CN104459425A - 处理对象物搬送系统及基板检测系统 - Google Patents

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Abstract

提供一种能容易变更针对处理对象物的处理内容或处理能力的处理对象物搬送系统。该系统包括：搬送机构，沿水平延伸的搬送路径搬送检测基板；提升机构，将被检测基板从搬送路径的设定位置提升至高度位置；处理单元，具有针对位于高度位置的被检测基板执行所定处理的处理部。各处理单元的搬送路径排成一列且搬送方向相同，且在相邻的两个搬送路径之间，将被检测基板从上流侧的搬送路径传送至下流侧的搬送路径，且在各个对应的处理单元中，在被检测基板位于高度位置的期间，通过被检测基板的下方，搬送不同于所述被检测基板的被检测基板。

Description

处理对象物搬送系统及基板检测系统
技术领域
本发明涉及一种将所定的成为处理对象的处理对象物搬送至执行其处理的处理部之处理对象物搬送系统以及使用该处理对象物搬送系统的基板检测系统。
背景技术
以往，针对印刷配线基板或封装基板进行多种检测的基板检测装置已被周知(例如，参考专利文献1)。专利文献1记载的基板检测装置包括冷却基板而进行检测的检测部或加热基板而进行检测的检测部等多个检测部。并且，各检测部之间包括按次序搬送基板的搬送机构。
但上述检测装置中，多个检测部或搬送装置构成为一体。鉴于此，为了变更检测内容或变更一定时间内的检测处理量，需要重新制造装置本身，因此存在难以进行这种变更的问题。并且，并不限定于检测基板之情况，在针对处理对象物进行任何处理的处理装置之情况，当具有多个处理部时，也会发生同样的问题。
专利文献1：日本专利公开第2007-59727号公报
发明内容
本发明的目的是提供一种易于变更针对处理对象物的处理内容或处理能力的处理对象物搬送系统，以及使用这种处理对象物搬送系统的基板检测系统。
根据本发明的处理对象物搬送系统，用于搬送成为处理之对象的处理对象物，包括：第一搬送机构，沿水平延伸的搬送路径，搬送所述处理对象物；移动机构，在所述搬送路径上预先设定的设定位置，将根据所述第一搬送机构搬送来的所述处理对象物，移动至从所述搬送路径退避的退避位置；以及多个处理单元，具有针对位于所述退避位置的所述处理对象物执行预设处理的处理部；其中，所述多个处理单元配置为所述各处理单元的搬送路径排列成一列且搬送方向成相同的方向；在所述多个搬送路径中相邻的两个搬送路径间，与所述两个搬送路径分别相对应的两个第一搬送机构，从所述搬送方向的上流侧的搬送路径向下流侧的搬送路径传送所述处理对象物；所述各第一搬送机构，在分别对应的所述处理单元中，当所述处理对象物由所述移动机构移动至所述退避位置时，在所述处理对象物位于所述退避位置的期间，与所述处理对象物不相干涉地能搬送不同于所述处理对象物的处理对象物。
根据该构成，处理对象物搬送系统构成为多个处理单元按一列排列。各处理单元具有针对各个处理对象物进行所定处理的处理部，且根据大致水平延伸的搬送路径搬送处理对象物。多个处理单元配置为各处理单元的搬送路径排成一列且搬送方向相同，而且在多个搬送路径中相邻的两个搬送路径之间，将处理对象物从搬送方向上流侧的搬送路径传送至下流侧的搬送路径。据此，可按顺序将处理对象物搬送至各处理单元，从而针对一个处理对象物可在多个处理单元进行多次处理，或在多个处理单元按顺序搬送多个处理对象物从而可进行并行处理。并且，由于处理对象物的搬送路径大致水平延伸，各处理单元的搬送路径的入口和出口的高度大致相同，因此当进行各处理单元的增减、各处理单元的排列顺序的交换、处理部的处理内容互不相同的处理单元的添加以及交换等时，在相邻的处理单元之间能维持从搬送方向上流侧的搬送路径向下流侧的搬送路径传送处理对象物的构成。因此，可容易变更针对处理对象物的处理内容或处理能力。
