TW201526137A - 處理物件物搬送系統及基板檢測系統 - Google Patents

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Toshihide Matsukawa
Osamu Hikita
Akira Ogata
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Abstract

提供一種能容易變更針對處理物件物的處理內容或處理能力的處理物件物搬送系統。該系統包括：搬送機構，沿水準延伸的搬送路徑搬送檢測基板；提升機構，將被檢測基板從搬送路徑的設定位置提升至高度位置；處理單元，具有針對位於高度位置的被檢測基板執行所定處理的處理部。各處理單元的搬送路徑排成一列且搬送方向相同，且在相鄰的兩個搬送路徑之間，將被檢測基板從上流側的搬送路徑傳送至下流側的搬送路徑，且在各個對應的處理單元中，在被檢測基板位於高度位置的期間，通過被檢測基板的下方，搬送不同於所述被檢測基板的被檢測基板。

Description

處理物件物搬送系統及基板檢測系統
本發明涉及一種將所定的成為處理物件的處理物件物搬送至執行其處理的處理部之處理物件物搬送系統以及使用該處理物件物搬送系統的基板檢測系統。
以往，針對印刷配線基板或封裝基板進行多種檢測的基板檢測裝置已被周知(例如，參考專利文獻1)。專利文獻1記載的基板檢測裝置包括冷卻基板而進行檢測的檢測部或加熱基板而進行檢測的檢測部等多個檢測部。並且，各檢測部之間包括按次序搬送基板的搬送機構。
但上述檢測裝置中，多個檢測部或搬送裝置構成為一體。鑒於此，為了變更檢測內容或變更一定時間內的檢測處理量，需要重新製造裝置本身，因此存在難以進行這種變更的問題。並且，並不限定於檢測基板之情況，在針對處理物件物進行任何處理的處理裝置之情況，當具有多個處理部時，也會發生同樣的問題。
專利文獻1：日本專利公開第2007-59727號公報
本發明的目的是提供一種易於變更針對處理物件物的處理內容或處理能力的處理物件物搬送系統，以及使用這種處理物件物搬送系統的基板檢測系統。
根據本發明的處理對象物搬送系統，用於搬送成為處理之對象的處理對象物，包括：第一搬送機構，沿水平延伸的搬送路徑，搬送所述處理對象物；移動機構，在所述搬送路徑上預先設定的設定位置，將根據所述第一搬送機構搬送來的所述處理對象物，移動至從所述搬送路徑退避的退避位置；以及多個處理單元，具有針對位於所述退避位置的所述處理對象物執行預設處理的處理部；其中，所述多個處理單元配置為所述各處理單元的搬送路徑排列成一列且搬送方向成相同的方向；在所述多個搬送路徑中相鄰的兩個搬送路徑間，與所述兩個搬送路徑分别相對應的兩個第一搬送機構，從所述搬送方向的上流側的搬送路徑向下流側的搬送路徑傳送所述處理對象物；所述各第一搬送機構，在分别對應的所述處理單元中，當所述處理對象物由所述移動機構移動至所述退避位置時，在所述處理對象物位於所述退避位置的期間，與所述處理對象物不相干涉地能搬送不同於所述處理對象物的處理對象物。
根據該構成，處理物件物搬送系統構成為多個處理單元按一列排列。各處理單元具有針對各個處理物件物進行所定處理的處理部，且根據大致水準延伸的搬送路徑搬送處理物件物。多個處理單元配置為各處理單元的搬送路徑 排成一列且搬送方向相同，而且在多個搬送路徑中相鄰的兩個搬送路徑之間，將處理物件物從搬送方向上流側的搬送路徑傳送至下流側的搬送路徑。據此，可按順序將處理物件物搬送至各處理單元，從而針對一個處理物件物可在多個處理單元進行多次處理，或在多個處理單元按順序搬送多個處理物件物從而可進行並行處理。並且，由於處理物件物的搬送路徑大致水準延伸，各處理單元的搬送路徑的入口和出口的高度大致相同，因此當進行各處理單元的增減、各處理單元的排列順序的交換、處理部的處理內容互不相同的處理單元的添加以及交換等時，在相鄰的處理單元之間能維持從搬送方向上流側的搬送路徑向下流側的搬送路徑傳送處理物件物的構成。因此，可容易變更針對處理物件物的處理內容或處理能力。
