KR100780163B1 - 신축탱크 및 이를 이용한 화학액 공급장치 - Google Patents

신축탱크 및 이를 이용한 화학액 공급장치

Info

Publication number
KR100780163B1
KR100780163B1 KR1020050034311A KR20050034311A KR100780163B1 KR 100780163 B1 KR100780163 B1 KR 100780163B1 KR 1020050034311 A KR1020050034311 A KR 1020050034311A KR 20050034311 A KR20050034311 A KR 20050034311A KR 100780163 B1 KR100780163 B1 KR 100780163B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chemical liquid
expansion
chemical
pump
amount
Prior art date
Application number
KR1020050034311A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060047457A (ko
Inventor
다께오 야지마
Original Assignee
코가네이 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 코가네이 코포레이션 filed Critical 코가네이 코포레이션
Publication of KR20060047457A publication Critical patent/KR20060047457A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100780163B1 publication Critical patent/KR100780163B1/ko

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/08—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
    • F04B43/10—Pumps having fluid drive
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A63—SPORTS; GAMES; AMUSEMENTS
    • A63C—SKATES; SKIS; ROLLER SKATES; DESIGN OR LAYOUT OF COURTS, RINKS OR THE LIKE
    • A63C17/00—Roller skates; Skate-boards
    • A63C17/0046—Roller skates; Skate-boards with shock absorption or suspension system
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A63—SPORTS; GAMES; AMUSEMENTS
    • A63C—SKATES; SKIS; ROLLER SKATES; DESIGN OR LAYOUT OF COURTS, RINKS OR THE LIKE
    • A63C17/00—Roller skates; Skate-boards
    • A63C17/04—Roller skates; Skate-boards with wheels arranged otherwise than in two pairs
    • A63C17/06—Roller skates; Skate-boards with wheels arranged otherwise than in two pairs single-track type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/0009—Special features
    • F04B43/0081—Special features systems, control, safety measures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/08—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
    • F04B43/084—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members the tubular member being deformed by stretching or distortion
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A63—SPORTS; GAMES; AMUSEMENTS
    • A63C—SKATES; SKIS; ROLLER SKATES; DESIGN OR LAYOUT OF COURTS, RINKS OR THE LIKE
    • A63C2203/00—Special features of skates, skis, roller-skates, snowboards and courts
    • A63C2203/20—Shock or vibration absorbing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Containers And Packaging Bodies Having A Special Means To Remove Contents (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

신축탱크는 부피-가변챔버를 갖는 바, 부피가변챔버는 함유된 화학액의 양에 따라 팽창 또는 수축되는 신축튜브 및 신축튜브에 부착되는 어댑터부에 의해 구획되도록 형성되어 있다. 부피-가변 챔버와 개방된 1차-유입구는 일측 어댑터부 속으로 개방되어 있으며, 부피-가변 챔버와 개방된 2차-유출구는 타측 어댑터부 속으로 개방되어 있다. 부피-가변 챔버 내의 화학액과 공기 간의 접촉이 최소 수준으로 억제되는 바, 이에 의하여 화학액의 청정도를 악화시키지 않고 화학액을 함유할 수 있으며, 화학액의 배출 정확도를 증진시킬 수 있다.