优选地，所述退避位置位于所述搬送路径的上方；所述各第一搬送机构，在分别对应的所述处理单元中，当所述处理对象物由所述移动机构移动至所述退避位置时，在所述处理对象物位于所述退避位置的期间，能通过所述处理对象物的下方而搬送不同于所述处理对象物的处理对象物。
根据该构成，相比将处理对象物退避至从搬送路径沿水平方向间隔开位置之情况，系统的占有面积变小，从而可实现空间节省化。
优选地，还包括：搬送单元，具有沿预先设定的搬送路径水平地搬送所述处理对象物的第二搬送机构，所述搬送单元配置为所述搬送单元的搬送路径与所述各处理单元的搬送路径排成一列，所述第二搬送机构在与所述第二搬送机构相对应的搬送路径相邻的其他搬送路径之间，传送所述处理对象物。
根据该构成，在处理对象物的搬送路径中，包括不具有处理部的搬送单元。根据该构成，可将搬送单元，作为用于将处理对象物从外部向系统进行容纳的装载器而使用，或作为用于将处理对象物从系统提取的卸载器而使用，或作为用于调整各处理单元的处理时间错位的缓冲(buffer)装置而使用。并且，搬送单元的第二搬送机构构成为与处理单元的第一搬送机构相同，因此能自由变更配置搬送单元的位置或数量。
优选地，与所述多个处理单元相对应的所述处理部包括：第一处理部和第二处理部，所述第一处理部执行作为所述处理之预设的第一处理，所述第二处理部执行作为所述处理之相比所述第一处理的处理时间短的第二处理，具有所述第一处理部的所述处理单元即第一处理单元的数量多于具有所述第二处理部的所述处理单元即第二处理单元的数量。
根据该构成，由于进行处理时间长的第一处理的第一处理单元的数量多于进行处理时间短的第二处理的第二处理单元的数量，因此在大量的处理单元中能并行执行耗时的处理，其结果是，通过整个系统能消减第一处理和第二处理的处理时间差异。从而能提高整个系统的处理性能。
优选地，所述第一处理单元相比所述第二处理单元配置于所述搬送方向的上流侧。
根据该构成，最初开始向各处理单元搬入处理对象物时，由于可不等待处理单元的处理结束而能迅速地搬入如同位于搬送方向上流侧的第一处理单元的数量之处理对象物，因此相比在搬送方向上流侧具有数量较少的第二处理单元时最初向第二处理单元搬入处理对象物之情况，最初能迅速地向处理单元搬入的处理对象物的数量增多，其结果是，能提高整个系统的处理性能。
根据本发明的基板检测系统，以前述处理对象物搬送系统中的所述处理对象物为基板，且所述处理为对所述基板的检测。
根据该构成，可将前述处理对象物搬送系统适用于进行基板检测的基板检测装置。
这种构成的处理对象物搬送系统及基板检测系统可容易地变更针对处理对象物的处理内容或处理能力。
附图说明
图1是示出本发明一个实施形态之基板检测系统的构成之一个示例的说明图。
图2是从上方观察搬送机构和提升机构的俯视图。
图3是示出图1所示基板检测系统的电气构成的一个示例的框图。
图4是用于说明图1所示基板检测系统的动作的说明图。
图5A至图5D是概念性示出各处理单元的配置顺序或处理内容为互不相同的单元数之组合的一个示例的说明图。
[附图标记说明]
1：基板检测系统(处理对象物搬送系统)
2：搬送机构
3：下部壳体
4：上部壳体
5：提升机构
6：脚轮
11：装载器
12、13：第一处理单元
14：第二处理单元
15：卸载器
16：控制部
17：通信路
51：板保持部
52：轴
53：轴驱动部
111、121、131、141、151：单元控制部
112、122、132、142、152：通信部
511：保持部本体
512：突出部
A：第一检测部
