JP2000266909A - マイクロレンズアレーの製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレーの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、マイクロレンズアレーの製造に際し
て、その型製作時間を短縮化するとともに、製作コスト
を低減することができ、型の損傷の低減化を図ることが
できるマイクロレンズアレーの製造方法を提供すること
を目的としている。 【解決手段】本発明は、型母材となる基板上に、該基板
側から第１層目に密着強化層、第２層目に感光性材料に
より形成したマイクロレンズアレー層、第３層目に密着
強化層、第４層目に硬化層を備えた型を用いて、光硬化
性樹脂に所定の形状のレンズアレーを転写形成すること
を特徴とし、さらに、第５層目に光硬化性樹脂に対して
付着力の低い離型層を備えた型を用いて、光硬化性樹脂
に所定の形状のレンズアレーを転写形成することを特徴
とするものである。
て、その型製作時間を短縮化するとともに、製作コスト
を低減することができ、型の損傷の低減化を図ることが
できるマイクロレンズアレーの製造方法を提供すること
を目的としている。 【解決手段】本発明は、型母材となる基板上に、該基板
側から第１層目に密着強化層、第２層目に感光性材料に
より形成したマイクロレンズアレー層、第３層目に密着
強化層、第４層目に硬化層を備えた型を用いて、光硬化
性樹脂に所定の形状のレンズアレーを転写形成すること
を特徴とし、さらに、第５層目に光硬化性樹脂に対して
付着力の低い離型層を備えた型を用いて、光硬化性樹脂
に所定の形状のレンズアレーを転写形成することを特徴
とするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマイクロレンズアレ
ーの製造方法に関するものであり、特に液晶表示素子あ
るいは撮像素子用のマイクロレンズアレーの製造方法に
関するものである。
ーの製造方法に関するものであり、特に液晶表示素子あ
るいは撮像素子用のマイクロレンズアレーの製造方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来マイクロレンズアレーの製造方法と
して、特開平３−１９８００３号公報は、マトリックス
状に配列した円柱状レジストをベーキングしてレンズ球
面状にした後、表面にニッケルスパッタ膜を形成し、ニ
ッケル電鋳スタンパを作製し、光硬化性樹脂にレンズア
レーを転写成形する方式を提案している。この従来例
は、図４に示されるように、基板上にマイクロレンズの
曲率半径を得るに充分なかなり厚めのフォトレジスト５
を塗布し、このフォトレジスト表面に前記マイクロレン
ズの寸法に見合った円形部６がアレイ状に並んだフォト
マスク７を密着させて露光を行い、この露光後に前記フ
ォトレジスト５の現像を行いアレイ状に並んだ円柱状の
フォトレジストを作製し、この円柱状のフォトレジスト
のベーキングを行い表面がレンズ球面を有するフォトレ
ジストを作製し、このフォトレジストの前記レンズ球面
上にスパッタを行いニッケル膜８を形成し、このニッケ
ル膜表面の電鋳を行いこれに十分な厚みをもたせ、この
十分な厚みをもったニッケル膜に裏打ち台９を接着さ
せ、反対側に位置する前記基板４を剥離した後前記フォ
トレジストの除去を行いレンズ球面を有するスタンパ１
０を作製し、このレンズ球面を有するスタンパ１０の表
面に感光性樹脂モノマー１１を滴下しこの上部より透明
板１２を密着させた状態で紫外線露光を行い、前記感光
性樹脂モノマー１１を重合させ、その後、前記スタンパ
１０から前記透明板１２を剥離することによりマイクロ
レンズアレイを作製するようにしたものである。
して、特開平３−１９８００３号公報は、マトリックス
状に配列した円柱状レジストをベーキングしてレンズ球
面状にした後、表面にニッケルスパッタ膜を形成し、ニ
ッケル電鋳スタンパを作製し、光硬化性樹脂にレンズア
レーを転写成形する方式を提案している。この従来例
は、図４に示されるように、基板上にマイクロレンズの
曲率半径を得るに充分なかなり厚めのフォトレジスト５
を塗布し、このフォトレジスト表面に前記マイクロレン
