JP7489445B2 - 加圧装置及び減光液供給システム - Google Patents
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Description
Claims (20)
- 内部空間を定義する壁面を含むハウジングと、
前記内部空間を第1空間と第2空間で分離する膜と、
前記第1空間と連通される第1インレットと、
前記第1空間と連通される第1アウトレットと、
前記第1空間と連通される第2アウトレットと、及び
前記第2空間と連通される加圧ガス用インレットと、を含み、
前記ハウジングは:
前記内部空間の横断面は第1方向の幅が広くて、前記第1方向と垂直な第2方向の幅が狭くて、
前記第2方向による前記内部空間の幅は、前記第1方向による一側である第1側から他側である第2側に行くほど細くなる区間を含む加圧装置。 - 前記第1インレットは、
前記ハウジングの第1側に隣接した上部に提供される請求項1に記載の加圧装置。 - 前記第1アウトレットは、
前記ハウジングの前記第1側に隣接した下部に提供される請求項1に記載の加圧装置。 - 前記第2アウトレットは、
前記ハウジングの前記第2側に隣接した下部に提供される請求項1に記載の加圧装置。 - 前記膜は、
前記壁面のうちで前記第1側から前記第2側に行く壁面に提供される請求項1に記載の加圧装置。 - 前記ハウジングの上側に前記第1空間と連通する気泡排出用アウトレットをさらに含む請求項1に記載の加圧装置。
- 前記気泡排出用アウトレットは前記第2側に接するように提供される請求項6に記載の加圧装置。
- 前記第2アウトレットの直径は、前記第1アウトレットの直径より小さな請求項1に記載の加圧装置。
- 前記第2アウトレットはドレインラインと連結される請求項1に記載の加圧装置。
- 前記ハウジングの上側に第2インレットと、及び
一端が第2アウトレットと連結されて他端が前記第2インレットと連結される循環ラインをさらに含む請求項1に記載の加圧装置。 - 前記ハウジングの上側に第2インレットをさらに含み、
前記第2インレットは前記第1インレットより直径が小さな請求項1に記載の加圧装置。 - 前記循環ラインと連結されるドレインラインをさらに含む請求項10に記載の加圧装置。
- 前記ハウジングの外側で前記膜と重畳されない位置に提供される一つ以上のレベルセンサーをさらに含む請求項1に記載の加圧装置。
- 液を臨時貯蔵するバッファータンクと、
液を基板に吐出するノズルと、
前記バッファータンクと前記ノズルを引き継ぐ供給ライン上に提供される加圧装置を含み、
前記加圧装置は:
内部空間を定義する壁面を含み、前記内部空間の横断面は第1方向の幅が広くて、前記第1方向と垂直な第2方向の幅が狭くて、前記第2方向による前記内部空間の幅は、前記第1方向による一側である第1側から他側である第2側に行くほど細くなる、ハウジングと、
前記壁面のうちで前記第1側から前記第2側に行く壁面に提供されて前記内部空間を第1空間と第2空間で分離する膜と、
前記第1側に隣接した上側に提供され、前記第1空間と連通して前記バッファータンクと連結される供給ラインと連結される第1インレットと、
前記第1側に隣接した下側に提供され、前記第1空間と連通して前記ノズルと連結される供給ラインと連結される第1アウトレットと、
前記第2側に隣接した下側に提供され、前記第1空間と連通してドレインラインと直接または間接的に連結される第2アウトレットと、及び
前記第2空間と連通して加圧ガスを供給する加圧ガス供給ラインと連結される加圧ガス用インレットと、を含む
減光液供給システム。 - 前記ハウジングの上側に連結される気泡排出用ラインをさらに含む請求項14に記載の減光液供給システム。
- 前記第2アウトレットの直径は、前記第1アウトレットの直径より小さな請求項14に記載の減光液供給システム。
- 前記ハウジングの上側に前記第1空間と連通する第2インレットと、及び
一端が第2アウトレットと連結されて他端が前記第2インレットと連結される循環ラインをさらに含み、
前記ドレインラインは前記循環ラインと連結される請求項14に記載の減光液供給システム。 - 前記ハウジングの上側に第2インレットをさらに含み、
前記第2インレットは前記第1インレットより直径が小さな請求項14に記載の減光液供給システム。 - 制御機をさらに含み、
前記制御機は:
前記バッファータンクに貯蔵された液が前記加圧装置に満たされる時、前記加圧ガスを供給しない状態にして、
前記加圧装置が液で満たされた以後から前記加圧ガスを前記第2空間に供給して液を加圧する請求項14に記載の減光液供給システム。 - 液を臨時貯蔵するバッファータンクと、
液を基板に吐出するノズルと、及び
前記バッファータンクと前記ノズルを引き継ぐ供給ライン上に提供される加圧装置を含み、
前記加圧装置は:
内部空間を定義する壁面を含み、前記内部空間の横断面は第1方向の幅が広くて、前記第1方向と垂直な第2方向の幅が狭くて、前記第2方向による前記内部空間の幅は、前記第1方向による一側である第1側から他側である第2側に行くほど細くなる、ハウジングと、
前記壁面のうちで前記第1側から前記第2側に行く壁面に提供されて前記内部空間を第1空間と第2空間で分離する膜と、
前記第1側に隣接した上側に提供され、前記第1空間と連通して前記バッファータンクと連結される供給ラインと連結される第1インレットと、
前記ハウジングの上側に前記第1空間と連通する第2インレットと、
前記第1側に隣接した下側に提供され、前記第1空間と連通して前記ノズルと連結される供給ラインと連結される第1アウトレットと、
前記第2側に隣接した下側に提供され、前記第1空間と連通してドレインラインと直接または間接的に連結される第2アウトレットと、
前記第2空間と連通して加圧ガスを供給する加圧ガス供給ラインと連結される加圧ガス用インレットと、及び
ハウジングの上側に連結される気泡排出用ラインを含み、
前記第2インレットは前記第1インレットより直径が小さく、
前記第2アウトレットの直径は、前記第1アウトレットの直径より小さい、
減光液供給システム。
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