JPWO2011136138A1 - 撮像用レンズ、ウエハレンズ、ウエハレンズ積層体、撮像用レンズの製造方法、撮像用レンズの中間物、撮像用レンズの中間物の製造方法 - Google Patents

Abstract

撮像用レンズは、基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、基板上に、絞りを露出するようにして形成された無機又は有機接着層と、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備える。樹脂部は、無機又は有機接着層及び絞りに直接接合されている。また、絞りが形成された基板表面は、水の接触角で３°以上３０°以下の範囲になるように改質処理されている。

Description

本発明は、撮像用レンズ、ウエハレンズ、ウエハレンズ積層体、撮像用レンズの製造方法、撮像用レンズの中間物、撮像用レンズの中間物の製造方法に関する。

従来、光学レンズの製造分野においては、ガラス平板に熱硬化性樹脂等の硬化性樹脂からなるレンズ部（光学部材）を設けることで、耐熱性の高い光学レンズを得る技術が検討されている。

更に、この技術を適用した光学レンズの製造方法としては、基板の表面に金属膜からなり、入射する光量の調整を行う絞りを形成し、さらに、絞りの表面に硬化性樹脂からなる光学部材を複数設けたいわゆる「ウエハレンズ」を形成する。その後、複数のウエハレンズが一体化された状態で、スペーサをはさんだり光学面と同時成形された突出部を突き当てたりして積み重ねて、接着し複数の組レンズを形成し、この形成後にレンズ部毎に基板を切断（ダイシング）する方法が開発されている。この製造方法によれば、光学レンズの製造コストを低減することができる。
一方、このようなウエハレンズをレンズ部毎に切断する場合に、ウエハレンズ特有の技術課題が生ずる。それはレンズ部の大きな内部応力によって、基板からレンズ部が剥離する事があり、基板に一体的に絞りを形成した場合には、これに加えてレンズ部と絞りを形成した基板、基板と絞り、各々の界面での切断による剥離の問題が更に生ずる事となる。つまり、基板、絞り、レンズ部各層間の密着力を切断時に良好な光学系を得るためには解決しなければならない課題とされている。
ところでこのような光学部材において形成された層の密着性を向上させるための技術としては特許文献１にあるように光学部材の表面での反射を抑制するための反射防止膜と、それを形成する基材との間にシランカップリング剤を含む層を設けることで、反射防止膜の基材に対する密着性を高める技術が知られている。
また、マイクロレンズアレーの製造方法として、型材料の基材と感光性材料の間に密着強化層を設ける技術も知られている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０００−２４１６０４号公報 特開２０００−２６６９０９号公報

一方、レンズ部毎に基板を切断する場合に、レンズ部の大きな内部応力によって、絞りやレンズ部は、それぞれ基板や絞りから剥離することがあり、各層間の密着力を向上させることが課題とされている。しかしながら、上記特許文献１や２はいずれもウエハレンズではなく、切断時における剥離の課題は何ら示されていない。特に基板上に絞り、レンズ部を積層形成していく場合に、切断により基板、絞り、レンズ部各々の界面で剥離が生じて光学特性に影響を与える事自体、開示も示唆もされていない。
また、シランカップリング剤等を含む層で密着力を向上させる記述があるが、シランカップリング剤の種類やその反応メカニズムについては言及されておらず、各層の濡れ性を向上させる点についても、記述がない。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、切断によりレンズ部毎に個片化されるようなウエハレンズにおいて、絞りが基板から、レンズ部が絞りを形成した基板から、それぞれ剥離することを防止し、各層間の密着性を向上させることのできる撮像用レンズ、ウエハレンズ、ウエハレンズ積層体、撮像用レンズの製造方法、撮像用レンズの中間物、撮像用レンズの中間物の製造方法を提供することを目的としている。

本発明の一態様によれば、
基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、
前記基板上に、前記絞りを覆うようにして形成された無機又は有機接着層と、
硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層に直接接合されていることを特徴とする撮像用レンズが提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、
前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、
前記硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とする撮像用レンズが提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、
前記基板上に、前記絞りを覆うようにして形成された無機又は有機接着層と、
硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層に直接接合されていることを特徴とするウエハレンズが提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、
前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、
前記硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とするウエハレンズが提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、
前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、
前記硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されており、
前記複数のレンズ部に対応する光軸方向の位置に、複数の開口部を有するスペーサが接合されていることを特徴とするウエハレンズが提供される。

本発明の他の態様によれば、
複数のウエハレンズを積層させたウエハレンズ積層体であって、
前記複数のウエハレンズのうち、少なくとも一つのウエハレンズが、
基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、
前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、
硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とするウエハレンズ積層体が提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、
前記基板上に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、
前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、
前記接着層形成工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、
前記成形工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法が提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、
前記基板上に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、
前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、
前記接着層形成工程後、前記絞り上に形成された前記無機又は有機接着層を除去する接着層除去工程と、
前記接着層除去工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、
前記成形工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法が提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、
前記基板の少なくとも一方の面に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、
前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、
前記接着層形成工程後、前記絞り上に形成された前記無機又は有機接着層を除去する接着層除去工程と、
前記接着層除去工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、
前記成形工程によって得られたウエハレンズを、複数積層させてウエハレンズ積層体を形成する積層工程と、
前記積層工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法が提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズを作製するための撮像用レンズの中間物であって、
前記基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りを備え、
前記絞りの表面の水の接触角が３°以上３０°以下であることを特徴とする撮像用レンズの中間物が提供される。

本発明の他の態様によれば、
基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズを作製するための撮像用レンズの中間物の製造方法であって、
前記基板の少なくとも一方の面に、光量を調整する所定の開口を有する絞りを形成する絞り形成工程と、
前記絞りが形成された前記基板の少なくとも一方の面に対して、表面改質処理を行う表面改質工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの中間物の製造方法が提供される。

本発明によれば、絞りやレンズ部等の光学部材が各界面から剥離することを防止し、各層間の密着性を向上させることができる。
また、基板表面や絞り表面の改質処理を行うことによって、濡れ性が向上し、この点においても各層間の密着性向上につながる。また、各層間の密着性が向上することで、ウエハレンズをダイシングして得られた個片レンズのMTF特性等も良好である。

撮像装置とそれに用いられる撮像用レンズの概略構成を示す断面図である。 撮像用レンズの製造工程中で製造されるウエハレンズ積層体を、切断する際の様子を概略的に説明するための図である。 図１の変形例を示した図である。

