CN101740446A - 晶片输送检测机台及其输送检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明有关于一种晶片输送检测机台及其输送检测方法，其主要包括有一第一输送单元、一第二输送单元、一检测单元及一传动装置，其中第一输送单元用以将晶片传动至第二输送单元，并以检测单元对放置在第二输送单元上的晶片进行检测，在检测过程当中主要是以传动装置带动检测单元进行位移，以此将可以检测单元对放置在第二输送单元上的晶片进行检测或影像检索，此外在检测单元对晶片进行检测时，第二输送单元将暂时停止晶片的输送，而有利于提高晶片检测的准确度。

Description

晶片输送检测机台及其输送检测方法

技术领域

本发明有关于一种晶片输送检测机台，主要以传动装置带动检测单元对放置在第二输送单元上的晶片进行检测，而有利于提高晶片检测的准确度。

背景技术

在晶片的制作过程当中往往要对晶片进行检测，例如检测晶片的结构、连线及印刷等，此外为了提高晶片检测的效率，通常会在晶片输送的过程中进行晶片的检测。

请参阅图1，为惯用的晶片输送检测机台的立体示意图。如图所示，晶片输送检测机台10包括有一输送带11及一检测单元13，其中检测单元13为面型的检测单元并设置在输送带11上方，例如可通过一固定架15连接输送带11及检测单元13。

输送带11用以对晶片12进行输送，由于检测单元13是设置在晶片12的传输路径上，因此可以检测单元13对输送带11所传输的晶片12进行检测。检测单元13主要是在输送带11输送晶片12的过程中一并进行检测的动作，因而有利于缩短对晶片12进行检测所花费的时间。

通过上述晶片输送检测机台10的使用，将可以在短时间内完成晶片12的检测，由于检测单元13是一种面型检测单元，因此可以大范围的对晶片12进行检测或影像检索，例如检测单元13可为一影像检索装置，且检测单元13的检测面积A1大于晶片12的面积，以此检测单元13仅需要进行一次的影像检索动作，便可以对单一个晶片12进行检测或影像的检索。

虽然检测单元13可以快速的对晶片12进行检测，但检测单元13所检索的晶片12的影像往往会有变形的情况，且同时存在有解析度不高的问题，例如影像在边缘的部分会出现扭曲的情形，并造成检测的准确度下降。

发明内容

本发明的主要目的，在于提供一种晶片输送检测机台，其中传动装置与检测单元相连接，并用以带动检测单元进行位移，使得检测单元可对静置的晶片进行扫瞄及检测，并有利于提高晶片检测的准确度或晶片影像检索的清晰度。

本发明的次要目的，在于提供一种晶片输送检测机台，其中第二输送单元用以承载及输送晶片，且检测单元在对晶片进行检测时，第二输送单元将暂时停止进行晶片的输送，以此可避免第二输送单元在运转过程中所产生的振动影响了晶片检测的准确度。

本发明的又一目的，在于提供一种晶片输送检测机台，其中检测传动装置运作时的稳定度远高于第二输送单元运作，因而使得传动装置带动检测单元对晶片进行扫瞄的稳定度提高。

本发明的又一目的，在于提供一种晶片输送检测机台，其中检测单元可为一线型检测单元，并通过传动装置带动检测单元对晶片进行扫瞄，相较于面型检测单元而言，线形检测单元所检索的晶片影像不会有变形或扭曲的情形发生。

本发明的又一目的，在于提供一种晶片输送检测机台，主要使用线型检测单元以扫瞄的方式对晶片进行影像的检索，相较于面型检测单元，线型检测单元可有效降低晶片输送检测机台所需的设置成本。本发明的又一目的，在于提供一种晶片输送检测机台，其中第三输送单元可将晶片回传至第二输送单元，并可以使检测单元对之前未确实完成检测的晶片再次进行检测，以此将可提高检测时的便利性。