ズの寸法に見合った円形部６がアレイ状に並んだフォト
マスク７を密着させて露光を行い、この露光後に前記フ
ォトレジスト５の現像を行いアレイ状に並んだ円柱状の
フォトレジストを作製し、この円柱状のフォトレジスト
のベーキングを行い表面がレンズ球面を有するフォトレ
ジストを作製し、このフォトレジストの前記レンズ球面
上にスパッタを行いニッケル膜８を形成し、このニッケ
ル膜表面の電鋳を行いこれに十分な厚みをもたせ、この
十分な厚みをもったニッケル膜に裏打ち台９を接着さ
せ、反対側に位置する前記基板４を剥離した後前記フォ
トレジストの除去を行いレンズ球面を有するスタンパ１
０を作製し、このレンズ球面を有するスタンパ１０の表
面に感光性樹脂モノマー１１を滴下しこの上部より透明
板１２を密着させた状態で紫外線露光を行い、前記感光
性樹脂モノマー１１を重合させ、その後、前記スタンパ
１０から前記透明板１２を剥離することによりマイクロ
レンズアレイを作製するようにしたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、マトリックス状に配列したレジストのマイク
ロレンズアレーをニッケル電鋳により形状を反転転写し
て成形用スタンパ型とする工程が必要であり、このため
マイクロレンズアレー製造用型の製作時間および作製コ
ストがかかるという点に問題があった。そこで、本発明
は、上記従来例における課題を解決し、マイクロレンズ
アレーの製造に際して、その型製作時間を短縮化すると
ともに、製作コストを低減することができ、型の損傷の
低減化を図ることができるマイクロレンズアレーの製造
方法を提供することを目的とするものである。
来例では、マトリックス状に配列したレジストのマイク
ロレンズアレーをニッケル電鋳により形状を反転転写し
て成形用スタンパ型とする工程が必要であり、このため
マイクロレンズアレー製造用型の製作時間および作製コ
ストがかかるという点に問題があった。そこで、本発明
は、上記従来例における課題を解決し、マイクロレンズ
アレーの製造に際して、その型製作時間を短縮化すると
ともに、製作コストを低減することができ、型の損傷の
低減化を図ることができるマイクロレンズアレーの製造
方法を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために、マイクロレンズアレーの製造方法を、つ
ぎのように構成したことを特徴とするものである。すな
わち、本発明のマイクロレンズアレーの製造方法は、型
母材となる基板上に、該基板側から第１層目に密着強化
層、第２層目に感光性材料により形成したマイクロレン
ズアレー層、第３層目に密着強化層、第４層目に硬化層
を備えた型を用いて、光硬化性樹脂に所定の形状のレン
ズアレーを転写形成することを特徴としている。また、
本発明のマイクロレンズアレーの製造方法は、型母材と
なる基板上に、該基板側から第１層目に密着強化層、第
２層目に感光性材料により形成したマイクロレンズアレ
ー層、第３層目に密着強化層、第４層目に硬化層、第５
層目に光硬化性樹脂に対して付着力の低い離型層を備え
た型を用いて、光硬化性樹脂に所定の形状のレンズアレ
ーを転写形成することを特徴としている。また、本発明
のマイクロレンズアレーの製造方法は、前記第１層目の
密着強化層がシランカップリング剤、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｔｉ
のうちの１種類以上、前記第３層目の密着強化層がＣ
ｒ、Ｓｉ、Ｔｉのうちの１種類以上、前記第４層目の硬
化層が炭素、酸化物、窒化物のうちの１種類以上、から
なることを特徴としている。また、本発明のマイクロレ
ンズアレーの製造方法は、前記第４層目の硬化層の厚さ
が、１μｍ〜２μｍであることを特徴としている。ま
た、本発明のマイクロレンズアレーの製造方法は、第２
層目のマイクロレンズアレー形状を形成する感光性材料
が、フォトレジストあるいは光硬化性樹脂であることを
特徴としている。また、本発明のマイクロレンズアレー
の製造方法は、前記第５層目の離型層が、フッ化炭素あ
るいは水素化非晶質炭素であることを特徴としている。
成するために、マイクロレンズアレーの製造方法を、つ
ぎのように構成したことを特徴とするものである。すな