優選地，所述退避位置位於所述搬送路徑的上方；所述各第一搬送機構，在分別對應的所述處理單元中，當所述處理物件物由所述移動機構移動至所述退避位置時，在所述處理物件物位於所述退避位置的期間，能通過所述處理物件物的下方而搬送不同於所述處理物件物的處理物件物。
根據該構成，相比將處理物件物退避至從搬送路徑沿水準方向間隔開位置之情況，系統的佔有面積變小，從而可實現空間節省化。
優選地，還包括：搬送單元，具有沿預先設定的搬送路徑水準地搬送所述處理對象物的第二搬送機構，所述搬 送單元配置為所述搬送單元的搬送路徑與所述各處理單元的搬送路徑排成一列，所述第二搬送機構在與所述第二搬送機構相對應的搬送路徑相鄰的其他搬送路徑之間，傳送所述處理物件物。
根據該構成，在處理物件物的搬送路徑中，包括不具有處理部的搬送單元。根據該構成，可將搬送單元，作為用於將處理物件物從外部向系統進行容納的裝載器而使用，或作為用於將處理物件物從系統提取的卸載器而使用，或作為用於調整各處理單元的處理時間錯位的緩衝(buffer)裝置而使用。並且，搬送單元的第二搬送機構構成為與處理單元的第一搬送機構相同，因此能自由變更配置搬送單元的位置或數量。
優選地，與所述多個處理單元相對應的所述處理部包括：第一處理部和第二處理部，所述第一處理部執行作為所述處理之預設的第一處理，所述第二處理部執行作為所述處理之相比所述第一處理的處理時間短的第二處理，具有所述第一處理部的所述處理單元即第一處理單元的數量多於具有所述第二處理部的所述處理單元即第二處理單元的數量。
根據該構成，由於進行處理時間長的第一處理的第一處理單元的數量多於進行處理時間短的第二處理的第二處理單元的數量，因此在大量的處理單元中能並存執行耗時的處理，其結果是，通過整個系統能消減第一處理和第二處理的處理時間差異。從而能提高整個系統的處理性能。
優選地，所述第一處理單元相比所述第二處理單元配置於所述搬送方向的上流側。
根據該構成，最初開始向各處理單元搬入處理物件物時，由於可不等待處理單元的處理結束而能迅速地搬入如同位於搬送方向上流側的第一處理單元的數量之處理物件物，因此相比在搬送方向上流側具有數量較少的第二處理單元時最初向第二處理單元搬入處理物件物之情況，最初能迅速地向處理單元搬入的處理物件物的數量增多，其結果是，能提高整個系統的處理性能。
根據本發明的基板檢測系統，以前述處理物件物搬送系統中的所述處理物件物為基板，且所述處理為對所述基板的檢測。
根據該構成，可將前述處理物件物搬送系統適用於進行基板檢測的基板檢測裝置。
這種構成的處理物件物搬送系統及基板檢測系統可容易地變更針對處理物件物的處理內容或處理能力。
1‧‧‧基板檢測系統(處理物件物搬送系統)
2‧‧‧搬送機構
3‧‧‧下部殼體
4‧‧‧上部殼體
5‧‧‧提升機構
6‧‧‧腳輪
11‧‧‧裝載器
12、13‧‧‧第一處理單元
14‧‧‧第二處理單元
15‧‧‧卸載器
16‧‧‧控制部
17‧‧‧通信路
51‧‧‧板保持部
52‧‧‧軸
53‧‧‧軸驅動部
111、121、131、141、151‧‧‧單元控制部
112、122、132、142、152‧‧‧通信部
511‧‧‧保持部本體
512‧‧‧突出部
A‧‧‧第一檢測部
B‧‧‧第二檢測部
M1‧‧‧搬送用電機
M2‧‧‧升降用電機
P1‧‧‧高度位置
P2‧‧‧設定位置
R‧‧‧搬送輥
W‧‧‧被檢測基板
WP‧‧‧工作板
圖1是示出本發明一個實施形態之基板檢測系統的構成之一個示例的說明圖。
圖2是從上方觀察搬送機構和提升機構的俯視圖。
圖3是示出圖1所示基板檢測系統的電氣構成的一個示例的框圖。
圖4是用於說明圖1所示基板檢測系統的動作的說明 圖。
