KR101948178B1 - 약액공급방법 - Google Patents

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Abstract

약액공급방법이 개시된다. 본 발명에 따른 약액공급방법은, 제1약액공급장치를 이용하여 약액을 제조장치로 공급하는 도중, 제1약액공급장치에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제2약액공급장치를 구동시켜 제1약액공급장치와 함께 약액을 제조장치로 공급한다. 그 후, 제2약액공급장치만을 이용하여 약액을 제조장치로 공급하면서, 제1약액공급장치에 약액을 충진한다. 그리고, 제2약액공급장치를 이용하여 약액을 제조장치로 공급하는 도중, 제2약액공급장치에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제1약액공급장치를 구동시켜 제2약액공급장치와 함께 약액을 제조장치로 공급한다. 그 후, 제1약액공급장치만을 이용하여 약액을 제조장치로 공급하면서, 제2약액공급장치에 약액을 충진한다. 그러므로, 연속적으로 약액을 제조장치로 공급할 수 있다. 따라서, 생산성이 향상되는 효과가 있을 수 있다. 또한, 약액을 토출시키는 제1약액공급장치 또는 제2약액공급장치의 구동력을 조절하여, 제조장치로 공급되는 약액이 일정한 압력을 유지하도록 하므로, 제품의 신뢰성이 향상되는 효과가 있을 수 있다.

Description

약액공급방법 {METHOD FOR SUPPLYING CHEMICAL SOLUTION}
본 발명은 약액을 연속적으로 공급하기 위한 약액공급방법에 관한 것이다.
반도체 소자, 평판 표시 장치 또는 태양 전지(Solar Cell) 등의 제조시에는 산화막, 금속막 또는 반도체막 등과 같이 특수한 기능을 수행하는 박막을 실리콘 또는 유리 등과 같은 기판에 형성한다. 그리고, 기판에 박막을 형성하기 위해서는, 박막을 형성하기 위한 제조장치로 레지스트액, 현상액, 컬러 필터 또는 접착제 등과 같은 약액을 공급하여 기판에 도포한다. 이때, 약액은 약액공급장치에서 제조장치로 공급된다. 약액공급장치는 제약 공정 등 기타 다른 공정에서도 사용된다.
일반적으로, 약액공급장치는 제1하우징, 상기 제1하우징의 내부에 설치되며 신축되면서 자신의 내부에 수용된 약액을 제조장치로 공급하는 튜브, 상기 제1하우징과 연통되며 작동액을 수용하는 제2하우징 및 상기 제2하우징의 작동액을 상기 제1하우징으로 유입시켜 상기 튜브를 수축하는 액츄에이터를 포함한다.
그리하여, 상기 액츄에이터를 일측으로 구동하여 작동액을 상기 제2하우징에서 상기 제1하우징으로 이동시키면, 상기 튜브가 작동액에 의해 수축되며, 상기 튜브가 수축됨으로 인하여 상기 튜브의 약액이 제조장치로 공급된다. 상기 튜브의 약액이 제조장치로 공급되면, 상기 액츄에이터가 타측으로 구동하고, 상기 튜브에 약액이 충진되면 상기 튜브가 신장된다.
상기와 같은 종래의 약액공급장치는 상기 튜브의 약액을 제조장치로 공급한 후, 상기 튜브에 약액을 충진하는 동안에는 제조장치로 약액을 공급할 수 없으므로, 약액을 연속적으로 공급할 수 없다. 이로 인해, 생산성이 저하되는 단점이 있다.
약액공급장치 및 약액공급방법과 관련한 선행기술은 한국특허공개공보 제10-2012-0089712호(2012년 08월 13일) 등에 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 모든 문제점들을 해결할 수 있는 약액공급방법을 제공하는 것일 수 있다.
본 발명의 다른 목적은 약액을 연속적으로 공급함으로써, 생산성을 향상시킬 수 있는 약액공급방법을 제공하는 것일 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 약액공급방법은, 약액이 토출되는 토출관을 각각 가지는 제1약액공급장치와 제2약액공급장치를 포함하며, 각 상기 토출관을 통하여 토출되는 약액을 합쳐서 제조장치로 공급하는 약액공급방법에 있어서, 상기 제조장치로 공급되는 약액은 상기 제1약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치 및 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치와 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치에 의한 순서로 연속적으로 공급되고, 상기 제1약액공급장치에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 상기 제2약액공급장치에 약액이 충진되고, 상기 제2약액공급장치에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 상기 제1약액공급장치에 약액이 충진될 수 있다.