Description

신축탱크 및 이를 이용한 화학액 공급장치{FLEXIBLE TANK AND A CHEMICAL LIQUID SUPPLY APPARATUS USING THE SAME}
본 출원은 2004년 4월 26일자로 출원한 일본 특허출원 JP 2004-130160으로부터 우선권을 청구하는 바, 이에 관한 내용은 이에 의하여 참조함으로써 본 출원으로 구체화된다.
본 발명은 화학 액체와 같은 액체를 함유하는 신축탱크 및 이를 이용한 화학액 공급장치에 관한 것이다.
포토레지스트액, 스핀-온-글라스액(spin-on-glass liquid), 폴리이미드 수지용액, 정제수, 현상용액, 에칭용액, 및 유기용매와 같은 화학액은 반도체 웨이퍼 제조기술, 액정기판 제조기술, 자기 디스크 제조기술, 및 다층배선판 제조기술을 포함한 기술분야의 생산 공정에 사용되며; 화학액 공급장치는 화학액의 도포에 사용된다. 예들 들면, 반도체 웨어퍼가 수평판 위에 배치되어 회전하는 상태에서, 포토레지스트액이 반도체 웨이퍼의 표면에 도포될 때, 포도레지스트액은 반도체 웨이퍼의 표면상에 적하된다. 화학액 탱크는 적하되기 전 화학액 함유 장치로서 사용되며, 화학액 탱크는 다양한 대상물에 따라 다양하게 사용된다.
예들 들면, 필터를 통하여 여과되는 화학액이 웨이퍼 위에 도포될 때, 몇몇 경우에, 필터는 펌프의 제 2측면에 제공되어 작동된다. 이 때, 여과속도와 배출속도는 동일하다. 그러나, 여과에 적합한 속도와 도포에 적합한 속도는 통상 다르기 때문에, 양품율이 종종 감소하는 바, 이는 예들 들면, 공기방울 또는 겔화된 화학액이 필터막을 통과하기 때문이다. 그 때문에 필터가 1차 펌프의 하류에 장착되는 상태가 제공되어, 화학액 탱크는 필터의 하류에 제공되며, 2차 펌프는 화학액 탱크의 하류에 제공되어, 1차 펌프는 배출기능을 하는 바, 이에 의하여 여과된 화학액은 화학액 탱크 내에 일시적으로 저장되며, 결과적으로, 화학액은 2차 펌프에 의해 흡입되어 웨이퍼 위에 도포된다(예들 들며, 미국특허 번호 5,490,765를 보라).
한편, 최상류측에 배치된 대체가능한 화학액탱크(화학액 용기)가 비어 있을 때, 그리고 비어 있는 화학액 용기가 교체되고 있는 동안 조차도 화학액 공급장치가 작동될 때; 완충용 화학액 탱크가 화학액 순환로 내에 장착되는 상태가 제공되고, 화학액 용기 내의 일부 화학액은 미리 그 속에 저장되어, 비어 있는 화학액 용기가 교체되는 동안 완충용 화학액 탱크 속에 함유된 화학액은 대체물로서 사용된다.
한편, 일부 경우에, 도포노즐은 화학액 순환로의 최상류측에 배치된 화학액 탱크 보다 약 수미터 윗쪽에 제공된다. 이 경우, 화학액 탱크 속의 화학액이 한 개의 펌프에 의해 공급될 때, 펌프에 부과된 하중은 과도해진다. 그러므로, 중계용 보조탱크 및 보조펌프가 화학액체 순환로 내에 장착되는 상태가 제공되어, 화학액은 1차 펌프에 의해 보조탱크로 공급되고, 결과적으로, 보조탱크 속의 화학액은 2차 펌프를 수단으로 도포노즐로 공급된다.
화학액이 적하될 때, 화학액은 감소되고; 따라서, 화학액 탱크 속의 남아있는 화학액의 양은 적절한 타이밍에 체크되어야만 한다. 지금 까지, 공기와 화학액의 경계면, 예들 들면, 화학액 표면의 수준(액 수준)을 센서에 의해 탐지함으로써 남아 있는 화학액의 양이 체크되는 방법이 알려져 있다. 그러나, 가스가 화학액 속에 혼합될 때, 공기방울이 공급압을 흡수함으로써 배출량이 불안정하게 된다. 더욱이, 화학액이 포토레지스트액과 같이 공기와 접촉할 때 마다 변화하는 종류의 액이라면, 화학액의 기능은 악화되거나 또는 화학액의 적하량은 불안정하게 되는 바, 이 때문에 생산품의 수득율이 저하된다.
본 발명의 목적은 화학액의 청정도를 악화시키지 않고 화학액을 함유할 수 있는 신축탱크를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 신축탱크를 사용함으로써 화학액의 배출정확도를 증진시킬 수 있는 화학액 공급장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 신축탱크는: 함유된 화학액의 양에 따라 팽창 및 수축하는 신축막과, 어댑터부의 내부에 신축막이 부착된 어댑터부에 의해 구획되도록 형성된 부피-가변 챔버; 및 부피-가변 챔버와 개방되도록 어댑터부 내에 형성된 1차-유입구 및 2차-유출구;를 포함한다.
본 발명에 따른 신축탱크는, 미리 계산된 화학액의 양이 부피-가변 챔버 내에 함유되어 있는지를 결정하는 센서에 의해 확장 또는 수축하는 신축막의 변형이 탐지되는 점을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 신축탱크는 내부에 압력구가 제공되며 부피-가변 챔버를 수용하는 압축챔버가 어댑터부에 고정된 밀봉부에 의해 구획되도록 형성되며, 미리 계산된 유체압력은 압력구에서 압축챔버로 공급되는 점을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 신축탱크는, 일단부는 1차-유입구에 개방되어 있고 타단부는 2차-유출구에 개방되어 있는 신축튜브가 신축막으로 사용되는 점을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 신축탱크는, 부피-가변 챔버에 개방되어 있는 가스배출구는 어댑터부 내에 형성되어 있으며, 일단부는 가스배출구에 개방되어 있고 타단부는 1차-유입구 및 2차-유출구에 개방되어 있는 신축튜브가 신축막으로 사용되는 점을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 신축탱크는, 1차-유입구 및 2차-유출구를 감싸는 어댑터부에 부착된 칸막이(diaphragm) 또는 주름통이 신축막으로 사용되는 점을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 화학액 공급장치는, 화학액을 함유하는 화학액 용기와, 화학액 용기 내에 함유되어 있는 화학액을 흡입하여 화학액을 도포노즐에 공급하는 펌프를 가지며; 상기 화학액 공급장치는: 화학액 용기로부터 압축수송에 의하여 공급된 화학액의 양에 따라 팽창되며, 펌프에 의하여 흡입된 화학액의 양에 따라 수축되는 완충탱크챔버; 및 완충탱크챔버를 수용하며 대기개방구를 통하여 내,외부와 소통하는 압력챔버;를 포함하며, 완충탱크챔버의 부피는 대기개방구가 닫힌 상태에서 일정하게 유지되며, 완충탱크챔버는 대기개방구가 열린 상태에서 함유된 화학액의 양에 따라 팽창 또는 수축된다.
본 발명에 따른 화학액을 함유하는 화학액 용기를 갖는 화학액 공급장치는, 화학액 용기 내에 함유된 화학액을 흡입하는 1차-사이드 펌프, 1차-사이드 펌프에 의해 흡입된 화학액을 여과하는 필터, 및 필터를 통하여 여과된 화학액을 도포노즐로 공급하는 2차-사이드 펌프를 특징으로 하며; 상기 화학액 공급장치는:
1차-사이드 펌프와 연결된 1차-유입구와 2차-사이드 펌프와 연결된 2차-유출구가 내부에 형성되어 있는 어댑터부; 및 어댑터부에 부착되어 있으며, 1차-유입구에서 유입된 화학액의 양에 따라 팽창되고 2차-유출구로부터 유출된 화학액의 양에 따라 수축되는 신축튜브를 포함하는 신축탱크;를 포함한다.
본 발명에 따른 화학액 공급장치는, 가스배출구가 어댑터부 내에 형성되어 있으며, 신축튜브는 어댑터부에 부착되어 있어서 튜브의 일단부는 가스배출구와 개방되어 있고 타단부는 1차-유입구 및 2차-유출구와 개방되어 있으며, 그리고 신축탱크는 화학액용기, 1차-사이드 펌프, 필터 및 2차-사이드 펌프 보다 높은 위치에 배치되어 있어서 가스배출구는 상부 방향에 위치하는 점을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 화학액 공급장치는, 화학액 용기에서 압축수송에 의하여 공급되는 화학액의 양에 따라 팽창되며 1차-사이드 펌프에 의해 흡입된 화학액의 양에 따라 수축되는 완충탱크챔버; 및 완충탱크챔버를 수용하며 대기개방구를 통하여 내,외부와 소통하는 압력챔버;를 포함하며, 완충탱크챔버의 부피는 대기개방구가 닫힌 상태에서 일정하게 유지되며, 완충탱크챔버는 대기개방구가 열린 상태에서 함유된 화학액의 양에 따라 팽창 또는 수축하는 점을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 구현예가 도면을 기초로 하여 상세하게 언급될 것이다.
도 1a는 본 발명에 따른 일 구현예인 화학액 공급장치의 개요를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다. 도 1b는 도 1a에 나타난 화학 액체공급 장치의 변형예를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다. 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 화학액을 함유하는 화학액 용기(10)는 화학액 순환로의 최상류측에 배치되어 있으며, 웨이퍼에 화학액을 배출하는 도포 노즐(화학액 배출부)(11)은 화학액 순환로의 말단 흐름부에 배치되어 있다. 도포노즐(11)이 화학액 용기(10) 속에 함유된 화학액을 배출하도록 유도하기 위하여, 화학액 용기(10) 속에 함유된 화학액을 흡입하는 1차-사이드 펌프(12)가 화학액 순환로의 상류측에 배치되어 있으며, 도포노즐(11)에 화학액을 공급하는 2차-사이드 펌프(13)가 화학액 순환로의 하류측에 배치되어 있다.
1차-사이드 펌프(12)는 펌프 챔버(14), 그리고 유체도관을 개폐하는 흡입밸브(V1) 및 배출밸브(V2)를 포함한다. 펌프입구(14a) 및 펌프출구(14b)는 펌프챔버(14)와 개방되어 있으며, 흡입밸브(V1)가 제공되는 화학액도입 유체도관(15)은 펌프입구(14a)와 연결되며, 배출밸브(V2)가 제공되는 연결유체도관(16)은 펌프출구(14b)와 연결된다. 화학액도입 유체도관(15)의 타단부는 화학액 용기(10)의 내부에 위치하도록 배열되며, 연결유체도관(16)의 타단부는 필터입구(17a)와 연결된다.
펌프챔버(14)의 부피가 팽창되도록 흡입밸브(V1)가 열리고 배출밸브(V2)가 닫힐 때, 1차-사이드 펌프(12)는 화학액 용기(10) 내의 화학액을 펌프챔버(14)로 흡입하며; 펌프챔버(14)의 부피가 감소하도록 배출밸브(V2)가 열리고 흡입밸브(V1)가 닫힐 때, 1차-사이드 펌프(12)는 펌프챔버(14) 내의 화학액을 필터(17)로 공급한다.
