JPWO2013031172A1 - SiC半導体素子およびその製造方法 - Google Patents
SiC半導体素子およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2013031172A1 JPWO2013031172A1 JP2013531072A JP2013531072A JPWO2013031172A1 JP WO2013031172 A1 JPWO2013031172 A1 JP WO2013031172A1 JP 2013531072 A JP2013531072 A JP 2013531072A JP 2013531072 A JP2013531072 A JP 2013531072A JP WO2013031172 A1 JPWO2013031172 A1 JP WO2013031172A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plane
- trench
- sic
- sic semiconductor
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 140
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 20
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims abstract description 11
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 9
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 16
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 8
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 7
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims description 5
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- WGKMWBIFNQLOKM-UHFFFAOYSA-N [O].[Cl] Chemical compound [O].[Cl] WGKMWBIFNQLOKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 118
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 73
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 55
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 37
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 7
- 241000264877 Hippospongia communis Species 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910015275 MoF 6 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/30604—Chemical etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/0445—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising crystalline silicon carbide
- H01L21/0475—Changing the shape of the semiconductor body, e.g. forming recesses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/30604—Chemical etching
- H01L21/30612—Etching of AIIIBV compounds
- H01L21/30617—Anisotropic liquid etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/308—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching using masks
- H01L21/3081—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching using masks characterised by their composition, e.g. multilayer masks, materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/308—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching using masks
- H01L21/3083—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching using masks characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/04—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their crystalline structure, e.g. polycrystalline, cubic or particular orientation of crystalline planes
- H01L29/045—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their crystalline structure, e.g. polycrystalline, cubic or particular orientation of crystalline planes by their particular orientation of crystalline planes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/10—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode not carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/1025—Channel region of field-effect devices