B：第二检测部
M1：搬送用电机
M2：升降用电机
P1：高度位置
P2：设定位置
R：搬送辊
W：被检测基板
WP：工作板
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施形态进行说明。并且，在各附图中赋予了相同符号的构成表示相同的构成，且省略其说明。图1是示出本发明一个实施形态之基板检测系统的构成之一个示例的说明图。图1所示的基板检测系统1包括装载器11、第一处理单元12和13、第二处理单元14以及卸载器15。基板检测系统1相当于处理对象物搬送系统的一个示例。
第一处理单元12和13以及第二处理单元14相当于处理单元的一个示例，而装载器11和卸载器15相当于搬送单元的一个示例。在图1中，为了说明的方便，将图1的左侧方向作为基板检测系统1的前方、将图1的右侧方向作为基板检测系统1的后方进行了记载，但基板检测系统1的前方和后方并不限定于图1的示例。
装载器11、第一处理单元12和13、第二处理单元14以及卸载器15均具有大致为长方体形状的下部壳体3和配置在下部壳体3上部的搬送机构2。第一处理单元12和13以及第二处理单元14具有的搬送机构2相当于第一搬送机构的一个示例，而装载器11和卸载器15具有的搬送机构2相当于第二搬送机构的一个示例。
在下部壳体3的下部设置有脚轮(caster)6。据此，工作人员能分别容易地移动装载器11、第一处理单元12和13、第二处理单元14以及卸载器15的各单元。并且各单元也可是不具有脚轮6的构成。
搬送机构2，沿从前方朝向后方的搬送方向，大致水平地搬送工作板WP。工作板WP是大致矩形的板状部件，且工作板WP的上面载有成为检测对象的被检测基板W。
工作板WP的上面，例如可是平坦的，例如也可形成有凹陷部，从而可在凹陷部内容纳被检测基板W。工作板WP的下面，例如可附着橡胶垫片。被检测基板W，例如可是印刷配线基板、电路基板、搭载半导体芯片的封装基板或表面形成有透明电极的玻璃基板等。
搬送机构2包括：沿搬送方向按间距d配置的多个大致为圆筒形的搬送辊R；后述的搬送用电机M1；以及将搬送用电机M1的驱动力传递至多个搬送辊R的轴(shaft)或齿轮(gear)等传递机构(图示省略)。并且，由多个搬送辊R形成搬送工作板WP的搬送路径。即，连接多个搬送辊R的上方顶部的线路(line)成为搬送路径。
间距d为工作板WP的搬送方向之长度的1/2以下，例如为1/3的长度。据此，工作板WP的下面可一直与多个搬送辊R相接触。其结果是，根据搬送辊R支撑工作板WP的重量平衡变良好。
并且，根据附着在工作板WP下面的橡胶垫片，工作板WP和搬送辊R间的摩擦力增大，其结果是，根据搬送辊R搬送工作板WP时，能消减搬送辊R对工作板WP的滑动性。并且，搬送机构2并不限定于搬送辊R按间距d进行配置的构成，例如也可是皮带运输机(belt conveyor)。
第一处理单元12和13以及第二处理单元14的各处理单元还包括：配置在下部壳体3的上方的上部壳体4；以及配置在上部壳体4的下方的提升机构5。并且，第一处理单元12和13包括第一检测部A(第一处理部)，第二处理单元14包括第二检测部B(第二处理部)。第一处理单元12和13的上部壳体4中容纳第一检测部A，而第二处理单元14的上部壳体4中容纳第二检测部B。
并且，装载器11和卸载器15不包括第一检测部A或第二检测部B等处理部。
提升机构5将根据搬送机构2搬送来的工作板WP，从该各单元的搬送路径上预先设定的设定位置P2提升至预先设定的高度位置P1。具体来讲，提升机构5包括板保持部51、轴(shaft)52以及轴驱动部53。图2是从上方观察搬送机构2的搬送辊R和提升机构5的俯视图。