본 실시예에 따른 약액공급방법은, 제1약액공급장치를 이용하여 약액을 제조장치로 공급하는 도중, 제1약액공급장치에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제2약액공급장치를 구동시켜 제1약액공급장치와 함께 약액을 제조장치로 공급한다. 그 후, 제2약액공급장치만을 이용하여 약액을 제조장치로 공급하면서, 제1약액공급장치에 약액을 충진한다. 그리고, 제2약액공급장치를 이용하여 약액을 제조장치로 공급하는 도중, 제2약액공급장치에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제1약액공급장치를 구동시켜 제2약액공급장치와 함께 약액을 제조장치로 공급한다. 그 후, 제1약액공급장치만을 이용하여 약액을 제조장치로 공급하면서, 제2약액공급장치에 약액을 충진한다. 그러므로, 연속적으로 약액을 제조장치로 공급할 수 있다. 따라서, 생산성이 향상되는 효과가 있을 수 있다.
또한, 약액을 토출시키는 제1약액공급장치 또는 제2약액공급장치의 구동력을 조절하여, 제조장치로 공급되는 약액이 일정한 압력을 유지하도록 하므로, 제품의 신뢰성이 향상되는 효과가 있을 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액공급방법에 사용되는 약액공급장치의 사시도.
도 2는 도 1의 "A-A"선 개략 단면도.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액공급방법을 보인 흐름도.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
"및/또는"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및/또는 제3항목"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 또는 제3항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결된다 또는 설치된다"고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 설치될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결된다 또는 설치된다"라고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "∼사이에"와 "바로 ∼사이에" 또는 "∼에 이웃하는"과 "∼에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, S100, S110, S120 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 결정하여 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고, 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며, 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
이하에서는 본 실시예에 따른 약액공급방법에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
약액은 반도체 소자, 평판 표시 장치 또는 태양 전지(Solar Cell) 등과 같은 제품의 제조시, 실리콘 기판 또는 유리 기판 등과 같은 기판에 특수한 기능을 수행하는 박막을 형성하기 위하여, 기판에 도포하여 코팅하는 레지스트액, 현상액, 컬러 필터 또는 접착제 등을 포함할 수 있다. 약액은 약액공급장치에서 기판에 박막을 형성하는 제조장치로 공급될 수 있다. 그리고, 약액공급장치는 제약 공정 등 기타 다른 공정에서도 사용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액공급방법에 사용되는 약액공급장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 "A-A"선 개략 단면도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 약액공급방법에 사용되는 약액공급장치는 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200)를 포함할 수 있다. 이때, 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200) 중, 어느 하나만에 의하여 약액이 상기 제조장치로 공급될 수 있고, 두개의 의하여 동시에 약액이 상기 제조장치로 공급될 수 있다.
제1약액공급장치(100)에 대하여 설명한다.
제1약액공급장치(100)는 약액을 이송하기 위한 구동력을 발생하는 액츄에이터(110), 액츄에이터(110)의 구동력에 의하여 약액을 이송하는 약액이송부(130)를 포함할 수 있다.
액츄에이터(110)는 모터(111)와 제1하우징(113)과 승강부재(117)를 포함할 수 있다.
제1하우징(113)의 내부에는 작동액이 유입되는 제1공간(113a)이 형성될 수 있고, 작동액은 별도의 공급유닛에 의하여 제1하우징(113)의 측면 중앙부측에 형성된 유입구(113b)를 통하여 제1공간(113a)으로 유입될 수 있다. 작동액은 제1공간(113a)의 상측 부위에 저장될 수 있다.
제1하우징(113)의 상면에는 커버(115)가 착탈가능하게 결합될 수 있으며, 제1공간(113a)에 유입된 작동액에 기포 등이 발생한 경우, 커버(115)에 설치된 밸브(미도시)를 개방하여 기포 등을 제거하는 작업을 할 수 있다.
모터(111)는 제1하우징(113)의 외측에 설치될 수 있고, 승강부재(117)는 제1하우징(113)의 내부에 승강가능하게 설치될 수 있다. 즉, 승강부재(117)는 제1공간(113a)의 하측 부위에 승강가능하게 설치될 수 있으며, 모터(111)에 의하여 승강할 수 있다. 모터(111)에 의하여 승강부재(117)가 승강할 수 있도록, 모터(111)와 승강부재(117) 사이에는 동력전달모듈이 설치될 수 있다.