- H01L29/1029—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors
- H01L29/1033—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure
- H01L29/1037—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure and non-planar channel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
- H01L29/1608—Silicon carbide
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42356—Disposition, e.g. buried gate electrode
- H01L29/4236—Disposition, e.g. buried gate electrode within a trench, e.g. trench gate electrode, groove gate electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66053—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide
- H01L29/66068—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
- H01L29/7813—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors with trench gate electrode, e.g. UMOS transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42372—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out
- H01L29/4238—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out characterised by the surface lay-out
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
Description
また、SiC半導体は、Si半導体より、熱、放射線に安定であり、耐熱性,耐薬品性、耐放射線に優れているという特徴を備える。
このような特徴から、SiC半導体で構成されるMOS型電界効果トランジスタ(MOSFET)やショットキーバリアダイオード(SBD)は、パワーエレクトロニクスに用いられるパワーデバイスに好適に使用されており、また、SiC半導体がSi半導体に比べてエネルギー損失低減が可能なことから、省エネ対策にも重要視されている。
一方、上記問題に関して、SiCの結晶面に着目し、キャリア移動度を向上させる技術がある。六方晶SiCにおいて、キャリア移動度が高い結晶面として知られている{03−38}面を、ゲート絶縁膜とSiCの界面に用いることによりチャネル移動度を向上させることも一策である。
しかしながら、従来、SiCの{03−38}面を用いた基板形成が困難という問題がある。{03−38}面はSiC単結晶の塊からしか切り出せず、{0001}面の円形ウェハの単結晶の塊から切り出して{03−38}面のウェハを得ると、楕円形のウェハとなり得られる枚数が制限されてしまうという問題がある(図2参照)。
特に、トレンチ型MOSFET等のような縦型素子構造で、トレンチ側壁に{03−38}面を形成することは非常に困難であった。
しかしながら、上記の特許文献1の技術では、基板として用いる{11−20}面自体が、市販されておらず入手困難であるという欠点がある。
上記状況に鑑みて、本発明は、SiCの基底面{0001}面や{000−1}面から、キャリア移動度の高い{03−38}面や{03−3−8}面などの特異な結晶面をトレンチ側壁に簡便に形成する技術、ならびに、チャネル部分に相当するトレンチ側壁の殆どが{03−38}面や{03−3−8}面などで形成されるSiC半導体素子を提供することを目的とする。
また、結晶内の方向を示す個別方位は[
]で、等価な方向すべてを示す集合方位は< >で、結晶面を示す個別面は( )で、等価な対称性を有する集合面は{ }でそれぞれ表現する。なお、図面における結晶面および方向の表記は、結晶学上の数字の上にバーを付した本来の表記で行っている。
なお、本明細書では溝(トレンチ、メサの両方)の側壁をトレンチ側壁と総称している。
トレンチ側壁は、チャネル部分として用いられる。トレンチ側壁の面は、{03−38}面または{03−38}面を<1−100>方向に−8°から8°の間の角度でオフさせた面である。
上述したように、{03−38}面は、界面準位密度が低く、高いキャリア移動度の特性を有することは以前から知られていた。しかし、実際のところ、{03−38}面を用いた基板形成は困難であり、またトレンチ側壁に{03−38}面を形成加工することも容易ではなかった。このような加工面の問題から、高いキャリア移動度の特性を有する特異な結晶面である{03−38}面を用いてトレンチ側壁を形成することは非常に困難であった。今回、後述する実施例で示すように、SiCの(0001)Si面に形成されるトレンチ構造を備え、チャネル部分に相当するトレンチ側壁の側壁部分の面積の50%以上が{03−38}面により形成されたSiC半導体素子を実際に作製できた。後述する実施例において、走査電子顕微鏡像(SEM)画像と共にその技術を詳細に開示する。
トレンチの形状について、特に制限はなく、基板に対してトレンチ側壁が垂直に形成されているもの、テーパー状に形成されているもの、トレンチ底部が平坦なものやサブトレンチが形成されているもの、トレンチの断面形状がV字状のものなどが含まれる。
ここで、{03−38}面を<1−100>方向に−8°から8°の間の角度でオフさせた面とは、{03−38}面と同等の特性を有する範囲の面を示すものである。