在搬送辊R上的搬送路径的两侧配置有一对板保持部51。板保持部51具有沿搬送方向延伸的保持部本体511，以及从保持部本体511的两端部朝搬送路径突出的一对突出部512。一对突出部512从两个搬送辊R之间向位于设定位置P2的工作板WP的下部突出。
轴52从保持部本体511的两端部向下方延伸，进而连接板保持部51和轴驱动部53。轴驱动部53通过使轴52沿上下方向移动，从而升降板保持部51。轴驱动部53由后述的升降用电机M2、滚珠螺杆或齿轮机构等构成。据此，板保持部51可采取在搬送路径的下方等待工作板WP搬送至设定位置P2的下降姿势以及将工作板WP置于高度位置P1的上升姿势。以下，将板保持部51处于下降姿势且无工作板WP从而板保持部51能容纳新的工作板WP的状态称为等待状态。
若板保持部51上升，则设置在一对板保持部51的四个突出部512卡合工作板WP的下部，随着板保持部51的上升而提升工作板WP。轴驱动部53使板保持部51上升，进而使其位于适合检测部检测处理的高度位置P1。
在根据板保持部51而使工作板WP位于高度位置P1的期间，搬送机构2经过该工作板WP的下方而能搬送另一个工作板WP。提升机构5相当于移动机构的一个示例，高度位置P1相当于退避位置的一个示例。并且，退避位置并不限定于搬送路径的上方，例如也可将退避位置设定在向与搬送路径相交叉的方向间隔开的位置上，且移动机构并不限定于将工作板WP提升至上方。
第一检测部A针对位于高度位置P1的工作板WP上的被检测基板W，例如通过测定配线图形的静电容量来执行判定不良与否的第一检测(第一处理)。第二检测部B针对位于高度位置P1的工作板WP上的被检测基板W，例如执行检测配线图形导通与否的第二检测(第二处理)。第二检测相比第一检测检测时间短，例如可按第一检测的1/2时间检测基板。
基板检测系统1包括：具有检测时间长的第一检测部A的第一处理单元12和13；以及具有检测时间短的第二检测部B的第二处理单元14。即，处理时间长的处理单元相比处理时间短的处理单元数量更多。
基板检测系统1之情况，例如所需处理时间是第二处理单元14的两倍的第一处理单元12和13，按第二处理单元14的两倍进行设定，从而使整个基板检测系统1中第一检测和第二检测的处理时间均衡化。并且作为第一检测部A和第二检测部B执行的基板检测方法，可采用多种检测方法。
装载器11、第一处理单元12和13、第二处理单元14以及卸载器15的各单元，按该各单元的搬送路径排成一列且搬送方向互相相同之方向而进行配置。对于相邻的单元间，在两者的搬送路径间，与该两个搬送路径分别相对应的两个搬送机构2，将工作板WP从搬送方向的上流侧的搬送路径传送至下流侧的搬送路径。
并且，各单元的搬送路径大致水平，即各单元的搬送路径的入口和出口的高度在各单元相互间大致同等。并且，在各单元中相邻的任意两个单元之间，成为搬送方向上流侧的单元中搬送路径的出口之搬送辊R即在该单元内位于搬送方向最下流侧的搬送辊R，与成为搬送方向下流侧的单元中搬送路径的入口之搬送辊R即在该单元内位于搬送方向最上流侧的搬送辊R之间的距离为间距d以下，并以此设定各搬送辊R的配置位置。
如此，将设定了搬送路径的高度或搬送辊R的配置的单元相组合而构成基板检测系统1，因此即使改变各单元的排列顺序或增减各单元的数量，在各单元的搬送路径间，也能顺利地传送工作板WP。据此，基板检测系统1能容易地进行各单元的排列顺序的交替或各单元数量的增减。
并且，通过构成将第一检测部A或第二检测部B变更为其他处理部的处理单元，且将之与基板检测系统1的处理单元进行交替或添加等，从而可容易地变更基板检测系统1的处理内容。据此，能构成容易变更针对处理对象物即被检测基板W的处理内容或处理能力的基板检测系统。