미도시된 필터막이 필터(17) 내에 수용되며, 필터입구(17a)로부터 유입된 화학액은 필터막을 투과하여 필터출구(17b)로부터 유출될 때, 화학액 내의 가스와 같은 이물질들이 필터막의 표면에 걸러진다. 필터막으로서, 다공성 필터막으로 형성된 것, 또는 시트막으로 형성된 것이 사용된다. 그러나, 막이 그것을 통하여 화학액을 여과할 수 있는 한, 필터막은 상기 언급된 막에 한정되는 것은 아니다. 개폐밸브(V3)가 제공되는 연결유체도관(18)은 필터출구(17b)와 연결되며, 고순도를 보이는 화학액은 연결유체도관(18)으로 유입된다.
필터(17)는 통풍구(17c)를 가지며, 외측으로 소통되는 가스배출유체도관(19)은 유체도관을 개폐하는 공기제거밸브(V4)을 통하여 통풍구(17c)와 연결된다. 이 부재들은 필터(17) 내의 가스를 외부로 배출시키기 위하여 설치되는 바; 공기제거밸브(V4)가 개방될 때, 화학액 속에 함유된 가스는 필터(17)를 통하여 외부로 배출된다. 가스배출유체도관(19)은 미도시된 진공부재와 연결될 수도 있는 바, 배출밸브(V2) 및 개폐밸브(V3)가 닫히고 진공부재가 작동할 때 가스가 흡입된다. 진공부재로서, 왕복 타입(reciprocating type) 또는 베인 타입(vane type)의 진공펌프, 또는 이젝터가 사용될 수 있다.
일반적으로, 여과에 적합한 속도와 도포에 적합한 속도는 서로 다르다. 그러므로, 화학액이 여과에 적합한 속도로 필터(17)를 투과하고, 그리고 나서, 도포에 적합한 속도로 화학액을 떨어뜨리기 위하여; 신축탱크(20) 및 2차-사이드 펌프(13)가 필터(17)와 도포노즐(11) 사이에 설치된다. 보다 상세하게는, 1차-사이드 펌프(12)로부터 여과에 적합한 속도로 배출된 화학액이 필터(17)를 투과하여 여과를 겪고, 그런 다음, 신축탱크(20) 내에 일시적으로 함유되고, 그리고 계속하여, 화학액은 도포에 적합한 속도로 2차-사이드 펌프(13)에 의해 흡입되어 도포노즐(11)로 공급된다.
신축탱크(20)는 필터(17)를 통하여 여과되고 2차-사이드 펌프(13)에 의해 흡입된 화학액을 함유한다. 연결유체도관(18)의 타단부는 신축탱크(20)의 1차-유입구(21)와 연결되어, 화학액은 1차-유입구(21)로부터 신축탱크(20)의 내부로 유입되도록 고안되며, 신축탱크(20) 내에 함유된 화학액은 2차-유출구(22)로부터 유출된다.
1차-사이드 펌프(12) 뿐만 아니라, 2차-사이드 펌프(13)도 펌프챔버(23), 그리고 유체도관을 개폐하는 흡입밸브(V5) 및 배출밸브(V6)를 포함한다. 펌프입구(23a) 및 펌프출구(23b)가 펌프챔버(23) 내에 형성되어 있으며, 흡입밸브(V5)가 제공되는 화학액도입 유체도관(24)은 펌프입구(23a)와 연결되며, 배출밸브(V6)가 제공되는 배출유체도관(25)은 펌프출구(23b)와 연결된다. 화학액도입 유체도관(24)의 타단부는 신축탱크(20)의 2차-유출구(22)와 연결되며, 도포노즐(11)은 배출유체도관(25)의 타단부에 제공된다.
펌프챔버(23)의 부피가 팽창되도록 흡입밸브(V5)가 열리고 배출밸브(V6)가 닫힐 때, 2차-사이드 펌프(13)는 신축탱크(20) 내의 화학액을 펌프챔버(23)로 흡입하며; 펌프챔버(23)의 부피가 감소하도록 배출밸브(V6)가 열리고 흡입밸브(V5)가 닫힐 때, 펌프챔버(23) 내의 화학액은 도포노즐(11)로 공급된다. 도포노즐(11)은 화학액이 웨이퍼 표면에 배출되도록 미도시된 웨이퍼를 향하여 개방되어 있다.
상기 설명한 바와 같이, 화학액 공급장치는 각각의 유체도관을 개폐하도록 펌프챔버(14, 23)의 확장과 수축에 상응하는 시간조절을 통하여 흡입밸브(V1) 내지 배출밸브(V6)를 개폐함으로써 포토레지스트 액체와 같은 화학액의 도포를 수행할 수 있다. 1차-사이드 펌프(12) 및 2차-사이드 펌프(13)로서, 예들 들면, 본 출원인에 의해 제안된 일본 특허출원공개 제 1998-61558호에 기재된 펌프가 사용될 수 있다.
화학액의 도포가 완료된 후, 소위 서크백(suckback) 기능이 수행될 수 있다. 도 1B에 도시된 바와 같이, 도포노즐(11)로부터 방울적하를 방지하기 위한 서크백밸브(suckback valve)(V7)가 2차-사이드 펌프(13)와 도포노즐(11) 사이에 설치된다. 액체가 도포노즐(11)로부터 배출된 후, 서크백밸브(V7)가 작동되어 도포노즐(11) 내에 함유된 화학액이 약하게 역류되며, 이에 따라 작은 방울이 도포노즐(11)로부터 적하되는 것을 방지할 수 있다. 필요에 따라서, 도포노즐 개폐밸브(V8)가 2차-사이드 펌프(13)와 도포노즐(11) 사이에 제공될 수 있다.
도 2는 도 1a에 도시된 화학액 공급장치의 변형예를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이며, 도 3a 및 도 3b는 신축탱크의 내부 구조를 예시하는 개략적인 단면도이다. 도 2, 도 3a 및 도 3b에 나타난 바와 같이, 신축탱크(20) 내에 함유된 화학액의 부피를 탐지하는 센서(26)가 신축탱크(20)에 결합되어 있다.
신축탱크(20)는 화학액이 흐르는 1차-유입구(21)가 내부에 형성되어 있는 어댑터부(27a), 화학액이 유출되는 2차-유출구(22)가 내부에 형성되어 있는 어댑터부(27b), 및 어댑터부(27a, 27b)와 부착되는 신축막(28)을 포함하며, 신축막은 1차-유입구(21)로부터 유입되는 화학액의 부피에 따라 팽창하고, 2차-유출구(22)로부터 유출되는 화학액의 부피에 따라 수축하는 탄성물질로 형성된다. 어댑터부(27a, 27b) 및 신축막(28)은 부피-가변 챔버(29)을 형성하도록 구획되며, 신축막(28)은 부피-가변 챔버(29) 내에 함유된 화학액의 양에 따라 변형된다.
화학액 용기(10) 내에 함유된 화학액이 포토레지스트액일 때, 화학액과 접촉하는 신축막(29)과 어댑터부(27a, 27b)는 불화수지인 테트라플루오르에틸렌-퍼플루오르알킬비닐 에테르 공중합체(PFA)이며, 이들은 화학액과 반응하지 않는다. 그러나, 수지 재료는 PFA에 한정되는 것이 아니고, 다른 수지 재료 또는 금속 재료가 사용될 수 있다.
도 3a 및 도 3b에 나타난 바와 같이, 각각의 어댑터(27a, 27b)는 연결부(27c)에 연결되어 있다. 화학액과 직접 접촉하지 않는 연결부(27c)는, 예들 들면, 금속판을 구부려 형성될 수 있다. 어댑터부(27a, 27b) 및 연결부(27c)는, 예들 들면, 수지 재료 또는 금속 재료에 의해 완전히 형성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 일단은 1차-유입구(21)와 소통하고, 타단은 2차-유출구(22)와 소통하는 신축튜브(28a)가 신축막(28)으로 사용된다. 신축튜브(28a)는 수직으로 배열되는 바, 1차-유입구(21)가 내부에 형성되어 있는 어댑터부(27a)는 튜브의 바닥 단부에 부착되고, 2차-유출구(22)가 내부에 형성되어 있는 어댑터부(27b)는 튜브의 상층 단부에 부착되어, 양 어댑터부들(27a, 27b) 사이의 신축튜브(28a)의 내측면은 부피-가변 챔버(29)의 역할을 한다.
신축튜브(28a)는 방사상 방향으로 확장 및 수축하며, 부피-가변 챔버(29)는 그 속에 함유된 화학액의 양에 따라 확장 및 수축한다(도 3a 및 도 3b를 보라). 신축튜브(28a)의 변형을 탐지하는 센서(26)는 신축튜브에 접촉하도록 연결부(27c) 속으로 나선회전한다.
센서(26)는 한계 스위치인 바, 센서(26)의 전단부에 제공되는 접촉부(26a)는 신축튜브(28a)를 향하여 설치된다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 방사상 팽창된 신축튜브(28a)의 바깥 외표면이 접촉부(26a)에 접촉할 때, 센서는 미리 측정된 양의 화학액이 신축탱크(20) 내에 함유되어 있음을 탐지한다. 신축튜브(28a)에 대한 방사상 방향에 있는 접촉부(26a)의 위치는 방사상 방향으로 조절될 수 있으며, 탐지된 화학액의 양은 변화될 수 있다.
도 4a, 도 4b 및 도 4c는 도 3a 및 도 3b에 도시된 신축탱크의 변형예를 예시하는 개략적인 단면도이다. 도 3a 및 도 3b에 도시된 동일한 부재들이 동일한 참조부호로 표시되어 있다. 도 4a에 도시된 바와 같이, 복수개의 센서(26)가 연결부(27c)에 설치될 수 있다. 예시된 바와 같이, 도 3a 및 도 3b에 도시된 센서(26)와 동일한 센서(26)가 설치되어 신축튜브(28a)가 끼워진다. 복수개의 센서(26)가 설치될 때, 신축튜브(28a)에 대한 방사상 방향에 있는 접촉부(26a)의 위치는 각각 고정될 수 있다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 어댑터부(27d) 내에 형성된 1차 측면구(21a) 및 어댑터부(27e) 내에 형성된 2차 측면구(22a)로부터 각각 돌출되도록 신축튜브(28b)의 양단부가 설치되어 있다. 이 경우, 화학액과 직접 접촉하지 않는 어댑터부(27d, 27e)는 PFA와 같은 수지 재료로 형성될 필요가 없다. 연결유체도관(18)과 화학액도입 유체도관(24)은 동일한 수지 재료가 사용된 신축튜브(28b)로 완전하게 형성될 수 있다.
도 4c에 나타난 바와 같이, 1차-유입구(21b)와 2차-유출구(22b)를 둘러싸는 어댑터부(27f)에 부착된 주름통(28c)이 신축막(28)으로 사용된다. 주름통(28c)은 수직으로 설치되어 1차-유입구(21b)로부터 공급된 화학액의 양에 따라 수직 하방으로 팽창되고 2차-유출구(22b)로부터 유출된 화학액의 양에 따라 수직 상방으로 수축된다. 미도시된 다이어그램이 주름통(28c)을 대체하여 적용될 수 있다.
도 4c에 도시된 바와 같이, 비-접촉 센서 타입인 광전센서(30)가 연결부(27g)에 설치되는 바, 광사출단부(31a)로부터 광수용단부(31b)로 조사된 빛의 투과 또는 차단의 방법을 통하여, 광전센서(30)는 미리 측정된 양의 화학액이 부피-가변 챔버(29) 내에 함유되어 있는지 여부를 탐지한다. 복수개의 광전센서(30)가 도면에 도시된 바와 같은 주름통(28c)의 축방향을 따라 미리 측정된 간격으로 설치될 때, 화학액의 양은 여러 가지 수준으로 감지될 수 있다. 센서로서, 빛의 굴절율을 탐지하는 타입, 전기용량의 변화량을 탐지하는 타입 또는 초음파의 변화량을 탐지하는 타입이 이용될 수 있다.