为达上述目的，本发明提供一种晶片输送检测机台，包括有：一第一输送单元，用以进行至少一晶片的输送；一第二输送单元，连接第一输送单元，并用以接收第一输送单元所输送的晶片；一检测单元，用以对第二输送单元上的晶片进行检测；及一传动装置，连接检测单元，并用以带动检测单元在第二输送单元上进行位移，其中第二输送单元暂时停止输送晶片后，检测单元会开始对放置在第二输送单元上的晶片进行检测。

本发明还提供一种晶片输送检测机台的输送检测方法，其中晶片输送检测机台包括有一第一输送单元、一第二输送单元、一检测单元及一传动装置，主要包括有以下步骤：将至少一晶片由第一输送单元传动至第二输送单元；第二输送单元暂时停止输送晶片；及传动装置带动检测单元进行位移，并以检测单元对放置在第二输送单元上的晶片进行检测。

附图说明

图1：为惯用晶片输送检测机台的立体示意图。

图2：为本发明晶片输送检测机台一实施例的立体示意图。

图3：为本发明晶片输送检测机台一实施例的侧视图。

图4A至图4F：分别为本发明晶片输送检测机台的输送检测流程图。

【主要元件符号说明】

10  晶片输送检测机台    11输送带

12  晶片                13检测单元

15  固定架

20  晶片输送检测机台    21第一输送单元

22  晶片                23第二输送单元

231 输送带              233驱动轮

25  传动装置            251轨道

253 驱动单元            26连接单元

27  检测单元            271检测区域

29  第三输送单元

具体实施方式

请参阅图2，为本发明晶片输送检测机台一实施例的立体示意图。如图所示，晶片输送检测机台20包括有一第一输送单元21、一第二输送单元23、一传动装置25及一检测单元27，其中第一输送单元21用以将晶片22传动至第二输送单元23，并以传动装置25带动检测单元27对放置在第二输送单元23上的晶片22进行检测。

第一输送单元21及第二输送单元23皆可为一输送带并可用以进行晶片22的输送，其中第二输送单元23连接第一输送单元21，以此可将第一输送单元21上的晶片22传动至第二输送单元23。检测单元27与传动装置25相连接，并可经由传动装置25带动检测单元27进行位移，例如传动装置25可设置在第二输送单元23的侧边或上方，并用以带动检测单元27在第二输送单元23上进行位移，以此检测单元27将可以对放置在第二输送单元23上的晶片22进行检测。

晶片输送检测机台20在进行晶片22的输送及检测时，主要是通过第一输送单元21将晶片22传动至第二输送单元23，第二输送单元23在接收到晶片22之后将会暂时停止进行晶片22的输送，使得晶片22静止的放置在第二输送单元23上。而后传动装置25将会带动检测单元27进行位移，并以检测单元27对放置在第二输送单元23上的晶片22进行扫瞄、检测或影像检索。

检测单元27可用以对晶片22进行检测，在本发明一实施例中检测单元27可包括有至少一透镜及一感光单元(如CCD或CMOS)，使得晶片22所反射或散射的光源穿透透镜并投射在感光单元上，以此检测单元27将可以对晶片22的影像进行检索。此外也可进一步将检测单元27所检索的晶片22的影像进行比对，以此完成晶片22的检测，例如检测单元27可连接一电脑系统(未显示)，并将所检索的晶片22的影像资料传送至电脑系统，而电脑系统可将检测单元27所传送的晶片22的影像资料与一预设的资料进行比对，以此将晶片22区分为良品或不良品。

检测单元27可为一线型检测单元，一般来说检测单元27的检测区域271的面积A2往往小于晶片22的面积，因此在检测的过程中检测单元27与晶片22之间必须进行一相对运动，并以检测单元27对晶片22进行扫瞄或影像检索的动作。一般晶片输送检测机台的检测单元27为不可动，且第二输送单元23会持续进行晶片22的输送，以此晶片22将会被第二输送单元23带动，并通过检测单元27的检测区域271以完成晶片22的检测。

