JP2007057444A - 基板検査装置、及び基板検査装置の温度維持機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被検査基板8が載置される複数の載置部位とその周囲に側壁部223とを備えた冷却部22と、冷却部22を冷却する冷却器と、被検査基板8を検査する移動式プローブ37,38と、冷却部22を移動させるガイドレール41と、温度付与位置において複数の載置部位を覆う蓋体26と、検査位置、及び温度付与位置から検査位置までの移動経路上において複数の載置部位を覆う固定蓋体28とを備え、固定蓋体28は、検査位置において載置部位一箇所分の検査用開口部283を有し、複数の載置部位を検査用開口部283と順次対向させるべく移動させ、移動式プローブ37,38は、検査用開口部283を介して複数の載置部位に載置された被検査基板8の検査を行うようにした。
【選択図】 図19
Description
2 筐体
3,6 空気乾燥機
4 空気冷却機
8 被検査基板
11,12 操作表示部
13 受入口
14 排出口
21 投入ワークホルダ
22 冷却保持部
23 予熱保持部
24 加熱保持部
25 収納ワークホルダ
26,27,30 蓋体
28,29 固定蓋体
31 ノズル
32 搬送部
33,34 カメラ
35,36 非接触温度計
37,38 移動式プローブ
39 吸引ポンプ
40 搬送駆動部
41,42,43,44,45 ガイドレール
47,48 昇降機構
49 プローブ駆動部
50 検査制御部
51 ドライエア吹出口
52 ドライエア排出口
60 制御部
61,62,63 温度調節器
81 パット
82 ダイ
211 凹部
212,252 取っ手
220 冷却器
221 冷却プレート
222a〜222e,232a〜232e,242a〜242e 載置部
223 側壁部
224 仕切板
225 冷却ファン
226,228,247,248 孔
227 凹部
229,249,251,272 シート部材
231 予熱プレート
233 側壁部
234,244 仕切板
235 予熱用ヒータ
241 加熱プレート
243 側壁部
245 加熱用ヒータ
250,271 溝
261,281,301 シート
262,282,302 スペーサ
263 長孔
283 検査用開口部
321 バキュームヘッド
371 プローブ
Claims (8)
- 基板に形成された配線の検査を行う基板検査装置であって、前記基板が載置される複数の載置部位が前記長尺方向に列をなして設けられ前記複数の載置部位の周囲に側壁部を備えた保持体と、前記保持体の温度を所定の温度付与位置において所定の温度にする温度付与手段と、前記基板を所定の検査位置において検査する検査部と、前記保持体を前記長尺方向に前記温度付与位置と前記検査位置との間で移動させる移動部と、前記温度付与位置、前記検査位置、及び前記温度付与位置から前記検査位置までの移動経路上において前記複数の載置部位を覆うカバー部材とを備え、前記カバー部材は、前記検査位置において前記載置部位一箇所分の検査用開口部を有し、前記移動部は、前記複数の載置部位を前記検査用開口部と順次対向させるべく前記保持体を移動させ、前記検査部は、前記検査用開口部を介して前記複数の載置部位に載置された前記基板の検査を行うことを特徴とする基板検査装置。
- 前記カバー部材は、前記温度付与位置において前記複数の載置部位を覆う第1の蓋体と、前記移動経路上及び前記検査位置において前記複数の載置部位を覆う第2の蓋体とを備え、前記第1の蓋体は、開閉可能に構成されていることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記保持体は、前記側壁部により囲まれた空間を前記載置部位毎に仕切る隔壁を備えることを特徴とする請求項1又は2記載の基板検査装置。
- 前記カバー部材は、複数のシート状の部材が積層されてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記保持体の載置部位に載置された基板の画像を取得するカメラを前記第1及び第2の蓋体のいずれかと対向してさらに備え、前記検査部は、前記カメラにより取得された画像に基づいて当該基板の検査におけるアライメントを行うものであり、前記第1及び第2の蓋体のいずれかは、前記カメラとの対向位置に前記載置部位一箇所分よりも小さいアライメント用開口部を有し、前記カメラは、前記アライメント用開口部を介して前記基板の画像を取得することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記保持体の載置部位に載置された基板の温度を測定する温度計を前記第1及び第2の蓋体のいずれかと対向してさらに備え、前記検査部は、前記温度計により測定された温度が予め設定された温度範囲内の場合に、当該基板の検査を行うものであり、前記第1及び第2の蓋体のいずれかは、前記温度計との対向位置に前記載置部位一箇所分よりも小さい温度測定用開口部を有し、前記温度計は、前記温度測定用開口部を介して前記基板の温度を測定することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記側壁部で囲まれた空間内へ、乾燥した空気を供給するドライエア供給部をさらに備え、
前記温度付与手段は、前記保持体を冷却するものであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の基板検査装置。 - 基板に形成された配線の検査を行う基板検査装置の温度維持機構であって、前記基板が載置される複数の載置部位が前記長尺方向に列をなして設けられ前記複数の載置部位の周囲に側壁部を備えた保持体と、前記保持体の温度を所定の温度付与位置において所定の温度にする温度付与手段と、前記保持体を前記長尺方向に前記検査が行われる検査位置と前記温度付与位置との間で移動させる移動部と、前記温度付与位置、前記検査位置、及び前記温度付与位置から前記検査位置までの移動経路上において前記複数の載置部位を覆うカバー部材とを備え、前記カバー部材は、前記検査位置において前記載置部位一箇所分の検査用開口部を有し、前記移動部は、前記複数の載置部位を前記検査用開口部と順次対向させるべく前記保持体を移動させることを特徴とする基板検査装置の温度維持機構。
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