도 5는 도 1a에 도시된 화학액 공급장치의 또 하나의 변형예를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이며; 도 6은 도 5에 도시된 신축탱크의 내부 구조를 예시하는 개략적인 단면도이다. 상기 언급한 부재들과 동일한 부재들이 동일한 참조부호로 표시되어 있다.
부피-가변 챔버(29)와 개방된 가스배출구(32)가 어댑터부(27b) 내에 형성되어 있다. 신축튜브(28a)가 수직으로 배열되어 있는 바, 1차-유입구(21b)와 2차-유출구(22b)가 형성되어 있는 어댑터부(27f)는 튜브의 바닥단부에 부착되어 있으며, 가스배출구(32)가 형성되어 있는 어댑터부(27b)는 튜브의 상층단부에 부착되어 있다. 1차-유입구(21b)로부터 부피-가변 챔버(29)로 화학액과 함께 흐르는 가스의 비중은 화학액에 비하여 작은 비중을 가지기 때문에, 가스는 바닥단부에 제공된 2차-유출구(22b)로부터 배출되지 않으며, 부피-가변 챔버(29) 내에서 점차적으로 상부로 이동한다.
외부와 소통하는 가스배출유체도관(33)은 유체도관을 개폐하는 공기제거밸브(V9)를 경유하여 가스배출구(32)와 연결된다. 부피-가변 챔버(29) 내에 함유된 화학액 내의 공기는 가스배출구(32)로부터 외부로 배출될 수 있다. 필터(17) 뿐만 아니라, 미도시된 진공부재는 가스배출유체도관(33)과도 연결될 수 있는 바, 개폐밸브(V3) 및 흡입밸브(V5)가 닫히고 진공부재가 작동될 때 가스가 흡입된다. 가스배출유체도관(33)과 가스배출유체도관(19)을 연결하여 진공부재가 공유될 수도 있다. 신축튜브(28a)는 탄성부재이며, 변형되는 양에 따라 그 속에 함유된 화학액에 압력이 가해진다. 그러므로, 부피-가변 챔버(29) 내에 함유된 화학액의 양이 증가함에 따라, 1차-사이드 펌프(12)의 공급압이 증가하며, 반면에 2차-사이드 펌프(13)의 흡입압은 감소한다; 그리고 부피-가변 챔버(29) 내에 함유된 화학액의 양이 감소함에 따라, 1차-사이드 펌프(12)의 공급압이 감소하며, 반면에 2차-사이드 펌프(13)의 흡입압은 증가한다. 부피-가변 챔버(29)와 관련하여 화학액에 대한 공급압과 흡입압이 상기 언급한 바와 같은 부피-가변 챔버(29) 내에 함유된 화학액의 양에 따라 변화할 때, 2차-사이드 펌프(13)에 미리계산된 양의 화학액을 일정하게 공급하는 것은 어려우며, 도포노즐(11)로부터 배출되는 양에 있어 편차가 야기된다.
그 때문에, 신축튜브(28a)로부터 화학액에 가해지는 압력이 일정하게 유지될 때, 부피-가변 챔버(29) 내에 함유된 화학액의 양과는 무관하게, 신축탱크(20)와 관련하여 1차-사이드 펌프(13)의 공급압과 2차-사이드 펌프(13)의 흡입압의 편차가 억제될 수 있다.
도 7은 도 1a에 도시된 화학액 공급장치의 또 하나의 변형예를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이며; 도 8은 도 7에 도시된 신축탱크의 내부 구조를 예시하는 개략적인 단면도이다. 상기 언급한 부재들과 동일한 부재들이 동일한 참조부호로 표시되어 있다.
압력구(36)가 형성되어 있는 밀봉부(37)가 어댑터부(34, 35)에 고정되어 있다. 밀봉부(37)와 어댑터부(34, 35)가 압축챔버(39)를 형성하도록 구획되어 있으며, 신축튜브(28a)는 튜브가 외부로부터 고립된 방식으로 압축챔버(39) 내에 내장되어 있다. 액체공급원(40)이 압력유체도관(41)을 통하여 압력구와 연결되며; 액체공급원(40)이 압력구(36)에서 액체압력을 공급하도록 작동될 때, 미리 계산된 압력이 외부로부터 신축튜브(28a)에 가해진다. 따라서, 신축튜브(28a)에서 화학액에 가해진 압력이 일정하게 유지되는 바, 신축튜브(28a)에서 화학액에 가해진 압력이 균형을 이루도록 액체공급원(40)에서 액체압을 공급함에 따라, 신축튜브(28a)에서 화학액에 가해진 압력이 일정하게 유지되는 것이다.
도 9는 신축탱크의 배치를 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다. 도시된 바와 같이, 신축탱크(20)는 화학액 용기(10), 1차-사이드 펌프(12), 필터(17) 및 2차-사이드 펌프(13) 보다 높은 위치에 배열되어 있다. 신축탱크(20)가 상기 언급된 바와 같은 높은 위치에 배열될 때, 순환로 내의 가스가 신축탱크(20)에 효율적으로 수집될 수 있으며, 가스는 가스배출구(32)에서 배출될 수 있다.
화학액 용기(10) 내에 함유된 화학액은 사용량에 따라 감소되며; 따라서, 그것은 적절히 교환되어야 한다. 이것을 고려해서, 비어있는 화학액 용기(10)가 교체될 때 조차 화학액 공급장치의 차단을 막기위한 수단으로서, 완충탱크(42)가 화학액 순환로 내에 제공될 수 있으며, 화학액 용기(10) 속의 일부 화학액은 그 속에 미리 저장되어, 그 결과 비어있는 화학액 용기(10)가 교체되는 동안 대용물 역할을 하는 완충탱크(42) 내에 함유된 화학액이 제공될 수 있다.
완충탱크(42)는 그에 관한 부피가 변하지 않는 수지로 제조된 용기이다. 완충탱크는 화학액 용기(10)와 1차-사이드 펌프(12)의 흡입밸브(V1) 사이에 배치되며, 화학액도입 유체도관(15a)의 일단부는 완충탱크의 내측에 위치한다. 배출구(42a)는 완충탱크(42)의 바닥부에 제공되며, 화학액도입 도관(15b)은 배출구(42a)와 펌프입구(14a) 사이에 연결된다. 대기개방구(42b)는 완충탱크(42)의 상층부에 제공된다. 대기개방밸브(V10)가 제공되는 유체도관(43)은 대기개방구(42b)와 연결되며, 대기개방밸브(V10)가 닫힌 상태에서 1차-사이드 펌프(12)가 작동될 때, 화학액 용기(10) 내의 화학액은 완충탱크(42)를 경유하여 1차-사이드 펌프(12)로 유입된다.
화학액이 화학액 용기(10) 내에 남아있는 한, 화학액은 화학액도입 유체도관(15a)을 경유하여 완충탱크(42)를 채우도록 유도된다. 화학액 용기(10)가 비어 있을 때, 비어 있는 화학액 용기(10)가 제거되고 충전된 화학액 용기(10)가 채워지는 용기교체 작업이 수행되는 동안, 완충탱크(42) 속의 화학액은 1차-사이드 펌프(12)로 공급될 수 있다. 이 과정 동안, 대기는 화학액 용기(10)에서 화학액도입 유체도관(15a)을 통하여 유입되고, 그 때문에 완충탱크(42) 내의 유체수준이 낮아진다.
새로운 화학액 용기(10)가 채워진 후, 완충탱크(42)의 내부를 화학액으로 채우기 위하여, 화학액 용기(10) 내의 화학액에 압력을 가하기 위하여 대기개방밸브(V10)가 열린 상태에서 압력장치(10a)가 작동되며, 화학액 용기(10) 내의 화학액이 완충탱크(42)를 향하여 압축수송을 하도록 한다. 이 때, 완충탱크(42) 내의 가스는 유체도관(43)을 경유하여 외부로 배출된다. 완충탱크(42)의 내부가 화학액으로 충진된 후에, 압력장치(10a)에 의한 화학액의 압축수송이 중단되고, 화학액 용기(10)는 대기에 개방되고 대기개방밸브(V10)는 닫힌다. 상기 언급한 바와 같은 화학액 순환로 내에 완충탱크(42)를 제공함으로써, 화학액 용기(10)가 교체될 때 조차도 화학액은 도포노즐(11)에서 배출될 수 있다.
도 10은 도 9에 도시된 화학액 공급장치의 또 하나의 구현예를 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다. 몇몇 경우에, 화학액 순환로의 최상류측에 배치된 화학액 용기(10)의 수 미터 위에 도포노즐(11)이 제공된다. 이 경우에, 화학액 용기(10) 내의 화학액이 1차-사이드 펌프(12)에 의해서만 공급된다면, 펌프에 부과된 하중은 과도해진다. 이 경우 도 10에 도시된 바와 같이, 1차-사이드 펌프(12)에 더하여, 각 펌프에 부과된 하중을 억제하기 위하여 중계용 보조펌프(44)가 제공된다. 여기에서, 하류펌프, 예들 들면, 1차-사이드 펌프(12)에 의해 공급될 때 까지 보조펌프(44)에 의해 공급된 화학액을 일시적으로 보관하기 위하여 보조탱크(45)가 배치된다. 보조탱크(45)로서, 신축탱크(20)와 같은 탱크가 사용될 수 있다.
도 11은 도 9에 도시된 화학액 공급장치의 또 하나의 구현예를 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다. 도 12는 도 11에 도시된 완충탱크의 내부 구조를 예시하는 개략적인 단면도이다. 여기에 있는 도 11 및 도 12에는, 상기 언급된 바와 같은 동일한 부재들이 동일한 참조부호로 표시되어 있다.
도 12에 도시된 바와 같이, 완충탱크(46)는, 압축수송에 의하여 화학액 용기(10)에서 공급된 화학액의 양에 따라 팽창하며 1차-사이프 펌프(12)에 의해 흡입된 화학액의 양에 따라 수축하는 완충탱크챔버(47)와, 완충탱크챔버(47)를 수용하는 압력챔버(49)를 가지며, 대기개방구(48)를 경유하여 내,외부와 연결된다.
완충탱크챔버(47)는 신축튜브(50) 및 신축튜브(50)에 부착된 어댑터부(51a, 51b)에 의해 구획되도록 형성된다. 신축튜브(50)의 일단부는 어댑터부(51b) 내에 형성된 가스배출구(54)에 개방되어 있으며, 튜브의 타단부는 어댑터부(51a) 내에 형성된 1차-유입구(52) 및 2차-유출구(53)에 개방되어 있다. 내부에 공기제거밸브(V11)가 제공되는 가스배출유체도관(54a)은 가스배출구(54)와 연결된다.
압력챔버(49)는 어댑터부(51a, 51b) 및 어댑터부에 고정되어 있으며 내부에 대기개방구(48)가 형성되어 있는 밀봉부(51c)에 의해 구획되도록 형성되며, 내부에 대기개방밸브(V12)가 제공되는 대기도입유체도관(55)은 대기개방구(48)와 연결되어 있다. 신축튜브(50)가 변형됨에 따라 완충탱크챔버(47) 내에 함유되어 있는 화학액의 양을 탐지하는 센서(56)가 완충탱크(46) 내에 제공된다.
선택밸브(V13)가 화학액도입 유체도관(15a) 내에 제공된다. 화학액 용기(10) 내에 함유된 화학액의 양을 탐지하는 센서(10b)가 화학액 용기(10) 내에 제공됨으로써, 화학액 용기(10)를 교체하는 타이밍이 점검될 수 있다.
