JPWO2012056704A1 - 半導体素子および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を参照しながら、本発明による半導体素子の第1の実施形態を説明する。図1(a)は本実施形態の半導体素子100の断面を模式的に示している。図1(a)には、一点鎖線の右側および左側にそれぞれ位置する2つの半導体素子100の断面が示されている。これらは、ユニットセル100uを構成しており、市販される半導体装置は、複数のユニットセルを含む。
30keV:3.0×1013cm-2
70keV:6.0×1013cm-2
150keV:1.5×1014cm-2
350keV:4.0×1013cm-2
N=2×1018
d=30
以下、本発明による半導体素子の第2の実施形態を説明する。図7は本発明による半導体素子の第2の実施形態を示す模式的断面図である。半導体素子100Aは図1(a)に示す半導体素子100とほぼ同じ構造を備えているが、不純物領域104が第1ボディ領域103aから下方にはみ出している点が異なる。つまり、不純物領域104の底面104uは、第1ボディ領域103aの底面103auよりも深くに位置している。また、不純物領域104は、第2ボディ領域103bと接触している。
101 半導体基板
102 ドリフト領域
102’ 第1炭化珪素半導体層
102j JFET領域
103a 第1ボディ領域
103b 第2ボディ領域
104 不純物領域
105 コンタクト領域
106 第2炭化珪素半導体層
106c チャネル領域
107 ゲート絶縁膜
108 ゲート電極
109 第1オーミック電極
110 第2オーミック電極
111 層間絶縁膜
112 上部配線電極
113 裏面配線電極
Claims (8)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の主面上に位置する第1導電型の第1炭化珪素半導体層と、
前記第1炭化珪素半導体層内に位置する第2導電型のボディ領域と、
前記ボディ領域内に位置する第1導電型の不純物領域と、
前記第1炭化珪素半導体層上であって、前記ボディ領域および前記不純物領域の少なくとも一部にそれぞれ接して配置された第1導電型の第2炭化珪素半導体層と、
前記第2炭化珪素半導体層上のゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上のゲート電極と、
前記不純物領域と電気的に接続された第1オーミック電極と、
前記半導体基板の裏面に設けられた第2オーミック電極と
を備え、
前記第2導電型のボディ領域は、前記第1炭化珪素半導体層の表面に接する第1ボディ領域と、前記第2導電型のボディ領域の底面に接する第2ボディ領域とを含み、
前記第1ボディ領域の平均不純物濃度は、前記第2ボディ領域の平均不純物濃度の2倍以上であり、
前記不純物領域の底面は、前記第1ボディ領域の底面より深くに位置している、半導体素子。 - 前記第1オーミック電極を基準とする前記第2オーミック電極および前記ゲート電極に印加される電位はそれぞれVdsおよびVgsであり、ゲート閾値電圧はVthであり、
Vgs≧Vthの場合、前記第2炭化珪素半導体層を介して前記第2オーミック電極から前記第1オーミック電極へ電流が流れ、
0ボルト≦Vgs<Vthの場合、Vdsが0ボルトよりも小さくなるにつれて、前記ボディ領域から前記第1炭化珪素半導体層へ電流が流れ始める前に前記第1オーミック電極から前記第2炭化珪素半導体層を介して前記第2オーミック電極へ電流が流れる、請求項1に記載の半導体素子。 - 前記半導体基板、前記第1炭化珪素半導体層、前記ボディ領域、前記不純物領域、前記第2炭化珪素半導体層、前記ゲート絶縁膜、前記ゲート電極、前記第1オーミック電極、および前記第2オーミック電極は、金属−絶縁体−半導体電界効果トランジスタを構成しており、
前記第1オーミック電極の電位を基準とする前記第2オーミック電極の電位をVds、
前記第1オーミック電極の電位を基準とする前記ゲート電極の電位をVgs、
前記金属−絶縁体−半導体電界効果トランジスタのゲート閾値電圧をVth、
前記第2オーミック電極から前記第1オーミック電極へ流れる電流の向きを順方向、
前記第1オーミック電極から前記第2オーミック電極へ流れる電流の向きを逆方向と定義すると、
Vgs≧Vthの場合、
前記金属−絶縁体−半導体電界効果トランジスタは、前記第2炭化珪素半導体層を介して前記第2オーミック電極と前記第1オーミック電極との間を導通し、
0ボルト≦Vgs<Vthの場合、
前記金属−絶縁体−半導体電界効果トランジスタは、前記順方向に電流を流さず、Vds<0ボルトのとき、前記第1オーミック電極から前記第2炭化珪素半導体層を介して前記第2オーミック電極へ前記逆方向に電流を流すダイオードとして機能し、
前記ダイオードの立ち上がり電圧の絶対値は、前記ボディ領域と前記第1炭化珪素半導体層とにより構成されるボディダイオードの立ち上がり電圧の絶対値よりも小さい、請求項1に記載の半導体素子。 - 前記第1ボディ領域の平均不純物濃度が1×1018cm-3以上、1×1020cm-3以下であり、前記第2ボディ領域の平均不純物濃度が1×1017cm-3以上、1×1019cm-3以下である、請求項1から3のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記第2炭化珪素半導体層は、前記不純物領域、および前記第1炭化珪素半導体層のうち前記第1ボディ領域に隣接する領域と電気的に接続され、前記第1ボディ領域上に配置されている、請求項1から4のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記第2炭化珪素半導体層はエピタキシャル成長により形成されている請求項5に記載の半導体素子。
- 前記第1ボディ領域および前記第2ボディ領域は、それぞれ、前記半導体基板の主面と垂直な方向に少なくとも15nmおよび100nmの厚さを有している、請求項1から6のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記半導体基板の主面に垂直な方向から見た場合、前記第1ボディ領域の外周と前記第2ボディ領域の外周とは一致している、請求項1から7のいずれかに記載の半導体素子。
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Cited By (1)
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US10374075B2 (en) | 2015-11-12 | 2019-08-06 | Mitsubishi Electric Corporation | Silicon carbide semiconductor device and manufacturing method for the same |
Families Citing this family (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012104856A (ja) * | 2009-04-30 | 2012-05-31 | Panasonic Corp | 半導体素子、半導体装置および電力変換器 |