圖5A至圖5D是概念性示出各處理單元的配置順序或處理內容為互不相同的單元數之組合的一個示例的說明圖。
以下，基於附圖對本發明的實施形態進行說明。並且，在各附圖中賦予了相同符號的構成表示相同的構成，且省略其說明。圖1是示出本發明一個實施形態之基板檢測系統的構成之一個示例的說明圖。圖1所示的基板檢測系統1包括裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15。基板檢測系統1相當於處理物件物搬送系統的一個示例。
第一處理單元12和13以及第二處理單元14相當於處理單元的一個示例，而裝載器11和卸載器15相當於搬送單元的一個示例。在圖1中，為了說明的方便，將圖1的左側方向作為基板檢測系統1的前方、將圖1的右側方向作為基板檢測系統1的後方進行了記載，但基板檢測系統1的前方和後方並不限定於圖1的示例。
裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15均具有大致為長方體形狀的下部殼體3和配置在下部殼體3上部的搬送機構2。第一處理單元12和13以及第二處理單元14具有的搬送機構2相當於第一搬送機構的一個示例，而裝載器11和卸載器15具有的搬 送機構2相當於第二搬送機構的一個示例。
在下部殼體3的下部設置有腳輪(caster)6。據此，工作人員能分別容易地移動裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15的各單元。並且各單元也可是不具有腳輪6的構成。
搬送機構2，沿從前方朝向後方的搬送方向，大致水準地搬送工作板WP。工作板WP是大致矩形的板狀部件，且工作板WP的上面載有成為檢測對象的被檢測基板W。
工作板WP的上面，例如可是平坦的，例如也可形成有凹陷部，從而可在凹陷部內容納被檢測基板W。工作板WP的下面，例如可附著橡膠墊片。被檢測基板W，例如可是印刷配線基板、電路基板、搭載半導體晶片的封裝基板或表面形成有透明電極的玻璃基板等。
搬送機構2包括：沿搬送方向按間距d配置的多個大致為圓筒形的搬送輥R；後述的搬送用電機M1；以及將搬送用電機M1的驅動力傳遞至多個搬送輥R的軸(shaft)或齒輪(gear)等傳遞機構(圖示省略)。並且，由多個搬送輥R形成搬送工作板WP的搬送路徑。即，連接多個搬送輥R的上方頂部的線路(line)成為搬送路徑。
間距d為工作板WP的搬送方向之長度的1/2以下，例如為1/3的長度。據此，工作板WP的下面可一直與多個搬送輥R相接觸。其結果是，根據搬送輥R支撐工作 板WP的重量平衡變良好。
並且，根據附著在工作板WP下面的橡膠墊片，工作板WP和搬送輥R間的摩擦力增大，其結果是，根據搬送輥R搬送工作板WP時，能消減搬送輥R對工作板WP的滑動性。並且，搬送機構2並不限定於搬送輥R按間距d進行配置的構成，例如也可是皮帶運輸機(belt conveyor)。
第一處理單元12和13以及第二處理單元14的各處理單元還包括：配置在下部殼體3的上方的上部殼體4；以及配置在上部殼體4的下方的提升機構5。並且，第一處理單元12和13包括第一檢測部A(第一處理部)，第二處理單元14包括第二檢測部B(第二處理部)。第一處理單元12和13的上部殼體4中容納第一檢測部A，而第二處理單元14的上部殼體4中容納第二檢測部B。
並且，裝載器11和卸載器15不包括第一檢測部A或第二檢測部B等處理部。
提升機構5將根據搬送機構2搬送來的工作板WP，從該各單元的搬送路徑上預先設定的設定位置P2提升至預先設定的高度位置P1。具體來講，提升機構5包括板保持部51、軸(shaft)52以及軸驅動部53。圖2是從上方觀察搬送機構2的搬送輥R和提升機構5的俯視圖。
在搬送輥R上的搬送路徑的兩側配置有一對板保持部51。板保持部51具有沿搬送方向延伸的保持部本體511，以及從保持部本體511的兩端部朝搬送路徑突出的 一對突出部512。一對突出部512從兩個搬送輥R之間向位於設定位置P2的工作板WP的下部突出。