以下、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。
［撮像装置］
図１に示す通り、撮像装置１は撮像用レンズユニット２と、カバーガラス４、撮像素子（図示せず）を収納したパッケージ６からなるセンサユニットから構成されており、撮像用レンズユニット２の下方に、センサユニットが配置されている。図示しない撮像素子としては例えばＣＭＯＳ型イメージセンサが用いられる。

撮像用レンズユニット２は２群のレンズ群８，１０、スペーサ７から構成されている。
まず、レンズ群８について説明する。
レンズ群８は基板１２を有している。

基板１２としては、透明で耐熱性があり、強度のあるものであれば良い。例えば、低アルカリのホウケイ酸ガラスや透明無機酸化物を主成分とする基材、ポリイミドやエポキシ等の耐熱性透明樹脂を主成分とする基材等が挙げられる。

基板１２の上面には、接着層１４が形成されている。接着層１４の上面には、絞り１８aと、絞り１８aを覆う接着層１５とが形成されており、接着層１５の上面全面に樹脂部１６が形成されている。

接着層１４は、基板１２と絞り１８aとの間に設けられ、接着層１４によって基板１２に対する絞り１８aの密着力を高めることができる。この接着層１４は省略しても構わない。
接着層１５は、基板１２及び絞り１８aと、樹脂部１６との間に設けられ、接着層１５によって基板１２及び絞り１８aに対する樹脂部１６の密着力を高めることができる。
接着層１４は、有機接着層であり、接着層１５は、無機又は有機接着層である。

無機接着層としては、二酸化チタン、アルミナ、ニ酸化ケイ素等の無機酸化物層等が挙げられる。
有機接着層としては、通常の公知の接着剤の他に、アクリル系、イソシアネート系、エポキシ系、アミノ系等のシランカップリング剤層等が挙げられる。
接着層１５は、有機接着層又は無機接着層のいずれでも良いが、有機接着層の方が好ましい。また、接着層１５がシランカップリング剤層の場合は、接着層１５は、無機接着層を下層とし、有機接着層を上層の２層構造とする方が好ましい。

絞り１８aとしては、ＵＶ又は熱で硬化するネガ型レジスト、又はポジ型レジストに黒色フィラーを含有させたものや、酸化クロムで主に構成されているもの等がある。
絞り１８aの形成方法の例としては、基板１２上に絞りを気相堆積法や塗布法でベタに形成した後、樹脂部１６（凸レンズ部１６a）の周囲を覆うように平面視環状に加工する等が挙げられる。

なお、本発明では、絞り１８aと樹脂部１６との間の接着層１５は、図１に示すように、絞り１８aが形成された基板１２上に、絞り１８a全体を覆うように設け、レンズ部を有する樹脂部は接着層に直接接合されている形態（イ）の他、図３に示すように、接着層１５が、絞り１８aが形成された基板１２の上面の内、絞り１８aが形成されていない基板１２上面が露出した部分にのみ設けられる形態（ロ）もありえるが、形態（ロ）の方が切断時の剥離防止の観点ではより好ましい。
なぜなら、絞りは他のコートと異なり、基板上に全面均一に形成されるものではなく、レンズ部に対応する箇所に開口をすべく一部抜けを形成したようなパターン化された形状であるため、絞り形成後の接着層がこの開口部分と絞り部材とが形成された箇所とで平坦に形成できず、係る不均一さがその上に形成されるレンズの形状に悪影響を及ぼすことが一因である。また、外観上もレンズ部には接着層がないほうが、好ましい。
また、形態（ロ）の場合、絞り１８aの主構成材料が黒色フィラーと、水酸基、カルボキシル基等の易反応性基を有する樹脂、例えば、エポキシ、アクリル又はアリルエステル等の樹脂であり、樹脂部１６も同じく、水酸基、カルボキシル基等の易反応性基を有する樹脂、例えば、エポキシ、アクリル又はアリルエステル等の樹脂である場合には、樹脂部１６形成時のエネルギーにより、絞り１８aと樹脂部１６が反応し、密着力が大きくなり、特に好ましい態様となる。
絞り１８aが形成された基板１２の上面のうち、基板１２上面が露出した部分のみ、接着層１５を形成する方法としては、絞り１８aを形成した後に、接着層１５をベタで形成し、除去可能なうちに、絞り１８aの上面の接着層１５のみ、アセトンやエタノール等の溶剤で除去すれば良い。なお、この場合、接着層１５及び絞り１８aの上面に、樹脂部１６が直接設けられることになる。

基板１２、絞り１８aは、密着力をより向上させるために、表面の濡れ性を向上させることが好ましい。特に、絞り１８aが形成された基板１２の上面のうち、基板１２上面が露出した部分のみ、接着層１５によって覆われ、絞り１８aと樹脂部１６が直接接合する構成の場合（図３参照）は、絞り１８aの表面の濡れ性を向上させる効果が顕著となる。通常、最上面〜最下面の樹脂部には、ダイシング時に剥離等の問題が発生しないように、それぞれスペーサを接合する必要があるが、本発明の場合、スペーサが無くとも、層間剥離等の問題が発生しにくく、コスト低減が可能となる。
接着層１５についても濡れ性を向上させる方が好ましいが、特に接着層１５が無機接着層である場合には、濡れ性を向上させる効果が大きい。濡れ性については、それぞれの層の上層の材料に対する濡れ性が良好であれば良いが、評価方法としては、水に対する接触角でほぼ評価することができる。具体的には、水の接触角が３°以上３０°以下であれば、それぞれの層の上層の材料に対する濡れ性が良好となる。特に、３°以上２０°以下が好ましい。

接触角を低減する手段としては、公知の手段が利用できるが、特にＵＶオゾン装置、プラズマ装置等での表面改質をすることが好ましい。
ＵＶオゾン装置の場合、処理条件は、１０ｍＷ／ｃｍ２のＵＶ光強度で、３〜１５分程度、処理を行えば、接触角が低減可能である。プラズマ装置を使う場合は、反応ガスとして酸素を利用し、２００Ｗ〜５００Ｗで３０秒〜１０分程度、処理を行うと良い。勿論、処理を行う表面の状態により異なるため、前記条件に限定されるものではない。