わち、本発明のマイクロレンズアレーの製造方法は、型
母材となる基板上に、該基板側から第１層目に密着強化
層、第２層目に感光性材料により形成したマイクロレン
ズアレー層、第３層目に密着強化層、第４層目に硬化層
を備えた型を用いて、光硬化性樹脂に所定の形状のレン
ズアレーを転写形成することを特徴としている。また、
本発明のマイクロレンズアレーの製造方法は、型母材と
なる基板上に、該基板側から第１層目に密着強化層、第
２層目に感光性材料により形成したマイクロレンズアレ
ー層、第３層目に密着強化層、第４層目に硬化層、第５
層目に光硬化性樹脂に対して付着力の低い離型層を備え
た型を用いて、光硬化性樹脂に所定の形状のレンズアレ
ーを転写形成することを特徴としている。また、本発明
のマイクロレンズアレーの製造方法は、前記第１層目の
密着強化層がシランカップリング剤、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｔｉ
のうちの１種類以上、前記第３層目の密着強化層がＣ
ｒ、Ｓｉ、Ｔｉのうちの１種類以上、前記第４層目の硬
化層が炭素、酸化物、窒化物のうちの１種類以上、から
なることを特徴としている。また、本発明のマイクロレ
ンズアレーの製造方法は、前記第４層目の硬化層の厚さ
が、１μｍ〜２μｍであることを特徴としている。ま
た、本発明のマイクロレンズアレーの製造方法は、第２
層目のマイクロレンズアレー形状を形成する感光性材料
が、フォトレジストあるいは光硬化性樹脂であることを
特徴としている。また、本発明のマイクロレンズアレー
の製造方法は、前記第５層目の離型層が、フッ化炭素あ
るいは水素化非晶質炭素であることを特徴としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明は、上記した構成によっ
て、レプリカ成形用型母材上に形成されたマイクロレン
ズアレー層の機械的強度が、該マイクロレンズアレー層
上に形成された硬化層によって高めることが可能とな
り、従来のようにニッケル電鋳による成形用スタンパ型
を形成する必要がないため、安価なレプリカ成形型を短
時間で作製することができる。また、本発明によれば、
硬化層の上に離型層を備えた構成を採ることにより、型
の損傷を低減させることができる。
て、レプリカ成形用型母材上に形成されたマイクロレン
ズアレー層の機械的強度が、該マイクロレンズアレー層
上に形成された硬化層によって高めることが可能とな
り、従来のようにニッケル電鋳による成形用スタンパ型
を形成する必要がないため、安価なレプリカ成形型を短
時間で作製することができる。また、本発明によれば、
硬化層の上に離型層を備えた構成を採ることにより、型
の損傷を低減させることができる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。 ［実施例１］図１は、本発明の実施例１に係るレプリカ
成形型の作製工程を示す図であり、本発明の特徴を最も
よく表している。同図において、１は鏡面研磨した型母
材となる基板、２はレプリカ転写するための形状を形成
した感光性材料３と１の密着力を向上させるための密着
強化層であり、３は感光性材料で形成したレンズアレー
層、４はレンズアレー層３と表面硬化層を目的とした硬
化層５の密着強化層である。マイクロレンズアレー素子
は、図１に示したレプリカ成形型を用いて、所定の光硬
化性樹脂に所定の形状を転写することにより形成され
る。
成形型の作製工程を示す図であり、本発明の特徴を最も
よく表している。同図において、１は鏡面研磨した型母
材となる基板、２はレプリカ転写するための形状を形成
した感光性材料３と１の密着力を向上させるための密着
強化層であり、３は感光性材料で形成したレンズアレー
層、４はレンズアレー層３と表面硬化層を目的とした硬
化層５の密着強化層である。マイクロレンズアレー素子
は、図１に示したレプリカ成形型を用いて、所定の光硬
化性樹脂に所定の形状を転写することにより形成され
る。
【０００７】以下、本実施例のマイクロレンズアレーの
製造方法について説明する。図１はレプリカ成形型の作
製工程、図２はマイクロレンズアレーの製造工程を示し
た図であり、ＢＫ７光学ガラス１の上にＳｉＯ蒸着膜