약액이송부(130)는 내부에 제2공간(131a)이 형성된 제2하우징(131)을 포함할 수 있고, 제2공간(131a)은 작동액이 유입된 제1공간(113a)의 상측 부위와 연통될 수 있다. 제1공간(113a)과 제2공간(131a)을 연통시키기 위하여, 제2하우징(131)의 측면에는 배출공(113c)과 대응되게 형성되어 배출공(113c)과 연통되는 복수의 유입공(131b)이 형성될 수 있다.
제2공간(131a)에는 탄성을 가지면서 신축(伸縮)되는 튜브(135)가 설치될 수 있다. 튜브(135)의 일측 부위는 튜브(135)의 약액을 공급받는 상기 제조장치와 연통될 수 있고, 타측 부위는 약액을 튜브(135)의 내부로 공급하기 위한 공급부(미도시)와 연통될 수 있다.
도 1 및 도 2에는 설명의 편의를 위하여 튜브(135)의 상측 부위가 상기 제조장치와 연통된 것을 도시하고, 하측 부위가 상기 공급부와 연통된 것을 도시한다. 그리고, 튜브(135)의 상측 부위를 상기 제조장치와 연통시키기 위하여 제2하우징(131)의 상면에는 토출관(131c)이 형성될 수 있다.
그리하여, 모터(111)에 의하여, 도 2에 점선으로 도시된 바와 같이, 승강부재(117)가 상사점으로 상승하면, 제1공간(113a)에 저장된 작동액이 배출공(113c) → 유입공(131b)을 통하여 제2공간(131a)으로 유입되면서 튜브(135)를 수축시키며, 튜브(135)의 수축에 의하여 약액이 토출관(131c)을 통하여 상기 제조장치로 토출된다. 그리고, 튜브(135)의 약액이 토출되어 배출되면, 도 2에 실선으로 도시된 바와 같이, 모터(111)에 의하여 승강부재(117)가 하사점으로 하강한다. 그 후, 상기 공급부를 통하여 약액이 튜브(135)로 유입되면, 튜브(135)가 신장한다. 튜브(135)의 신장에 의하여 제1공간(113a)에 저장된 작동액이 배출공(113c) → 유입공(131b)을 통하여 제2공간(131a)으로 유입된다.
토출관(131c)에는 토출관(131c)을 개폐하는 밸브(131d)가 설치될 수 있고, 상기 공급부와 연통된 튜브(135)의 하측 부위에는 상기 공급부와 연통된 튜브(135)의 하측 부위를 개폐하는 밸브(131e)가 설치될 수 있다. 그리고, 제2하우징(131)의 외면에는 튜브(135)를 신축시키는 작동액의 압력을 감지하는 센서(150)가 설치될 수 있다. 튜브(135)를 신축시키는 작동액의 압력은 제2하우징(131)의 내부 압력과 동일한 의미이다.
제2약액공급장치(200)의 구성은 제1약액공급장치(100)의 구성과 동일할 수 있으며, 모터(211)를 가지는 액츄에이터(210), 제2하우징(231)과 토출관(231c)과 밸브(231d, 231e)를 가지는 약액이송부(230), 그리고 센서(250)를 포함할 수 있다.
제1약액공급장치(100)의 토출관(131c)에서 토출되는 약액 및 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)에서 토출되는 약액은 상기 제조장치에 설치된 노즐을 통하여 상기 제조장치로 공급될 수 있다. 즉, 제1약액공급장치(100)의 토출관(131c)에서 토출되는 약액 및 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)에서 토출되는 약액은 상기 노즐에서 합쳐진 후, 상기 제조장치로 공급될 수 있다. 그리고, 상기 노즐측에는 상기 제조장치로 공급되는 약액의 압력을 감지하는 센서(310)가 설치될 수 있다.
본 실시예에 따른 약액공급방법에 대하여 도 1 내지 도 3b를 참조하여 설명한다. 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액공급방법을 보인 흐름도이다.
본 실시예에 따른 약액공급방법은, 상기 제조장치로 약액을 연속적으로 공급하기 위하여, 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200)를 이용하여 약액을 공급할 수 있다.
