JP2007222801A - 塗布液供給装置および塗布液供給方法 - Google Patents
塗布液供給装置および塗布液供給方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 圧力流体を供給することにより塗布液を吐出する塗布液供給缶(10)と、塗布液供給缶(10)と塗布液吐出装置(6)との間に設けられ、塗布液を一時的に貯留した後に塗布液吐出装置(6)に供給する塗布液一時貯留タンク(41)と、塗布液供給缶(10)と塗布液一時貯留タンク(41)とを結合する配管(43)と、塗布液供給缶(10)と塗布液一時貯留タンク(41)との間の配管(43)に配置され、塗布液供給缶(10)が空になったことを塗布液の状態により検知する空検知手段(42)とを含む。
【選択図】 図2
Description
基板保持用ステージ上のガラス基板31は図示しないアライメント装置により位置合せされ、基板保持用ステージ5下部からこれも図示しない吸着装置により小径貫通孔を通して真空吸着することにより基板保持用ステージ5上に固定される。
10 塗布液供給缶
13 内袋
14 外ケース
41 塗布液一時貯留タンク
42 圧力センサー
43 配管
Claims (6)
- 外ケース(14)と塗布液を収容した可撓性袋体(13)とを有し、外ケース(14)と可撓性袋体(13)との間に圧力流体を供給することにより、塗布装置(6)に供給するために塗布液を吐出する塗布液供給缶(10)と、該塗布液供給缶(10)と前記塗布装置(6)との間に設けられ、塗布液を一時的に貯留した後に前記塗布装置(6)に供給する塗布液一時貯留タンク(41)と、前記塗布液供給缶(10)と前記塗布液一時貯留タンク(41)と前記塗布装置(6)とをこの順に結合する配管(43)と、前記塗布液供給缶(10)と前記塗布液一時貯留タンク(41)との間の配管(43)に配置され、前記塗布液供給缶(10)が空になったことを塗布液の状態により検知する空検知手段(42)とを含むことを特徴とする塗布液供給装置。
- 前記空検知手段(42)は、前記塗布液供給缶(10)が空になったことを前記配管(43)内の圧力変動により検知するものである請求項1に記載の塗布液供給装置。
- 前記空検知手段は、前記塗布液供給缶(10)が空になったことを前記配管内(43)の塗布液の流量変動により検知するものである請求項1に記載の塗布液供給装置。
- 塗布液供給缶(10)の外ケース(14)と塗布液を収容した可撓性袋体(13)との間に圧力流体を供給することにより塗布装置(6)に塗布液を供給するに当って、塗布液供給缶(10)からの塗布液を塗布液一時貯留タンク(41)に一時的に貯留し、かつ、前記塗布液供給缶(10)が空になったことを前記塗布液供給缶(10)と前記塗布液一時貯留タンク(41)との間において塗布液の状態により検知することを特徴とする塗布液供給方法。
- 前記塗布液供給缶(10)が空になったことを前記塗布液供給缶(10)と前記塗布液一時貯留タンク(41)との間における圧力変動により検知する請求項4に記載の塗布液供給方法。
- 前記塗布液供給缶(10)が空になったことを前記塗布液供給缶(10)と前記塗布液一時貯留タンク(41)との間における流量変動により検知する請求項4に記載の塗布液供給方法。
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JP2006047936A JP2007222801A (ja) | 2006-02-24 | 2006-02-24 | 塗布液供給装置および塗布液供給方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017159207A (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | トヨタ自動車株式会社 | 流動性材料の供給装置 |
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2006
- 2006-02-24 JP JP2006047936A patent/JP2007222801A/ja active Pending
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