本発明では、接着層１４、１５がシランカップリング剤層の場合は、接着層１４、１５を設ける前に、ＵＶオゾン処理、プラズマ処理等で下地の表面を活性化し、表面に水酸基等の官能基を増やすことで濡れ性を上げるとともに、その水酸基とシランカップリング剤を１００℃以上の温度で反応させ、シロキサン結合を作ることにより、下地との非常に強固な密着力が得られる。さらに、シランカップリング剤層が、例えば樹脂部１６のすぐ下に位置する場合には、樹脂部１６の材料と反応しやすいシランカップリング剤を選択し、樹脂部１６の硬化時のＵＶ光や熱エネルギーを利用して反応させることで、樹脂部１６との大きな密着力を得ることができる。シランカップリング剤としては、例えば、アクリル系、イソシアネート系、エポキシ系、アミノ系等が挙げられる。
樹脂部は下層（接着層又は接着層と絞り）全面に設けられる場合と、下層上に島状に設けられている場合の両方があり得る。このような島状の構成の場合、下層は樹脂部で一部分が覆われない露出部が形成される事になる。

樹脂部１６は凸レンズ部１６ａとその周辺部の非レンズ部１６ｂとから構成され、これらが一体成形されている。凸レンズ部１６ａは表面が非球面形状を呈している。絞り１８aは非レンズ部１６ｂで覆われている。

一方、基板１２の下面には、接着層２０が形成されている。接着層２０の下面には、絞り１８bと、絞り１８bを覆う接着層２１とが形成されており、接着層２１の下面全面に樹脂部２２が形成されている。

接着層２０は、基板１２と絞り１８bとの間に設けられ、接着層２０によって基板１２に対する絞り１８bの密着力を高めることができる。この接着層２０は省略しても構わない。
接着層２１は、基板１２及び絞り１８bと、樹脂部２２との間に設けられ、接着層２１によって基板１２及び絞り１８bに対する樹脂部２２の密着力を高めることができる。
なお、絞り１８b、接着層２０、接着層２１は、上述した絞り１８a、接着層１４、接着層１５とそれぞれ同様であるので、その説明を省略する。

樹脂部２２は凹レンズ部２２ａとその周辺部の非レンズ部２２ｂとから構成され、これらが一体成形されている。凹レンズ部２２ａは表面が非球面形状を呈している。絞り１８bは非レンズ部２２bで覆われている。
レンズ群８は基板１２、樹脂部１６，２２、絞り１８a，１８b、接着層１４，２０、接着層１５，２１により構成されている。

次に、レンズ群１０について説明する。
レンズ群１０は基板３０を有している。
基板３０の上面には、接着層３１が形成されている。接着層３１の上面全面に樹脂部３２が形成されている。
接着層３１は、基板３０と樹脂部３２との間に設けられ、接着層３１によって基板３０に対する樹脂部３２の密着力を高めることができる。
樹脂部３２は凹レンズ部３２ａとその周辺部の非レンズ部３２ｂとから構成され、これらが一体成形されている。凹レンズ部３２ａは表面が非球面形状を呈している。
基板３０の下面には、接着層３３が形成されている。接着層３３の下面には、絞り１８cと、絞り１８cを覆う接着層３５とが形成されており、接着層３５の下面全面に樹脂部３４が形成されている。
接着層３３は、基板３０と絞り１８cとの間に設けられ、接着層３３によって基板３０に対する絞り１８cの密着力を高めることができる。接着層３３は、接着層１４と同様に省略しても良く、有機接着層とすることが好ましい。
接着層３５は、基板３０及び絞り１８cと、樹脂部３４との間に設けられ、接着層３５によって基板３０及び絞り１８cに対する樹脂部３４の密着力を高めることができる。
樹脂部３４は凸レンズ部３４ａとその周辺部の非レンズ部３４ｂとから構成され、これらが一体成形されている。凸レンズ部３４ａは表面が非球面形状を呈している。絞り１８cは非レンズ部３４bで覆われている。
レンズ群１０はガラス基板３０、樹脂部３２，３４、絞り１８c、接着層３１，３３、接着層３５により構成されている。
なお、絞り１８c、接着層３１，３３、接着層３５は、上述した絞り１８a、接着層１４、接着層１５とそれぞれ同様であるので、その説明を省略する。

レンズ群８の樹脂部１６，２２とレンズ群１０の樹脂部３２，３４とは公知の光硬化性樹脂から構成されている。
当該光硬化性樹脂としては、例えば下記に示すようなアクリル樹脂，アリルエステル樹脂，エポキシ系樹脂などが使用可能である。
アクリル樹脂，アリルエステル樹脂を使用する場合にはラジカル重合により反応硬化させることができ、エポキシ樹脂を使用する場合にはカチオン重合により反応硬化させることができる。
レンズ群８，１０の各部位を構成する樹脂の種類は互いに同じでもよいし、異なってもよい。
樹脂の詳細は下記（１）〜（３）の通りである。

（１）アクリル樹脂
重合反応に用いられる(メタ)アクリレートは特に制限はなく、一般的な製造方法により製造された下記(メタ)アクリレートを使用することができる。エステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、エーテル(メタ)アクリレート、アルキル(メタ)アクリレート、アルキレン(メタ)アクリレート、芳香環を有する(メタ)アクリレート、脂環式構造を有する(メタ)アクリレートが挙げられる。これらを１種類又は２種類以上を用いることができる。
特に脂環式構造を持つ(メタ)アクリレートが好ましく、酸素原子や窒素原子を含む脂環構造であってもよい。例えば、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘプチル(メタ)アクリレート、ビシクロヘプチル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノール(メタ)アクリレートや、イソボロニル(メタ)アクリレート、水添ビスフェノール類のジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。また特にアダマンタン骨格を持つと好ましい。例えば、２−アルキル−２−アダマンチル（メタ）アクリレート（特開２００２−１９３８８３号公報参照）、アダマンチルジ（メタ）アクリレート（特開昭５７−５００７８５）、アダマンチルジカルボン酸ジアリル（特開昭６０―１００５３７）、パーフルオロアダマンチルアクリル酸エステル（特開２００４−１２３６８７）、新中村化学製 2-メチル-2-アダマンチルメタクリレート、1,3-アダマンタンジオールジアクリレート、1,3,5-アダマンタントリオールトリアクリレート、不飽和カルボン酸アダマンチルエステル（特開２０００−１１９２２０）、３，３’−ジアルコキシカルボニル-1,1’ビアダマンタン（特開２００１−２５３８３５号公報参照）、１，１’−ビアダマンタン化合物（米国特許第３３４２８８０号明細書参照）、テトラアダマンタン（特開２００６−１６９１７７号公報参照）、２−アルキル−２−ヒドロキシアダマンタン、２−アルキレンアダマンタン、１，３−アダマンタンジカルボン酸ジ−ｔｅｒｔ−ブチル等の芳香環を有しないアダマンタン骨格を有する硬化性樹脂（特開２００１−３２２９５０号公報参照）、ビス(ヒドロキシフェニル)アダマンタン類やビス（グリシジルオキシフェニル）アダマンタン（特開平１１−３５５２２号公報、特開平１０−１３０３７１号公報参照）等が挙げられる。
また、その他反応性単量体を含有することも可能である。(メタ)アクリレートであれば、例えば、メチルアクリレート、メチルメタアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルメタアクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタアクリレート、tert−ブチルアクリレート、tert−ブチルメタアクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、などが挙げられる。
多官能(メタ)アクリレートとして、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールセプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。

