传送装置34上的基板单元G3被传送装置34向X轴正方向输送，并被输出至后续的装置。

图9的(a)～(d)为示出检查部25的构成的图。图9的(a)、(c)为检查部25的立体图，图9的(b)、(d)分别为从上侧观察图9的(a)、(c)的图。图9的(a)～(d)中示出位于位置P4的基板单元G3。

两个轨道520位于传送装置510的Y轴正侧和Y轴负侧，并固定在断开系统1内。门530构成为能够在两个轨道520上沿X轴方向滑动。传感器540通过转移部550而被支承于门530的沿Y轴方向延伸的部件的下表面侧。传感器540通过转移部550而能在Y轴方向上移动。传感器540是包括未图示的激光光源及受光元件的光学式位移传感器。传感器540从激光光源向Z轴负方向射出激光，并由受光元件接收被物体反射的激光。传感器540输出受光元件上的受光位置作为检测信号。基于传感器540的检测信号，通过三角测距方式取得从传感器540至目标物的距离。

如图9的(a)、(b)所示，在基板单元G3载置于了传送装置510的位置P4时，门530沿两个轨道520向X轴正方向移动，如图9的(c)、(d)所示，传感器540被定位于位置P4的基板单元G3的正上方。当传感器540定位于了基板单元G3的正上方时，从传感器540射出激光，传感器540向Y轴负方向移动。

图10的(a)～(d)为在X轴负方向观察检查部25的侧视图。

在传感器540定位于了位置P4的基板单元G3的正上方，并从传感器540的激光光源射出了激光后，如图10的(a)所示，通过传感器540的受光元件接收被基板单元G3反射的激光。并且，传感器540从图10的(a)所示的状态向Y轴负方向移动。

在适当地形成有缺口部G3a的情况下，若从图10的(a)所示的状态将传感器540向Y轴负方向输送规定距离，则如图10的(b)所示，从传感器540至Z轴负方向的目标物的距离长出缺口部G3a在Z轴方向上的宽度。这样，当将传感器540向Y轴负方向输送了规定距离时，若从传感器540至Z轴负方向的目标物的距离长出缺口部G3a在Z轴方向上的宽度，则判定为在该基板单元G3上形成有缺口部G3a。

另一方面，在未适当地形成有缺口部G3a的情况下，即使将传感器540从图10的(a)所示的状态向Y轴负方向输送了规定距离，如图10的(c)所示，从传感器540至Z轴负方向的目标物的距离也基本保持不变。这样，当将传感器540向Y轴负方向输送了规定距离时，若从传感器540至Z轴负方向的目标物的距离基本保持不变，则判定为在该基板单元G3上未形成有缺口部G3a。

需要注意的是，如图10的(d)所示，也可以进一步向Y轴负方向输送传感器540。于是，在从传感器540至目标物的距离发生了两阶段的变化的情况下，可判定为形成有缺口部G3a。另一方面，在从传感器540至目标物的距离仅发生一阶段的变化的情况下，可判定为未形成有缺口部G3a。

图11为示出断开系统1的处理的流程图。

当基板G1被断开装置12断开时，生成基板G2(S11)。生成的基板G2被送向断开装置18、21(S12)。当基板G2被断开装置18、21断开时，生成基板单元G3(S13)。通过断开装置18生成的基板单元G3被传送装置19和旋转转移部23、24送向检查部25，通过断开装置21生成的基板单元G3被传送装置22和旋转转移部27、28送向检查部29(S14)。

检查部25、29检查在基板单元G3上是否形成有缺口部G3a(S15)。在未形成有缺口部G3a的情况下(S16：否)，通过传送装置510将基板单元G3向X轴负方向输送使其脱离输送路径，由回收部回收(S17)。在形成有缺口部G3a的情况下(S16：是)，基板单元G3被输出至后续的装置(S18)。具体而言，通过旋转转移部24、传送装置26、转移部31以及传送装置34将位于检查部25的基板单元G3输出至后续的装置。通过旋转转移部28、传送装置30、转移部32以及传送装置34将位于检查部29的基板单元G3输出至后续的装置。