本発明では、後述する熱処理による加工方法で、チャネル部分に相当するトレンチ側壁の殆どに{03−38}面を形成することができるが、{03−38}面同士で異なる結晶面のトレンチ側壁が隣接する部分で凸形状の部分は、エッチングにより一部に{03−38}面とは異なる面が形成されてしまう。このため、{03−38}面に形成されるトレンチ側壁の割合は100%とはいえず、チャネル部分の面積の少なくとも50%以上の部分、或いは、90%以上の部分が{03−38}面などであるとしている。
本発明者らは、この熱処理(以下、「熱エッチング処理」という。)を用いることで、再現性よく、安定的に、特異な結晶面{03−38}面をトレンチ側壁に形成できたのである。
また、不活性ガスもしくは水素ガスをキャリアガスとし、フッ素雰囲気中で、400℃以上でエッチングを行ってもよい。
また、熱エッチング処理は、処理剤として溶融塩を用いて行うものでも構わない。溶解塩とは、塩や酸化物のイオン結晶の固体を、高温に加熱して融解し、液体にしたものである。溶融塩としては、処理温度や危険面が比較的低いという理由からKOHが好適に用いられる。一般的には、KOHを用いて行う熱エッチング処理では、ニッケルもしくはプラチナのるつぼの中にKOHを入れて浸して処理するウェットエッチングが用いられる。
本発明のSiC半導体素子におけるトレンチ構造は、全ての内角が120°の逆六角錐台,逆正三角錐台,逆六角錐,逆正三角錐のいずれかであることが好ましい。三面または六面全てのトレンチ側壁を{03−38}面に容易に加工できる。トレンチ構造は、逆正六角錐台または逆正六角錐であることにより、複数のトレンチを備える場合、ハニカム構造が形成できる。
また、トレンチ構造は、内角が60°と120°の平行四辺形もしくは菱形の逆四角錐台,逆四角錐のいずれかであることでもよい。四面全てのトレンチ側壁を{03−38}面に容易に加工できる。
なお、逆六角錐,逆四角錐,逆正三角錐のようにトレンチ底部が鋭角に窪む場合、セルピッチを小さくできるメリットがあるが、トレンチ底部に電界集中が起きるため、これを緩和するための措置(例えば、不純物濃度を変えた層を入れるなど)が必要となる。反対に、逆六角錐台,逆四角錐台,逆正三角錐台のようにトレンチ底部が平たんの場合は、トレンチ底部に電界集中が生じ難いことから電界集中の緩和措置は不要であるが、セルピッチが角錐に比べて大きくなる。
本発明の他のSiC半導体素子は、SiCが六方晶の結晶構造を成す場合であって、基底面は(000−1)面であり、(000−1)面から形成されたトレンチ側壁、或いは、オフ角8°以下の(0001)面のオフ角面から形成されたトレンチ側壁をチャネル部分として用いたものである。トレンチ側壁の面は、{03−3−8}面または{03−3−8}面を<1−100>方向に−8°から8°の間の角度でオフさせた面である。
本発明のSiC半導体素子の製造方法は、下記1)〜2)のステップを少なくとも備える。
1)六方晶,立方晶,菱面体晶のいずれかの結晶構造を成すSiCの基底面、或いは、基底面のオフ角8°以下のオフ面から、予めトレンチ構造を形成するステップ
2)トレンチに対して熱処理を施して、チャネル部分を形成するトレンチ側壁を基底面から54〜55°傾斜した面に形成するステップ
例えば、SiCが六方晶であり、基底面が(0001)面である場合、SiCの(0001)面またはオフ角8°以下の(0001)面のオフ面から、予めトレンチ構造を形成し、次いで、トレンチに対して熱処理を施して、チャネル部分を形成するトレンチ側壁を、{03−38}面または{03−38}面を<1−100>方向に−8°〜8°のオフ角でオフさせた面に形成する。
SiCの(0001)面からトレンチ構造を形成するとは、SiCの(0001)Si面を基板とし、基板上にトレンチを形成するという意味である。また、オフ角8°以下の(0001)面のオフ面からトレンチ構造を形成するとは、SiCの(0001)Si面を基準に、オフ角が0°以上8°以下で、所定の方向に傾斜させた面を基板とし、基板上にトレンチを形成するという意味である。トレンチの形状について、特に制限はなく、基板に対してトレンチ側壁が垂直に形成されているもの、テーパー状に形成されているもの、トレンチ底部が平坦なものやサブトレンチが形成されているもの、トレンチの断面形状がV字状のものなどが含まれる。
熱処理(熱エッチング処理)についての説明、トレンチの形状についての説明は、上述の本発明のSiC半導体素子の製造方法の説明と重複するため省略する。
また、本発明による{03−38}面や{03−3−8}面などの特異な結晶面に対して、公知の技術を組み合わせて、絶縁膜とSiCの界面欠陥を更に低減することにより、更なるデバイス特性の改善を図ることができる。
実施例1の試料としては、4H−SiC面の4°オフを用いた。これは(0001)面から<11−20>方向へ4°オフした基板である。熱エッチングのマスクとなる酸化膜を製膜し、その上にフォトリソグラフとリフトオフでプラズマエッチング (Inductive Coupled Plasma- Reactive Ion Etching) 用のAlマスクパターン(約0.1μm厚)を形成した。Alパターンを元に酸化膜及びSiCをプラズマエッチングして、4H−SiCの(0001)面にトレンチを形成した。この方法でトレンチを形成するとトレンチ底部の周辺部にはサブトレンチが形成されやすいことが知られている。その後、Alパターンを硫酸で除去し、酸化膜をマスクにSiCを熱エッチングした。熱エッチングは窒素ガスをキャリアガスにし、900℃の塩素ガス雰囲気中、大気圧下で行った。
熱エッチングによる形状変化の観察は、試料の基板を劈開して、走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscopy)像の観察と熱エッチングを交互に行い実施した。
図5(c)と(d)から、さらに、熱エッチングを継続してトレンチの形状変化を観察すると、トレンチ側壁からトレンチ底部にかけての部分に、特異な結晶面が現れていることが確認できる。この特異な結晶面が{03−38}面である。
図6(2),(3)から、(0001)Si面とトレンチの境界部である上縁部分に{03−38}面が形成されていき、熱エッチング時間の経過と共に、その範囲が増大していることがわかる。
以上から、熱エッチング処理時間を用いて、トレンチ側壁の形状が制御できることがわかる。また、熱エッチング処理時間を更に長くすることで、トレンチ側壁を全てにわたり、特異な結晶面である{03−38}面に形成できることがわかる。
実施例2の試料としては、4H−SiCの(000−1)面の4°オフを用いた。これは(0001)面から<11−20>方向へ4°オフした基板である。熱エッチングのマスクとなる酸化膜を製膜し、その上にフォトリソグラフとリフトオフでプラズマエッチング用のAlマスクパターン(約0.1μm厚)を形成した。Alパターンを元に酸化膜及びSiCをプラズマエッチングして、4H−SiCの(000−1)面にトレンチを形成した。その後、Alパターンを硫酸で除去し、酸化膜をマスクにSiCを熱エッチングした。熱エッチングは窒素ガスをキャリアガスにし、900℃の塩素ガス雰囲気中、大気圧下で行った。