（密着強化層）２を１０ｎｍ成膜し、その上にフォトレ
ジスト３を２０μｍ厚さをスピンコートしてから９０℃
で３０ｍｉｎのプリベークを行う。その後、所定のパタ
ーンマスクを用いて露光機により露光し、更に現像して
レジスト円柱３１がマトリックス状に配列した構成を作
製する。その後、クリーンオーブンにより１４５℃〜５
ｍｉｎの熱処理を行い、レジスト半球面３２を得る。こ
の後、真空蒸着装置により、ＳｉＯ膜（密着強化層）４
を２０ｎｍ更にＡｌ2Ｏ3膜（硬化層）５を２μｍ形成し
てレプリカ成型型１０を作製した。
製造方法について説明する。図１はレプリカ成形型の作
製工程、図２はマイクロレンズアレーの製造工程を示し
た図であり、ＢＫ７光学ガラス１の上にＳｉＯ蒸着膜
（密着強化層）２を１０ｎｍ成膜し、その上にフォトレ
ジスト３を２０μｍ厚さをスピンコートしてから９０℃
で３０ｍｉｎのプリベークを行う。その後、所定のパタ
ーンマスクを用いて露光機により露光し、更に現像して
レジスト円柱３１がマトリックス状に配列した構成を作
製する。その後、クリーンオーブンにより１４５℃〜５
ｍｉｎの熱処理を行い、レジスト半球面３２を得る。こ
の後、真空蒸着装置により、ＳｉＯ膜（密着強化層）４
を２０ｎｍ更にＡｌ2Ｏ3膜（硬化層）５を２μｍ形成し
てレプリカ成型型１０を作製した。
【０００８】つぎに、レプリカ成型型１０のマイクロレ
ンズ形状面側に第１の光硬化性樹脂２０を滴下し、その
上にマイクロレンズアレー保持基板１２を載せ、紫外光
を照射して光硬化性樹脂２０を硬化して、レプリカ成形
型１０の形状を反転転写した第１の硬化樹脂層２１を得
る。レプリカ成型型１０を除去後、第１の硬化樹脂層２
１上に第２の光硬化性樹脂４０を滴下し、上からマイク
ロガラスシート１４を重ね、２度目の紫外光を照射する
ことにより、第２の光硬化性樹脂４０を硬化して、第２
の硬化樹脂層４１を形成する。この後、脱泡のための減
圧処理を行って平坦化したマイクロレンズアレー素子の
製造を完了する。用途によっては、更に表面の反射防止
を行う。
ンズ形状面側に第１の光硬化性樹脂２０を滴下し、その
上にマイクロレンズアレー保持基板１２を載せ、紫外光
を照射して光硬化性樹脂２０を硬化して、レプリカ成形
型１０の形状を反転転写した第１の硬化樹脂層２１を得
る。レプリカ成型型１０を除去後、第１の硬化樹脂層２
１上に第２の光硬化性樹脂４０を滴下し、上からマイク
ロガラスシート１４を重ね、２度目の紫外光を照射する
ことにより、第２の光硬化性樹脂４０を硬化して、第２
の硬化樹脂層４１を形成する。この後、脱泡のための減
圧処理を行って平坦化したマイクロレンズアレー素子の
製造を完了する。用途によっては、更に表面の反射防止
を行う。
【０００９】［実施例２］次に、本発明の実施例２に係
るマイクロレンズアレーの製造方法について説明する。
図３は本実施例のレプリカ成形型の作製工程を示す図で
ある。またマイクロレンズアレーの製造工程は、基本的
に実施例１と同じであるので図２を共用して説明する。
図３に示されるマイクロレンズアレー製造工程におい
て、ＢＫ７光学ガラス１の上にＳｉＯ蒸着膜（密着強化
層）２を１０ｎｍ成膜し、その上にフォトレジスト３を
２０μｍ厚さをスピンコートしてから９０℃で３０ｍｉ
ｎのプリベークを行う。その後、所定のパターンマスク
を用いて露光機により露光し、更に現像してレジスト円
柱３１がマトリックス状に配列した構成を作製する。そ
の後、クリーンオーブンにより１４５℃で５ｍｉｎの熱
処理を行い、レジスト半球面３２を得る。この後、スパ
ッタ成膜装置によりＡｒ雰囲気中でＴｉ膜（密着強化
層）４を５０ｎｍ形成し、更にＮ2ガスを導入して、Ｔ
ｉＮ膜（硬化層）５を１μｍ形成し、その上に、Ｎ2ガ
スに替えてＣＨ4ガスを導入し、高周波放電中で水素化
非晶質炭素膜（離型層）６を４０ｎｍ厚形成してレプリ
カ成形型１１を作製した。
るマイクロレンズアレーの製造方法について説明する。
図３は本実施例のレプリカ成形型の作製工程を示す図で
ある。またマイクロレンズアレーの製造工程は、基本的
に実施例１と同じであるので図２を共用して説明する。
図３に示されるマイクロレンズアレー製造工程におい
て、ＢＫ７光学ガラス１の上にＳｉＯ蒸着膜（密着強化
層）２を１０ｎｍ成膜し、その上にフォトレジスト３を