<实施方式的效果>

根据本实施方式，可获得以下的效果。

在将通过断开装置18、21生成的基板单元G3送向后续装置的输送过程中，对基板单元G3进行端部G2a的分离及其检查，只有端子适当露出的基板单元G3被自动转移至后续装置。因此，无需操作人员另外检查每个基板单元G3上端子是否适当露出并基于检查结果分拣出应流转至后续装置的基板单元G3等作业。由此，根据本实施方式的断开系统1，能够格外地提高断开后的作业效率。

断开装置18、21在第一基板朝向下面侧的状态下断开第一基板的端部G2a，驱动部330从传送装置19、22上提起被断开端部G2a的基板单元G3，使基板单元G3的下表面离开传送装置19、22的输送通路。由此，在提起基板单元G3时，端部G2a由于自重而与基板单元G3分离，从而可自动去除端部G2a。

旋转转移部23、27分别使从传送装置19、22提起的基板单元G3正反翻转后将其送向检查部25、29。由此，由于基板单元G3在端子朝向上侧的状态下被送至检查部25、29，从而检查部25、29能够从基板单元G3的上方检查端子是否露出。因此，如本实施方式所示，能够以简单的构成容易地将用于检查的传感器540配置于载置有基板单元G3的传送装置510的上方空间。

旋转转移部23、27使提起的基板单元G3正反翻转，旋转转移部24、28分别从旋转转移部23、27接收基板单元G3并将其送向检查部25、29。由此，能够顺利地推进基板单元G3的正反翻转和向检查部25、29的交接。

旋转转移部23、24分别构成为通过吸附垫保持基板单元G3并使其旋转。并且，旋转转移部23的吸附垫334的旋转路径的局部和旋转转移部24的吸附垫431的旋转路径的局部配置成在俯视观察时相互重合，在两条旋转路径相互重合的位置上，将基板单元G3从旋转转移部23交接至旋转转移部24。由此，能够在紧凑地节约旋转转移部23、24的配置空间的同时，将基板单元G3顺利地从旋转转移部23交接至旋转转移部24。同样地，能够在紧凑地节约旋转转移部27、28的配置空间的同时，将基板单元G3顺利地从旋转转移部27交接至旋转转移部28。

检查部25、29利用由光学式位移传感器构成的传感器540来检测通过去除端部G2a而形成的缺口部G3a的有无，从而检查端子是否适当露出。由此，无需与基板单元G3接触即可检查端子是否露出。

检查部25、29使传感器540相对于位置P4的基板单元G3向Y轴负方向移动，从而检查在基板单元G3上是否形成有缺口部G3a。由此，与检查基板单元G3的整面的情况相比，能够高效地检查是否形成有缺口部G3a。

当要断开基板G1、G2的第一基板时，在由配置于第一基板侧的断开单元12a、18a、21a的两个承接部106a支承第一基板的状态下将配置于第二基板侧的断开单元12a、18a、21a的断开棒107压抵于第二基板。相反，当要断开基板G1、G2的第二基板时，在由配置于第二基板侧的断开单元12a、18a、21a的两个承接部106a支承第二基板的状态下将配置于第一基板侧的断开单元12a、18a、21a的断开棒107压抵于第一基板。这样，根据本实施方式所涉及的断开装置12、18、21，通过将两个断开单元配置成与第一基板侧和第二基板侧相对，从而能够在相同位置断开第一基板和第二基板。由此，能够以简单的构成断开基板G1、G2。

<变更例>

以上对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不受上述实施方式的任何限制，并且，本发明的实施方式还可以在上述之外进行各种变更。

例如，在上述实施方式中，以第一基板朝向下侧、而第二基板朝向上侧的状态进行断开，但也可以在第一基板朝向上侧、而第二基板朝向下侧的状态下进行断开。在这种情况下，划线L5设置于上表面一侧，当通过断开装置18、21生成基板单元G3时，缺口部G3a朝向上侧。这样，在断开后缺口部G3a即朝向上侧的情况下，没必要通过旋转转移部23、27将基板单元G3正反翻转。

不过，在这种情况下，成为分离的端部G2a残留在基板单元G3上的状态。因此，在将基板单元G3输送至检查部25、29之前，通过喷吹空气等将在基板单元G3上的端部G2a去除。