US8772788B2 (en) * | 2011-05-30 | 2014-07-08 | Panasonic Corporation | Semiconductor element and method of manufacturing thereof |
CN103703565B (zh) * | 2011-09-28 | 2017-09-01 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置 |
US9406762B2 (en) * | 2012-05-17 | 2016-08-02 | General Electric Company | Semiconductor device with junction termination extension |
US8558308B1 (en) * | 2012-06-14 | 2013-10-15 | Infineon Technologies Austria Ag | Method of manufacturing a semiconductor device using a contact implant and a metallic recombination element and semiconductor |
US9184229B2 (en) * | 2012-07-31 | 2015-11-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and method for manufacturing same |
JP5501539B1 (ja) * | 2012-09-13 | 2014-05-21 | パナソニック株式会社 | 半導体装置 |
CN105051868B (zh) * | 2012-10-30 | 2016-06-08 | 松下知识产权经营株式会社 | 半导体装置 |
WO2014083771A1 (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-05 | パナソニック株式会社 | 半導体素子及びその製造方法 |
JP5954140B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2016-07-20 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
US9006748B2 (en) | 2012-12-03 | 2015-04-14 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing same |
DE112012007207B4 (de) * | 2012-12-06 | 2023-11-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleitervorrichtung |
KR20140076762A (ko) * | 2012-12-13 | 2014-06-23 | 삼성전기주식회사 | 전력 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
JP6091242B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2017-03-08 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
US9142668B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-09-22 | Cree, Inc. | Field effect transistor devices with buried well protection regions |
US9240476B2 (en) * | 2013-03-13 | 2016-01-19 | Cree, Inc. | Field effect transistor devices with buried well regions and epitaxial layers |
US10347489B2 (en) * | 2013-07-02 | 2019-07-09 | General Electric Company | Semiconductor devices and methods of manufacture |
US9768259B2 (en) * | 2013-07-26 | 2017-09-19 | Cree, Inc. | Controlled ion implantation into silicon carbide using channeling and devices fabricated using controlled ion implantation into silicon carbide using channeling |
CN103996714A (zh) * | 2014-05-09 | 2014-08-20 | 东南大学 | 一种n型碳化硅纵向金属氧化物半导体管 |
WO2015178024A1 (ja) * | 2014-05-23 | 2015-11-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
US10418476B2 (en) | 2014-07-02 | 2019-09-17 | Hestia Power Inc. | Silicon carbide semiconductor device |
US10483389B2 (en) * | 2014-07-02 | 2019-11-19 | Hestia Power Inc. | Silicon carbide semiconductor device |
US10192961B2 (en) * | 2015-02-20 | 2019-01-29 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon carbide semiconductor device |
JP6745458B2 (ja) * | 2015-04-15 | 2020-08-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体素子 |
US9773924B2 (en) | 2015-04-22 | 2017-09-26 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Semiconductor device having barrier region and edge termination region enclosing barrier region |
US9670648B2 (en) | 2015-08-10 | 2017-06-06 | Caterpillar Inc. | Replaceable tip systems for a tine |
US9691759B2 (en) | 2015-10-01 | 2017-06-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Semiconductor device including semiconductor substrate, silicon carbide semiconductor layer, unit cells, source, and gate |