熱エッチングによる形状変化の観察は、試料の基板を劈開して、SEM像の観察と熱エッチングを交互に行い実施した。
図7(1)から、熱エッチング前は、トレンチ深さが5.8μm、サブトレンチ長が0.67μmであったのに対して、図7(2)から、熱エッチング後は、トレンチ深さ6.5μm、サブトレンチ長0.13μmとなり、サブトレンチ長が減少したことが確認できる。
図7(3),(4)から、さらに、熱エッチングを継続してトレンチの形状変化を観察すると、トレンチ側壁からトレンチ底部にかけての部分に、特異な結晶面が現れていることが確認できる。この特異な結晶面が{03−3−8}面である。
以上から、熱エッチング処理時間を用いて、トレンチ側壁の形状が制御できることがわかる。熱エッチング処理時間を更に長くすることで、トレンチ側壁を全てにわたり、特異な結晶面である{03−3−8}面に形成できる。
図8(2)のノマルスキー像から、トレンチの長さや形に関係なく、マスク形状に従ってSiCがエッチングされ、トレンチ側壁に{03−3−8}面が形成されることがわかる。ここで、塩素ガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気にしたのは、熱エッチング速度を速めるためである。なお、塩素ガス雰囲気中で長時間処理しても構わない。図7(4)と図8(1)から、熱エッチングを更に進めることで、トレンチ側壁を全てにわたり、特異な結晶面である{03−3−8}面に形成できることがわかる。
実施例3の試料としては、4H−SiCの(0001)面の4°オフを用いた。これは(0001)面から<11−20>方向へ4°オフした基板である。4H−SiCの(0001)面にプラズマエッチングにより予め正六角柱状の複数のトレンチをハニカム状に形成し、その後、1000℃の塩素ガスと酸素ガスの混合雰囲気中、大気圧下で60分間、熱エッチング処理した。その結果、トレンチ側壁に{03−38}面が得られた。以下、トレンチ側壁に{03−38}面が得られた様子を具体的に説明する。
図11(1)に、実施例3で用いたマスク形状の模式図を示す。なお、実施例3の逆正六角錐台と同様に、図11(2)〜(4)で示すような逆正三角錐台、逆正六角錐、逆四角錐台、逆四角錐のトレンチが作製可能である。
マスクされた部分(図12参照)は、(0001)面の基板表面が現れている。また、トレンチの底部に見られる凹凸はプラズマエッチングによる荒れであり、熱エッチング処理により生じたものではない。
図12と図13は、マスク形状が同じものであるが、それぞれ正六角形の大きさが異なるものである。なお、トレンチの深さは、約6μmである。
実施例4の試料としては、4H−SiCの(0001)面の4°オフを用いた。これは(0001)面から<11−20>方向へ4°オフした基板である。4H−SiCの(0001)面にプラズマエッチングにより、隣接するトレンチ側壁の上縁の間のなす内角が60°,120°,240°,300°の何れかで連続して形成された複数のトレンチを予め形成し、その後、1000℃の塩素ガス雰囲気中、大気圧下で60分間、熱エッチング処理した。その結果、トレンチ側壁に{03−38}面が得られた。以下、トレンチ側壁に{03−38}面が得られた様子を具体的に説明する。
図15(1)(2)は、図14(A)の線で囲まれた領域が残るようにプラズマエッチングでパターンを形成し(ポジパターンを形成)、その後、熱エッチング処理したものである。図15(1)は、図15(2)の拡大図である。図15(1)に観察されるトレンチ側壁は、殆ど{03−38}面に形成されていることが解る。
実施例5の試料としては、4H−SiCの(000−1)面の4°オフを用いた。これは(000−1)面から<11−20>方向へ4°オフした基板である。4H−SiCの(000−1)面にプラズマエッチングにより予め正六角柱状の複数のトレンチをハニカム状に形成し、その後、1000℃の塩素と酸素の混合ガス雰囲気中、大気圧下で60分間、熱エッチング処理した。その結果、トレンチ側壁に{03−3−8}面が得られた。実施例5で用いたマスク形状は、実施例3と同様、図11(1)の模式図に示したものである。
図25および図26は、熱エッチング後のトレンチ形状のSEM像を示している。酸化膜を用いてマスクされた部分は、(000−1)面の基板表面が現れている。また、トレンチの底部に見られる凹凸はプラズマエッチングによる荒れであり、熱エッチング処理により生じたものではない。
図25と図26は、マスク形状が同じものであるが、それぞれ正六角形の大きさが異なるものである。なお、トレンチの深さは、約32μmである。
実施例6の試料としては、4H−SiCの(000−1)面の4°オフを用いた。これは(000−1)面から<11−20>方向へ4°オフした基板である。4H−SiCの(000−1)面にプラズマエッチングにより、隣接するトレンチ側壁の上縁の間のなす内角が60°,120°,240°,300°の何れかで連続して形成された複数のトレンチを予め形成し、その後、1000℃の塩素ガスと酸素ガスの混合雰囲気中、大気圧下で20分間、熱エッチング処理した。その結果、トレンチ側壁に{03−3−8}面が得られた。以下、トレンチ側壁に{03−3−8}面が得られた様子を具体的に説明する。
図28に示すように、図27(A)の線で囲まれた領域をプラズマエッチングでパターンを形成し(ネガパターンを形成)、その後、熱エッチング処理を行う。図29および図30は、熱エッチング後のトレンチ形状のSEM像を示している。酸化膜を用いてマスクされた部分は、(000−1)面の基板表面が現れている。また、図29(1)のトレンチの底部に見られる凹凸はプラズマエッチングによる荒れであり、熱エッチング処理により生じたものではない。図29と図30は、マスク形状が同じものであるが、それぞれパターンの大きさが異なるものである。また、図29(1)と図30(1)は、それぞれ図29(2)、図30(2)を10倍に拡大した拡大図である。図29(1)や図30(1)のSEM像のスケールから、基板表面が残った部分の幅は約8μmである。図29(1)や図30(1)に観察されるトレンチ側壁は、殆ど{03−3−8}面に形成されていることが解る。
また、トレンチ構造としては、多数の六角錐のハニカム状のものや、溝状のものや、隣接するトレンチ側壁の特定の角度で折れ曲がりギザギザ状に連なる形状のものなど挙げられる。
図39〜41には、SiCの(0001)面あるいは(000−1)面の基板上にMOSFETデバイスを作製する場合のゲート・ソース電極の配置の概念図を示したものである。