图3是示出图1所示基板检测系统1的电气构成之一个示例的框图。图1所示的基板检测系统1包括装载器11、第一处理单元12和13、第二处理单元14、卸载器15以及控制部16。并且，装载器11、第一处理单元12和13、第二处理单元14、卸载器15以及控制部16通过通信路17相连而可收发数据。
装载器11包括搬送用电机M1、单元控制部111以及通信部112。第一处理单元12包括搬送用电机M1、升降用电机M2、第一检测部A、单元控制部121以及通信部122。第一处理单元13包括搬送用电机M1、升降用电机M2、第一检测部A、单元控制部131以及通信部132。第二处理单元14包括搬送用电机M1、升降用电机M2、第二检测部B、单元控制部141以及通信部142。卸载器15包括搬送用电机M1、单元控制部151以及通信部152。
各搬送用电机M1根据来自各个单元控制部111、121、131、141和151的控制信号进行旋转，且通过旋转驱动搬送辊R由搬送机构2来搬送工作板WP。
各升降用电机M2根据来自各个单元控制部121、131和141的控制信号进行正反旋转，且向轴驱动部53赋予该旋转驱动力。据此，例如通过升降用电机M2正旋转可使板保持部51上升，且例如通过升降用电机M2反旋转可使板保持部51下降。
各第一检测部A根据来自单元控制部121和131的控制信号，对位于各个高度位置P1的板保持部51上的被检测基板W进行检测。第二检测部B根据来自单元控制部141的控制信号，对位于高度位置P1的板保持部51上的被检测基板W进行检测。
通信部112、122、132、142和152是通过通信路17执行与控制部16通信的通信接口电路。作为通信接口，可使用以太网(Ethernet)(注册商标)等多种通信方式。
单元控制部111、121、131、141和151例如可使用微型计算机而构成，且通过通信部112、122、132、142和152可在与控制部16之间执行通信。单元控制部111、121、131、141和151在分别对应的单元内，将例如根据传感器(sensor)(图示省略)获得的信息或表示各单元的动作状态的信息发送至控制部16。并且，单元控制部111、121、131、141和151根据从控制部16接收的控制指示，控制对应的各单元内的搬送用电机M1、升降用电机M2、第一检测部A和第二检测部B等的动作。
控制部16可根据例如个人计算机或可编程序控制器等多种信息处理装置而构成。控制部16接收装载器11、第一处理单元12和13、第二处理单元14以及卸载器15的各单元发送的信息。控制部16基于各单元发送的信息，向各单元发送控制指示。各单元的单元控制部根据该控制指示控制各单元的动作。
据此，控制部16能统管控制基板检测系统1的动作。以下，为了简化说明，将各单元的单元控制部根据控制部16的控制指示而进行各单元的控制之动作，简单地记载为控制部16控制各单元的各部。
接下来，针对如上所述构成的基板检测系统1的动作进行说明。首先，如图1所示，第一处理单元12和13以及第二处理单元14中的板保持部51处于下降姿势，且第一处理单元12和13以及第二处理单元14处于能容纳板保持部51的等待状态。在该状态下，若在装载器11上载置工作板WP，则可根据传感器(图示省略)感知在装载器11上载置了工作板WP，并将该信息发送至控制部16。
若感知到在装载器11上载置了工作板WP，则控制部16驱动装载器11以及第一处理单元12和13的搬送机构2，进而将工作板WP和被检测基板W搬送至第一处理单元12和13中位于搬送方向下流侧的第一处理单元13的设定位置P2，且根据第一处理单元13的提升机构5，将工作板WP提升至高度位置P1。若工作板WP位于高度位置P1，则根据例如传感器(图示省略)感知工作板WP，且根据该感知信号第一处理单元13的第一检测部A检测工作板WP上的被检测基板W。