此外，在上述实施方式中，分别通过旋转转移部23、27将由断开装置18、21断开的基板单元G3正反翻转，但不限于此，也可以不进行正反翻转。在这种情况下，由于在检查部25、29中缺口部G3a朝向下面侧，从而检查部25、29从基板单元G3的下侧检查是否形成有缺口部G3a。这种情况下，例如构成为，检查部25、29从透过激光的检查台之下、或者经由载置有基板单元G3的检查台的间隙从下方检测缺口部G3a的有无。但是，这样的话，检查部25、29的构成与上述实施方式相比变得复杂。因此，优选如上述实施方式这样，检查部25、29在缺口部G3a朝向上侧的状态下从上方检查是否形成有缺口部G3a。

此外，在上述实施方式中，被判定为未形成有缺口部G3a的基板单元G3由位于传送装置510的X轴负侧的回收部回收。但是，不限于此，被判定为未形成有缺口部G3a的基板单元G3也可以在正反翻转之后再次输送至传送装置17或传送装置20。这种情况下，第一基板再次被断开装置18或断开装置21沿着划线L5断开。

此外，在上述实施方式中，检查部25、29具有用于向X轴方向输送基板单元G3的传送装置510，但作为用于输送基板单元G3的传送装置，也可以分别利用传送装置26、30。

图12为示出这种情况下的检查部25的构成的图。从这种情况下的检查部25中省略了传送装置510、轨道520和转移部550。门530以跨在传送装置26的中间位置附近的方式固定于断开系统1内，传感器540固定于门530的沿Y轴方向延伸的部件的下表面。

参照图12，旋转转移部24在从旋转转移部23接收到基板单元G3时，将接收到的基板单元G3载置于传送装置26上的位置P5。位置P5的基板单元G3被传送装置向X轴正方向输送。此时，通过传感器540检测至向X轴正方向行进的基板单元G3的上表面的距离，与上述实施方式同样地检查是否形成有缺口部G3a。未形成有缺口部G3a时，基板单元G3在传送装置26的X轴正侧掉落，由未图示的回收部回收。当形成有缺口部G3a时，将基板单元G3定位于位置P6。然后，形成有缺口部G3a的基板单元G3与上述实施方式同样地被输出至后续的装置。

需要注意的是，如图12所示，在检查部25利用其它传送装置的情况下，检查部25既可以设置于传送装置26的X轴负侧的端部附近，也可以设置于传送装置19的中间位置附近。此外，检查部25、29也可以将传送装置34用作用于输送基板单元G3的传送装置。

此外，在上述实施方式中，通过检查部25进行了检查之后，基板单元G3被旋转转移部24输送至传送装置26，并且，通过检查部29进行了检查之后，基板单元G3被旋转转移部28输送至传送装置30。但不限于此，也可以省略传送装置26、30、转移部31、32和引导件33，在通过检查部25、29进行了检查之后，分别通过旋转转移部24、28将基板单元G3输送至传送装置34。

通过旋转转移部23、24使传送装置19上的基板单元G3旋转的同时向检查部25和传送装置26转移，通过旋转转移部27、28使传送装置22上的基板单元G3旋转的同时向检查部29和传送装置30转移。但是，也可以代替旋转转移部23、24、27、28而设置直线转移基板单元G3的转移部。不过，在这种情况下，与上述实施方式相比，转移部的设置空间变大。因此，优选如上述实施方式这样通过旋转转移部23、24、27、28转移基板单元G3。

此外，在上述实施方式中，断开装置12中的两个断开单元12a采用彼此相同的构成，断开装置18中的两个断开单元18a采用彼此相同的构成，断开装置21中的两个断开单元21a采用彼此相同的构成。但是，不限于此，两个断开单元可以不必为相同的构成。

此外，在上述实施方式中，电机201和滚珠丝杠202通过支承部件204在两处支承断开棒107，但不限于此，也可以通过支承部件204在三处以上支承断开棒107。这种情况下，支承部件204在于Y轴方向上分离的三处以上的部位固定于断开棒107。需要注意的是，在断开装置18、21中，由于断开棒107在Y轴方向上的长度短，因此，电机201和滚珠丝杠202也可以通过支承部件204于一处支承断开棒107。