図40,41は、トレンチ構造が隣接するトレンチ側壁の特定の角度で折れ曲がりギザギザ状に連なる形状のものである。図40の場合、隣接するトレンチ側壁の上縁の間のなす内角が120°または240°で連続して形成されているものであり、殆どのトレンチ側壁に、{03−38}面あるいは{03−3−8}が形成されることになる。また、図41の場合、隣接するトレンチ側壁の上縁の間のなす内角が60°または300°で連続して形成されているものであり、こちらの場合も殆どのトレンチ側壁に、{03−38}面あるいは{03−3−8}が形成されることになる。なお、図41では、トレンチの左端部では120°で折れ曲がっている。
図40、図41のゲートパターン形状を形成することにより、図39に示す長方形のゲートパターン形状に比べて、ゲート側壁チャネル部の面積を大きくすることができ、より大きな電流を扱うことが可能となる。
図42(1)は一般的なMOSFETの構成図であり、(2)はトレンチ型MOSFETの構成図であり、(3),(4)はトレンチ側壁をV字状に傾斜させたMOSFETの構成図である。図42において、電流の流れる部分を矢印で示している。図42(3),(4)に示すトレンチ型MOSFETのトレンチ側壁に{03−38}面や{03−3−8}面を形成したものは、一般的なMOSFETやトレンチ型MOSFETに比べて、チャネル移動度が1〜2桁大きくなり、MOSFET素子性能が向上する。
(1)4H−SiCの単結晶基板上に、エピもしくはイオン注入により、n−およびp層を形成する。
(2)その後、イオン注入により局所的にn+層を形成する。
(3−1)Si面の場合、チャネルを形成する領域にプラズマエッチングでトレンチを形成し、その後、熱エッチング処理により{03−38}面を形成する。
(3−2)C面の場合、表面を酸化膜で覆いチャネルを形成する領域にプラズマエッチングでトレンチを形成し、もしくは酸化膜をパターニングし、その後、熱エッチング処理により{03−3−8}面を形成する。
(4)その後、ゲート酸化膜を形成し、ゲート、ソース、ドレイン領域に電極を形成する。
本実施例8では、六方晶結晶構造の6H−SiCの基底面である(000−1) 面からトレンチを形成し、約55度 傾斜したトレンチ側壁(6面)が得られた結果を示す。
図43は、六方晶結晶構造の6H−SiCの基底面に対する熱エッチング前後のSEM像を示している。
図43(1)は、熱エッチング前の様子であり、六方晶結晶構造の6H−SiCの基底面である(000−1)面の表面に酸化膜(SiO2)マスクを形成した様子を示している。図中のAの部分が、酸化膜(SiO2)マスク領域であり、暗い灰色部分であるBの部分が、6H−SiC表面の露出領域である。
なお、図43(2)において、エッチングにより形成できた傾斜したトレンチ側壁(6面)の内側に白黒のコントラストが生じているのは、伝導性が異なる6H−SiCが層状になった基板を使っているためである。また、エッチングに用いたSiC試料は、MOSFETデバイス作製中のものであり、図43(2)のエッチング後のSEM像において、トレンチ側壁の傾斜面には
p型6H−SiC(白い領域) と n型6H−SiC(黒い領域)が写っている。
図44は、菱面体晶の結晶構造の15R−SiCの基底面に対する熱エッチング前後のSEM像を示している。
図44(1)は、熱エッチング前の様子であり、15R−SiCの基底面である(000−1)面の表面に酸化膜(SiO2)マスクを形成した様子を示している。図中のAの部分が、酸化膜(SiO2)マスク領域であり、暗い灰色部分であるCの部分が、15R−SiC表面の露出領域である。
なお、図44(2)において、エッチングにより形成できた傾斜したトレンチ側壁(6面)の内側に白黒のコントラストが生じているのは、伝導性が異なる15R−SiCが層状になった基板を使っているためである。また、エッチングに用いたSiC試料は、MOSFETデバイス作製中のものであり、図44(2)のエッチング後のSEM像において、トレンチ側壁の傾斜面には
p型15R−SiC(白い領域) と n型15R−SiC(黒い領域)が写っている。
なお、上記の実施例では、六方晶系の4H−SiC,6H−SiCや、菱面体晶系の15R−SiCについて説明したが、立方晶系の3H−SiCについても、4H−SiC,6H−SiCと同様に、基底面(001)からトレンチを形成し、約55度 傾斜したトレンチ側壁が得られることが予想できる。
20 トレンチ
22 トレンチ底面
24 サブトレンチ
26 粗い面
Claims (18)
- 六方晶,立方晶,菱面体晶のいずれかの結晶構造を成すSiCの基底面から形成されたトレンチ側壁、或いは、基底面のオフ角8°以下のオフ面から形成されたトレンチ側壁であって、
前記トレンチ側壁は面積50%以上が基底面から54〜55°傾斜した面であり、
前記トレンチ側壁の面をチャネル部分として用いたことを特徴とするSiC半導体素子。 - 前記SiCが六方晶であり、
前記基底面が(0001)面であり、
チャネル部分として用いる前記トレンチ側壁の面が{03−38}面または{03−38}面を<1−100>方向に−8°〜8°の間の角度でオフさせた面である、ことを特徴とする請求項1に記載のSiC半導体素子。 - 前記SiCが六方晶であり、
前記基底面が(000−1)面であり、
チャネル部分として用いる前記トレンチ側壁の面が{03−3−8}面または{03−3−8}面を<1−100>方向に−8°から8°の間の角度でオフさせた面、ことを特徴とする請求項1に記載のSiC半導体素子。 - 前記トレンチ側壁の面積90%以上が基底面から54〜55°傾斜した面であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のSiC半導体素子。
- 前記トレンチに対して熱処理を施すことにより、前記トレンチ側壁の面を基底面から54〜55°傾斜した面に形成することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のSiC半導体素子。
- 前記熱処理は、窒素もしくは希ガスを含む不活性ガスもしくは水素ガスをキャリアガスとし、大気圧もしくは減圧下で、下記1)〜3)のいずれかの条件下でエッチングすることを特徴とする請求項5に記載のSiC半導体素子。
1)ハロゲン系ガス雰囲気中、所定温度
2)塩素雰囲気中または塩素酸素混合雰囲気中、800℃以上
3)フッ素雰囲気中、400℃以上 - 前記熱処理は、処理剤として溶融塩を用いることを特徴とする請求項5に記載のSiC半導体素子。
- 前記トレンチの構造は、全ての内角が120°の逆六角錐台,逆正三角錐台,逆六角錐,逆正三角錐のいずれかであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のSiC半導体素子。