화학액이 화학액 용기(10)에 남아 있는 한, 화학액은 화학액도입 유체도관(15a)을 경유하여 완충탱크챔버(47)를 채우도록 유도된다. 화학액 용기(10)가 비어 있을 때, 비어 있는 화학액 용기(10)가 제거되고 충전된 화학액 용기(10)가 채워지는 용기교체 작업이 수행되는 동안, 선택밸브(V13)가 닫혀 완충탱크(47) 속의 화학액은 1차-사이드 펌프(12)로 공급될 수 있다. 이 과정 동안, 외부 공기가 대기개방구(48)를 통하여 들어오기 때문에, 신축튜브(50)는 튜브 자체의 탄성력으로 인하여 수축되며, 1차-사이드 펌프(12)는 흡입이 수행되므로써 완충탱크챔버(47)의 부피가 감소된다. 압력은 대기개방구(48)에서 가해질 수 있다.
새로운 화학액 용기(10)가 채워진 후, 완충탱크챔버(47)의 내부를 화학액으로 채우기 위하여, 화학액 용기(10) 내의 화학액에 압력을 가하기 위하여 대기개방밸브(V12)가 열린 상태에서 압력장치(10a)가 작동되며, 화학액 용기(10) 내의 화학액은 완충탱크챔버(47)를 향하여 압축수송을 하도록 한다. 이 때, 압력챔버(49) 내의 가스는 유체도관(55)을 경유하여 외부로 배출된다. 완충탱크챔버(47) 내부가 화학액으로 채워지는 것을 센서(56)가 탐지하는 동안, 압력장치(10a)에 의해 수행되는 화학액의 압축수송은 중단되고, 대기개방밸브(V12)는 닫힌다.
대기개방밸브(V12)가 계속 닫힐 때, 압력챔버(49) 내의 압력은 일정하게 유지되며, 따라서 신축튜브(50)의 수축이 방지되고, 완충탱크챔버(47)의 부피가 일정하게 유지된다. 상기 언급한 바와 같이, 완충탱크(46)가 화학액 순환로 내에 제공됨으로써, 화학액 용기(10)가 교체될 때 조차도 화학액은 도포노즐(11)로부터 분사될 수 있다. 더구나, 도 11에 도시된 바와 같이, 용기를 교체하는 동안 신축튜브(50)가 수축하기 때문에 완충탱크챔버(47) 내의 화학액은 공기와 접촉하지 아니하며, 따라서, 화학액의 청결함이 악화되지 아니한다.
본 발명은 상기 언급한 구현예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 범위를 일탈하지 않고 다양한 변형이 이루어질 수 있다. 예들 들면, 상기 언급된 구현예에서, 포토레지스트 액을 웨이퍼(wafer) 위에 바르기 위하여 화학액 공급장치가 사용되는 경우를 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 다양한 타입의 액체를 공급하기 위해서도 적용될 수 있다. 특히, 공기와 접촉하여 쉽게 변질될 수 있는 화학액이 필터(17)를 통하여 여과되고 배출되는 경우에도 본 발명은 효과적으로 이용될 수 있다.
신축튜브(28a, 50)의 단면 형상은 환형 형상에 한정되는 것이 아니며, 예들 들면, 도 13a 내지 도 13c에 도시된 바와 같은 불규칙한 단면 형상을 가진 것도 이용될 수 있다. 신축튜브(57)는 유입측에 있는 고정단부(58a), 유출측에 있는 고정단부(58b), 및 그 사이에 제공되는 탄성변형부(59)를 갖는다. 돌출 아크-유사부(59a)가 탄성변형부(59)에 제공되며, 돌출 아크-유사부(59a)는 세 개의 꼭지부(59b)를 갖는 동시에 돌출되어 외부로 굴곡져 있는 바, 각각의 꼭지부(59b)는 원주방향으로 각각 약 120도의 위치에서 균등하게 간격을 두도록 돌출되어 있으며, 각각의 돌출 아크-유사부의 곡률은 변형중심으로서 꼭지부(59b)에 접하는 가상원주(S)의 곡률 보다 작다. 원주방향의 돌출 아크-유사부(59a) 사이의 상호 위치에는 오목 아크-유사부(59c)가 연속되며, 오목 아크-유사부(59c)는 외부측면에 대하여 오목하게 굴곡져 있다.
도 13b는 팽창된 상태의 탄성변형부를 설명하는 단면도이고, 도 13c는 수축된 상태의 탄성변형부를 설명하는 단면도이다. 도면에 나타난 바와 같이, 탄성변형부가 팽창 또는 수축될 때, 각각의 돌출 아크-유사부(59a)는 원주방향에서 탄성적으로 변형되며, 오목 아크-유사부(59c)는 반지름 방향으로 변형된다. 탄성변형부(59)의 단면이 상기 언급된 바와 같이 삼엽형일 때, 변형 전,후의 단면적의 격차가 증가될 수 있다. 그러므로, 본 장치는 부피-가변 챔버(29) 또는 완충탱크챔버(47) 내에 함유된 화학액의 양의 변화에 신축적으로 부합할 수 있으며, 적은 외면 치수로 최대 크기의 부피를 갖는 탱크가 실현될 수 있다. 그 부분이 수축되도록 변형될 때, 꼭지부(59b)는 반지름 방향으로 이동되지 않으며, 돌출 아크-유사부(59a) 각각은 벤딩 중심(bending center)의 역할을 하는 꼭지부(59b)와 함께 원주 방향으로 굴곡되도록 변형된다. 그러므로, 압축챔버(39) 또는 압력챔버(49)에 큰 압력을 가하지 않고서도 탄성변형부(59)는 변형될 수 있다. 더구나, 액체가 유입되도록 요구되는 힘이 작기 때문에, 예들 들면, 펌프에 부과된 하중이 작다.
흡입밸브(V1) 내지 선택밸브(V13)로서, 예들 들면, 전기적 신호에 의해 작동하는 전자기 밸브, 공기압에 의해 작동하는 공기-작동 밸브, 또는 체크밸브가 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 신축탱크에 의하면, 확장 및 수축되는 부피-가변 챔버 내에 화학액을 주입시킴으로써 부피-가변 챔버 내의 화학액과 공기의 접촉이 최소 수준으로 억제될 수 있으며 화학액은 그 청결도를 악화시키지 않고 저장될 수 있다. 본 신축탱크를 사용함에 따라, 본 화학액 공급장치로부터 배출되는 화학액의 양은 고정될 수 있으며, 배출 정확도는 향상될 수 있고, 반도체 집적회로와 같은 생산품이 고품질 및 고수득율로 제공될 수 있다.
본 발명에 따른 신축탱크에 의하면, 미리 계산된 양의 화학액이 부피-가변 챔버 내에 함유되면, 센서에 의하여 탐지됨으로써 부피-가변 챔버를 구획하기 위하여 신축막의 변형이 형성되는 것을 확인할 수 있다.
본 발명에 따른 신축탱크에 의하면, 압력구(pressure port)를 포함하는 압축챔버 내에 부피-가변 챔버를 수용함으로써, 그리고 미리 계산된 유압을 압력구에서부터 압축챔버로 공급함으로써, 부피-가변 챔버 내에 함유된 화학액의 양과 탱크를 향하여 또는 탱크로부터 유입 및 유출시의 화학액의 압력은 높은 정밀도로 통제될 수 있다.
본 발명에 따른 신축탱크에 의하면, 일단부는 1차-유입구에 개방되고 타단부는 2차-유출구에 개방된 신축막으로서의 신축튜브를 사용함으로써, 화학액의 정체가 감소될 수 있다.
본 발명에 따른 신축탱크에 의하면, 일단부는 배출구에 개방되고 타단부는 1차-유입구 및 2차-유출구에 개방된 신축막으로서의 신축튜브를 사용함으로써, 그리고 가스배출구를 상부방향에 배치함으로써, 화학액 내에 잔류된 가스가 배출될 수 있다. 공급압을 흡수하는 화학액 내의 가스를 배출시킴으로써, 화학액의 배출 정확도는 증진될 수 있다.
본 발명에 따른 신축탱크에 의하면, 1차-유입구 및 2차-유출구를 감싸는 어댑터부에 부착된 칸막이 또는 주름통이 신축막으로서 사용될 수 있으며, 신축막이 팽창 및 수축되는 축방향으로 복수개의 센서를 배치함으로써, 함유된 화학액의 양이 다양한 수준에서 탐지될 수 있다.
본 발명에 따른 화학액 공급장치에 의하면, 공기와의 접촉을 최소 수준으로 억제하도록 팽창 및 수축하는 완충탱크 내에 화학액을 함유함으로써, 화학액은 그 청정도를 악화시키지 않고 저장될 수 있다. 완충탱크를 사용함으로써, 화학액 용기를 교체하는 동안에도 고 청정도를 갖는 화학액이 안정적으로 공급될 수 있다.
본 발명에 따른 화학액 공급장치에 의하면, 화학액 용기, 1차-사이드 펌프, 필터 및 2차-사이드 펌프의 위치 보다 더 높은 위치에 신축탱크를 위치시킴으로써, 화학액 순환로 내의 가스는 신축탱크에 효율적으로 수집될 수 있다.
상기와 같이, 본 발명의 발명자에 의해 창작된 본 발명은 구현예들에 근거하여 구체적으로 설명되었다. 그러나, 본 발명이 상기 구현예들에 한정되지 않는 것은 말할 나위도 없으며, 본 발명의 범위 내에서 다양한 변형 및 변경이 이루어질 수 있다.
도 1a는 본 발명에 따른 일 구현예인 화학액 공급장치의 개요를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이며; 도 1b는 도 1a에 나타난 화학액 공급장치의 변형예를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다.
도 2는 도 1a에 도시된 화학액 공급장치의 변형예를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다.
도 3a 및 도 3b는 신축탱크의 내부 구조를 예시하는 개략적인 단면도이다.
도 4a ~ 도 4c는 도 3a 및 도 3b에 도시된 신축탱크의 변형예를 예시하는 개략적인 단면도이다.
도 5는 도 1a에 도시된 화학액 공급장치의 또 하나의 변형예를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다.
도 6은 도 5에 도시된 신축탱크의 내부 구조를 예시하는 개략적인 단면도이다.
도 7은 도 1a에 도시된 화학액 공급장치의 또 하나의 변형예를 도식적으로 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다.
도 8은 도 7에 도시된 신축탱크의 내부 구조를 예시하는 개략적인 단면도이다.
도 9는 신축탱크의 배치를 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다.
도 10은 도 9에 도시된 화학액 공급장치의 또 하나의 구현예를 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다.
도 11은 도 9에 도시된 화학액 공급장치의 또 하나의 구현예를 설명하는 화학액 순환 다이어그램이다.
도 12는 도 11에 도시된 완충탱크의 내부 구조를 예시하는 개략적인 단면도이다.
도 13a는 또 하나의 구현예인 신축튜브의 변형예를 설명하는 투시도이고, 도 13b는 팽창된 상태의 탄성변형부를 설명하는 단면도이고, 도 13c는 수축된 상태의 탄성변형부를 설명하는 단면도이다.