JP6275353B2 (ja) | 2015-10-30 | 2018-02-07 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
JP6473073B2 (ja) * | 2015-12-15 | 2019-02-20 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置、パワーモジュール、電力変換装置、自動車および鉄道車両 |
JP6490017B2 (ja) * | 2016-01-19 | 2019-03-27 | 三菱電機株式会社 | パワーモジュール、3相インバータシステム、およびパワーモジュールの検査方法 |
WO2018135146A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 富士電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP6926869B2 (ja) * | 2017-09-13 | 2021-08-25 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP6782213B2 (ja) * | 2017-09-19 | 2020-11-11 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP6469795B2 (ja) * | 2017-09-21 | 2019-02-13 | アルディーテック株式会社 | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタ |
CN111480239B (zh) | 2017-12-19 | 2023-09-15 | 三菱电机株式会社 | 碳化硅半导体装置以及电力变换装置 |
CN111466032B (zh) | 2017-12-19 | 2023-08-18 | 三菱电机株式会社 | 碳化硅半导体装置以及电力变换装置 |
JP6737401B2 (ja) * | 2017-12-19 | 2020-08-05 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 |
JP6592119B2 (ja) * | 2018-01-25 | 2019-10-16 | 株式会社日立製作所 | 半導体スイッチング素子および炭化珪素半導体装置の製造方法 |
CN109742136A (zh) * | 2018-12-30 | 2019-05-10 | 芜湖启迪半导体有限公司 | 一种肖特基二极管结构及其制造方法 |
EP3748851B1 (en) * | 2019-06-07 | 2023-03-15 | Infineon Technologies AG | Semiconductor device and semiconductor arrangement comprising semiconductor devices |
JP2020205295A (ja) * | 2019-06-14 | 2020-12-24 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 炭化珪素半導体装置 |
JP7189848B2 (ja) * | 2019-08-07 | 2022-12-14 | 株式会社東芝 | 半導体装置およびその製造方法 |
US11955567B2 (en) | 2022-02-16 | 2024-04-09 | Leap Semiconductor Corp. | Wide-band gap semiconductor device and method of manufacturing the same |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5974674A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-04-27 | Hitachi Ltd | 絶縁ゲ−ト半導体装置とその製造法 |
JP2542448B2 (ja) * | 1990-05-24 | 1996-10-09 | シャープ株式会社 | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JPH06104564B2 (ja) | 1991-06-12 | 1994-12-21 | 工業技術院長 | 膜状層間化合物及びその製造法 |
US5233215A (en) * | 1992-06-08 | 1993-08-03 | North Carolina State University At Raleigh | Silicon carbide power MOSFET with floating field ring and floating field plate |
US5744994A (en) * | 1996-05-15 | 1998-04-28 | Siliconix Incorporated | Three-terminal power mosfet switch for use as synchronous rectifier or voltage clamp |
JPH11220127A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-10 | Sharp Corp | 絶縁ゲート型半導体装置及びその製造方法 |
JP2000252456A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-09-14 | Hitachi Ltd | 半導体装置並びにそれを用いた電力変換器 |
JP4595144B2 (ja) * | 1999-09-21 | 2010-12-08 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置及びその製造方法 |
JP3484690B2 (ja) * | 1999-10-27 | 2004-01-06 | 関西日本電気株式会社 | 縦型電界効果トランジスタ |
JP4802378B2 (ja) * | 2001-03-12 | 2011-10-26 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP4197400B2 (ja) | 2001-03-29 | 2008-12-17 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体からなる半導体装置 |
JP2003163351A (ja) | 2001-11-27 | 2003-06-06 | Nec Kansai Ltd | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JP3941641B2 (ja) * | 2002-09-18 | 2007-07-04 | 日産自動車株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法とその製造方法によって製造される炭化珪素半導体装置 |