此外，在上述实施方式中，如图4的(a)、(b)所示，壁部106c的基板侧的端部位于比承接部106a的基板侧的端部更远离基板的位置。但不限于此，在Z轴方向上，壁部106c的基板侧的端部也可以与承接部106a的基板侧的端部位于相同的位置。

此外，在上述实施方式中，承接部106a形成为如图4的(a)所示的形状，但不限于此，也可以为其它形状。例如，也可以通过承接部106a的内侧面也向收容部106的外侧方向倾斜来使承接部106a在Y轴方向看形成为V字形。此外，在Y轴方向看，承接部106a的外侧面及内侧面也可以形成为圆弧状。并且，在Y轴方向看，承接部106a也可以形成为矩形。

此外，在上述实施方式中，承接部106a连续地形成于收容部106的基板侧的端部，但不限于此，也可以局部地形成承接部106a。此外，承接部106a的形成方向虽然与划线平行，但也可以不与划线平行。此外，承接部106a虽然形成为直线状，但也可以蜿蜒地形成。

本发明的实施方式可在权利要求书所示的技术思想的范围内适当进行各种变更。

符号说明

1 断开系统

18、21 断开装置

19、22、26、30、34 传送装置(输送部)

23、27 旋转转移部(输送部、第一转移部)

24、28 旋转转移部(输送部、第二转移部)

25、29 检查部

31、32 转移部(输送部)

330 驱动部(分离单元)

334、431 吸附垫(保持部)

540 传感器(光学式位移传感器)

G2 基板

G2a 端部

G3 基板单元

G3a 缺口部

Claims (8)

1.一种断开系统，其特征在于，包括：

断开装置，断开由第一基板和第二基板相贴合而成的基板而生成基板单元；

输送部，用于将通过所述断开装置生成的所述基板单元送向后续装置；以及

检查部，检查通过所述断开装置生成的所述基板单元，

所述断开装置在生成所述基板单元时，为使形成于所述第二基板的端子露出而执行断开与所述端子相对的所述第一基板的端部的工序，

所述输送部包括用于在所述基板单元的输送过程中使通过所述断开装置断开的所述端部与所述基板单元分离的分离单元，

所述检查部在所述输送部中的所述基板单元的输送路径上配置于所述分离单元的下游侧，用于检查所述端子是否随着通过所述分离单元使所述端部与所述基板单元分离而露出，并使未露出所述端子的所述基板单元脱离所述输送路径。

2.根据权利要求1所述的断开系统，其特征在于，

所述断开装置在所述第一基板朝下的状态下断开所述第一基板的端部，

所述分离单元提起被断开所述端部的所述基板单元，从而使所述基板单元的下表面离开输送通路。

3.根据权利要求2所述的断开系统，其特征在于，

所述输送部将由所述分离单元提起的所述基板单元正反翻转并送向所述检查部。

4.根据权利要求3所述的断开系统，其特征在于，

所述输送部包括：

第一转移部，提起所述基板单元后，将该基板单元正反翻转并转移；以及

第二转移部，接收正反翻转后的所述基板单元并将该基板单元送向所述检查部。

5.根据权利要求4所述的断开系统，其特征在于，

所述第一转移部和所述第二转移部分别构成为通过保持部保持所述基板单元并使该基板单元旋转，所述第一转移部的所述保持部的旋转路径的局部和所述第二转移部的所述保持部的旋转路径的局部配置成在俯视观察时相互重合，

在两条所述旋转路径相互重合的位置上，所述基板单元从所述第一转移部交接至所述第二转移部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的断开系统，其特征在于，

所述检查部利用光学式位移传感器检测通过去除所述端部而形成的缺口部的有无，从而检查所述端子是否适当露出。

7.根据权利要求6所述的断开系统，其特征在于，

所述检查部使所述光学式位移传感器相对于所述基板单元在横穿所述缺口部的方向上相对地移动，从而检查在所述基板单元上是否形成有所述缺口部。

8.根据权利要求7所述的断开系统，其特征在于，

所述输送部包括将所述基板单元向所述输送路径的下游输送的传送装置，所述传送装置的输送方向设定为横穿所述缺口部的方向，

所述检查部向由所述传送装置输送的所述基板单元照射光来检测所述缺口部的有无。