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 화학액을 함유하는 화학액 용기와, 화학액 용기 내에 함유되어 있는 화학액을 흡입하여 화학액을 도포노즐에 공급하는 펌프를 갖는 화학액 공급장치로서,
    상기 화학액 공급장치는, 화학액 용기로부터 압축수송에 의하여 공급된 화학액의 양에 따라 팽창되며, 펌프에 의하여 흡입된 화학액의 양에 따라 수축되는 완충탱크챔버; 및
    완충탱크챔버를 수용하며 대기개방구를 통하여 내,외부와 소통하는 압력챔버;를 포함하며:
    완충탱크챔버의 부피는 대기개방구가 닫힌 상태에서 일정하게 유지되며, 완충탱크챔버는 대기개방구가 열린 상태에서 함유된 화학액의 양에 따라 팽창 또는 수축하는 것을 특징으로 하는 화학액 공급장치.
  8. 화학액을 함유하는 화학액 용기, 화학액 용기 내에 함유된 화학액을 흡입하는 1차-사이드 펌프, 1차-사이드 펌프에 의해 흡입된 화학액을 여과하는 필터, 및 필터를 통하여 여과된 화학액을 도포노즐로 공급하는 2차-사이드 펌프를 갖는 화학액 공급장치로서,
    상기 화학액 공급장치는, 1차-사이드 펌프와 연결된 1차-유입구와 2차-사이드 펌프와 연결된 2차-유출구가 내부에 형성되어 있는 어댑터부; 및
    어댑터부에 부착되어 있으며, 1차-유입구에서 유입된 화학액의 양에 따라 팽창되고 2차-유출구로부터 유출된 화학액의 양에 따라 수축되는 신축튜브를 포함하는 신축탱크;를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학액 공급장치.
  9. 제 8항에 있어서, 가스배출구가 상기 어댑터부 내에 형성되어 있으며,
    상기 신축튜브가 상기 어댑터부에 부착되어 있어서 상기 가스 배출구가 상기 어댑터부의 상단부에서 개방되고 및 상기 1차-유입구 및 2차-유출구가 상기 어댑터부의 하단부에서 개방되고, 및
    상기 가스배출구가 위를 향하도록 위치되고 및 상기 신축탱크가 상기 화학액용기, 상기 1차-사이드 펌프, 상기 필터 및 상기 2차-사이드 펌프보다 높은 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 화학액 공급장치.
  10. 제 9항에 있어서, 화학액 공급장치는, 화학액 용기에서 압축수송에 의하여 공급되는 화학액의 양에 따라 팽창되며 1차-사이드 펌프에 의해 흡입된 화학액의 양에 따라 수축되는 완충탱크챔버; 및
    완충탱크챔버를 수용하며 대기개방구를 통하여 내,외부와 소통하는 압력챔버;를 포함하며,
    완충탱크챔버의 부피는 대기개방구가 닫힌 상태에서 일정하게 유지되며, 완충탱크챔버는 대기개방구가 열린 상태에서 함유된 화학액의 양에 따라 팽창 또는 수축하는 것을 특징으로 하는 화학액 공급장치.
KR1020050034311A 2004-04-26 2005-04-26 신축탱크 및 이를 이용한 화학액 공급장치 KR100780163B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004130160A JP4511868B2 (ja) 2004-04-26 2004-04-26 可撓性タンクとこれを用いた薬液供給装置
JPJP-P-2004-00130160 2004-04-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060047457A KR20060047457A (ko) 2006-05-18
KR100780163B1 true KR100780163B1 (ko) 2007-11-27