（２）アリルエステル樹脂
アリル基を持ちラジカル重合による硬化する樹脂で、例えば次のものが挙げられるが、特に以下のものに限定されるわけではない。
芳香環を含まない臭素含有（メタ）アリルエステル（特開２００３−６６２０１号公報参照）、アリル（メタ）アクリレート（特開平５−２８６８９６号公報参照）、アリルエステル樹脂（特開平５−２８６８９６号公報、特開２００３−６６２０１号公報参照）、アクリル酸エステルとエポキシ基含有不飽和化合物の共重合化合物（特開２００３−１２８７２５号公報参照）、アクリレート化合物（特開２００３−１４７０７２号公報参照）、アクリルエステル化合物（特開２００５−２０６４号公報参照）等が挙げられる。

（３）エポキシ樹脂
エポキシ樹脂としては、エポキシ基を持ち光又は熱により重合硬化するものであれば特に限定されず、硬化開始剤としても酸無水物やカチオン発生剤等を用いることができる。エポキシ樹脂は硬化収縮率が低いため、成形精度の優れたレンズとすることができる点で好ましい。
エポキシの種類としては、ノボラックフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂が挙げられる。その一例として、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、２，２’−ビス（４−グリシジルオキシシクロヘキシル）プロパン、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカーボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシド、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）−５，５−スピロ−（３，４−エポキシシクロヘキサン）−１，３−ジオキサン、ビス（３，４−エポキシシクロヘキシル）アジペート、１，２−シクロプロパンジカルボン酸ビスグリシジルエステル等を挙げることができる。
硬化剤は硬化性樹脂材料を構成する上で使用されるものであり特に限定はない。
硬化剤としては、酸無水物硬化剤やフェノール硬化剤等を好ましく使用することができる。酸無水物硬化剤の具体例としては、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、３−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、４−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、あるいは３−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸と４−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸との混合物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸等を挙げることができる。また、必要に応じて硬化促進剤が含有される。硬化促進剤としては、硬化性が良好で、着色がなく、硬化性樹脂の透明性を損なわないものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、２−エチル−４−メチルイミダゾール（２Ｅ４ＭＺ）等のイミダゾール類、３級アミン、４級アンモニウム塩、ジアザビシクロウンデセン等の双環式アミジン類とその誘導体、ホスフィン、ホスホニウム塩等を用いることができ、これらを１種、あるいは２種以上を混合して用いてもよい。

撮像用レンズ２では、レンズ群８の非レンズ部２２ｂとレンズ群１０の非レンズ部３２ｂとの間に接着剤が塗布され、レンズ群８とレンズ群１０とが接着されている。非レンズ部２２ｂ，３２ｂは凹レンズ部２２ａ，３２ａのフランジ部に相当している。
レンズ群１０には、スペーサ７が接着されている。スペーサ７には開口部７aが形成されており、この開口部７aに凸レンズ部１６ａ、凹レンズ部２２ａ、凹レンズ部３２ａ、凸レンズ部３４ａが配置されている。

撮像用レンズ２では、凸レンズ部１６ａ、凹レンズ部２２ａ、凹レンズ部３２ａ、凸レンズ部３４ａ、スペーサ７の開口部７aは各表面が非球面形状を呈しており、光軸が一致している。
特に撮像用レンズ２では、レンズ群８の凸レンズ部１６ａが物体側に配置され、レンズ群１０の凸レンズ部３４ａが像側に配置されている。
物体側から像側に向けて、凸レンズ部１６ａがレンズ群８の物体側光学面である「Ｓ１面」を、凹レンズ部２２ａがレンズ群８の像側光学面である「Ｓ２面」を、凹レンズ部３２ａがレンズ群１０の物体側光学面である「Ｓ３面」を、凸レンズ部３４ａがレンズ群１０の像側光学面である「Ｓ４面」をそれぞれ構成している。

なお、上記撮像用レンズ２において、基板１２に対してＩＲカット膜（図示しない）を形成しても良い。ＩＲカット膜は、公知の真空蒸着法やスパッタ、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法などを使用して、基板１２の上下両面に対しそれぞれ形成される。ＩＲカット膜（赤外線遮蔽膜）は、赤外線を遮光するための膜であり、波長３６５ｎｍの光に対しては５０％以上の透過率を有している。
従って、本発明でいう基板には、ガラス基板単体に限らず、上述したＩＲカット膜がガラス基板上にコートされた複合基板も含まれる。
なお、ＩＲカット膜が形成される場合は二酸化ケイ素、二酸化チタン等の層が交互に積層されて構成されており、最上面は、ガラスと同じ二酸化ケイ素の層であることが好ましい。

［撮像装置（撮像用レンズ）の製造方法］
続いて、撮像装置１の製造方法（撮像用レンズの中間物７０、ウエハレンズ５１、ウエハレンズ積層体５０及び撮像用レンズ２の製造方法を含む）について、図１〜図３を参照しながら簡単に説明する。

始めに、基板１２に対し、例えば遮光性フォトレジストを塗布してこれを所定形状にパターニングし、複数の絞り１８aを形成する（絞り形成工程）。遮光性フォトレジストとしては、カーボンブラックを混入させたフォトレジストが使用可能である。
なお、基板１２には、予め、ＵＶオゾン装置やプラズマ装置等によって表面改質処理を行っておくことが好ましい（表面改質工程）。これによって、基板１２上に絞り１８aが形成された撮像用レンズ２の中間物７０が得られる。また、絞り形成工程前に、基板１２上に有機接着層１４を、気相堆積法や塗布法によって形成しておくことが好ましい。
また、絞りが形成された基板にもＵＶオゾン装置やプラズマ装置等によって表面改質処理を行っておくことが好ましい（表面改質工程）。

