JP7124582B2 - 炭化珪素半導体装置 - Google Patents
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Description
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。以下の説明では、同一または対応する要素には同一の符号を付し、それらについて同じ説明は繰り返さない。また本明細書の結晶学的記載においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示している。ここで結晶学上の指数が負であることは、通常、数字の上に"-"(バー)を付すことによって表現されるが、本明細書では数字の前に負の符号を付すことによって結晶学上の負の指数を表現している。また、本開示のエピタキシャル成長は、ホモエピタキシャル成長である。
以下、本開示の一実施形態(以下「本実施形態」と記す)について詳細に説明するが、本実施形態はこれらに限定されるものではない。
最初に、炭化珪素半導体装置である縦型のトランジスタについて、図1に基づき説明する。尚、以下の炭化珪素半導体装置の構造の図面では、便宜上、炭化珪素半導体装置を形成している各々の層の膜厚や幅等は実際とは異なっている。
次に、第1の実施形態における炭化珪素半導体装置について説明する。尚、炭化珪素単結晶基板10における炭化珪素のポリタイプは4Hである。4Hのポリタイプの炭化珪素は、電子移動度、絶縁破壊電界強度等が、他のポリタイプよりも優れているからである。本実施形態における炭化珪素半導体装置は、図1に示される縦型の炭化珪素半導体装置において、ゲートしきい値電圧を高くするためp型層22の不純物濃度を高くするとともに、p型層22の膜厚を薄くしたものである。Rchをチャネル抵抗、チャネル層となるp型層22の膜厚をL、p型層22におけるキャリアの移動度をμnとし、比例定数をkとした場合、これらは、下記の数1に示す式の関係にある。
次に、本実施形態における炭化珪素半導体装置の製造方法について、図3~図14に基づき説明する。
次に、第2の実施形態について説明する。本実施形態における縦型トランジスタとなる炭化珪素半導体装置は、図16に示されるように、V字状の溝130が形成されている構造のものである。このため第2のn型層23の表面はC(炭素)面となっている。具体的には、第2のn型層23、p型層22、第1のn型層21を除去することによりV字状の溝130が形成されている。V字状の溝130は、第2のn型層23の表面に対し、側面130aが55°±5°、即ち、50°以上、60°以下の範囲で傾斜しており、V字状の溝130の側面130aは、第2のn型層23、p型層22、第1のn型層21の一部により形成されている。V字状の溝130の内部の側面130a及び底面130b、V字状の溝130の近傍の第2のn型層23の上には、ゲート絶縁膜140が形成されており、V字状の溝130の内部のゲート絶縁膜140の上には、ゲート電極151が形成されている。
10a 第1の面
10b 第2の面
11 炭化珪素エピタキシャル層
11a 表面
21 第1のn型層
22 p型層
23 第2のn型層
24 高濃度p型領域
30 溝
30a 側面
30b 底面
40 ゲート絶縁膜
51 ゲート電極
52 ソース電極
52a オーミックコンタクト層
53 ドレイン電極
53a オーミックコンタクト層
61 層間絶縁膜
62 バリアメタル層
63 パッシベーション膜
130 V字状の溝
130a 側面
130b 底面
140 ゲート絶縁膜
151 ゲート電極
Claims (5)
- 第1導電型の炭化珪素半導体の第1層と、
前記第1層の上の前記第1導電型とは異なる第2導電型の炭化珪素半導体の第2層と、
前記第2層の上の前記第1導電型の炭化珪素半導体の第3層と、
前記第3層、前記第2層、前記第1層の一部に側面を有する溝と、
前記溝の内部に設けられた絶縁膜と、
前記溝の内部の前記絶縁膜の上に設けられたゲート電極と、
を有する縦型トランジスタであって、
前記第2層と前記第3層との界面における前記第2導電型の不純物元素の濃度は、前記第2層における前記第2導電型の不純物元素の濃度のピークの値の半分の値を超えており、
前記第1層と前記第2層との界面における前記第2導電型の不純物元素の濃度は、前記第2層における前記第2導電型の不純物元素の濃度のピークの値の半分の値未満、1/20以上であり、
前記第1層は、前記第1導電型の不純物元素と、前記第2導電型の不純物元素とを含んでおり、
1<(第1導電型の不純物元素の濃度)/(第2導電型の不純物元素の濃度)≦2
である炭化珪素半導体装置。 - 前記第1層は炭化珪素単結晶基板の第1の面に形成されているものであって、
前記第3層に接するソース電極と、
前記炭化珪素単結晶基板の前記第1の面とは反対の第2の面に設けられたドレイン電極と、
を有する請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記炭化珪素単結晶基板のポリタイプは4Hであり、
前記第3層の表面はSi面であり、
前記溝の側面は、前記第3層の表面に対し垂直である請求項2に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記炭化珪素単結晶基板のポリタイプは4Hであり、
前記第3層の表面はC面であり、
前記溝の側面は、前記第3層の表面に対し50°以上、60°以下である請求項2に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記第2層における実効ドーピング濃度のピークの値は、5.0×1017cm-3以上、3.0×1018cm-3以下である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
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WO2013031172A1 (ja) | 2011-08-26 | 2013-03-07 | 国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 | SiC半導体素子およびその製造方法 |
JP2013098315A (ja) | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Toyota Motor Corp | スイッチング素子とその製造方法 |
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