軸52從保持部本體511的兩端部向下方延伸，進而連接板保持部51和軸驅動部53。軸驅動部53通過使軸52沿上下方向移動，從而升降板保持部51。軸驅動部53由後述的升降用電機M2、滾珠螺杆或齒輪機構等構成。據此，板保持部51可採取在搬送路徑的下方等待工作板WP搬送至設定位置P2的下降姿勢以及將工作板WP置於高度位置P1的上升姿勢。以下，將板保持部51處於下降姿勢且無工作板WP從而板保持部51能容納新的工作板WP的狀態稱為等候狀態。
若板保持部51上升，則設置在一對板保持部51的四個突出部512卡合工作板WP的下部，隨著板保持部51的上升而提升工作板WP。軸驅動部53使板保持部51上升，進而使其位於適合檢測部檢測處理的高度位置P1。
在根據板保持部51而使工作板WP位於高度位置P1的期間，搬送機構2經過該工作板WP的下方而能搬送另一個工作板WP。提升機構5相當於移動機構的一個示例，高度位置P1相當於退避位置的一個示例。並且，退避位置並不限定於搬送路徑的上方，例如也可將退避位置設定在向與搬送路徑相交叉的方向間隔開的位置上，且移動機構並不限定於將工作板WP提升至上方。
第一檢測部A針對位於高度位置P1的工作板WP上的被檢測基板W，例如通過測定配線圖形的靜電容量來執 行判定不良與否的第一檢測(第一處理)。第二檢測部B針對位於高度位置P1的工作板WP上的被檢測基板W，例如執行檢測配線圖形導通與否的第二檢測(第二處理)。第二檢測相比第一檢測檢測時間短，例如可按第一檢測的1/2時間檢測基板。
基板檢測系統1包括：具有檢測時間長的第一檢測部A的第一處理單元12和13；以及具有檢測時間短的第二檢測部B的第二處理單元14。即，處理時間長的處理單元相比處理時間短的處理單元數量更多。
基板檢測系統1之情況，例如所需處理時間是第二處理單元14的兩倍的第一處理單元12和13，按第二處理單元14的兩倍進行設定，從而使整個基板檢測系統1中第一檢測和第二檢測的處理時間均衡化。並且作為第一檢測部A和第二檢測部B執行的基板檢測方法，可採用多種檢測方法。
裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15的各單元，按該各單元的搬送路徑排成一列且搬送方向互相相同之方向而進行配置。對於相鄰的單元間，在兩者的搬送路徑間，與該兩個搬送路徑分別相對應的兩個搬送機構2，將工作板WP從搬送方向的上流側的搬送路徑傳送至下流側的搬送路徑。
並且，各單元的搬送路徑大致水準，即各單元的搬送路徑的入口和出口的高度在各單元相互間大致同等。並且，在各單元中相鄰的任意兩個單元之間，成為搬送方向 上流側的單元中搬送路徑的出口之搬送輥R即在該單元內位於搬送方向最下流側的搬送輥R，與成為搬送方向下流側的單元中搬送路徑的入口之搬送輥R即在該單元內位於搬送方向最上流側的搬送輥R之間的距離為間距d以下，並以此設定各搬送輥R的配置位置。
如此，將設定了搬送路徑的高度或搬送輥R的配置的單元相組合而構成基板檢測系統1，因此即使改變各單元的排列順序或增減各單元的數量，在各單元的搬送路徑間，也能順利地傳送工作板WP。據此，基板檢測系統1能容易地進行各單元的排列順序的交替或各單元數量的增減。
並且，通過構成將第一檢測部A或第二檢測部B變更為其他處理部的處理單元，且將之與基板檢測系統1的處理單元進行交替或添加等，從而可容易地變更基板檢測系統1的處理內容。據此，能構成容易變更針對處理物件物即被檢測基板W的處理內容或處理能力的基板檢測系統。
圖3是示出圖1所示基板檢測系統1的電氣構成之一個示例的框圖。圖1所示的基板檢測系統1包括裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14、卸載器15以及控制部16。並且，裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14、卸載器15以及控制部16通過通信路17相連而可收發資料。
