KR100411366B1 - 세정 건조처리 방법 및 그 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 세정실 내에 저장된 세정액에 침적되어 세정된 피처리체를 상기 세정실의 상방에 배치된 건조실 내로 이동함과 동시에 건조하는 세정 건조처리 방법에 있어서,세정후, 상기 세정실로 향해서 건조가스를 공급하는 공정과,상기 피처리체를 상기 세정실 내에 고정한 상태에서 상기 세정액을 배출함과 동시에 건조가스를 상기 피처리체에 접촉시켜서 1 차 건조하는 공정과,상기 1 차 건조후, 상기 피처리체를 상기 건조실로 이동하고, 이 건조실 내로 건조가스를 공급해서 상기 피처리체를 2 차 건조하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 1 차 건조하는 공정 및 상기 2 차 건조하는 공정에 서 사용되는 건조가스는 휘발성 유기용제를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 1 차 건조하는 공정에서 사용되는 건조가스는 휘발성 유기용제를 포함하고, 상기 2 차 건조하는 공정에서 사용되는 건조가스는 불활성 가스 만인 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 피처리체의 상기 건조실로의 이동은 상기 세정액을 배출한 후인 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 피처리체의 상기 건조실로의 이동은 상기 세정액의 액면이 상기 피처리체에서 흘러 내린 후인 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 세정실과 상기 건조실 사이에 이들 실을 차단하는 개폐수단을 구비하고, 상기 건조실 내에서 건조중에는 상기 개폐수단을 닫힘 상태로 하는 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 세정실과 상기 건조실 사이에 이들 실을 차단하는 개폐수단을 구비하고, 상기 세정실 내에서 건조중에는 상기 개폐수단을 닫힘 상태로 하는 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 세정실과 상기 건조실 사이에 이들 실을 차단하는 개폐수단을 구비하고, 상기 피처리체가 상기 세정실 과 상기 건조실 사이를 이동중인 경우 이외에는 상기 개폐수단을 닫힘 상태로 하는 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 피처리체가 상기 세정실에서 상기 건조실로 이동중에는 상기 피처리체에 건조가스를 불어주는 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 청구항 1에 있어서, 상기 피처리체의 1차 건조중에 상기 건조실 내로 건조가스를 공급해서 상기 건조실 내를 건조가스 분위기로 하는 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 방법.
- 세정액을 저장함과 동시에 세정액을 하부에서 배출하는 세정실과,상기 세정실의 상방에 배치되는 건조실과,상기 세정실과 상기 건조실 사이로 피처리체를 이동하는 이동수단과,상기 건조실 내에 설치된 건조가스 공급노즐과,상기 세정실과 상기 건조실 사이에 설치되어 상기 세정실과 상기 건조실을 차단할 수 있는 개폐수단과,상기 건조가스 공급노즐과 상기 개폐수단의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 장치.
- 세정액을 저장함과 동시에 세정액을 하부에서 배출하는 세정실과,상기 세정실의 상방에 배치되는 건조실과,상기 세정실과 상기 건조실 사이로 피처리체를 이동하는 이동수단과,상기 건조실 내에 설치된 제1 건조가스 공급노즐과,상기 세정실과 상기 건조실 사이에 설치되어 상기 세정실과 상기 건조실을 차단할 수 있는 개폐수단과,상기 세정실 내에 설치된 제 2의 건조가스 공급노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 세정 건조처리 장치.
- 청구항 12에 있어서, 상기 제1 및 제2 건조가스 공급노즐과 상기 개폐수단의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징로 하는 세정 건조처리 장치.
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