Family

ID=35136620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050034311A KR100780163B1 (ko) 2004-04-26 2005-04-26 신축탱크 및 이를 이용한 화학액 공급장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7887305B2 (ko)
JP (1) JP4511868B2 (ko)
KR (1) KR100780163B1 (ko)
CN (1) CN100459038C (ko)
TW (1) TWI272658B (ko)

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3890229B2 (ja) 2001-12-27 2007-03-07 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法
JP3947398B2 (ja) * 2001-12-28 2007-07-18 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給方法
JP2007222801A (ja) * 2006-02-24 2007-09-06 Toray Eng Co Ltd 塗布液供給装置および塗布液供給方法
JP4566955B2 (ja) * 2006-07-11 2010-10-20 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給方法
GB0625896D0 (en) 2006-12-23 2007-02-07 Colormatrix Holdings Inc Apparatus for delivering a fluid and methods relating thereto
JP2008246337A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Seiko Epson Corp 機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
KR100768326B1 (ko) * 2007-04-13 2007-10-17 주식회사 케이씨텍 케미컬 공급장치
JP5301805B2 (ja) 2007-10-17 2013-09-25 サーパス工業株式会社 サックバックバルブシステム及びその閉弁動作制御方法
KR101093686B1 (ko) 2008-10-29 2011-12-15 한국기계연구원 중공형 액추에이터 구동방식 액적 디스펜싱 장치
DE102009050782B4 (de) 2008-10-29 2020-06-10 Korea Institute Of Machinery & Materials Hohle, Aktuator-getriebene Tröpfchenabgabevorrichtung
EP3543706B1 (en) 2009-03-18 2021-11-10 Sysmex Corporation Method of analyzing a sample
JP5038378B2 (ja) * 2009-11-11 2012-10-03 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給方法
JP5045741B2 (ja) * 2009-12-25 2012-10-10 東京エレクトロン株式会社 薬液供給ノズル及び薬液供給方法
JP5114527B2 (ja) * 2010-04-20 2013-01-09 株式会社コガネイ 液体供給装置
JP5416672B2 (ja) 2010-09-28 2014-02-12 株式会社コガネイ 薬液供給装置
NL1038329C2 (en) * 2010-10-25 2012-04-26 Lely Patent Nv Milking installation with milk pump.
KR20140009298A (ko) * 2011-03-18 2014-01-22 가부시키가이샤 가네카 액상 경화성 조성물이 충전된 토출 장치용 용기, 그 제조 방법 및 토출 장치
BR112015025437A2 (pt) * 2013-04-05 2017-07-18 Erls Mining Pty Ltd sistema de bombeamento
KR101493841B1 (ko) 2013-09-30 2015-02-17 김정호 정량펌프
DE102013226158A1 (de) * 2013-12-17 2015-06-18 Robert Bosch Gmbh Adsorptionskältemaschine, Anordnung und Kraftfahrzeug
TW201505722A (zh) * 2014-06-13 2015-02-16 Creating Nano Technologies Inc 吐出裝置及塗佈系統
CN104238202B (zh) * 2014-09-30 2017-05-24 合肥京东方光电科技有限公司 一种用于涂布封框胶的涂布装置、涂布系统及涂布方法
US10655619B2 (en) * 2014-10-23 2020-05-19 Tokyo Electron Limited Pump, pump device, and liquid supply system
NL2014285B1 (nl) * 2015-02-12 2016-10-13 Rio Boxx Holding B V Pompsysteem.
AT14950U1 (de) * 2015-04-17 2016-09-15 Fill Gmbh Auftragskopf für eine Vorrichtung zum Ausbessern von Fehlstellen in Oberflächen
DE102015116392A1 (de) * 2015-09-28 2017-03-30 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Vorrichtung zum Dosieren einer Flüssigkeit
WO2017096302A1 (en) * 2015-12-04 2017-06-08 Carefusion 303, Inc. Disposable cartridge for automatic drug compounder
CN105383040A (zh) * 2015-12-21 2016-03-09 苏州井上橡塑有限公司 一种智能打印机回收废墨粉塑料盒的加工工艺
JP6685754B2 (ja) 2016-02-16 2020-04-22 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ポンプ装置および基板処理装置
CN107728431A (zh) * 2016-08-11 2018-02-23 东京毅力科创株式会社 具有弯液面控制的高精度分配系统
US10518199B2 (en) * 2016-09-08 2019-12-31 Tokyo Electron Limited Treatment solution supply apparatus
JP6942497B2 (ja) * 2016-09-08 2021-09-29 東京エレクトロン株式会社 処理液供給装置
KR101948178B1 (ko) * 2016-12-02 2019-02-15 주식회사 엔씨에스 약액공급방법
CN109253064B (zh) * 2017-07-12 2024-03-29 国家电投集团科学技术研究院有限公司 应用于注射系统的预压式脉冲缓冲器
JP6966260B2 (ja) * 2017-08-30 2021-11-10 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ポンプ装置、処理液供給装置および基板処理装置
JP6966265B2 (ja) * 2017-08-31 2021-11-10 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ポンプ装置、処理液供給装置、基板処理装置、液抜き方法および液置換方法
JP7008326B2 (ja) * 2017-12-05 2022-01-25 兵神装備株式会社 吐出システム
USD893678S1 (en) 2018-02-05 2020-08-18 Blacoh Fluid Controls, Inc. Valve
US11925786B2 (en) * 2019-05-15 2024-03-12 GE Precision Healthcare LLC System and method for drawing a solution
US11346374B2 (en) 2020-09-08 2022-05-31 Blacoh Fluid Controls, Inc. Fluid pulsation dampeners
KR102401924B1 (ko) * 2020-11-02 2022-05-25 주식회사 에프알디 디보란 합성 및 정제 장치 및 상기 디보란 합성 및 정제 장치의 원료 물질 누설 차단 방법
KR102461654B1 (ko) * 2020-12-02 2022-11-01 주식회사 에프알디 반도체와 오엘이디 제조용 및 의료용 고순도 아산화질소 정제 장치
CN114609866A (zh) * 2021-02-02 2022-06-10 台湾积体电路制造股份有限公司 用于改进光致抗蚀剂涂覆操作的系统、装置和方法
US11549523B2 (en) 2021-04-27 2023-01-10 Blacoh Fluid Controls, Inc. Automatic fluid pump inlet stabilizers and vacuum regulators
WO2024142631A1 (ja) * 2022-12-26 2024-07-04 株式会社日立ハイテク 液体吐出装置
CN118257715A (zh) * 2024-05-28 2024-06-28 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种化学品供液泵系统及供液方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6125882A (en) * 1998-12-16 2000-10-03 Kong; Carl Cheung Tung Fluid transfer system
KR20010021281A (ko) * 1999-08-16 2001-03-15 게르하르트로터 유체 용기
KR100310033B1 (ko) * 1998-01-17 2002-02-19 철 주 황 화학기상증착장치의액체운반시스템
KR20040015966A (ko) * 2002-08-14 2004-02-21 장영철 시간식 비압축성 유체 유량 제어장치 및 이를 이용한시간식 비압축성 유체 유량 제어방법