- 前記トレンチの構造は、内角が60°と120°の平行四辺形もしくは菱形の逆四角錐台,逆四角錐のいずれかであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のSiC半導体素子。
- 複数のトレンチを備え、ハニカム構造が形成されたことを特徴とする請求項8に記載のSiC半導体素子。
- 前記トレンチの構造は、(0001)面またはオフ角8°以下の(0001)面のオフ面の水平方向に延びる形状であり、両側の側壁それぞれが{03−38}面から選択される少なくとも2種の異なる結晶面により構成され、隣接するトレンチ側壁の上縁の間のなす内角が60°,120°,240°,300°のいずれかで連続して形成されたことを特徴とする請求項2に記載のSiC半導体素子。
- 前記トレンチの構造は、(000−1)面またはオフ角8°以下の(000−1)面のオフ面の水平方向に延びる形状であり、両側の側壁それぞれが{03−3−8}面から選択される少なくとも2種の異なる結晶面により構成され、隣接するトレンチ側壁の上縁の間のなす内角が60°,120°,240°,300°の何れかで連続して形成されたことを特徴とする請求項3に記載のSiC半導体素子。
- トレンチ型MOSゲート構造のMOSFETであることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載のSiC半導体素子。
- 六方晶,立方晶,菱面体晶のいずれかの結晶構造を成すSiCの基底面、或いは、基底面のオフ角8°以下のオフ面から、予めトレンチ構造を形成するステップと、
トレンチに対して熱処理を施して、チャネル部分を形成するトレンチ側壁を基底面から54〜55°傾斜した面に形成するステップと、
を少なくとも備えたSiC半導体素子の製造方法。 - 前記SiCが六方晶であり、
前記基底面が(0001)面であり、
SiCの(0001)面またはオフ角8°以下の(0001)面のオフ面から、予めトレンチ構造を形成するステップと、
トレンチに対して熱処理を施して、チャネル部分を形成するトレンチ側壁を、{03−38}面または{03−38}面を<1−100>方向に−8°〜8°のオフ角でオフさせた面に形成するステップと、
を少なくとも備えた請求項14に記載のSiC半導体素子の製造方法。 - 前記SiCが六方晶であり、
前記基底面が(000−1)面であり、
SiCの(000−1)面またはオフ角8°以下の(000−1)面のオフ面から、予めトレンチ構造を形成するステップと、
トレンチに対して熱処理を施して、チャネル部分を形成するトレンチ側壁を、{03−3−8}面または{03−3−8}面を<1−100>方向に−8°〜8°のオフ角でオフさせた面に形成するステップと、
を少なくとも備えた請求項14に記載のSiC半導体素子の製造方法。 - 前記熱処理は、窒素もしくは希ガスを含む不活性ガスもしくは水素ガスをキャリアガスとし、大気圧もしくは減圧下、下記1)〜3)のいずれかの条件下でエッチングすることを特徴とする請求項14〜16のいずれかに記載のSiC半導体素子の製造方法。
1)ハロゲン系ガス雰囲気中、所定温度
2)塩素雰囲気中または塩素酸素混合雰囲気中、800℃以上
3)フッ素雰囲気中、400℃以上 - 前記熱処理は、処理剤として溶融塩を用いることを特徴とする請求項14〜16のいずれかに記載のSiC半導体素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013531072A JPWO2013031172A1 (ja) | 2011-08-26 | 2012-08-27 | SiC半導体素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011185326 | 2011-08-26 | ||
JP2011185326 | 2011-08-26 | ||
JP2013531072A JPWO2013031172A1 (ja) | 2011-08-26 | 2012-08-27 | SiC半導体素子およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013031172A1 true JPWO2013031172A1 (ja) | 2015-03-23 |
Family
ID=47755702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013531072A Pending JPWO2013031172A1 (ja) | 2011-08-26 | 2012-08-27 | SiC半導体素子およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9006747B2 (ja) |
EP (1) | EP2750198A4 (ja) |
JP (1) | JPWO2013031172A1 (ja) |
KR (1) | KR101584023B1 (ja) |
WO (1) | WO2013031172A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10014376B2 (en) * | 2013-09-06 | 2018-07-03 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon carbide semiconductor device having a trench with side walls and method for manufacturing same |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8981384B2 (en) | 2010-08-03 | 2015-03-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing same |
JP5699878B2 (ja) * | 2011-09-14 | 2015-04-15 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP2013069964A (ja) | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体装置 |
JP5764046B2 (ja) | 2011-11-21 | 2015-08-12 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP5920010B2 (ja) * | 2012-05-18 | 2016-05-18 | 住友電気工業株式会社 | 半導体装置 |