その後、絞り１８aが形成された基板１２上に、接着層１５を気相堆積法や塗布法により形成する（接着層形成工程）。
接着層１５を形成したら、図３に示すように、絞り１８aが形成された基板１２の上面のうち、基板１２の上面が露出した部分のみ、接着層１５で覆われる（つまり、絞り１８aの上面を覆わない）場合には、絞り１８aの上面に形成された接着層１５を除去する（接着層除去工程）。除去方法は、アセトンやエタノール等の溶剤を使用すれば良い。
一方、図１に示すように、接着層１５が基板１２と絞り１８aの全面を覆う場合には、上記接着層除去工程を行わない。

その後、光硬化性樹脂を成形型に滴下し、当該成形型とウエハ状の基板１２とのうち一方を他方に押圧して成形型と基板１２との間に光硬化性樹脂を充填し、光照射して光硬化性樹脂を硬化させる。その結果、基板１２の有機又は無機接着層上に複数の凸レンズ部１６ａが形成される（成形工程）。
その後、基板１２を裏返し、上記と同様にして基板１２に、接着層２０、複数の絞り１８b、接着層２１、複数の凹レンズ部２２ａを形成する。

レンズ部１６a，２２aを形成した後、成形型を基板１２から離型する。離型は、凸レンズ部１６aの形成後と、凹レンズ部２２aの形成後、にそれぞれ離型するようにしても良いし、両面のレンズ部１６a，２２aの形成後に一括して離型しても良い。
そして、離型後、基板１２の両面のレンズ部１６a，２２aに対してポストキュアし加熱加工する。ポストキュアは、両面のレンズ部１６a，２２aに対して一括して行っても良いし、レンズ部１６a，２２aをそれぞれ離型した後、一方のレンズ部毎に行っても良い。
このように離型することによって、複数のレンズ部１６a，２２aを有する第１ウエハレンズ５１（図２参照）が製造される。

その後、上記第１ウエハレンズ５１を製造したのと同様にして、基板３０にも複数の絞り１８c、接着層３１、接着層３３、接着層３５、複数の凹レンズ部３２ａ、凸レンズ部３４ａを形成し、離型する。離型後は、ポストキュアを行う。なお、この基板３０にはＩＲカットコートを施さなくて良い。

その後、樹脂部３４上に反射防止膜（図示しない）を形成することが好ましい。反射防止膜は２層構造を有している。樹脂部３４に対し直に第１層が形成されており、その上に第２層が形成されている。
第１層は屈折率１．７以上の高屈折率材料から構成された層であり、好ましくはＴａ２Ｏ５，Ｔａ２Ｏ５とＴｉＯ２との混合物，ＺｒＯ２，ＺｒＯ２とＴｉＯ２との混合物のいずれかで構成されている。第１層はＴｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ３，ＨｆＯ２で構成されてもよい。
第２層は屈折率１．７未満の低屈折率材料から構成された層であり、好ましくはＳｉＯ２から構成されている。

反射防止膜は第１層、第２層がともに蒸着等の手法により形成されており、好ましくは、第１層、第２層は、その成膜温度がリフロー処理に供される半田等の導電性ペーストの溶融温度に対し−４０〜＋４０℃（好ましくは−２０〜＋２０℃）の範囲に保持されながら、形成されている。

このように反射防止膜を形成することによって、複数のレンズ部３２ａ，３４ａを有する第２ウエハレンズ５２（図２参照）が製造される。

その後、非レンズ部２２ｂ，３２ｂのうち少なくとも一方に接着剤を塗布して、第１及び第２ウエハレンズ５１，５２を互いに接着する（積層工程）（図２参照）。

その後、スペーサ７と、レンズ群１０の非レンズ群３４bのうち少なくとも一方に接着剤を塗布して、スペーサ７とレンズ群１０を互いに接着する。
その結果、ウエハレンズ積層体５０が製造される（図２参照）。

その後、ダイサーなどを使用して、図２に示す通り、１組の凸レンズ部１６ａ，凹レンズ部２２ａ，凹レンズ部３２ａ，凸レンズ部３４ａを一単位として、その組ごとにウエハレンズ積層体５０をダイシングライン６０で切断（ダイシング）して断片化する（切断工程）。
その結果、複数の撮像用レンズ２が製造される。
樹脂部１６，２２，３２，３４をダイシングする場合、例えば、回転刃を用いるダイサーを使用し、刃の回転数を3000rpm〜50000rpm、切断速度1〜10ｍｍ／ｓｅｃとすることが好ましい。
樹脂部１６，２２，３２，３４をダイシングする場合、物体側の樹脂部１６から像側の樹脂部３４に向けて切断することが好ましい。ダイシング中は、樹脂部１６，２２，３２，３４のダイシング部分で粉塵が舞うため、好ましくはダイシング部分に対し防塵用の純水を流しながら（噴出しながら）切断する。

その後、得られた撮像用レンズ２を組み込むとともに（接着するとともに）、カバーガラス４、撮像素子を設置し、撮像装置１が製造される。
本実施の形態においては、ダイシングにより撮像用レンズ２を作製した後に、カバーガラス４や撮像素子を設置する形態としたが、ウエハレンズ積層体５０と複数の撮像素子が設けられた基板を積層した後にダイシングすることで、撮像装置１を得ることも可能である。
また、本実施の形態においては、Ｓ３面（基板３０の上面）には絞りを設けていないが、絞りを設けても良い。

電子機器の製造方法の一例として、撮像装置１と他の電子部品とをプリント配線基板に実装する場合には、プリント配線基板上にあらかじめ半田を配置し、そこへ撮像装置１と電子部品とを配置してからＩＲリフロー炉に投入・加熱して半田を溶融させ、その後冷却することにより、撮像装置１と電子部品とをプリント配線基板に同時に実装することができる。

以下、本発明について実施例及び比較例を用いて具体的に説明する。
［実施例１］
（第１ウエハレンズの作製）
予め水の接触角を測定した、０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、総厚800nmの複数層の酸化クロム層を有する金属膜を成膜し、ポジ型フォトレジストを公知の方法で塗布、乾燥した。その後、マスクを用いて、レジストの露光・現像処理を行い、１３０℃、２分加熱後、さらに露光部のクロム化合物をエッチングで除去し、不要なレジストを除去して、光透過部、アライメントマークを有する絞りを形成した。絞りの表面の水の接触角を測定後、接着層として、気相堆積法で20nm厚の酸化チタン層を形成した。次に、酸化チタン層上にカチオン重合型のエポキシ樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂部が当該接着層全体に直接接合されている第１ウエハレンズを作製した（下記表１参照）。