이때, 상기 제조장치로 공급되는 약액은 제1약액공급장치(100)에 의해서, 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200)에 의해서 또는 제2약액공급장치(200)에 의해서 공급될 수 있다. 더 구체적으로 설명하면, 약액은 제1약액공급장치(100)에 의한 공급 → 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200)에 의한 공급 → 제2약액공급장치(200)에 의한 공급 → 제2약액공급장치(200)와 제1약액공급장치(100)에 의한 공급 → 제1약액공급장치(100)에 의한 공급의 순서로 공급될 수 있다.
그리고, 제1약액공급장치(100)에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 제2약액공급장치(200)에 약액이 충진되고, 제2약액공급장치(200)에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 제1약액공급장치(100)에 약액이 충진될 수 있다.
그리고, 제1약액공급장치(100)는 구동 후, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 제1설정압력 이상일 때, 약액을 토출시킬 수 있고, 제2약액공급장치(100)는 구동 후, 제2약액공급장치(200)는 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상일 때, 약액을 토출시킬 수 있다. 이때, 상기 제1설정압력은 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력 보다 높은 압력일 수 있다.
그리고, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력인 제2설정압력 미만인가를 감지하면서, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여 제2약액공급장치(200)의 구동 여부를 결정할 수 있고, 제2약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여 제1약액공급장치(100)의 구동 여부를 결정할 수 있다.
상기 제1설정압력 및 상기 제2설정압력은 약액의 점도 및 상기 제조장치의 특성 등에 따라 적절하게 설정할 수 있다.
본 실시예에 따른 약액공급방법에 대하여 더 구체적으로 설명한다.
도시된 바와 같이, 단계(S110)에서 전원을 온(ON)시킬 수 있고, 전원이 온되면, 제1약액공급장치(100) 및 제2약액공급장치(200)가 구동 대기 상태가 될 수 있다. 제1약액공급장치(100) 및 제2약액공급장치(200)가 구동 대기 상태인 경우에는 밸브(131d)(231d)에 의하여 토출관(131c)(231c)이 각각 폐쇄되어 있다.
그 후, 제1약액공급장치(100)를 구동(S121)시킨 다음, 소정 시간이 경과한 후, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하는 단계(S123)를 수행할 수 있다.
제1약액공급장치(100)의 내부 압력은 센서(150)를 이용하여 감지할 수 있다. 이때, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력은 튜브(135)를 수축시키기 위하여 튜브(135)에 작용하는 작동액의 압력일 수 있으며, 센서(150)는 제1약액공급장치(100)의 제2공간(131a)으로 유입되어 튜브(135)를 수축시키는 작동액의 압력을 감지할 수 있다.
제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하여, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 미만이면, 제1약액공급장치(100)의 구동력을 조절(S125)한 다음, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하는 단계(S121)를 재수행할 수 있다.
제1약액공급장치(100)의 제2공간(131a)으로 유입되는 작동액의 양은 승강부재(117)의 상승거리에 비례하므로, 모터(111)의 회전수를 조절하면 제1약액공급장치(100)의 구동력을 조절할 수 있다.
그리고, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하여, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이면, 제1약액공급장치(100)의 밸브(131d)를 개방하여 토출관(131c)으로 약액을 토출(S131)시킬 수 있다.
제1약액공급장치(100)가 구동한 다음, 소정 시간 경과 후, 제1약액공급장치(100)의 토출관(131c)을 개방시켜야 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이 될 수 있음은 당연하다.
전술한 바와 같이, 상기 제1설정압력은 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력인 상기 제2설정압력 보다 높은 것이 바람직하다. 즉, 약액이 토출관(131c)을 통하여 상기 제조장치로 이동하는 도중에는 압력 손실 등이 발생한다. 그러므로, 상기 제1설정압력이 상기 제2설정압력 보다 높아야, 약액이 상기 제조장치로 공급될 때, 상기 제2설정압력과 비슷한 압력으로 공급될 수 있다.
제1약액공급장치(100)에서 약액이 토출된 후, 소정 시간이 경과하면, 제2약액공급장치(200)에서의 약액 토출을 중단(S133)한다. 즉, 제2약액공급장치(200)에서 약액이 토출되지 않도록 토출관(231c)을 폐쇄한 다음, 제2약액공급장치(200)에 약액을 재충진(S135)한다.
최초의 상태에서는 제1약액공급장치(100) 및 제2약액공급장치(200)에 약액을 충진한 다음, 제1약액공급장치(100)를 먼저 구동시킨다. 최초의 상태에서는, 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)은 폐쇄(S133)되어 있고, 제2약액공급장치(200)에는 약액을 충진되어 있다. 단계(S133)에 대해서는 아래에서 부가하여 설명한다.