第二输送单元23主要的作用为输送晶片22，为了成本考虑其结构往往较为粗略，例如第二输送单元23包括有一输送带231及至少一驱动轮233，并可以驱动轮233带动输送带231进行晶片22的输送。因此第二输送单元23在进行晶片22的输送时，第二输送单元23的输送路径往往不一定会是直线，且在输送的过程中会伴随有振动或输送速率不一的情形，并导致晶片22在第二输送单元23上的行进路线不固定，而固定式的检测单元27在对晶片22进行检测或影像检索时便容易产生误差。

传动装置25相较于第一输送单元21或第二输送单元23而言具有比较高的稳定度，使得检测单元27可以平稳的在传动装置25上进行位移，例如传动装置25可带动检测单元27以等速的方式行进，且在检测单元27行进的过程当中也不容易出现不正常的振动或晃动，以此将有利于提高检测单元27对晶片22进行检测或影像检索时的准确性。

在本发明一实施例中传动装置25可包括有至少一轨道251及一驱动单元253，并将检测单元27固定在轨道251上，再以驱动单元253驱动检测单元27进行位移。例如检测单元27可通过一连接单元26与轨道251相连接，并以驱动单元253驱动检测单元27，以此检测单元27将可以平稳的沿着轨道251进行位移。

第二输送单元23上所承载的晶片22数量可为一个或一个以上，若第二输送单元23所承载的晶片22数量为多个，则可减少在晶片22检测过程中传动装置25由静止到启动的次数，并有利于提高晶片22检测的效率，例如第一输送单元21可将两片晶片22传动至第二输送单元23，待两片晶片22皆落在第二输送单元23上的检测区域后，第二输送单元23将暂时停止运转，而传动装置25则会带动检测单元27进行位移，并在移动的过程中对放置在第二输送单元23上的两片晶片22进行检测，当然在不同实施例中放置在第二输送单元23上的晶片22数量也可大于二。

在不同实施例中也于第二输送单元23的另一端增设有一第三输送单元29，并于检测单元27完成晶片22的检测后，以第二输送单元23将完成检测的晶片22传动至第三输送单元29，如图3所示。此外，本发明实施例所述的晶片22可为太阳能硅晶片，并同样可以第一输送单元21、第二输送单元23及/或第三输送单元29进行太阳能硅晶片的输送，以检测单元27在输送的过程中对太阳能硅晶片进行检测。

请参阅图4A至图4F，为本发明晶片输送检测机台的输送检测流程图。如图所示，晶片输送检测机台20主要包括有一第一输送单元21、一第二输送单元23、一传动装置25及一检测单元27，其中第一输送单元21及第二输送单元23可用以进行晶片22的输送，并以传动装置25带动检测单元27对晶片22进行检测。

第一输送单元21及第二输送单元23以相邻的方式设置，并可将至少一晶片22由第一输送单元21传动至第二输送单元23，如图4A所示。第二输送单元23可用以接收第一输送单元21所传动的晶片22并进行承载，在本发明实施例中第二输送单元23可同时承载一片或一片以上的晶片22，例如第二输送单元23上可同时承载两片晶片22，当然在不同实施例中第二输送单元23可承载一片或更多片的晶片22，当第一输送单元21将晶片22传动至第二输送单元23后，第二输送单元23将会暂时停止运转，并使得晶片22被静止放置在第二输送单元23上，如图4B所示。

在第二输送单元23暂时停止进行晶片22的输送后，传动装置25将会带动检测单元27进行位移，并使得检测单元27在晶片22上进行扫瞄，以此以完成第二输送单元23上晶片22的检测或影像检索，例如传动装置25可带动检测单元27由第一输送单元21往第三输送单元29的方向移动，如图4C及图4D所示。本发明所述的晶片输送检测机台20主要是将待测的晶片22放置在第二输送单元23上，并以传动装置25带动检测单元27对静止的晶片22进行相对运动。在进行位移的过程中传动装置25相较于第二输送单元23而言具有较高的稳定性，而有利于提高检测单元27在对晶片22进行检测时的准确度。