US11721547B2 (en) | 2013-03-14 | 2023-08-08 | Infineon Technologies Ag | Method for manufacturing a silicon carbide substrate for an electrical silicon carbide device, a silicon carbide substrate and an electrical silicon carbide device |
JP2014189442A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体基板の製造方法 |
JP6183224B2 (ja) * | 2014-01-16 | 2017-08-23 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2015159138A (ja) * | 2014-02-21 | 2015-09-03 | 豊田合成株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
KR102550521B1 (ko) * | 2016-10-21 | 2023-06-30 | 한국전기연구원 | 실리콘 카바이드 반도체 소자의 제조방법 |
JP6999101B2 (ja) * | 2017-02-16 | 2022-01-18 | 国立大学法人埼玉大学 | エッチング方法 |
JP7193840B2 (ja) * | 2018-11-02 | 2022-12-21 | 株式会社フィルネックス | 半導体素子の製造方法及び半導体基板 |
JP6431631B1 (ja) | 2018-02-28 | 2018-11-28 | 株式会社フィルネックス | 半導体素子の製造方法 |
JP7124582B2 (ja) * | 2018-09-10 | 2022-08-24 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
JP7230477B2 (ja) * | 2018-12-12 | 2023-03-01 | 株式会社デンソー | トレンチゲート型のスイッチング素子の製造方法 |
JP7331393B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2023-08-23 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP7319617B2 (ja) * | 2020-05-21 | 2023-08-02 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
WO2022200338A1 (en) | 2021-03-22 | 2022-09-29 | Hitachi Energy Switzerland Ag | Power semiconductor device |
DE102022205957A1 (de) | 2022-06-13 | 2023-12-14 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Power-FinFET mit variabler Grabenbreite |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012038770A (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2012216701A (ja) * | 2011-04-01 | 2012-11-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4110875B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2008-07-02 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置 |
JP5017768B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2012-09-05 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体素子 |
JP2006351744A (ja) | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2008258265A (ja) | 2007-04-02 | 2008-10-23 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US7989882B2 (en) * | 2007-12-07 | 2011-08-02 | Cree, Inc. | Transistor with A-face conductive channel and trench protecting well region |
JP2009187966A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2010087397A (ja) | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体装置 |
JP5721351B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2015-05-20 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
US8212287B2 (en) * | 2009-09-18 | 2012-07-03 | Palo Alto Research Center Incorporated | Nitride semiconductor structure and method of making same |
WO2011074237A1 (ja) | 2009-12-16 | 2011-06-23 | 国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 | SiC半導体素子およびその作製方法 |
JP5761533B2 (ja) | 2010-08-27 | 2015-08-12 | 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学 | SiC半導体素子 |