裝載器11包括搬送用電機M1、單元控制部111以及 通信部112。第一處理單元12包括搬送用電機M1、升降用電機M2、第一檢測部A、單元控制部121以及通信部122。第一處理單元13包括搬送用電機M1、升降用電機M2、第一檢測部A、單元控制部131以及通信部132。第二處理單元14包括搬送用電機M1、升降用電機M2、第二檢測部B、單元控制部141以及通信部142。卸載器15包括搬送用電機M1、單元控制部151以及通信部152。
各搬送用電機M1根據來自各個單元控制部111、121、131、141和151的控制信號進行旋轉，且通過旋轉驅動搬送輥R由搬送機構2來搬送工作板WP。
各升降用電機M2根據來自各個單元控制部121、131和141的控制信號進行正反旋轉，且向軸驅動部53賦予該旋轉驅動力。據此，例如通過升降用電機M2正旋轉可使板保持部51上升，且例如通過升降用電機M2反旋轉可使板保持部51下降。
各第一檢測部A根據來自單元控制部121和131的控制信號，對位於各個高度位置P1的板保持部51上的被檢測基板W進行檢測。第二檢測部B根據來自單元控制部141的控制信號，對位於高度位置P1的板保持部51上的被檢測基板W進行檢測。
通信部112、122、132、142和152是通過通信路17執行與控制部16通信的通信介面電路。作為通信介面，可使用乙太網(Ethernet)(注冊商標)等多種通信方式。
單元控制部111、121、131、141和151例如可使用微型電腦而構成，且通過通信部112、122、132、142和152可在與控制部16之間執行通信。單元控制部111、121、131、141和151在分別對應的單元內，將例如根據感測器(sensor)(圖示省略)獲得的資訊或表示各單元的動作狀態的資訊發送至控制部16。並且，單元控制部111、121、131、141和151根據從控制部16接收的控制指示，控制對應的各單元內的搬送用電機M1、升降用電機M2、第一檢測部A和第二檢測部B等的動作。
控制部16可根據例如個人電腦或可編程式控制器等多種資訊處理裝置而構成。控制部16接收裝載器11、第一處理單元12和13、第二處理單元14以及卸載器15的各單元發送的資訊。控制部16基於各單元發送的資訊，向各單元發送控制指示。各單元的單元控制部根據該控制指示控制各單元的動作。
據此，控制部16能統管控制基板檢測系統1的動作。以下，為了簡化說明，將各單元的單元控制部根據控制部16的控制指示而進行各單元的控制之動作，簡單地記載為控制部16控制各單元的各部。
接下來，針對如上所述構成的基板檢測系統1的動作進行說明。首先，如圖1所示，第一處理單元12和13以及第二處理單元14中的板保持部51處於下降姿勢，且第一處理單元12和13以及第二處理單元14處於能容納板保持部51的等候狀態。在該狀態下，若在裝載器11上載 置工作板WP，則可根據感測器(圖示省略)感知在裝載器11上載置了工作板WP，並將該資訊發送至控制部16。
若感知到在裝載器11上載置了工作板WP，則控制部16驅動裝載器11以及第一處理單元12和13的搬送機構2，進而將工作板WP和被檢測基板W搬送至第一處理單元12和13中位於搬送方向下流側的第一處理單元13的設定位置P2，且根據第一處理單元13的提升機構5，將工作板WP提升至高度位置P1。若工作板WP位於高度位置P1，則根據例如感測器(圖示省略)感知工作板WP，且根據該感知信號第一處理單元13的第一檢測部A檢測工作板WP上的被檢測基板W。