（撮像用レンズの作製）
第１ウエハレンズのレンズ間を、公知のダイサーでブレード回転数20000rpm、切断速度4mm/sの条件で、S1面（最上面）側からダイシングして、60個の撮像用レンズを得た。

（ダイシング後の剥離評価）
ダイシングして得られた、撮像用レンズの断面を顕微鏡で観察し、層間が完全に剥離、又はわずかに剥離し始めているレンズの個数を数えた。但し、レンズ間とスペーサ間が剥離した個片は数に含めなかった。その結果、下記表２に記載の数の撮像用レンズで剥離が認められた。

［実施例２］
（第１ウエハレンズの作製）
絞り形成工程までは実施例１と同様に作製した。次いで、絞りが形成されたガラス基板上に、アミノ系シランカップリング剤（東レ・ダウコーニング社製Z-6020の1重量%エタノール溶液）をスピンコーターで塗布し、ホットプレート上で150℃，30分間、加熱して、絞りが形成されたガラス基板とシロキサン結合を有する、シランカップリング剤層を形成した。その後、カチオン重合型のエポキシ樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層とも強固に結合させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂部が当該接着層全体に直接接合されている第１ウエハレンズを作製した（表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例３］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、テクノビジョン社製UVオゾン処理装置UV-208で5分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例１と同様に行い、その後、前記UVオゾン処理装置で5分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次いで、接着層として、気相堆積法で20nm厚の酸化シリカ層を形成後、実施例２と同様にアミノ系シランカップリング剤層を形成した。
次に、シランカップリング層上にカチオン重合型のエポキシ樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層とも強固に結合させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂部が当該接着層全体に直接接合されている第１ウエハレンズを作製した（表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例４］
（第１ウエハレンズの作製）
予め水の接触角を測定した、０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、黒色フィラーとエポキシ樹脂を含有する、ネガ型レジスト材料を、スピンコート法で塗布、乾燥し、2μm厚の膜を形成した。その後、マスクを用いて、レジストの露光・現像処理を行い、２００℃、２０分間加熱して、光透過部、アライメントマークを有する絞りを形成した。絞りの表面の水の接触角を測定後、絞りをマスクして、絞り以外の部分に、気相堆積法で20nm厚の酸化シリカ層を形成後、マスクを除去後、実施例２と同様の方法でエポキシ系シランカップリング剤（信越シリコーン社製KBM403の1重量%エタノール溶液）層を形成した。絞り上のエポキシシランカップリング剤層は、絞りとの結合力が弱いため、アセトンで拭き取ることで除去した。
その後、カチオン重合型のエポキシ樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層、絞りとも強固に結合させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合している第１ウエハレンズを作製した（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例５］
（第１ウエハレンズの作製）
絞り形成工程までは実施例４と同様に作製した。絞りの表面の水の接触角を測定後、絞り上に、一液型のアクリル系接着剤をスクリーン印刷法で6μm厚になるように印刷し、ホットプレート上で100℃，5分間の条件で乾燥させた。
その後、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーで接着剤層とも強固に結合させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂部が当該接着層全体に直接接合されている第１ウエハレンズを作製した（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例６］
（第１ウエハレンズの作製）
絞り形成工程までは実施例４と同様に作製した。絞りの表面の水の接触角を測定後、絞り上に、接着層として、気相堆積法で20nm厚の酸化シリカ層を形成後、実施例２と同様にアミノ系シランカップリング剤層を形成した。絞り上のエポキシシランカップリング剤層は、アセトンで拭き取ることで除去した。
その後、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層、絞りとも強固に結合させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合している第１ウエハレンズを作製した（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例７］
（第１ウエハレンズの作製）
予め水の接触角を測定した、０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、イソシアネート系シランカップリング剤（信越シリコーン社製KBE-9007の1重量%エタノール溶液）をスピンコーターで塗布し、ホットプレート上で150℃，30分間、加熱して、基板とシロキサン結合を有する、シランカップリング剤層を形成した。
次いで、黒色フィラーとアクリル樹脂を含有する、ネガ型レジスト材料を、前記シランカップリング剤層上にスピンコート法で塗布、乾燥し、2μm厚の膜を形成した。その後、マスクを用いて、レジストの露光・現像処理を行い、２２０℃、２０分間加熱して、光透過部、アライメントマークを有する絞りを形成した。絞りの表面の水の接触角を測定後、絞りをマスクして、絞り以外の部分に、気相堆積法で20nm厚の酸化チタン層を形成し、マスクを除去後、実施例２と同様の方法でエポキシ系シランカップリング剤（信越シリコーン社製KBM403の1重量%エタノール溶液）層を形成した。絞り上のエポキシシランカップリング剤層は、アセトンで拭き取ることで除去した。
その後、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層、絞りとも強固に結合させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合している第１ウエハレンズを作製した（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例８］
（第１ウエハレンズの作製）
実施例７と同様に、第１ウエハレンズを作製した後、レンズ部を有する樹脂層側に0.6mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合して、スペーサ付きの第１ウエハレンズを作製した（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例９］
（第１ウエハレンズの作製）
予め水の接触角を測定した、０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、アクリル系シランカップリング剤（東レ・ダウコーニング社製SZ6030の1重量%エタノール溶液）をスピンコーターで塗布し、ホットプレート上で150℃，30分間、加熱して、基板とシロキサン結合を有する、シランカップリング剤層を形成した。それ以降は、実施例７と同様に行った（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例１０］
（第１ウエハレンズの作製）
予め水の接触角を測定した、０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、イソシアネート系シランカップリング剤（信越シリコーン社製KBE-9007の1重量%エタノール溶液）をスピンコーターで塗布し、ホットプレート上で150℃，30分間、加熱して、基板とシロキサン結合を有する、シランカップリング剤層を形成した。それ以降は、実施例７と同様に行ったが、絞り上のエポキシ系シランカップリング剤層は、エタノールで拭き取ることで除去した（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例１１］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、テクノビジョン社製UVオゾン処理装置UV-208で5分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例７と同様に行い、その後、前記UVオゾン処理装置で5分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次いで、実施例１０と同様の２層の接着層を形成し後、絞り上のエポキシ系シランカップリング剤層は、エタノールで拭き取ることで除去した。
その後、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層、絞りとも強固に結合させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合している第１ウエハレンズを作製した（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表２に示した。