另外，若在装载器11上载置了新的工作板WP，则控制部16驱动装载器11和第一处理单元12的搬送机构2，进而将工作板WP和被检测基板W搬送至处于等待状态之第一处理单元12的设定位置P2，且根据第一处理单元12的提升机构5，将工作板WP提升至高度位置P1。若工作板WP位于高度位置P1，则根据例如传感器(图示省略)感知工作板WP，且根据该感知信号第一处理单元12的第一检测部A检测工作板WP上的被检测基板W。
如此，根据第一处理单元12和13，可并行检测多个被检测基板W。并且，控制部16，在执行第一检测的第一单元以及执行第二检测的单元中，在执行搬送方向上流侧的第一检测的单元即第一处理单元12和13中，在处于等待状态的单元中，从位于搬送方向最下流侧的单元按顺序供给工作板WP，因此能以无等待时间且迅速地向所有第一处理单元12和13供给工作板WP，进而开始检测。
如果，比处于等待状态的单元中位于搬送方向最下流侧的第一处理单元13，先向第一处理单元12供给工作板WP时，在第一处理单元12的板保持部51向设定位置P2上升的过程中，由于无法使新的工作板WP通过板保持部51的下方而搬送至第一处理单元13，因此会发生第一处理单元13的等待时间。其结果是，存有会造成整个基板检测系统1的处理性能下降之隐患。
并且，根据基板检测系统1，在执行第一检测的第一处理单元12和13以及执行第二检测的第二处理单元14中，数量多的第一处理单元12和13配置在搬送方向上流侧。据此，可无等待时间且迅速地开始对被检测基板W的检测。相反，如果数量少的第二处理单元14配置在搬送方向上流侧时，无等待时间地可开始检测的被检测基板W的数量变少，其结果是，存有会造成整个基板检测系统1的处理性能下降之隐患。
并且，并不限定于在执行第一检测的第一处理单元12和13以及执行第二检测的第二处理单元14中，在执行搬送方向上流侧的第一检测的单元即第一处理单元12和13中，在处于等待状态的单元中，从位于搬送方向最下流侧的单元按顺序供给工作板WP的示例。并且，也不限定于在进行第一检测的第一处理单元12和13以及执行第二检测的第二处理单元14中，将数量多的第一处理单元12和13配置在搬送方向上流侧的示例。
接下来，首先开始第一检测的第一处理单元13先于第一处理单元12结束第一检测，则控制部16使第一处理单元13的板保持部51下降进而在第一处理单元13的搬送辊R上即搬送路径上载置工作板WP。并且，控制部16驱动第一处理单元13和第二处理单元14的搬送机构2，将工作板WP从第一处理单元13搬送至第二处理单元14的设定位置P2，且根据第二处理单元14的提升机构5将工作板WP位于第二处理单元14的高度位置P1，从而基于第二检测部B对工作板WP上的被检测基板W开始进行检测(参考图4)。
如图4所示，即使第一处理单元12和13中搬送方向下流侧的第一处理单元13为等待状态，且第一处理单元12处于检测中时，由于第一处理单元12的工作板WP位于高度位置P1，从而新的工作板WP也能通过其下方。其结果是，控制部16，如图4所示，根据第一处理单元12和13的搬送机构2，使新的工作板WP通过在第一处理单元12处理中的工作板WP的下方，从而可以向等待状态的第一处理单元13进行供给，因此能有效运行多个第一处理单元12和13。
并且，提升机构5将工作板WP移动至搬送路径的上方，从而根据搬送路径上方的检测部进行检测，因此与将工作板WP移动至搬送路径的侧方而进行检测之情况相比，第一处理单元12和13以及第二处理单元14对于地板面的透明面积变小，其结果能寻求空间节省化。