２０μｍ厚さをスピンコートしてから９０℃で３０ｍｉ
ｎのプリベークを行う。その後、所定のパターンマスク
を用いて露光機により露光し、更に現像してレジスト円
柱３１がマトリックス状に配列した構成を作製する。そ
の後、クリーンオーブンにより１４５℃で５ｍｉｎの熱
処理を行い、レジスト半球面３２を得る。この後、スパ
ッタ成膜装置によりＡｒ雰囲気中でＴｉ膜（密着強化
層）４を５０ｎｍ形成し、更にＮ2ガスを導入して、Ｔ
ｉＮ膜（硬化層）５を１μｍ形成し、その上に、Ｎ2ガ
スに替えてＣＨ4ガスを導入し、高周波放電中で水素化
非晶質炭素膜（離型層）６を４０ｎｍ厚形成してレプリ
カ成形型１１を作製した。
【００１０】つぎに、レプリカ成形型１１のマイクロレ
ンズ形状面側に第１の光硬化性樹脂２０を滴下し、その
上にマイクロレンズアレー保持基板１２を載せ、紫外光
を照射して光硬化性樹脂２０を硬化して、レプリカ成形
型１１の形状を反転転写した第１の硬化樹脂層２１を得
る。レプリカ成形型１１を除去後、第１の硬化樹脂層２
１上に第２の光硬化性樹脂４０を滴下し、上からマイク
ロガラスシートを重ね、２度目の紫外光を照射すること
により、第２の光硬化性樹脂４０を硬化して第２の硬化
樹脂層４１を形成する。この後、脱泡のための減圧処理
を行って平坦化したマイクロレンズアレー素子の製造を
完了する。用途によっては、更に表面の反射防止を行
う。本実施例においては、硬化層５上に離型層６を形成
したことにより、型の損傷を低減させることができた。
ンズ形状面側に第１の光硬化性樹脂２０を滴下し、その
上にマイクロレンズアレー保持基板１２を載せ、紫外光
を照射して光硬化性樹脂２０を硬化して、レプリカ成形
型１１の形状を反転転写した第１の硬化樹脂層２１を得
る。レプリカ成形型１１を除去後、第１の硬化樹脂層２
１上に第２の光硬化性樹脂４０を滴下し、上からマイク
ロガラスシートを重ね、２度目の紫外光を照射すること
により、第２の光硬化性樹脂４０を硬化して第２の硬化
樹脂層４１を形成する。この後、脱泡のための減圧処理
を行って平坦化したマイクロレンズアレー素子の製造を
完了する。用途によっては、更に表面の反射防止を行
う。本実施例においては、硬化層５上に離型層６を形成
したことにより、型の損傷を低減させることができた。
【００１１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、レプリカ成形用型母材上に形成されたマイクロレン
ズアレー層の機械的強度が、該マイクロレンズアレー層
上に形成された硬化層によって高めることが可能とな
り、これにより安価なレプリカ成形型を短時間で作製す
ることができる。特に、本発明では、レプリカの成形に
インジェクション成形、あるいはコンプレッション成形
のように熱や圧力がかからないため、耐久性を著しく向
上させることができる。また、本発明によれば、硬化層
の上に離型層を備えた構成を採ることにより、型の損傷
を低減させることができる。
ば、レプリカ成形用型母材上に形成されたマイクロレン
ズアレー層の機械的強度が、該マイクロレンズアレー層
上に形成された硬化層によって高めることが可能とな
り、これにより安価なレプリカ成形型を短時間で作製す
ることができる。特に、本発明では、レプリカの成形に
インジェクション成形、あるいはコンプレッション成形
のように熱や圧力がかからないため、耐久性を著しく向
上させることができる。また、本発明によれば、硬化層
の上に離型層を備えた構成を採ることにより、型の損傷
を低減させることができる。
【図１】本発明の実施例１に係るレプリカ成形型の工程
を説明する図である。
を説明する図である。
【図２】本発明の実施例１及び実施例２に係るマイクロ
レンズアレーの製造工程を説明する図である。
レンズアレーの製造工程を説明する図である。
【図３】本発明の実施例２に係るレプリカ成形型の工程
を説明する図である。
を説明する図である。
【図４】従来例におけるマイクロレンズアレーの製造方
法を説明する図である。
法を説明する図である。