另外，若在裝載器11上載置了新的工作板WP，則控制部16驅動裝載器11和第一處理單元12的搬送機構2，進而將工作板WP和被檢測基板W搬送至處於等候狀態之第一處理單元12的設定位置P2，且根據第一處理單元12的提升機構5，將工作板WP提升至高度位置P1。若工作板WP位於高度位置P1，則根據例如感測器(圖示省略)感知工作板WP，且根據該感知信號第一處理單元12的第一檢測部A檢測工作板WP上的被檢測基板W。
如此，根據第一處理單元12和13，可並行檢測多個被檢測基板W。並且，控制部16，在執行第一檢測的第一單元以及執行第二檢測的單元中，在執行搬送方向上流側的第一檢測的單元即第一處理單元12和13中，在處於 等候狀態的單元中，從位於搬送方向最下流側的單元按順序供給工作板WP，因此能以無等待時間且迅速地向所有第一處理單元12和13供給工作板WP，進而開始檢測。
如果，比處於等候狀態的單元中位於搬送方向最下流側的第一處理單元13，先向第一處理單元12供給工作板WP時，在第一處理單元12的板保持部51向設定位置P2上升的過程中，由於無法使新的工作板WP通過板保持部51的下方而搬送至第一處理單元13，因此會發生第一處理單元13的等待時間。其結果是，存有會造成整個基板檢測系統1的處理性能下降之隱患。
並且，根據基板檢測系統1，在執行第一檢測的第一處理單元12和13以及執行第二檢測的第二處理單元14中，數量多的第一處理單元12和13配置在搬送方向上流側。據此，可無等待時間且迅速地開始對被檢測基板W的檢測。相反，如果數量少的第二處理單元14配置在搬送方向上流側時，無等待時間地可開始檢測的被檢測基板W的數量變少，其結果是，存有會造成整個基板檢測系統1的處理性能下降之隱患。
並且，並不限定於在執行第一檢測的第一處理單元12和13以及執行第二檢測的第二處理單元14中，在執行搬送方向上流側的第一檢測的單元即第一處理單元12和13中，在處於等候狀態的單元中，從位於搬送方向最下流側的單元按順序供給工作板WP的示例。並且，也不限定於在進行第一檢測的第一處理單元12和13以及執行 第二檢測的第二處理單元14中，將數量多的第一處理單元12和13配置在搬送方向上流側的示例。
接下來，首先開始第一檢測的第一處理單元13先於第一處理單元12結束第一檢測，則控制部16使第一處理單元13的板保持部51下降進而在第一處理單元13的搬送輥R上即搬送路徑上載置工作板WP。並且，控制部16驅動第一處理單元13和第二處理單元14的搬送機構2，將工作板WP從第一處理單元13搬送至第二處理單元14的設定位置P2，且根據第二處理單元14的提升機構5將工作板WP位於第二處理單元14的高度位置P1，從而基於第二檢測部B對工作板WP上的被檢測基板W開始進行檢測(參考圖4)。
如圖4所示，即使第一處理單元12和13中搬送方向下流側的第一處理單元13為等候狀態，且第一處理單元12處於檢測中時，由於第一處理單元12的工作板WP位於高度位置P1，從而新的工作板WP也能通過其下方。其結果是，控制部16，如圖4所示，根據第一處理單元12和13的搬送機構2，使新的工作板WP通過在第一處理單元12處理中的工作板WP的下方，從而可以向等候狀態的第一處理單元13進行供給，因此能有效運行多個第一處理單元12和13。
並且，提升機構5將工作板WP移動至搬送路徑的上方，從而根據搬送路徑上方的檢測部進行檢測，因此與將工作板WP移動至搬送路徑的側方而進行檢測之情況相 比，第一處理單元12和13以及第二處理單元14對於地板面的透明面積變小，其結果能尋求空間節省化。
接下來，若第二處理單元14中的第二檢測結束，則控制部16使第二處理單元14的板保持部51下降，從而在第二處理單元14的搬送輥R即搬送路徑上載置工作板WP。並且，控制部16驅動第二處理單元14和卸載器15的搬送機構2，從而將工作板WP從第二處理單元14搬送至卸載器15。據此，載置了結束檢測的被檢測基板W的工作板WP被搬送至卸載器15，進而工作人員能提取該被檢測基板W和工作板WP。