［実施例１２］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、サムコ社製プラズマ処理装置PD-2203Lに酸素を導入し、200W，2分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例７と同様に行い、その後、前記プラズマ処理装置で同様に2分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次ぐ、接着層以降は、実施例１０と同様に行った（下記表３参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［実施例１３］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、サムコ社製プラズマ処理装置PD-2203Lに酸素を導入し、200W，4分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例７と同様に行い、その後、前記プラズマ処理装置で同様に4分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次いで、接着層以降は、実施例１０と同様に行った（下記表３参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［実施例１４］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、サムコ社製プラズマ処理装置PD-2203Lに酸素を導入し、400W、6分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例４と同様に行い、その後、前記プラズマ処理装置で同様に6分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次いで、接着層以降は、実施例１０と同様に行った。但し、レンズ樹脂は、カチオン重合型のエポキシ樹脂を使用した（下記表３参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［実施例１５］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、実施例５と同手順でレンズ部(S1面)を作製後、もう一方の面に、同手順でレンズ部(S2面)を作製し、基板の両面にレンズ部を有する樹脂部が接着層全体に直接接合された第１ウエハレンズを作製した（下記表３参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［実施例１６］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、実施例４と同手順でレンズ部(S1面)を作製後、もう一方の面に、同手順でレンズ部(S2面)を作製し、基板の両面にレンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに直接接合している第１ウエハレンズを作製した（下記表３参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［実施例１７］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、実施例１２と同手順でレンズ部(S1面)を作製した。但し、絞り形成工程後の接着層（上層）はアクリル系シランカップリング剤を使用した。その後、もう一方の面に、同手順でレンズ部(S2面)を作製した。次いで、S2面側に0.6mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合して、基板の両面にレンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合しているスペーサ付きの第１ウエハレンズを作製した（下記表３参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［実施例１８］
（第１ウエハレンズの作製）
実施例１７と同手順でS1面及びS2面にレンズ部を有する第１ウエハレンズを作製した。但し、スペーサは接合しなかった（下記表１参照）。
（第２ウエハレンズの作製）
第１ウエハレンズと同様に、S3面及びS4面にレンズ部を有する第２ウエハレンズを作製した（下記表３，４参照）。
（第１ウエハレンズと第２ウエハレンズの接合）
作製した第１ウエハレンズと、第２ウエハレンズを接着剤を介して接合し、2体のウエハレンズが積層された、ウエハレンズ積層体を作製した。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［実施例１９］
（第１ウエハレンズの作製）（第２ウエハレンズの作製）（第１ウエハレンズと第２ウエハレンズの接合）
実施例１８と同手順で第１及び第２ウエハレンズを作製し、第１及び第２ウエハレンズが積層接着された、ウエハレンズ積層体を作製した。次いで、当該ウエハレンズ積層体のS4面側に0.6mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合した（下記表３，４参照）。
（撮像レンズ（個片）の作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［比較例１］
（第１ウエハレンズの作製）
絞り形成工程までは、実施例１と同様に行った。その後、接着層は形成せずに、絞りが形成された基板上に、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させた。
次いで、マスターを離型して、第１ウエハレンズを作製した（下記表３参照）。
（撮像レンズ（個片）の作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［比較例２］
（第１ウエハレンズの作製）
０．６ｍｍ厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、実施例４と同手順でレンズ部(S1面)を作製した。但し、絞りの形成には、黒色フィラーとアクリル樹脂を含有する、ネガ型レジスト材料を使用した。その後、接着層は形成せずに、絞りが形成された基板上に、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター（成形型）で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させた。
次いで、マスターを離型して、レンズ部(S1面)を作製後、もう一方の面に、同手順でレンズ部(S2面)を作製した。その後、S2面側に0.6mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合して、レンズ部が基板の両面に形成されているスペーサ付きの第１ウエハレンズを作製した（下記表３参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

［比較例３］
（第１ウエハレンズの作製）
実施例２１（比較例２）と同手順でS1面及びS2面にレンズ部を有する第１ウエハレンズを作製した。
（第２ウエハレンズの作製）
第１ウエハレンズと同様に、S3面及びS4面にレンズ部を有する第２ウエハレンズを作製した（下記表３，４参照）。
（第１ウエハレンズと第２ウエハレンズの接合）
作製した第１ウエハレンズと、第２ウエハレンズを接着剤を介して接合し、2体のウエハレンズが積層された、ウエハレンズ積層体を作製した。次いで、当該ウエハレンズ積層体のS1面とS4面側に0.6mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合した（下記表１参照）。
（撮像用レンズの作製）と（ダイシング後の剥離評価）は実施例１と同様に行い、その結果を下記表４に示した。

なお、表１〜表４において、「−」は構成無しであることを意味し、「↑」は上の段に示す実施例（比較例）と同様の構成であることを意味する。
つまり、実施例１〜１４、比較例１は基板片面にのみレンズ部を形成した構成であり、実施例１５〜１９、比較例２，３は基板両面にレンズ部が形成された構成である。

［まとめ］
表１〜４の結果から明らかなように、基板と絞りの間や、絞り形成後に各種接着層を形成したレンズ、及び、基板表面や絞り表面の濡れ性を向上させた実施例１〜実施例１９は、比較例１〜３に比べて、ダイシング後の層間剥離のレンズの個数が少なかった。したがって、層間の密着性が向上し、全層で密着性が良好であることがわかる。
また、各層間の密着性が向上することで、ウエハレンズをダイシングして得られた個片レンズのMTF特性等も良好である。

１ 撮像装置
２ 撮像用レンズユニット
４ カバーガラス
６ パッケージ
７ スペーサ
８，１０ レンズ群
１２ ガラス基板
１４ 接着層（有機接着層）
１５ 接着層（無機又は有機接着層）
１６ 樹脂部
１６ａ 凸レンズ部
１６ｂ 非レンズ部
１８a，１８b，１８c 絞り
２０ 接着層（有機接着層）
２１ 接着層（無機又は有機接着層）
２２ 樹脂部
２２ａ 凹レンズ部
２２ｂ 非レンズ部
３０ ガラス基板
３１ 接着層（無機又は有機接着層）
３２ 樹脂部
３２ａ 凹レンズ部
３２ｂ 非レンズ部
３３ 接着層（有機接着層）
３４ 樹脂部
３４ａ 凸レンズ部
３４ｂ 非レンズ部
３５ 接着層（無機又は有機接着層）
５０ ウエハレンズ積層体
５１ 第１ウエハレンズ
５２ 第２ウエハレンズ
６０ ダイシングライン
７０ 撮像用レンズの中間物

Claims (40)