待检测单元27完成第二输送单元23上的晶片22的检测后，传动装置25将会暂时停止带动检测单元27进行位移，并使得检测单元27固定在传动装置25上，而第二输送单元23则可重新进行运转，并将完成检测的晶片22传动至第三输送单元29，如图4E所示。在第二输送单元23将晶片22传动至第三输送单元29后，第一输送单元21可继续将晶片22传动至第二输送单元25上，而后再以检测单元27对第二输送单元25上的晶片22进行检测，例如传动装置25带动检测单元27由第三输送单元29往第一输送单元21的方向进行位移，并以检测单元27对晶片22进行检测或影像检索，如图4F所示。

通过上述的步骤将可以完成晶片22的输送及检测，此外在不同实施例中，第二输送单元23在将经过检测的晶片22传动至第三输送单元29的过程中，也可同时接收第一输送单元21所传动的待检测晶片22。

在本发明一实施例中，第三输送单元29也可将晶片22回传至第二输送单元23，并以检测单元27再次对晶片22进行检测，此时第一输送单元21将会暂时停止将晶片22传动至第二输送单元23。例如晶片22由第一输送单元21传动至第二输送单元23，并以传动装置25带动检测单元27对第二输送单元23上的晶片22进行检测时，将有可能因为晶片22出现叠片的情形或是其他的原因，造成检测单元27未能完成晶片22的检测，当这种情况发生时便可暂停第一输送单元21，并改变第三输送单元29及/或第二输送单元23的输送方向，使得晶片22由第三输送单元29传动至第二输送单元23，以此将可以检测单元27对未完成检测的晶片22再次进行检测的动作。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的范围，即凡依本发明申请专利范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本发明的申请专利范围内。

Claims (12)

1.一种晶片输送检测机台，包括有：

一第一输送单元，用以进行至少一晶片的输送；

一第二输送单元，连接该第一输送单元，并用以接收该第一输送单元所输送的晶片；

一检测单元，用以对该第二输送单元上的晶片进行检测；及

一传动装置，连接该检测单元，并用以带动该检测单元在该第二输送单元上进行位移，其中该第二输送单元暂时停止输送该晶片后，该检测单元会开始对放置在该第二输送单元上的晶片进行检测。

2.根据权利要求1所述的晶片输送检测机台，包括有一第三输送单元连接该第二输送单元，并用以接收该第二输送单元所输送的晶片。

3.根据权利要求2所述的晶片输送检测机台，其中该第三输送单元用以将该晶片回传至该第二输送单元，并以该检测单元再次对该第二输送单元上的晶片进行检测。

4.根据权利要求1所述的晶片输送检测机台，其中该传动装置包括有至少一轨道及一驱动单元，且该检测单元沿着该轨道进行位移。

5.根据权利要求4所述的晶片输送检测机台，包括有一连接单元用以连接该检测单元及该轨道。

6.根据权利要求1所述的晶片输送检测机台，其中该晶片为太阳能硅晶片。

7.根据权利要求1所述的晶片输送检测机台，其中该检测单元为一线型检测单元。

8.根据权利要求1所述的晶片输送检测机台，其中该第二输送单元上所承载的晶片的数量为一个以上。

9.一种晶片输送检测机台的输送检测方法，其中该晶片输送检测机台包括有一第一输送单元、一第二输送单元、一检测单元及一传动装置，主要包括有以下步骤：

将至少一晶片由该第一输送单元传动至该第二输送单元；

该第二输送单元暂时停止输送该晶片；及

该传动装置带动该检测单元进行位移，并以该检测单元对放置在该第二输送单元上的晶片进行检测。

10.根据权利要求9所述的输送检测方法，包括有以下步骤：该第二输送单元将完成检测的晶片传动至一第三输送单元。

11.根据权利要求10所述的输送检测方法，其中该传动装置带动该检测单元由该第一输送单元往该第三输送单元的方向进行位移，或由该第三输送单元往该第一输送单元的方向进行位移。

12.根据权利要求10所述的输送检测方法，包括有以下步骤：

该第三输送单元将该晶片回传至该第二输送单元；及

该传动装置带动该检测单元进行位移，并以该检测单元对放置在该第二输送单元上的晶片进行检测。

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