接下来，若第二处理单元14中的第二检测结束，则控制部16使第二处理单元14的板保持部51下降，从而在第二处理单元14的搬送辊R即搬送路径上载置工作板WP。并且，控制部16驱动第二处理单元14和卸载器15的搬送机构2，从而将工作板WP从第二处理单元14搬送至卸载器15。据此，载置了结束检测的被检测基板W的工作板WP被搬送至卸载器15，进而工作人员能提取该被检测基板W和工作板WP。
虽然示出了基板检测系统1包括两个第一处理单元和一个第二处理单元的示例，但各单元的数量并不限定于上述示例的数量。基板检测系统1，由于执行各检测处理的执行单位被单元化，因此能自由变化各单元的数量或处理内容。其也可分别包括多个第一和第二处理单元，例如，五个第一处理单元和两个第二处理单元。
图5A至5D是概念性示出各处理单元的配置顺序或处理内容为互不相同的单元数之组合的一个示例的说明图。在图5A至图5D中，“A”表示第一处理单元，“B”表示第二处理单元，“C”表示执行与第一和第二处理互不相同之处理的处理单元，且“X”表示搬送单元。
基板检测系统1，例如，如图5A所示，可按搬送单元X、五个第一处理单元A、两个第二处理单元B和搬送单元X的顺序配置而构成。或者，例如，如图5B所示，可按两个第二处理单元B、三个第一处理单元A和一个处理单元C的顺序配置而构成。例如，如图5C所示，还可按搬送单元X、第一处理单元A、第二处理单元B、处理单元C、搬送单元X、处理单元C、第二处理单元B、第一处理单元A和搬送单元X的顺序配置而构成。例如，如图5D所示，也可在一对搬送单元X间配置五个第一处理单元A。并且在各处理的相互之间，若在处理的性质上存有必须按特定顺序执行处理的性质时，考虑该种顺序关系，来决定各处理单元的配置顺序。
并且，虽然示出了基板检测系统1包括执行不同种类处理的第一处理单元和第二处理单元的示例，但基板检测系统1包括的所有处理单元，也可是进行相同处理的单元。
并且，虽然示出了处理对象物是基板的示例，但处理对象物并不限定于基板。并且，虽然示出了基于处理单元的处理是检测的示例，但处理并不限定于检测。例如，可适用于加工、组装、粉刷、印刷、加热和冷却等多种处理。处理对象物是基板以外的物质时或处理是不同于检测时，基板检测系统1成为处理对象物搬送系统。
并且，虽然示出了处理对象物的一个示例即被检测基板W在载置于工作板WP上的状态下通过搬送路径而被搬送之示例，但也可以是不使用工作板WP而直接通过搬送路径来搬送处理对象物的构成。
并且，基板检测系统1还可以是不包括装载器11和卸载器15且不包括搬送单元的构成。
并且，作为搬送单元的一个示例，虽然示出了装载器11和卸载器15，但也可在处理单元和处理单元之间配置与装载器11相同构成而不具有处理部的搬送单元(例如，参考图5C)。例如在图4所示的第一处理单元13和第二处理单元14间可配置搬送单元。在图4所示的状态下，当第一处理单元13上检测结束的被检测基板W和工作板WP存留在第一处理单元13的板保持部51上时，第二处理单元14由于仍处于检测中而不能容纳新的工作板WP。鉴于此，不能将第一处理单元13的工作板WP搬送至第二处理单元14，其结果是，第一处理单元13尽管已结束检测，但仍无法容纳新的工作板WP而进行检测。
但例如在图4所示的第一处理单元13和第二处理单元14间配置搬送单元时，通过将第一处理单元13的板保持部51上的工作板WP退避至搬送单元，从而能在第一处理单元13上执行新的工作板WP的检测。其结果是，通过减少处理单元的等待时间，能提高基板检测系统1整体的处理性能。
并且，根据基板检测系统1，如上所述，由于能容易进行各单元的替换或增减，因此通过适当地配置搬送单元，能容易提高基板检测系统1整体的处理性能。