1. 基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、
   前記基板上に、前記絞りを覆うようにして形成された無機又は有機接着層と、
   硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
   前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層に直接接合されていることを特徴とする撮像用レンズ。
2. 基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、
   前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、
   前記硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
   前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とする撮像用レンズ。
3. 前記基板上及び前記絞りには、表面改質処理が施されていることを特徴とする請求項２に記載の撮像用レンズ。
4. 前記有機接着層は、シランカップリング剤層であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。
5. 前記絞りは、黒色フィラーを含む樹脂からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。
6. 前記レンズ部は、前記基板の物体側表面及び像側表面の両面に形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。
7. 前記無機又は有機接着層は、前記基板側から、無機接着層、有機接着層の順に積層された複数層の構成であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。
8. 前記基板と、前記絞りとの間に、有機接着層を備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。
9. 前記基板表面には、最外層にIRカット膜が形成されている事を特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。
10. 基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、
    前記基板上に、前記絞りを覆うようにして形成された無機又は有機接着層と、
    硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
    前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層に直接接合されていることを特徴とするウエハレンズ。
11. 基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、
    前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、
    前記硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
    前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とするウエハレンズ。
12. 前記基板上及び前記絞りには、表面改質処理が施されていることを特徴とする請求項１１に記載のウエハレンズ。
13. 前記有機接着層は、シランカップリング剤層であることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
14. 前記絞りは、黒色フィラーを含む樹脂からなることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
15. 前記絞りの樹脂は、水酸基、カルボキシル基等の易反応性基を有する樹脂であり、前記レンズ部を有する樹脂も、水酸基、カルボキシル基等の易反応性基を有する樹脂であることを特徴とする請求項１０〜１４のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
16. 前記絞りの樹脂は、エポキシ、アクリル、又はアリルエステルであり、
    前記レンズ部を有する樹脂も、エポキシ、アクリル、又はアリルエステルであることを特徴とする請求項１０〜１５のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
17. 前記レンズ部は、前記基板の物体側表面及び像側表面の両面に形成されていることを特徴とする請求項１４〜１６のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
18. 前記無機又は有機接着層は、前記基板側から、無機接着層、有機接着層の順に積層された複数層の構成であることを特徴とする請求項１４〜１７のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
19. 前記基板と、前記絞りとの間に、有機接着層を備えることを特徴とする請求項１４〜１８のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
20. 前記絞りは、前記レンズ部の外周を囲む平面視環状に形成されていることを特徴とする請求項１４〜１９のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
21. 前記基板表面には、最外層にIRカット膜が形成されている事を特徴とする請求項１２〜２０のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
22. 基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、
    前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、
    前記硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
    前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されており、
    前記複数のレンズ部に対応する光軸方向の位置に、複数の開口部を有するスペーサが接合されていることを特徴とするウエハレンズ。
23. 前記レンズ部は、前記基板の物体側表面及び像側表面の両面に形成されており、
    前記スペーサは、前記基板の像側表面に設けられていることを特徴とする請求項２２に記載のウエハレンズ。
24. 前記無機又は有機接着層は、前記基板側から、無機接着層、有機接着層の順に積層された複数層の構成であることを特徴とする請求項２２又は２３に記載のウエハレンズ。
25. 前記基板と、前記絞りとの間に、有機接着層を備えることを特徴とする請求項２２〜２４のいずれか一項に記載のウエハレンズ。
26. 複数のウエハレンズを積層させたウエハレンズ積層体であって、
    前記複数のウエハレンズのうち、少なくとも一つのウエハレンズが、
    基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、
    前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、
    硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、
    前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とするウエハレンズ積層体。
27. 前記無機又は有機接着層は、前記基板側から、無機接着層、有機接着層の順に積層された複数層の構成であることを特徴とする請求項２６に記載のウエハレンズ積層体。
28. 前記基板と、前記絞りとの間に、有機接着層を備えることを特徴とする請求項２６又は２７に記載のウエハレンズ積層体。
29. 基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、
    前記基板上に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、
    前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、
    前記接着層形成工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、
    前記成形工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法。
30. 基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、
    前記基板上に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、
    前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、
    前記接着層形成工程後、前記絞り上に形成された前記無機又は有機接着層を除去する接着層除去工程と、
    前記接着層除去工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、
    前記成形工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法。
31. 基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、
    前記基板の少なくとも一方の面に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、
    前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、
    前記接着層形成工程後、前記絞り上に形成された前記無機又は有機接着層を除去する接着層除去工程と、
    前記接着層除去工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、
    前記成形工程によって得られたウエハレンズを、複数積層させてウエハレンズ積層体を形成する積層工程と、
    前記積層工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法。
32. 前記接着層除去工程は、アセトン又はエタノールで前記無機又は有機接着層を除去することを特徴とする請求項３０又は３１に記載の撮像用レンズの製造方法。
33. 前記接着層形成工程は、シランカップリング剤層を形成する工程であることを特徴とする請求項２９〜３１のいずれか一項に記載の撮像用レンズの製造方法。
34. 前記基板の表面及び前記絞り形成工程後の前記絞りの表面の濡れ性が、水の接触角で３°以上３０°以下の範囲となるように表面改質処理を行う表面改質工程を備えることを特徴とする請求項２９〜３３のいずれか一項に記載の撮像用レンズの製造方法。
35. 前記表面改質工程では、ＵＶオゾン処理、プラズマ処理のいずれか一つを行うことを特徴とする請求項３４に記載の撮像用レンズの製造方法。
36. 基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズを作製するための撮像用レンズの中間物であって、
    前記基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りを備え、
    前記絞りの表面の水の接触角が３°以上３０°以下であることを特徴とする撮像用レンズの中間物。
37. 前記絞りの表面の水の接触角が３°以上２０°以下であることを特徴とする請求項３６に記載の撮像用レンズの中間物。
38. 基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズを作製するための撮像用レンズの中間物の製造方法であって、
    前記基板の少なくとも一方の面に、光量を調整する所定の開口を有する絞りを形成する絞り形成工程と、
    前記絞りが形成された前記基板の少なくとも一方の面に対して、表面改質処理を行う表面改質工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの中間物の製造方法。
39. 前記表面改質工程では、前記絞りの表面の濡れ性が、水の接触角で３°以上３０°以下の範囲となるように表面改質処理を行うことを特徴とする請求項３８に記載の撮像用レンズの中間物の製造方法。
40. 前記表面改質工程では、前記絞りの表面の濡れ性が、水の接触角で３°以上２０°以下の範囲となるように表面改質処理を行うことを特徴とする請求項３８又は３９に記載の撮像用レンズの中間物の製造方法。

Images