雖然示出了基板檢測系統1包括兩個第一處理單元和一個第二處理單元的示例，但各單元的數量並不限定於上述示例的數量。基板檢測系統1，由於執行各檢測處理的執行單位被單元化，因此能自由變化各單元的數量或處理內容。其也可分別包括多個第一和第二處理單元，例如，五個第一處理單元和兩個第二處理單元。
圖5A至5D是概念性示出各處理單元的配置順序或處理內容為互不相同的單元數之組合的一個示例的說明圖。在圖5A至圖5D中，“A”表示第一處理單元，“B”表示第二處理單元，“C”表示執行與第一和第二處理互不相同之處理的處理單元，且“X”表示搬送單元。
基板檢測系統1，例如，如圖5A所示，可按搬送單元X、五個第一處理單元A、兩個第二處理單元B和搬送 單元X的順序配置而構成。或者，例如，如圖5B所示，可按兩個第二處理單元B、三個第一處理單元A和一個處理單元C的順序配置而構成。例如，如圖5C所示，還可按搬送單元X、第一處理單元A、第二處理單元B、處理單元C、搬送單元X、處理單元C、第二處理單元B、第一處理單元A和搬送單元X的順序配置而構成。例如，如圖5D所示，也可在一對搬送單元X間配置五個第一處理單元A。並且在各處理的相互之間，若在處理的性質上存有必須按特定循序執行處理的性質時，考慮該種順序關係，來決定各處理單元的配置順序。
並且，雖然示出了基板檢測系統1包括執行不同種類處理的第一處理單元和第二處理單元的示例，但基板檢測系統1包括的所有處理單元，也可是進行相同處理的單元。
並且，雖然示出了處理物件物是基板的示例，但處理物件物並不限定於基板。並且，雖然示出了基於處理單元的處理是檢測的示例，但處理並不限定於檢測。例如，可適用於加工、組裝、粉刷、印刷、加熱和冷卻等多種處理。處理物件物是基板以外的物質時或處理是不同於檢測時，基板檢測系統1成為處理物件物搬送系統。
並且，雖然示出了處理物件物的一個示例即被檢測基板W在載置於工作板WP上的狀態下通過搬送路徑而被搬送之示例，但也可以是不使用工作板WP而直接通過搬送路徑來搬送處理物件物的構成。
並且，基板檢測系統1還可以是不包括裝載器11和卸載器15且不包括搬送單元的構成。
並且，作為搬送單元的一個示例，雖然示出了裝載器11和卸載器15，但也可在處理單元和處理單元之間配置與裝載器11相同構成而不具有處理部的搬送單元(例如，參考圖5C)。例如在圖4所示的第一處理單元13和第二處理單元14間可配置搬送單元。在圖4所示的狀態下，當第一處理單元13上檢測結束的被檢測基板W和工作板WP存留在第一處理單元13的板保持部51上時，第二處理單元14由於仍處於檢測中而不能容納新的工作板WP。鑒於此，不能將第一處理單元13的工作板WP搬送至第二處理單元14，其結果是，第一處理單元13儘管已結束檢測，但仍無法容納新的工作板WP而進行檢測。
但例如在圖4所示的第一處理單元13和第二處理單元14間配置搬送單元時，通過將第一處理單元13的板保持部51上的工作板WP退避至搬送單元，從而能在第一處理單元13上執行新的工作板WP的檢測。其結果是，通過減少處理單元的等待時間，能提高基板檢測系統1整體的處理性能。
並且，根據基板檢測系統1，如上所述，由於能容易進行各單元的替換或增減，因此通過適當地配置搬送單元，能容易提高基板檢測系統1整體的處理性能。
並且，雖然示出了在工作板WP上載置一個處理物件物(被檢測基板W)的示例，但在工作板WP上載置的處 理物件物也可是多個。並且，載置的處理物件物的數量或種類不同的多個工作板WP，也可混入處理物件物搬送系統(基板檢測系統1)。此時，例如可在工作板WP上設置記錄了用於識別各工作板WP的識別資訊的射頻識別(RFID，Radio Frequency Identification)標籤或條碼(bar code)等記錄手段，且在各單元中配置該記錄手段的判讀裝置，進而可將在各單元中判讀的識別資訊從各單元發送至控制部16。並且控制部16管理如同與各識別資訊相對應的處理物件物的數量、種類或處理狀況(例如，第一、第二處理是否結束)之管理資訊，使得判讀該識別資訊的單元執行基於該管理資訊的處理。