제1약액공급장치(100)에서 약액이 토출되면, 단계(S141)에서는 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비한다. 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력은 상기 제조장치측에 설치된 센서(310)를 이용하여 감지할 수 있다.
그리하여, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 미만이면, 제1약액공급장치(100)의 구동력을 조절하는 단계(S143)를 수행한 다음, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 단계(S141)를 재수행할 수 있다. 그리고, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 이상이면, 구동 중인 제1약액공급장치(100)의 내부 압력을 상기 제2설정압력과 대비하는 단계(S150)를 수행할 수 있다.
구동 중인 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 이유는 제1약액공급장치(100)의 약액의 양을 감지하기 위함이다. 즉, 구동 중인 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면, 제1약액공급장치(100)의 약액이 소모되었다는 것을 의미하다.
그러므로, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 이상이면 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 단계(S150)를 계속 수행한다. 그리고, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면 제1약액공급장치(100)의 약액이 소모되으므로, 제2약액공급장치(200)를 구동시키는 단계(S161)를 수행한다.
제2약액공급장치(200)를 구동시킨 다음, 소정 시간이 경과한 후, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하는 단계(S163)를 수행할 수 있다.
제2약액공급장치(200)의 내부 압력은 센서(250)를 이용하여 감지할 수 있으며, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력은 제2약액공급장치(200)의 튜브(미도시)를 수축시키는 작동액의 압력일 수 있다. 그러므로, 센서(250)는 제2약액공급장치(200)의 제2공간(미도시)으로 유입되어 제2약액공급장치(200)의 상기 튜브를 수축시키는 작동액의 압력을 감지할 수 있다.
제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하여, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 미만이면, 제2약액공급장치(200)의 구동력을 조절(S165)한 다음, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하는 단계(S161)를 재수행할 수 있다.
제2약액공급장치(200)의 구동력의 조절은, 전술한 제1약액공급장치(100)의 구동력 조절과 동일하게, 모터(211)의 회전수를 조절하여 조절할 수 있다.
그리고, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하여, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이면, 제2약액공급장치(200)의 밸브(231d)를 개방하여 약액을 토출(S171)시킬 수 있다.
제2약액공급장치(200)가 구동한 다음, 소정 시간 경과 후, 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)을 개방시켜야 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이 될 수 있음은 당연하다.
제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이 될 수 있도록, 제2약액공급장치(200)가 구동한 다음, 소정 시간 경과 후, 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)이 밸브(231d)에 의하여 개방되어야 함은 당연하다.
제2약액공급장치(200)에서 약액이 토출된 후, 소정 시간이 경과하면, 제1약액공급장치(100)에서의 약액 토출을 중단(S173)한다. 즉, 제1약액공급장치(100)에서 약액이 토출되지 않도록 토출관(131c)을 폐쇄한 다음, 제1약액공급장치(100)에 약액을 재충진(S175)한다.
제2약액공급장치(200)에서 약액이 토출된 후, 소정 시간이 경과한 다음 제1약액공급장치(100)의 토출관(131c)을 폐쇄하는 이유는, 제1약액공급장치(100)의 약액을 최대한 상기 제조장치측으로 토출시키기 위함이다. 전술한, 단계(S133)와 단계(S173)는 동일한 이유이다.
제2약액공급장치(200)에서 약액이 토출되면, 단계(S181)에서는 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비한다. 상기 제2설정압력은 상기 제조장치측에 설치된 센서(310)를 이용하여 감지할 수 있다.
그리하여, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 미만이면, 제2약액공급장치(200)의 구동력을 조절하는 단계(S183)를 수행한 다음, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 단계(S181)를 재수행할 수 있다. 그리고, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 이상이면, 구동 중인 제2약액공급장치(200)의 내부 압력을 상기 제2설정압력과 대비하는 단계(S190)를 수행할 수 있다.
구동 중인 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 이유는 제2약액공급장치(200)의 약액의 양을 감지하기 위함이다. 즉, 구동 중인 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면, 제2약액공급장치(200)의 약액이 소모되었다는 것을 의미하다.
그러므로, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 이상이면 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 단계(S190)를 계속 수행한다. 그리고, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면 제2약액공급장치(200)의 약액이 소모되었으므로, 제1약액공급장치(100)를 구동시키는 단계(S121)를 수행한다.
제1약액공급장치(100)를 구동(S121)시킨 후에는 전술한 방법을 계속하여 수행하면 된다.