１：鏡面研磨した型母材となる基板 ２：密着強化層 ３：感光性材料で形成したレンズアレー層 ４：密着強化層 ５：硬化層 ６：離型層 １０，１１：レプリカ成形型 １２：マイクロレンズアレー保持基板 １４：マイクロシートガラス ２０：第１の光硬化性樹脂 ２１：形状転写後の第１の樹脂層 ３１：マトリックス状に配列したレジスト円柱 ３２：レジスト半球面 ４０：第２の光硬化性樹脂 ４１：形状転写後の第２の樹脂層 ５０：マイクロレンズアレー素子
Claims (6)
- 【請求項１】型母材となる基板上に、該基板側から第１
層目に密着強化層、第２層目に感光性材料により形成し
たマイクロレンズアレー層、第３層目に密着強化層、第
４層目に硬化層を備えた型を用いて、光硬化性樹脂に所
定の形状のレンズアレーを転写形成することを特徴とす
るマイクロレンズアレーの製造方法。 - 【請求項２】型母材となる基板上に、該基板側から第１
層目に密着強化層、第２層目に感光性材料により形成し
たマイクロレンズアレー層、第３層目に密着強化層、第
４層目に硬化層、第５層目に光硬化性樹脂に対して付着
力の低い離型層を備えた型を用いて、光硬化性樹脂に所
定の形状のレンズアレーを転写形成することを特徴とす
るマイクロレンズアレーの製造方法。 - 【請求項３】前記第１層目の密着強化層がシランカップ
リング剤、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｔｉのうちの１種類以上、前記
第３層目の密着強化層がＣｒ、Ｓｉ、Ｔｉのうちの１種
類以上、前記第４層目の硬化層が炭素、酸化物、窒化物
のうちの１種類以上、からなることを特徴とする請求項
１または請求項２に記載のマイクロレンズアレーの製造
方法。 - 【請求項４】前記第４層目の硬化層の厚さが、１μｍ〜
２μｍであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか
１項に記載のマイクロレンズアレーの製造方法。 - 【請求項５】第２層目のマイクロレンズアレー形状を形
成する感光性材料が、フォトレジストあるいは光硬化性
樹脂であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１
項に記載のマイクロレンズアレーの製造方法。 - 【請求項６】前記第５層目の離型層が、フッ化炭素ある
いは水素化非晶質炭素であることを特徴とする請求項１
〜５のいずれか１項に記載のマイクロレンズアレーの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11075523A JP2000266909A (ja) | 1999-03-19 | 1999-03-19 | マイクロレンズアレーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11075523A JP2000266909A (ja) | 1999-03-19 | 1999-03-19 | マイクロレンズアレーの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000266909A true JP2000266909A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13578689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11075523A Pending JP2000266909A (ja) | 1999-03-19 | 1999-03-19 | マイクロレンズアレーの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000266909A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2008088195A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 有機無機感光性樹脂組成物 |
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- 1999-03-19 JP JP11075523A patent/JP2000266909A/ja active Pending
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