並且，單元控制部111、121、131、141和151並不限定於根據來自控制部16的控制指示而進行各單元控制的示例。單元控制部111、121、131、141和151在允許的範圍內可自由控制各單元的動作。在控制部16和單元控制部111、121、131、141和151之間也可適當分擔處理內容。
1‧‧‧基板檢測系統(處理物件物搬送系統)
2‧‧‧搬送機構
3‧‧‧下部殼體
4‧‧‧上部殼體
5‧‧‧提升機構
6‧‧‧腳輪
11‧‧‧裝載器
12、13‧‧‧第一處理單元
14‧‧‧第二處理單元
15‧‧‧卸載器
51‧‧‧板保持部
52‧‧‧軸
53‧‧‧軸驅動部
151‧‧‧單元控制部
A‧‧‧第一檢測部
B‧‧‧第二檢測部
P1‧‧‧高度位置
P2‧‧‧設定位置
R‧‧‧搬送輥
W‧‧‧被檢測基板
WP‧‧‧工作板

Claims (6)

  1. 一種處理物件物搬送系統，用於搬送成為處理之物件的處理物件物，所述處理物件物搬送系統包括：第一搬送機構，沿大致水準延伸的搬送路徑，搬送所述處理物件物；移動機構，在該搬送路徑上預先設定的設定位置，將根據所述第一搬送機構搬送來的該處理對象物，移動至從該搬送路徑退避的退避位置；以及多個處理單元，具有針對位於該退避位置的該處理對象物執行預設處理的處理部；其中，該等多個處理單元配置為與該各處理單元的搬送路徑排列成一列且搬送方向成相同的方向；在該等多個搬送路徑中相鄰的兩個搬送路徑間，與該兩個搬送路徑分別相對應的兩個第一搬送機構，從該搬送方向的上流側的搬送路徑向下流側的搬送路徑傳送該處理物件物；該各第一搬送機構，在分別對應的該處理單元中，當該處理物件物由所述移動機構移動至所述退避位置時，在所述處理物件物位於所述退避位置的期間，與所述處理物件物不相干涉地能搬送不同於所述處理物件物的處理物件物。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的處理物件物搬送系統，其中：所述退避位置位於所述搬送路徑的上方； 所述各第一搬送機構，在分別對應的所述處理單元中，當所述處理物件物由所述移動機構移動至所述退避位置時，在所述處理物件物位於所述退避位置的期間，能通過所述處理物件物的下方而搬送不同於所述處理物件物的處理物件物。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述的處理物件物搬送系統，其更包含：搬送單元，具有沿預先設定的搬送路徑大致水準地搬送所述處理對象物的第二搬送機構，所述搬送單元配置為所述搬送單元的搬送路徑與所述各處理單元的搬送路徑排列成一列，所述第二搬送機構，在與所述第二搬送機構相對應的搬送路徑相鄰的其他搬送路徑之間，傳送所述處理物件物。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述的處理對象物搬送系統，其中，與該等多個處理單元相對應的所述處理部包括：第一處理部和第二處理部，所述第一處理部執行作為所述處理之預設的第一處理，所述第二處理部執行作為所述處理之相比所述第一處理的處理時間短的第二處理，具有所述第一處理部的所述處理單元即第一處理單元的數量多於具有所述第二處理部的所述處理單元即第二處理單元。
  5. 如申請專利範圍第1或2項所述的處理物件物搬送系統，其中，該第一處理單元相比所述第二處理單元配 置於所述搬送方向的上流側。
  6. 一種基板檢測系統，以申請專利範圍第1至5項中記載的處理物件物搬送系統中的該處理物件物為基板，且該處理為對所述基板的檢測。
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