본 실시예에 따른 약액공급방법은, 제1약액공급장치(100)를 이용하여 약액을 상기 제조장치로 공급하는 도중, 제1약액공급장치(100)에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제2약액공급장치(200)를 구동시켜 제1약액공급장치(100)와 함께 약액을 상기 제조장치로 공급한다. 그 후, 제2약액공급장치(200)만을 이용하여 약액을 상기 제조장치로 공급하면서, 제1약액공급장치(100)에 약액을 충진한다. 그리고, 제2약액공급장치(200)를 이용하여 약액을 상기 제조장치로 공급하는 도중, 제2약액공급장치(200)에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제1약액공급장치(100)를 구동시켜 제2약액공급장치(200)와 함께 약액을 상기 제조장치로 공급한다. 그 후, 제1약액공급장치(100)만을 이용하여 약액을 상기 제조장치로 공급하면서, 제2약액공급장치(200)에 약액을 충진한다. 그러므로, 연속적으로 약액을 상기 제조장치로 공급할 수 있다.
또한, 약액을 토출시키는 제1약액공급장치(100) 또는 제2약액공급장치(200)의 구동력을 조절하여, 상기 제조장치로 공급되는 약액이 일정한 압력을 유지하도록 할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
110: 액츄에이터
130: 약액이송부
135: 튜브
131c, 231c: 토출관
131d, 231d: 밸브

Claims (6)

  1. 약액이 토출되는 토출관을 각각 가지는 제1약액공급장치와 제2약액공급장치를 포함하며, 각 상기 토출관을 통하여 토출되는 약액을 합쳐서 제조장치로 공급하는 약액공급방법에 있어서,
    상기 제조장치로 공급되는 약액은 상기 제1약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치 및 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치와 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치에 의한 순서로 연속적으로 공급되고,
    상기 제1약액공급장치에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 상기 제2약액공급장치에 약액이 충진되고, 상기 제2약액공급장치에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 상기 제1약액공급장치에 약액이 충진되며,
    상기 제1약액공급장치를 구동시킨 다음, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력을 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력인 제1설정압력과 대비하며, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이면 상기 제1약액공급장치에서 약액을 토출시키는 단계;
    상기 제1약액공급장치에서 약액이 토출되면, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력인 제2설정압력을 대비하며, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 미만이면, 상기 제1약액공급장치의 구동력을 조절하여 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 다시 대비하고, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 이상이면, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력을 상기 제2설정압력과 대비하는 단계;
    상기 제1약액공급장치의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면 상기 제2약액공급장치를 구동시킨 다음, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력을 상기 제1설정압력과 대비하며, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이면 상기 제2약액공급장치에서 약액을 토출시키는 단계;
    상기 제2약액공급장치에서 약액이 토출되면, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비하며, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 이상이면, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력을 상기 제2설정압력과 대비하는 단계;
    상기 제2약액공급장치의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면 상기 제1약액공급장치를 구동시키는 단계를 수행하며,
    상기 제1설정압력은 상기 제2설정압력 보다 높은 것을 특징으로 하는 약액공급방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1약액공급장치 및 상기 제2약액공급장치는 내부에 약액을 수용하며 신축되면서 약액을 상기 토출관으로 토출시키는 튜브를 각각 포함하고,
    상기 제1약액공급장치의 내부 압력 및 제2약액공급장치의 내부 압력은 상기 튜브를 수축시키는 작동액의 압력인 것을 특징으로 하는 약액공급방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1약액공급장치의 구동 후, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력이 상기 제1설정압력 미만이면, 상기 제1약액공급장치의 구동력을 조절한 후, 상기 제1약액공급장치를 구동시키고,
    상기 제1약액공급장치에서 약액이 토출되면, 소정 시간이 경과 후, 상기 제2약액공급장치의 상기 토출관을 폐쇄한 다음 상기 제2약액공급장치에 약액을 충진하며,
    상기 제2약액공급장치의 구동 후, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력이 상기 제1설정압력 미만이면, 상기 제2약액공급장치의 구동력을 조절한 후, 상기 제2약액공급장치를 구동시키고,
    상기 제2약액공급장치에서 약액이 토출되면, 소정 시간이 경과 후, 상기 제1약액공급장치의 상기 토출관을 폐쇄한 다음 상기 제2약액공급장치에 약액을 충진하는 것을 특징으로 하는 약액공급방법.
  6. 삭제
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