JP5759293B2 (ja) | 2011-07-20 | 2015-08-05 | 住友電気工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP5764046B2 (ja) | 2011-11-21 | 2015-08-12 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP5806600B2 (ja) | 2011-11-21 | 2015-11-10 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP5759393B2 (ja) | 2012-01-12 | 2015-08-05 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
-
2012
- 2012-08-27 KR KR1020147007633A patent/KR101584023B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2012-08-27 EP EP12827910.6A patent/EP2750198A4/en not_active Withdrawn
- 2012-08-27 US US14/240,719 patent/US9006747B2/en active Active
- 2012-08-27 WO PCT/JP2012/005363 patent/WO2013031172A1/ja active Application Filing
- 2012-08-27 JP JP2013531072A patent/JPWO2013031172A1/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012038770A (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2012216701A (ja) * | 2011-04-01 | 2012-11-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10014376B2 (en) * | 2013-09-06 | 2018-07-03 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon carbide semiconductor device having a trench with side walls and method for manufacturing same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140203300A1 (en) | 2014-07-24 |
WO2013031172A1 (ja) | 2013-03-07 |
EP2750198A1 (en) | 2014-07-02 |
EP2750198A4 (en) | 2015-04-15 |
KR101584023B1 (ko) | 2016-01-08 |
US9006747B2 (en) | 2015-04-14 |
KR20140054338A (ko) | 2014-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2013031172A1 (ja) | SiC半導体素子およびその製造方法 | |
EP2418680A1 (en) | Insulated gate bipolar transistor | |
CN104380472A (zh) | 碳化硅半导体器件 | |
KR20140049986A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
US20130065384A1 (en) | Method for manufacturing silicon carbide semiconductor device | |
CN102171787A (zh) | 碳化硅衬底和制造碳化硅衬底的方法 | |
JP6500628B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 | |
JP6318914B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置 | |
CN103930996A (zh) | 半导体器件 | |
CN104185902B (zh) | 半导体器件 | |
WO2014027520A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置 | |
WO2014002589A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法および炭化珪素半導体装置 | |
JP2015220408A (ja) | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 | |
WO2021085078A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置および炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP6070155B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置 | |
WO2015060027A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 | |
JP6481511B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置 | |
US11183590B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device | |
JP7031148B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP5870898B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150715 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20160407 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160712 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170124 |