JP3637052B2 (ja) * | 2002-11-29 | 2005-04-06 | 松下電器産業株式会社 | SiC−MISFET及びその製造方法 |
US6940110B2 (en) * | 2002-11-29 | 2005-09-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | SiC-MISFET and method for fabricating the same |
US9515135B2 (en) | 2003-01-15 | 2016-12-06 | Cree, Inc. | Edge termination structures for silicon carbide devices |
JP4403366B2 (ja) | 2003-06-04 | 2010-01-27 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP4289123B2 (ja) * | 2003-10-29 | 2009-07-01 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 半導体装置 |
EP1909325A4 (en) * | 2005-07-25 | 2009-05-06 | Panasonic Corp | SEMICONDUCTOR ELEMENT AND ELECTRICAL DEVICE |
JP2007066959A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP4982082B2 (ja) * | 2005-12-26 | 2012-07-25 | 株式会社豊田中央研究所 | 窒化物半導体装置 |
JP5011748B2 (ja) | 2006-02-24 | 2012-08-29 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
US8125005B2 (en) | 2006-05-18 | 2012-02-28 | Panasonic Corporation | Semiconductor element and method for manufacturing same |
JP2008010506A (ja) | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2008017237A (ja) | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Mitsubishi Electric Corp | 電子部品およびその電子部品を用いた電力変換器 |
US7598567B2 (en) | 2006-11-03 | 2009-10-06 | Cree, Inc. | Power switching semiconductor devices including rectifying junction-shunts |
JP2008159927A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Toyota Motor Corp | Iii族窒化物半導体装置とその製造方法 |
JP4367508B2 (ja) * | 2007-03-13 | 2009-11-18 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP4356767B2 (ja) | 2007-05-10 | 2009-11-04 | 株式会社デンソー | ジャンクションバリアショットキーダイオードを備えた炭化珪素半導体装置 |
JP4483918B2 (ja) * | 2007-09-18 | 2010-06-16 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP2009130266A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Toshiba Corp | 半導体基板および半導体装置、半導体装置の製造方法 |
JP5206541B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2013-06-12 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
WO2009139140A1 (ja) | 2008-05-13 | 2009-11-19 | パナソニック株式会社 | 半導体素子 |
JP2009289904A (ja) | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPWO2010044226A1 (ja) * | 2008-10-17 | 2012-03-15 | パナソニック株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
WO2010125819A1 (ja) | 2009-04-30 | 2010-11-04 | パナソニック株式会社 | 半導体素子、半導体装置および電力変換器 |
EP2442355B1 (en) * | 2009-06-11 | 2014-04-23 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
WO2011013364A1 (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-03 | パナソニック株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
US8471267B2 (en) * | 2009-09-03 | 2013-06-25 | Panasonic Corporation | Semiconductor device and method for producing same |
WO2011141981A1 (ja) | 2010-05-10 | 2011-11-17 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
JP5002693B2 (ja) * | 2010-09-06 | 2012-08-15 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US8772788B2 (en) * | 2011-05-30 | 2014-07-08 | Panasonic Corporation | Semiconductor element and method of manufacturing thereof |
-
2011
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10374075B2 (en) | 2015-11-12 | 2019-08-06 | Mitsubishi Electric Corporation | Silicon carbide semiconductor device and manufacturing method for the same |
Also Published As
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