并且，虽然示出了在工作板WP上载置一个处理对象物(被检测基板W)的示例，但在工作板WP上载置的处理对象物也可是多个。并且，载置的处理对象物的数量或种类不同的多个工作板WP，也可混入处理对象物搬送系统(基板检测系统1)。此时，例如可在工作板WP上设置记录了用于识别各工作板WP的识别信息的射频识别(RFID，Radio Frequency Identification)标签或条形码(bar code)等记录手段，且在各单元中配置该记录手段的判读装置，进而可将在各单元中判读的识别信息从各单元发送至控制部16。并且控制部16管理如同与各识别信息相对应的处理对象物的数量、种类或处理状况(例如，第一、第二处理是否结束)之管理信息，使得判读该识别信息的单元执行基于该管理信息的处理。
并且，单元控制部111、121、131、141和151并不限定于根据来自控制部16的控制指示而进行各单元控制的示例。单元控制部111、121、131、141和151在允许的范围内可自由控制各单元的动作。在控制部16和单元控制部111、121、131、141和151之间也可适当分担处理内容。

Claims (6)

1.一种处理对象物搬送系统，用于搬送成为处理之对象的处理对象物，所述处理对象物搬送系统包括：
第一搬送机构，沿大致水平延伸的搬送路径，搬送所述处理对象物；
移动机构，在所述搬送路径上预先设定的设定位置，将根据所述第一搬送机构搬送来的所述处理对象物，移动至从所述搬送路径退避的退避位置；以及
多个处理单元，具有针对位于所述退避位置的所述处理对象物执行预设处理的处理部；
其中，所述多个处理单元配置为与所述各处理单元的搬送路径排列成一列且搬送方向成相同的方向；
在所述多个搬送路径中相邻的两个搬送路径间，与所述两个搬送路径分别相对应的两个第一搬送机构，从所述搬送方向的上流侧的搬送路径向下流侧的搬送路径传送所述处理对象物；
所述各第一搬送机构，在分别对应的所述处理单元中，当所述处理对象物由所述移动机构移动至所述退避位置时，在所述处理对象物位于所述退避位置的期间，与所述处理对象物不相干涉地能搬送不同于所述处理对象物的处理对象物。
2.如权利要求1所述的处理对象物搬送系统，其特征在于：
所述退避位置位于所述搬送路径的上方；
所述各第一搬送机构，在分别对应的所述处理单元中，当所述处理对象物由所述移动机构移动至所述退避位置时，在所述处理对象物位于所述退避位置的期间，能通过所述处理对象物的下方而搬送不同于所述处理对象物的处理对象物。
3.如权利要求1或2所述的处理对象物搬送系统，其特征在于还包括：
搬送单元，具有沿预先设定的搬送路径大致水平地搬送所述处理对象物的第二搬送机构，
所述搬送单元配置为所述搬送单元的搬送路径与所述各处理单元的搬送路径排列成一列，
所述第二搬送机构，在与所述第二搬送机构相对应的搬送路径相邻的其他搬送路径之间，传送所述处理对象物。
4.如权利要求1或2所述的处理对象物搬送系统，其特征在于，与所述多个处理单元相对应的所述处理部包括：第一处理部和第二处理部，所述第一处理部执行作为所述处理之预设的第一处理，所述第二处理部执行作为所述处理之相比所述第一处理的处理时间短的第二处理，
具有所述第一处理部的所述处理单元即第一处理单元的数量多于具有所述第二处理部的所述处理单元即第二处理单元。
5.如权利要求1或2所述的处理对象物搬送系统，其特征在于，所述第一处理单元相比所述第二处理单元配置于所述搬送方向的上流侧。
6.一种基板检测系统，以权利要求1至5中记载的处理对象物搬送系统中的所述处理对象物为基板，且所述处理为对所述基板的检测。
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