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5130181Y1 (ko) * 1973-09-06 1976-07-30
JPS5130181A (ja) 1974-09-07 1976-03-15 Shinnippon Puranto Kensetsu Kk Juuyunenshobaijinnoshoseihoho oyobi sochi
US4256187A (en) * 1978-11-30 1981-03-17 Hughes Tool Company Impact tool with hydraulic cocking mechanism
US4268005A (en) 1978-12-08 1981-05-19 Red Valve Company, Inc. Pinch valve
US4798258A (en) * 1984-04-24 1989-01-17 Dana Corporation Throttle control assembly for a vehicle speed control unit
JPH01155445A (ja) 1987-12-11 1989-06-19 Nec Corp 状態履歴記憶方式
JPH066839Y2 (ja) * 1988-04-18 1994-02-23 エーザイ株式会社 薬液収集装置の薬液輸送パイプ
US5262068A (en) * 1991-05-17 1993-11-16 Millipore Corporation Integrated system for filtering and dispensing fluid having fill, dispense and bubble purge strokes
JPH07123107B2 (ja) * 1991-07-22 1995-12-25 株式会社イワキ 流体滴下供給装置
US5490765A (en) * 1993-05-17 1996-02-13 Cybor Corporation Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir
JP2555971B2 (ja) * 1993-12-15 1996-11-20 日本電気株式会社 薬液供給装置およびその制御方法
JP3123352B2 (ja) * 1994-06-29 2001-01-09 株式会社デンソー 漏れ測定方法及びその装置
JPH08144990A (ja) * 1994-11-25 1996-06-04 Nkk Corp 排液装置
JPH0985148A (ja) * 1995-09-28 1997-03-31 Nishi Nippon Giken Kk 流下式塗装方法及び装置
JP3554115B2 (ja) * 1996-08-26 2004-08-18 株式会社コガネイ 薬液供給装置
US5876612A (en) * 1997-03-03 1999-03-02 Aqua-Aerobic Systems, Inc. Method and apparatus for cleaning filter material in a filter apparatus
US5900045A (en) * 1997-04-18 1999-05-04 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.Ltd. Method and apparatus for eliminating air bubbles from a liquid dispensing line
US5964580A (en) * 1997-04-18 1999-10-12 Taga; Jun Positive displacement pump having a ratchet drive guide for dispersing cyclic compression stresses over the circumference of an internal flexible member
US6171367B1 (en) * 1997-06-05 2001-01-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Method and apparatus for delivering and recycling a bubble-free liquid chemical
US6575715B1 (en) 1997-09-19 2003-06-10 Omnitek Research & Development, Inc. Structural elements forming a pump
US6021921A (en) * 1997-10-27 2000-02-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Liquid dispensing system and method for dispensing
JP4011210B2 (ja) * 1998-10-13 2007-11-21 株式会社コガネイ 薬液供給方法および薬液供給装置
US7029238B1 (en) * 1998-11-23 2006-04-18 Mykrolis Corporation Pump controller for precision pumping apparatus
US20030010792A1 (en) * 1998-12-30 2003-01-16 Randy Forshey Chemical mix and delivery systems and methods thereof
JP3718118B2 (ja) * 2000-10-05 2005-11-16 株式会社コガネイ 液体吐出装置および液体吐出方法
JP2002273113A (ja) * 2001-03-15 2002-09-24 Koganei Corp 濾過器および薬液供給装置並びに薬液供給方法
CN1424742A (zh) * 2001-12-14 2003-06-18 株式会社小金井 药液供给装置
JP3947398B2 (ja) * 2001-12-28 2007-07-18 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100310033B1 (ko) * 1998-01-17 2002-02-19 철 주 황 화학기상증착장치의액체운반시스템
US6125882A (en) * 1998-12-16 2000-10-03 Kong; Carl Cheung Tung Fluid transfer system
KR20010021281A (ko) * 1999-08-16 2001-03-15 게르하르트로터 유체 용기
KR20040015966A (ko) * 2002-08-14 2004-02-21 장영철 시간식 비압축성 유체 유량 제어장치 및 이를 이용한시간식 비압축성 유체 유량 제어방법

Also Published As

Publication number Publication date
TW200537599A (en) 2005-11-16
CN1691282A (zh) 2005-11-02
US7887305B2 (en) 2011-02-15
JP4511868B2 (ja) 2010-07-28
US20050238504A1 (en) 2005-10-27
JP2005305396A (ja) 2005-11-04
CN100459038C (zh) 2009-02-04
KR20060047457A (ko) 2006-05-18
TWI272658B (en) 2007-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100780163B1 (ko) 신축탱크 및 이를 이용한 화학액 공급장치
TWI601576B (zh) A process liquid supply device, a process liquid supply method, and a storage medium
US7685963B2 (en) Method of and apparatus for dispensing photoresist in manufacturing semiconductor devices or the like
US7594801B2 (en) Chemical liquid apparatus and deaerating method
US7635410B2 (en) Apparatus for dispensing photo-resist in semiconductor device fabrication equipment
EP1240932A2 (en) Filter unit, chemical liquid supply system, and chemical liquid supply method
TWI755422B (zh) 處理液供給裝置
CN104137225A (zh) 液体处理装置和液体处理方法
US9718082B2 (en) Inline dispense capacitor
KR102019524B1 (ko) 처리액 공급 장치, 처리액 공급 방법 및 기억 매체
US5900045A (en) Method and apparatus for eliminating air bubbles from a liquid dispensing line
KR20160047997A (ko) 펌프, 펌프 장치 및 액 공급 시스템
JP3628895B2 (ja) 処理液供給装置
KR20070107226A (ko) 반도체 소자 제조장비에서의 감광액 공급장치 및 그에 따른공급방법
KR20200072222A (ko) 보틀, 기판 처리 장치, 및 방법
KR20090059691A (ko) 약액 공급 장치
JP2000077324A (ja) 処理液供給システム、これを用いた処理装置、これに用いられる中間貯留機構、および処理液供給方法
JP7489445B2 (ja) 加圧装置及び減光液供給システム
KR200269976Y1 (ko) 반도체 제조 공정에서의 포토레지스트 공급장치
JP2017212359A (ja) フィルタユニットと薬液供給装置
CN116412355A (zh) 用于供应光致抗蚀剂的系统和用于管理光致抗蚀剂的方法
KR20230149540A (ko) 액 공급장치 및 기판처리장치
CN115985804A (zh) 处理液罐和包括该处理液罐的衬底处理装置
JP3824030B2 (ja) 気泡発生防止機構およびそれを用いた液処理装置
KR20060065191A (ko) 포토레지스트 내의 기포 제거 및 성장 방지 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
E902 Notification of reason for refusal
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
G170 Re-publication after modification of scope of protection [patent]
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121009

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131030

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141015

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee